多晶硅还原生产常见问题及控制对策分析
多晶硅片行业痛点与解决措施

多晶硅片行业痛点与解决措施多晶硅片是太阳能光伏产业的关键材料,其质量和成本直接影响到光伏产品的性能和竞争力。
然而,当前多晶硅片行业存在一些痛点,如生产成本高、质量不稳定、生产废料多等问题。
针对这些问题,以下是一些可能的解决措施。
首先,生产成本高是多晶硅片行业的一个主要痛点。
光伏市场的竞争日益激烈,由于生产成本高,多晶硅片的价格相对较高,从而影响了光伏市场的发展。
为了解决这个问题,可以通过提高生产效率和降低能耗来降低多晶硅片的生产成本。
例如,采用更高效的设备和工艺,缩短生产周期,减少能源的消耗。
此外,与其他企业或合作伙伴共享设备和资源,实现规模经济,也是降低生产成本的一个有效方式。
其次,多晶硅片的质量不稳定也是目前行业中的一个痛点。
多晶硅片的质量直接影响到光伏产品的性能和可靠性,因此,提高多晶硅片的质量稳定性非常重要。
解决这个问题的一个关键要素是建立完善的质量管理体系。
这意味着制定严格的质量标准和流程,并加强质量监控和检测措施。
同时,加强对供应链的管理,确保原材料的质量和稳定性,也对提高多晶硅片质量具有重要意义。
此外,多晶硅片生产过程中产生的废料也是一个问题。
多晶硅片的生产过程中会产生大量的切屑和废碎,这不仅影响生产效率,还增加了生产成本。
因此,解决这个问题是要提高资源利用效率,减少生产废料的产生。
一种可能的解决办法是开发和应用更高效的切割技术和废料回收技术,将废料重新加工利用。
此外,还可以加强废料管理和处理,倡导循环经济理念,将废料进行分类、回收利用或再利用。
除了上述问题,多晶硅片行业还面临着其他一些挑战,如市场竞争、原材料供应等。
为了保持竞争力,多晶硅片行业需要加强技术研发和创新,不断提高产品性能和降低成本。
此外,加强与原材料供应商的合作,确保原材料的稳定供应是关键。
通过与相关产业链的合作,建立稳定的供应体系,可以为多晶硅片行业提供更稳定和可持续的发展。
综上所述,多晶硅片行业存在一些痛点,如生产成本高、质量不稳定、生产废料多等问题。
多晶硅还原系统及控制方法的改进

多晶硅还原系统及控制方法的改进摘要:改良西门子法是目前生产光伏级多晶硅的主流方法,随着国家提出“双碳”目标,光伏产业作为绿色能源的典型代表,对多晶硅的需求量迅速增加。
通过对作为核心设备之一的还原电源系统的改进,在提高多晶硅生产效率及产品质量的同时,降低了多晶硅还原炉供电系统的整体成本。
关键词:多晶硅、电源、启动、维持。
1引言多晶硅还原炉供电系统主要包括高压启动电源、功率电源,先采用高压启动电源依次对各硅芯进行高压击穿,再通过功率电源对硅芯进行持续加热。
传统还原电源系统中,由于高压启动电源只工作在对硅芯的打压击穿阶段,所配备的数量较少,单个还原炉需要生产的硅芯量多,对硅芯的打压击穿时间长。
申请号为201711405835.5,名称为《一种具备自启功能的多晶硅电源控制器实现方法》的专利,虽然对还原电源系统进行了改进,但仍存在高压启动回路不稳、高压启动击穿效率不高、主变压器输出电压较高使相关回路绝缘要求较高、自耦变压器高压易串入主变回路等诸多问题。
2改进型多晶硅还原炉供电系统的组成及控制本方案中供电系统包括主变压器、输出调节单元、启动击穿单元、功率调节单元,其中启动击穿单元至少包括两组。
图1:系统框图本文以6对棒供电系统电路原理图为例,硅芯分别用电阻R1~R6来示意,输出调节单元包括击穿切换开关K1~K3、维持切换开关K11~K15、功率开关QF1,功率调节单元A与单元B、启动击穿单元HV1和HV2的电气连接如下图所示。
图2:6对棒供电系统原理图当系统供电后,首先闭合K1,使硅芯R1、R2与两组启动击穿单元接通,并分别被HV1和HV2击穿;当硅芯R1、R2击穿后,当HV1和HV2的输出电压均不高于主变压器输出电压的50%时,断开K1,并闭合K11、K12,此时硅芯R1、R2由功率调节单元A维持加热。
在需对硅芯R3、R4击穿时,闭合K2,硅芯R3、R4分别被HV1和HV2输出的电压击穿,当硅芯R3、R4击穿后,当HV1和HV2的输出电压均不高于主变压器输出电压的50%时,断开K2,并闭合K11、K12、K13,此时硅芯R1、R2由功率调节单元A维持加热,硅芯R3、R4则由功率调节单元B维持加热。
多晶硅生产过程的质量控制

2018年07月多晶硅生产过程的质量控制任小红(内蒙古神舟硅业有限责任公司,内蒙古呼和浩特010010)摘要:任何产品的生产过程都不是一蹴而就的,多晶硅的生产也不例外。
多晶硅在生产制作时,往往有许多方面的制作因素,会对多晶硅的质量产生影响。
为了使多晶硅的质量得到更好的保障,本文对多晶硅生产过程中的几道工序进行了简单的阐述,对生产工序中影响多晶硅质量的问题进行了重点描述并提出了解决办法,希望可以为多晶硅生产过程中的质量控制提供一定的帮助。
关键词:多晶硅;生产过程;质量控制;1多晶硅生产过程中高纯氢气对质量的影响及措施在多晶硅的生产过程中,氢气是否纯正将会干扰多晶硅的质量。
在还原炉中,如果有少量的水或氧气混入氢气中,三氯氢硅水解或硅的氧化的现象就会产生,同时,在硅棒上,会附着一层二氧化硅氧化层。
“氧化夹层”就会形成,前提是我们放任被氧化的硅棒继续沉积硅,而且,就算进行酸洗也不会除去它。
在多晶硅拉制单晶硅时,由于这种“氧化夹层”的形成,“蛙跳”的现象就会出现。
在真空条件下,多晶硅拉制单晶硅时,会使融化的硅从熔区或坩埚中溢出,像火焰一样向外“放花”。
因此,如果想要预防氧化夹层的出现,在进行制氢工序时,就需要严格按照程序规范操作,严格控制氢气的露点和氧含量,使氢气中的氧和水含量符合要求。
此外,在生产的过程中,要严肃生产环境,对生产安全提高警惕,避免氢气泄漏而造成火灾状况的出现。
2多晶硅生产过程中精馏工序对质量的影响及措施在精馏工序中的还原工序和氢化工序中,除去杂质的的高纯三氯氢硅产品和四氯化硅产品将会被运用。
但由于粗三氯氢硅中分离难度较大的硼化合物、磷化合物的存在,因此,需要用多台精馏塔对粗三氯氢硅进行连续精馏才能提取到合格的纯三氯氢硅产品。
精馏工序对多晶硅生产过程中的质量控制至关重要,因此,精馏工序的制作程序需要得到监管和控制,以避免精馏工序在生产时出现问题。
在制作过程中,首先需要控制的就是精馏塔的压力,如果控制系统压力不稳定,塔板上的气液平衡组成就会被改变。
多晶硅产品质量改善方向分析

多晶硅产品质量改善方向分析随着太阳能光伏产业的快速发展,多晶硅产品成为太阳能电池的重要原材料之一。
然而,多晶硅产品质量问题长期存在,生产制造过程中存在的缺陷和技术瓶颈制约了多晶硅产品的进一步应用及市场规模的扩大。
因此,需要采取措施加大改良力度,提高多晶硅产品的质量,从而推动行业的发展。
1. 生产制造的环节控制多晶硅产品的生产制造具有复杂性和长周期性,从原料准备到成品出厂需要经过多个环节,包括精炼、结晶、切割等过程。
因此,要保证多晶硅产品的品质需要在生产制造的每个环节中进行高效的控制和检测。
特别是在多晶硅的熔融与结晶过程中,要严格控制温度、压力等物理参数,以保证产物的存在形态均匀、晶体品质优良等方面达到预期目标。
2. 技术创新的推动要提高多晶硅产品的质量,需要加强技术创新和开发,尤其是在新工艺、新材料的研究和应用上。
例如,采用多晶合金晶体生长技术,利用微弱磁场引导晶体生长,可以提高多晶硅产品的晶化度和均匀度,从而提高产品的电池效率和抗氧化稳定性等制度要素。
3. 质量检测的技术升级作为重要的半导体原材料,多晶硅产品每个品种都应符合特定的质量标准和规范要求。
对于生产厂商来说,建立健全的质量保证体系和质量检测机制是核心,确保多晶硅的质量符合相关标准和要求,达到稳定的表现特性和可靠性等关键性能指标。
此外,针对市场上的多晶硅产品进行定期抽样检测,及时排查产品质量问题,纠正不合格的产品,提高行业整体的质量水平。
4. 智能化生产系统的落地随着物联网和大数据等技术的普及和发展,多晶硅制造业也应该尽快进行智能化改造,加快生产工艺和设备的数字化和网络化,建立先进的控制系统,实时监测过程数据,精细化地调整生产参数和质量标准等等。
通过智能化手段,提高生产效率和产能利用率,降低能耗和废品率,为提高多晶硅产品的质量提供有力的技术保障。
总之,要提高多晶硅产品的质量,需要在生产制造、技术创新、质量检测和智能化生产系统四个方面进行综合推进,打造高品质、高效益、高竞争力的多晶硅产业链,将太阳能光伏产业带向更美好的未来。
还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨

还原炉生产多晶硅常见问题及对策探讨孙强;严大洲;汤传斌;万烨【摘要】在使用改良西门子法生产多晶硅的过程中,还原生产工艺是最关键的工艺,而还原炉运行成功与否最终关系到生产成本和企业效益.通过对启炉及运行过程中硅芯倒伏、倒炉、电器与设备故障等问题进行总结和分析,发现硅芯质量与安装水平、系统常规检查与维护、以及工艺控制水平和精细化程度等是影响还原炉运行成功率的主要原因,本文对问题控制方法进行了探讨,以期为提高还原炉运行稳定性提供参考.【期刊名称】《有色冶金节能》【年(卷),期】2015(031)003【总页数】5页(P55-59)【关键词】多晶硅;还原炉;工艺;硅芯;倒炉【作者】孙强;严大洲;汤传斌;万烨【作者单位】中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;中国恩菲工程技术有限公司,北京100038;中国恩菲工程技术有限公司,北京100038【正文语种】中文【中图分类】TQ264.1近年来随着光伏产业的快速发展与繁荣,作为太阳能电池重要原材料之一的多晶硅得到了广泛应用,尤其是在全球范围内新能源越来越受重视的背景下,多晶硅行业赢得了快速发展的契机,短短几年里在国内取得了繁荣发展,同时也出现了产能过剩现象。
多晶硅同时也是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料。
所以多晶硅不论是在光伏行业还是半导体行业,仍将承担重要基础原材料的角色[1]。
多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法[2]。
改良西门子法是国内生产太阳能级多晶硅的主要生产工艺,其利用工业硅粉与HCl反应生成SiHCl3 ,SiHCl3经过精馏提纯后,在H2气氛下,在还原炉中的红热载体表面不断沉积得到多晶硅,而反应后生成的尾气,比如H2、SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2 和HCl等,经过干法回收与分离,可以将H2、SiHCl3经纯化后再循环利用,而其它副产物如SiCl4、SiH2Cl2再通过氢化或反歧化等工艺转化为SiHCl3实现再利用,回收分离的HCl则可用于制酸等,从而整个工艺过程能够实现闭环式及环境友好生产。
多晶硅产品质量改善方向分析

多晶硅产品质量改善方向分析随着科技的不断发展,多晶硅产品在光伏、半导体等领域中得到了广泛应用,成为了新能源和新材料产业的重要基础材料。
随着市场的竞争日益激烈,多晶硅产品的质量问题也日益凸显,给企业带来了严峻的挑战。
为了提高多晶硅产品的质量,企业需要找到改善的方向,并采取切实有效的措施。
本文将分析多晶硅产品质量改善的方向,并提出相应的改进意见。
多晶硅产品的质量改善方向在于优化原材料的选择和生产工艺。
作为多晶硅产品的基础原料,硅材料的质量直接影响产品的性能和品质。
企业可以通过对原材料的筛选和采购工作加强管理,选择质量可靠的原材料供应商,确保原材料的稳定性和可靠性。
企业还可以对生产工艺进行改进和优化,提高生产线的自动化程度,降低生产过程中的人为误差和随机事件,从而提高产品的稳定性和一致性。
多晶硅产品的质量改善方向在于加强产品质量监控和检测手段。
企业可以通过建立完善的质量管理体系,加强对产品生产全过程的监控和控制,及时发现并处理生产过程中的质量问题,确保产品的质量稳定和一致。
企业还可以加大对产品质量检测手段的投入,引进先进的检测设备和技术,提高产品的质量可追溯性和检测精度,确保产品的合格率和合格品率。
多晶硅产品的质量改善方向在于加强人员培训和技术创新。
企业可以加强对生产人员的技能培训,提高员工的质量意识和技术水平,确保产品生产过程中的操作规范和合理。
企业还可以加大对技术创新的投入,提高产品的技术含量和附加值,提高产品的竞争力和市场占有率。
多晶硅产品的质量改善方向在于加强与客户的沟通和合作。
企业可以主动了解客户的需求和意见,根据客户的反馈和建议,调整产品的设计和生产方案,提高产品的质量和性能,满足客户的需求和期望。
企业还可以与客户建立长期稳定的合作关系,共同推动产品质量的改进和提升,实现互利共赢的局面。
多晶硅产品的质量改善方向涉及原材料选择、生产工艺优化、质量监控检测、人员培训技术创新和与客户沟通合作等多个方面。
产品多晶硅的氧化夹层原因和预防措施

产品多晶硅的氧化夹层原因和预防措施摘要:在多晶硅还原生产中,由于杂质(主要为水或者空气)的引入,导致正在生长的硅芯或者小硅棒表面发生了氧化反应,形成氧化夹层。
本文针对实际生产过程操作中氧化夹层产生的原因,提出了从管理和操作上减少直至消除氧化夹层的办法。
关键词:多晶硅;氧化夹层;操作;硅芯1 引言氧化夹层一般情况下,大多数是在刚进料时出现,当原料氢气中混有水汽或氧时,就会发生水解及氧化,形成一层 SiO2氧化层附在硅棒上,常表现为硅芯可以从硅棒上脱离,硅芯与硅棒的接触面呈灰色、棕色且无光泽或呈彩色有金属光泽[1],在硅棒的横截面上生长了数量不等的分层结构,严重时用肉眼就可以直接从硅棒的横截面上看到一圈圈的像树木生长“年轮”一样的明显图象(轻者则须经腐蚀后方能显示出来)。
正常生长的硅棒断面应是从硅棒中心呈放射状的横截面,原来的硅芯已与沉积生长的多晶硅融为一体,无明显可分的轮廓线,内部致密。
氧化夹层是衡量多晶硅质量的一个重要指标。
从实际多晶硅质量来看,电阻率基本稳定,而由于氧化夹层所引起的质量问题占的比例较大,给生产员工带来困扰,给企业带来了一定损失。
所以对多晶硅生长期间形成氧化夹层的原因进行深层次、全方位地分析总结,提出从根本上减少直至消除氧化夹层的解决措施显得尤为重要。
2 现象在多晶硅还原生产中,由于杂质(主要为水气或者空气)的引入,使得正在生长的硅芯或者硅棒表面发生了水解或氧化反应,这种被氧化表面上又继续生长沉积硅时,就产生了“氧化夹层”。
硅芯与还原沉积而成的硅料间“分离”,之间存在黄褐色或者灰白色氧化层,硅芯与产品多晶硅分离,脱落下来的这种氧化层多晶硅不“致密”。
下游单晶生产厂家在清洗硅料时混合酸液渗入氧化层缝隙很缓慢,腐蚀速率小,达不到洁净管理要求,用高纯水冲洗时同样不能有效去除杂质和残留的废酸,产生的氧化物(SiO2),拉制单晶过程中易引起“硅跳”,轻则放火花,重则毁坏加热器使其无法拉晶,导致下游厂商非常害怕碰到含氧化夹层的硅料,会给他们带来很大的损失。
多晶硅产品质量改善方向分析

多晶硅产品质量改善方向分析多晶硅是一种重要的光伏材料,广泛用于太阳能电池板的制造。
随着太阳能产业的快速发展,多晶硅的需求量不断增加。
多晶硅产品的质量问题也一直是制约行业发展的重要因素之一。
为了改善多晶硅产品的质量,以下是一些建议。
加强原材料的筛选和管理。
多晶硅制备过程中,硅原料的质量对最终产品的质量影响很大。
在选材阶段应严格把控原材料的质量,确保其纯度和物化性能符合要求。
加强供应链管理,确保原材料的来源可追溯,避免使用来源不明或质量不可靠的原材料。
优化生产工艺。
生产工艺是影响多晶硅产品质量的关键因素。
通过优化工艺参数、增加工艺控制手段等方式,可以改善产品的结晶度、杂质含量等指标,提高产品的一致性和稳定性。
引进先进的生产设备和技术,提升生产效率的同时也能提高产品的质量。
加强质量检测和监控。
建立完善的质量检测体系,对多晶硅产品进行全面、精确的检测。
包括对原材料、中间产品和最终产品的检测,以确保产品符合规定的质量标准。
加强质量监控,及时发现和解决问题,防止不合格产品流入市场。
第四,加强人员培训和技术交流。
培养一支高素质的技术队伍,提高员工的专业水平和技能。
定期组织技术交流和培训活动,分享行业内的最新技术和经验,推动行业共同提高产品质量。
加强与科研机构和高校的合作,引入新技术,推动技术创新。
第五,加强质量管理和质量认证。
建立完善的质量管理体系,确保质量管理的全过程和各环节的可控性。
通过质量认证,提升产品的市场竞争力和可信度。
加强与客户的沟通和反馈,及时解答客户的质量问题和需求,改进产品设计和生产工艺。
加强行业监管和标准制定。
政府和行业协会应加强对多晶硅行业的监管,制定相关的标准和规范,明确产品的质量要求和检测方法。
加强对企业的监督检查,严厉打击假冒伪劣产品的生产和销售行为。
改善多晶硅产品的质量是一个全方位、系统化的工作。
需要共同努力,加强各个环节的管理和控制,推动行业质量水平的提高。
只有通过不断改善产品质量,才能推动多晶硅行业的可持续发展。
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多晶硅还原生产常见问题及控制对策分
析
摘要:在多晶硅生产中,还原工序是非常关键的一个环节,其工艺控制水平
和产品质量都会对最终的多晶硅产品产生很大影响。
在生产过程中,由于还原炉
的高温、高负荷、高压、高密度、长时间的运行,导致还原炉温度、压力、流量
等参数剧烈波动,很容易引起还原炉出现热冲击、热断裂等问题,从而使还原炉
经常发生故障。
这些故障如果处理不好,会直接影响到多晶硅产品的质量和产量,甚至会引起安全事故。
本文通过分析多晶硅还原生产常见问题和解决对策,发表
几点看法,以供相关单位参考。
关键词:多晶硅还原生产常;问题;控制对策
近年来,随着国家的快速发展,与之对应的是,我国的光伏产业和半导体行
业也得到了快速的发展,同时也带来了对多晶硅原料的巨大需求。
多晶硅是一种
主要的半导体材料,其产量及品质将会对整个晶体硅行业的发展产生深远的影响。
当前,西门子工艺技术是多晶硅产品生产制取的主要方式,尽管该流程技术相对
比较成熟,更适合于工化业应用,但是其在制备中仍然面临一系列的问题,如:
沉积硅与硅芯表面粘合性差,还原炉倒棒现象严重等,这些严重制约了该流程的
发展与改进[1]。
本论文以目前多晶硅生产工艺中存在的问题为切入点,对其工艺
控制措施展开了详细的分析和论述,主要包括以下几个方面。
1.多晶硅还原生产工艺概述
多晶硅生产中改良西门子法是其中一项西门子工艺,它在1100摄氏度的高
纯度的硅芯中,采用高纯度的氢气来还原高纯三氯化氢,然后在硅芯上形成一层
完整的多晶硅。
该改进的西门子工艺,是在传统西门子流程基础上的革新,具有
节能、可回收等特点,在生产过程中会产生氢气、氯化氢、氯化钠等副产物,并
产生大量的热能。
采用此改进的西门子工艺,在多晶硅的生长过程中,大部分都
是在还原炉内部操作过程中进行的。
还原炉包含了底盘、炉筒等部分,在这些部
分中,底盘上有分布电极分布,常用的几对棒还原炉正是以电极对数命名的,比如,常用的有24对棒还原炉和36对棒还原炉。
在多晶硅重量承载这一方面,还原炉底盘是必不可少的,它也要承担供电和
物料进出、物料分布等,通过底盘的绝缘材料、冷却介质流通管线等,就可以完
成上述一系列的操作。
还原炉炉筒也是多晶硅成长必不可少的空间,还原炉炉筒
高度和空间都会影响到多晶硅实际产能、电耗指标等,通过炉筒视镜、冷却介质
进回路,就可以实现对温度与多晶硅成长的实时监控,并实现设备的冷却。
2.多晶硅还原生产常见问题
2.1无定形硅问题
一些生产企业为了达到更高的产量和更低的能源消耗,对产生的无定形硅没
有给予足够的关注,这就造成了在多晶硅生产中,有很多的无定形硅,从而对产
品的正常输出造成了很大的影响。
通常,产生非晶硅的主要因素有两个:第一,
三氯氢硅在合成过程中,在一定条件下,不符合规范,形成非晶硅。
在这种情况下,在还原炉内的产量与规范相差很大,沉淀速率加快;二、原料中二氯硅烷含
量过高,由此产生了许多非晶硅。
特别是在多晶硅的晚期,如果温度过高,那么
炉子的能见度就会大大降低。
2.2生产中出现倒棒现象
在多晶硅的还原生产过程中,倒棒是很正常的问题。
在还原过程中,最容易
出现的一种情况就是倒棒现象,一旦出现这种情况,工人们就必须立刻更换硅芯,这就意味着要重新组装和安装还原炉,难度之大可想而知。
造成倒杆故障的主要
因素,通常是由于未将硅芯置于竖直位置,再加上硅芯均匀性差,横梁搭接不理想,电流过大等因素引起的。
2.3高温条件下还原炉水管发生震动
在高温套件下,还原炉管子的振动一方面会让工作人员的操作变得更加困难,如果震动太强,可能会导致管道的保温材料掉落,又或是会造成管道结构和配件
的损坏,弯头和焊缝之间的泄漏,如果出现了这些问题,那么就有很大的几率会
引起爆炸,从而对工作人员的生命安全造成了严重的威胁。
还原炉内的高温热水
系统的压力和温度对还原炉的运转稳定性有很大的影响,如果发生了爆管、高温
热水泄漏等问题,即使及时地进行了相应的处理,也不能及时地将事故控制下来,进而导致重大的损失[2]。
2.4沉积硅与硅芯表面粘合度较差
在多晶硅还原工艺中,经常会遇到在炉后结束后,由于硅棒和硅芯之间没有
形成良好的粘合,使它们彼此分离的情况。
该问题的根本原因在于,在硅芯酸
洗过程中,硅芯酸洗力度不够强,致硅芯表面反应生成氧化层发生氧化,造沉积
硅与硅芯间粘合下降。
3.多晶硅还原生产常见问题控制对策
3.1加强对无定形硅的生产控制
就无定形硅而言,操作者可以从控制系统和进料两个方面来进行控制,其方
法是:第一,操作者可以利用自动控制系统精确地控制生产温度,通过系统的科
学的温度调整,将有关的生产控制规定严格地执行,从而防止产生无定形硅;二,操作者要根据原料的实际情况,硅芯的电流透过率,硅芯的温度,强化原料的控制,全面降低非晶硅的形成。
3.2控制倒棒现象
针对多晶硅的倒棒问题,提出了不断地对熔炼过程进行优化,以提高熔炼过
程中温度场的均匀度,以及熔炼过程中气体流动的稳定。
硅芯的安装也很关键,
电极头和石墨夹片一定要牢固,并且硅芯和夹片的接触面也要做好。
此外,工作
人员还要时刻关注着还原炉中的硅棒的生产状况,监控炉温和电流,如果出现了
硅棒出现开裂的倾向,就要及时进行处理,对其进行修补。
关掉炉子时要调节电
流的速率,特别是关掉电源以后,要小心炉子里的温度,不要太快的关掉,否则
会造成硅棒的脆裂。
3.3控制高温条件下还原炉水管震动
在还原炉通水开始阶段,应尽快将炉膛中的气体排除干净。
在温度较低的地方最好是装上放水阀,在温度较高的地方最好是装上排气阀,把管道里的空气放出去。
供水后,要精确地控制供水压力和供水流量,保证热水和冷水均匀地搅拌在一起,同时还要监控输送液体的温度和流量[3]。
3.4控制沉积硅与硅芯粘度不足问题
从上述问题的分析可以看出,沉积硅与硅心之间的粘性不够,这是因为对硅芯的进行了不充分的酸洗,使得其表面发生了氧化反应,从而产生了氧化膜。
为此,有关的过程中,必须对硅芯酸洗给予足够的关注,并严格执行多晶硅酸洗的规范,从根本上防止氧化物膜的生成,并增加沉淀硅和硅芯之间的等效粘性。
3.5加强“硅油”的生产控制
“硅油”一般都集中在还原炉内部温度相对较低区域,为此,为了防止“硅油”的大规模形成及异常堆积,工艺控制人员应该着重于强化对多晶硅的温控,主要有以下几个方面:第一,强化对多晶硅的温控,严格执行温控规范,使整个炉子的温控保持在规定的范围之内;二,在正式关炉之前,以降温为主,以降温为主,提升炉膛内的温度,加快“硅油”的散失,防止“硅油”的异常堆积[4]。
结语
多晶硅是光伏产业发展中十分重要的原材料,其实,多晶硅在生产过程中,有很多问题与因素,并且,这些问题的出现都会影响到多晶硅的品质与应用的性能。
因此,要想实现多晶硅还原生产,就一定要对这个过程中出现的问题进行全面地分析,并制定出针对性强的控制措施,重点要控制好裂纹、爆米花问题、还原炉水管震动、硅油等因素的生成,还要对这些因素进行合理地设定,确保多晶硅还原生产的结果能够达到期望的结果,在实际生产过程中,要持续地总结和完善自己的经验,从而使多晶硅还原生产工艺得到改善。
参考文献
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