山东大学《集成电路设计基础》课件1

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第1单元集成电路基础ppt课件

第1单元集成电路基础ppt课件

产品
钢筋 小轿车 彩电 计算机 集成电路
单位质量对国民生产值(GNP: Gross National Product)的贡献
1 5 30 1000 2000
1. 集成电路概述
1965年,Intel联 合创始人戈登·摩尔提 出了他著名的理论: 半导体芯片上可集成 的元器件的数目每12 个月便会增加一倍。
品测试,由封装测试公司(Assemble & Test)完成。
IC芯片
引线框架冲制 局部镀金 粘接芯片 导线丝焊接
模塑料
制柸
高频预热
模具塑封
成品
打弯成型 去溢料
引线切筋
镀锡
2. 集成电路产业链
常见封装形式
2. 集成电路产业链
➢ 集成电路测试业
集成电路产业链中测试与产品的设计、芯片制造和封装 的关系如下所示
2. 集成电路产业链
➢ 集成电路芯片制造业 现代集成电路芯片制造业(Foundry)以订单加工为主业
,只负责利用企业现有成熟工艺进行芯片制造。
晶圆尺寸(mm)
Φ38→Φ50→Φ75→Φ100→Φ125→Φ150→Φ200→Φ300→Φ450→…
加工特征尺寸
μm:8.0→6.0→5.0→4.0→3.0→2.0→1.5→1.0→0.8→0.6→0.35→0.25 →0.18→0.13→
1956年,威廉·肖克莱(William Shockley)、约翰·巴丁 (John Bardean)、沃特·布拉顿(Walter Brattain)共同获得 诺贝尔物理学奖。
1. 集成电路概述
1952年5月,英国皇家研究所的达默(G. W. A. Dummer )第一次提出“集成电路”的设想。
1958年9月,美国德州仪器(TI)公司的杰克·基尔比( Jack Kilby)发明集成电路,1959年2月申请专利并于1964年 获得授权,2000年12月获得诺贝尔物理学奖。

【精品课件】集成电路设计基础

【精品课件】集成电路设计基础

IE E
注意:
αFIF αRIR
C A
n B
p
n A’
E NPN管
虽然NPN晶体管常被设想为在两个N沟层之间夹着一个 P型区的对称型三层结构。但与MOS器件不同的是:集电 区与发射区这两个电极不能互换。
改进的EM模型
Cbc
B RB Cbe
C
RC
Cjs
I bc BR I be
BF
Ibe- Ibc
RE
L0-版图上几何沟道长度,L0-2 LD=L为有效沟道长度 ;
γ φ φ VTH-阈值电压:V T H V T 0 2 F V S B 2 F
MOS1模型器件工作特性
(2)饱和区 当VGS>VTH,VDS>VGS-VTH,MOS管工作在饱和区。 电流方程为:
λ ID SK 2 PL 0 W 2L DV G SV T H 21V DS
(3)两个衬底PN结 两个衬底结中的电流可用类似二极管的公式来模拟。
MOS1模型衬底PN结电流公式
G
+
+
CGB
rS
CGS VGS -
S +
CBS
-
VGD
I DS
-
-
-
VBS
V BD
+
+
CGD rD
D
CBD
当VBS<0时
IBS
qISS kT
VBS
当VBS>0时
IBSISSexpqkVB TS1
B
当VBD<0时 当VBD>0时
MOS器件二阶效应
(5)沟道长度调制效应 当VDS增大时,MOS管的漏端沟道被夹断并进入饱和,

集成电路的设计基础71页PPT

集成电路的设计基础71页PPT
集成电路的设计基础

46、寓形宇内复几时,曷不委心任去 留。

47、采菊东篱下,悠然见南山。

48、啸傲东轩下,聊复得此生。

49、勤学如春起之苗,不见其增,日 有所长 。

50、环堵萧然,不蔽风日;短褐穿结 ,箪瓢 屡空, 晏如也 。

26、要使整个人生都过得舒适、愉快,这是不可能的,因为人类必须具备一种能应付逆境的态度。——卢梭

27、只有把抱怨环境的心情,化为上进的力量,才是成功的保证。——罗如乐之者。——孔子

29、勇猛、大胆和坚定的决心能够抵得上武器的精良。——达·芬奇

30、意志是一个强壮的盲人,倚靠在明眼的跛子肩上。——叔本华
谢谢!
71

集成电路设计基础.

集成电路设计基础.

2018/8/14
《集成电路设计基础》
25
外延生长
分子束外延生长(MBE:Molecular Beam Epitaxy) 这种方法有生长半导体器件级质量的膜的能 力,生长厚度有原子级精度。MBE系统的基本 要求是超高真空,基本工艺流程包含产生轰击 衬底上生长区的III、V族元素的分子束等。 MBE几乎可以在GaAs基片上生长无限多的外 延层,经过MBE法,衬底在垂直方向上的结构 变化具有特殊的物理性质。
2018/8/14
《集成电路设计基础》
30
掩模的制版工艺
(3) 接触曝光制作的掩模图案失真较大,原 因有: a、图画在纸上,因为热胀冷缩、受潮起 皱、铺不平等引起失真; b、初缩时,照相机有失真; c、步进重复照相时,同样有失真; d、从掩模到晶圆上成像,还有失真。
2018/8/14
《集成电路设计基础》
2018/8/14
《集成电路设计基础》
4
无生产线集成电路设计技术
随着集成电路发展的过程,其发展的总 趋势是革新工艺、提高集成度和速度。 设计工作由有生产线集成电路设计到无 生产线集成电路设计的发展过程。 无生产线(Fabless)集成电路设计公司。 如美国有200多家、台湾有100多家这样 的设计公司。
2018/8/14 《集成电路设计基础》 27
掩模的制版工艺
(1)早期掩模制作方法:
先把版图分层画在纸上,每一层掩模一种图案。 版图画得很大,可以达到50×50㎝2或100×100㎝2, 将其贴在墙上,用照相机拍照。然后缩小10~20倍, 变成 5×5 ~ 2.5×2.5㎝2 或 10×10 ~ 5×5㎝2 的精细底 片。这一过程称为初缩。 接下去, 将初缩版装入步进重复照相机,进一步缩 小到2×2㎝2或3.5~3.5㎝2,一步一幅印到铬(Cr)板上, 如下图所示,形成一个阵列。

集成电路设计基础

集成电路设计基础
《集成电路设计基础》 集成电路设计基础》
山东大学 信息学院 刘志军
上次课
第9章 晶体管与模拟集成电路基本单元设计 章 § 9.1 § 9.2 § 9.3 § 9.4 晶体管的版图设计 电流源电路设计 基准电压源设计 差分放大器电路设计
2010-9-2
《集成电路设计基础》
2
第10章 数字集成电路基本单元与版图 章
《集成电路设计基础》
27ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
CMOS反相器 反相器
(2) CMOS物理结构的剖视图如图所示。其中n沟道 晶体管是在p阱区中制作的;而P沟道晶体管是在n 型衬底上制作的。两个晶体管的栅极联在一起形成 输入端。
2010-9-2
《集成电路设计基础》
28
CMOS反相器 反相器
开关特性
我们希望反相器的上升时间和下降时间近似相等, 我们希望反相器的上升时间和下降时间近似相等, 则 需要使PMOS管的沟道宽度必须加宽到NMOS管沟道宽 需要使PMOS管的沟道宽度必须加宽到NMOS管沟道宽 度的 n / p倍左右。 倍左右。
2010-9-2 《集成电路设计基础》 9
TTL基本电路及版图实现 基本电路及版图实现
或非门电路
L = A+ B
2010-9-2
《集成电路设计基础》
10
TTL基本电路及版图实现 基本电路及版图实现
上图中(a) 表示TTL或非门的逻辑电路, 上图中(a) 表示TTL或非门的逻辑电路,图(b) 是它的符号。 由图可见, 或非逻辑功能是对 TTL 是它的符号 。 由图可见 , 或非逻辑功能是对TTL 与非门的结构改进而来的,即用两个晶体管T 与非门的结构改进而来的,即用两个晶体管T2A和 T2B 代替T2。 若两输入端为低电平, 则T2A和T2B 均 代替T 若两输入端为低电平, 将截止, 将截止,IB3=0,输出为高电平。若A、B两输入端 输出为高电平。 中有一个为高电平, 中有一个为高电平 , 则 T2A 或 T2B 将饱和 , 导致 IB3 将饱和, 导致I > 0 , IB3便使T3 饱和, 输出为低电平。 这就实现 便使T 饱和, 输出为低电平 。 了或非功能。 了或非功能。

集成电路的设计基础共70页PPT资料

集成电路的设计基础共70页PPT资料

《集成电路设计基础》
24
反相器实例
参照上述的硅栅工艺设计规则,下图以 反相器(不针对具体的器件尺寸)为例给出 了对应版图设计中应该考虑的部分设计规则 示意图。
对于版图设计初学者来说,第一次设计 就能全面考虑各种设计规则是不可能的。
为此,需要借助版图设计工具的在线DRC 检查功能来及时发现存在的问题,具体步骤 参见本书第十四章。
20
版图几何设计规则
Metal设计规则示意图
08.05.2020
《集成电路设计基础》
21
版图几何设计规则
Pad相关的设计规则列表
编号 6.1
描述 最小焊盘大小
尺寸 90
目的与作用 封装、邦定需要
6.2
最小焊盘边间距
80
防止信号之间串绕
6.3
最小金属覆盖焊盘
6.0
保证良好接触
6.4
焊盘外到有源区最小距
08.05.2020
《集成电路设计基础》
18
版图几何设计规则
contact设计规则示意图
08.05.2020
《集成电路设计基础》
19
版图几何设计规则
Metal相关的设计规则列表
编号 1
描述
尺寸
金属宽度
2.5
目的与作用 保证铝线的良好电导
2
金属间距
2.0
防止铝条联条
08.05.2020
《集成电路设计基础》
1 引言
版图(Layout)
版图是集成电路从设计走向制
造的桥梁,它包含了集成电路尺 寸、各层拓扑定义等器件相关的 物理信息数据。
集成电路制造厂家根据这些数据 来制造掩膜。
08.05.2020

集成电路设计基础—封装与测试

集成电路设计基础—封装与测试
(1)划片槽与焊盘 在一个晶圆上分布着许多块集成电路,在封装时要将各块 集成电路切开。这个切口就叫划片槽。
划片槽示意图
2021/4/5
《集成电路设计基础》
14
集成电路设计中的封装考虑
(2)高速芯片封装 在高频和高速系统设计时,不同封装形式的引脚的寄生参 数必须加以考虑 。
几种封装形式下引脚的寄生电容和电感的典型值
功能测试 只对在集成电路设计之初所要求的运算功能或逻辑功 能是否正确进行测试。
2021/4/5
《集成电路设计基础》
31
数字集成电路测试技术
数字集成电路测试技术中要解决的问题主要有:故障模型的 提取,测试矢量的生成技术,电路的可测试结构设计方法等。
(1)固定故障模型
故障模型就是将物理缺陷的影响模型化为逻辑函数的逻辑 及时延等方面的特征。目前用得最多的故障模型是单固定 型故障,即是任何时候电路中只有一条信号线固定为0 (或1)值,无论电路输入取什么值时该线取值不变。
7
集成电路封装的内容
(3) 保证自硅晶圆的减薄、划片和分片开始,直到芯片粘 接、引线键合和封盖等一系列封装所需工艺的正确实施, 达到一定的 规模化和自动化;
(4) 在原有的材料基础上,提供低介电系数、高导热、高机 械强度等性能优越的新型有机、无机和金属材料;
(5) 提供准确的检验测试数据,为提高集成电路封装的性能 和可靠性提供有力的保证。
4
§ 12.1集成电路封装技术基础
• 集成电路封装对集成电路有着极其重要 的作用,主要有以下四个方面:
2021/4/5
《集成电路设计基础》
5
集成电路封装的作用
(1)对集成电路起机械支撑和机械保护作用。 (2)对集成电路起着传输信号和分配电源的作用。 (3)对集成电路起着热耗散的作用。 (4)对集成电路起着环境保护的作用。

《集成电路设计》PPT课件

《集成电路设计》PPT课件

薄层电阻
1、合金薄膜电阻
采用一些合金材料沉积在二氧化 硅或其它介电材料表面,通过光 刻形成电阻条。常用的合金材料 有: 钽 Ta 镍铬Ni-Cr 氧化锌 ZnO 铬硅氧 CrSiO
2、多晶硅薄膜电阻
掺杂多晶硅薄膜也是一个很好的电阻 材料,广泛应用于硅基集成电路的制 造。
3、掺杂半导体电阻
不同掺杂浓度的半导体具有不同 的电阻率,利用掺杂半导体的电 阻特性,可以制造电路所需的电 阻器。
sio2
半导体
串联 C=
Ci Cs Ci +Cs
Tox
N+
P
sio2
金 属
PN金+sio属2
纵向结构
横向结构
MOS 电容电容量
ε ε Cox=
A 0 sio2
Tox
Tox: 薄氧化层厚度;A: 薄氧化层上 金属电极的面积。
一般在集成电路中Tox 不能做的太薄,所以要想提高电容量,只能增加面积。 N+层为 了减小串联电阻及防止表面出现耗尽层。
Csub s
(b)
(c)
§ 4.3 集成电路的互连技术和电感
互连线
单片芯片上器件之间互连:金属化工艺,金属铝 薄膜 电路芯片与外引线之间的连接(电路芯片与系统的 互联):引线键合工艺
为保证模型的精确性和信号的完整性,需要对互连线的版图结构加以约 束和进行规整。
各种互连线设计应注意的问题
为减少信号或电源引起的损耗及减少芯片 面积,连线应尽量短。
第四章
集成电路设计
第四章
集成电路是由元、器件组成。元、器件分为两大类:
无源元件 电阻、电容、电感、互连线、传输线等
有源器件 各类晶体管
集成电路中的无源源件占的面积一般都比有源器件大。 所以设计时尽可能少用无源元件,尤其是电容、电感和大阻值的电阻。
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2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
3
第1章 集成电路设计导论
1.1 集成电路的发展 1.2 集成电路的分类 1.3 集成电路设计步骤 1.4 集成电路设计方法 1.5 电子设计自动化技术概论 1.6 九天系统综述
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
4
集成电路
Integrated Circuit ,缩写IC IC是通过一系列特定的加工工艺,将 晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容、 电感等无源器件,按照一定的电路互连, “集成”在一块半导体晶片(如硅或砷化 镓)上,封装在一个外壳内,执行特定电 路或系统功能的一种器件。
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
12
❖集成电路单片集成度和最小特征尺寸的发展曲线
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
13
❖IC在各个发展阶段的主要特征数据
发展 阶段
主要特征 元件数/芯片
特征线宽(um)
速度功耗乘积 (uj)
栅氧化层厚度 (nm)
结深(um)
芯片面积 (mm2) 被加工硅片直 径(mm)
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
29
➢ 全定制集成电路
➢ 优点:
• 所设计电路的集成度最高 • 产品批量生产时单片IC价格最低 • 可以用于模拟集成电路的设计与生产
▪ 缺点:
• 设计复杂度高/设计周期长 • 费用高
▪ 应用范围
• 集成度极高且具有规则结构的IC(如各种类型的存储器芯片) • 对性能价格比要求高且产量大的芯片(如CPU、通信IC等) • 模拟IC/数模混合IC
时序仿真 满足
版图自动 布局、布线
不满足 后仿真
满足
流片、封装、测试
功能要求
系统建模 (Matlab等)
不满足 电路仿真
满足 手工设计
版图 不满足
后仿真 满足
流片、封装、测试
VLSI数字IC的设计流图
模拟IC的设计流图
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
27
1.4 集成电路设计方法
➢ 全定制方法(Full-Custom Design Approach) ➢ 半定制方法(Semi-Custom Design Approach) ➢ 定制法 ➢ 可编程逻辑器件(PLD:Programmable Logic
100-125
150
〈集成电路设计基础〉
ULSI (1990)
107-108 <1
<10-2 15-10 0.2-.01 50-100 >150
14
❖Intel 公司CPU芯片集成度的发展
Intel’s CPU
Year of introduction
Transistors
4004
1971
2,250
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
30
二、半定制方法
半定制集成电路(Semi-Custom Design Approach) ——即设计者在厂家提供的半成品基础 上继续完成最终的设计,只需要生成诸 如金属布线层等几个特定层次的掩膜。 根据需求采用不同的半成品类型。
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
31
半定制方法
半定制的设计方法
分为门阵列(GA:Gate Array)法和门海 (GS:Sea of Gates)法两种:
门阵列(GA:Gate Array)
有通道门阵列:就是在一个芯片上将预先制造完毕的 形状和尺寸完全相同的逻辑门单元以一定阵列的形式 排列在一起,每个单元内部含有若干器件,阵列间有 规则布线通道,用以完成门与门之间的连接。未进行 连线的半成品硅圆片称为“母片”
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
32
• “母片”的示意图:
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
33
门海
▪ 门海(SOC:Sea-of-Gate)
▪ 无通道门阵列:也是采用母片结构,它可以将没有 利用的逻辑门作为布线区,而没有指定固定的布线
通道,以此提高布线的布通率并提供更大规模的集
成度。 ▪ 门海设计技术是把由一对不共栅的P管和N管组成的
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
10
集成电路发展的特点:
➢ 特征尺寸越来越小(0.10um) ➢ 硅圆片尺寸越来越大(8inch~12inch) ➢ 芯片集成度越来越大(>2000K) ➢ 时钟速度越来越高( >500MHz) ➢ 电源电压/单位功耗越来越低(1.0V) ➢ 布线层数/I/0引脚越来越多(9层/>1200)
进行数字计算和逻辑函数运算的一类集成电路。 ➢ 模拟集成电路(Analog IC):
是指处理模拟信号(连续变化的信号)的集成电路, 通常又可分为线性集成电路和非线性集成电路 :
线性集成电路:又叫放大集成电路,如运算放大器、 电压比较器、跟随器等。 非线性集成电路:如振荡器、定时器等电路。 ➢ 数模混合集成电路(Digital - Analog IC) : 例如 数模(D/A)转换器和模数(A/D)转换器等。
基本单元铺满整个芯片(除I/O区外),基本单元 之间无氧化隔离区,布线通道不确定,宏单元连线 在无用器件区上进行。
现已进入到:
VLSI ULSI GSI
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
9
集成电路的发展
年份 1989年 1993年
特征尺寸 1.0µm 0.6µm
水平标志 微米(M) 亚微米 (SM)
1997年
2001年
0.35µm
0.18µm
深亚微米 超深亚微米 (DSM) (VDSM)
表1 CMOS工艺特征尺寸发展进程
MOS IC 双极IC
SSI
<102
<100
<30
MSI
102103 100500 30100
LSI
103105 5002000 100300
VLSI 105107 >2000
>300
ULSI管数目划分的集成电路规模
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
22
按使用的基片材料分类
Device)设计方法
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
28
一、全定制方法
全定制集成电路(Full-Custom Design Approach)
适用于要求得到最高速度、最低功耗和最省面积的芯片设 计。 即在晶体管的层次上进行每个单元的性能、面积的优化设 计,每个晶体管的布局/布线均由人工设计,并需要人工 生成所有层次的掩膜(一般为13层掩膜版图)。对每个器 件进行优化,芯片性能获得最佳,芯片尺寸最小。
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
24
按应用领域分类
❖ 标准通用集成电路 通用集成电路是指不同厂家都在同时生产的用量极大
的标准系列产品。这类产品往往集成度不高,然而社会 需求量大,通用性强。 ❖ 专用集成电路
根据某种电子设备中特定的技术要求而专门设计的 集成电路简称ASIC,其特点是集成度较高功能较多,功 耗较小,封装形式多样。
➢ 1950年:成功制出结型晶体管
➢ 1952年:英国皇家雷达研究所第一次提出“集成电路” 的设想
➢ 1958年:美国德克萨斯仪器公司制造出世界上第一块 集成电路(双极型-1959年公布)
➢ 1960年:制造成功MOS集成电路
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
8
集成电路的发展
从此IC经历了:
SSI MSI LSI
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
19
1.2 集成电路的分类
器件结构类型 集成度 使用的基片材料 电路的功能 应用领域
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
20
按器件结构类型分类
双极集成电路:主要由双极型晶体管构成
NPN型双极集成电路 PNP型双极集成电路
金属-氧化物-半导体(MOS)集成电路:主要由MOS 晶体管(单极型晶体管)构成
NMOS PMOS CMOS(互补MOS)
双极-MOS(BiMOS)集成电路:是同时包括双极和 MOS晶体管的集成电路。综合了双极和MOS器件两 者的优点,但制作工艺复杂。
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
21
按集成度分类
集成度:每块集成电路芯片中包含的元器件数目
类别
数字集成电路
模拟集成电路
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
11
摩尔定律
一个有关集成电路发展趋势的著名预 言,该预言直至今日依然准确。
集成电路自发明四十年以来,集成电路芯 片的集成度每三年翻两番 ,而加工特征尺寸缩 小 2 倍。 即由Intel公司创始人之一Gordon E. Moore 博士1965年总结的规律,被称为摩尔定律。
2020/7/29
MSI (1966)
102-103 10-5 102-10
120-100 2-1.2 <10 50-75
LSI (1971)
VLSI (1980)
103-105 5-3 10-1
105-107 3-1
1-10-2
100-40
40-15
1.2-0.5 10-25
0.5-.02 25-50
• 单片集成电路
是指电路中所有的元器件都制作在同一块半 导体基片上的集成电路。在半导体集成电路中最 常用的半导体材料是硅,除此之外还有GaAs等。
• 混合集成电路
厚膜集成电路 薄膜集成电路
2020/7/29
〈集成电路设计基础〉
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