《JJF1495—2014矢量网络分析仪校准规范》分析和难点解决
《JJF1495—2014矢量网络分析仪校准规范》分析和难点解
决
陈胜;裴炎花;钟志忠
【期刊名称】《无线互联科技》
【年(卷),期】2017(000)012
【摘要】《JJF1495-2014矢量网络分析仪校准规范》是全国无线电计量技术委员会发布的解决网络分析仪计量校准的技术依据,文章分析了该规范的校准方法,发现一些难点问题,并提出了解决方法.
【总页数】2页(P69-70)
【作者】陈胜;裴炎花;钟志忠
【作者单位】广东省计量科学研究院,广东广州 510405;广东省计量科学研究院,广东广州 510405;广东省计量科学研究院,广东广州 510405
【正文语种】中文
【相关文献】
1.使用Agilent矢量网络分析仪解决射频和微波测量领域的难题 [J], David Ballo
2.测量平衡式器件——矢量网络分析仪提供解决方案 [J], 赵韵致
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4.矢量网络分析仪混频器假响应的解决方法 [J], 张超
5.安捷伦网络分析仪的新测量功能可改变确定混频器特性的方式——新型矢量网络分析仪将PNA系列的性能延伸到67GHz,扩展了Agilent ECal系统的频率范围[J],
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矢量网络分析仪的误差修正
负载匹配数值愈大 ， 误差愈小。负载匹配带来 的误差 既影 响传输测量 也影 响反射测量 ， 误差的大小取决于被测件 的输 出端 和接 收机端 口的
源 匹配是 由于测试装置和信号 源之间以及转接器 和电缆之间负 载不匹配而出现在接 收机输入端 口的信号矢量和。在反射测量 中， 源 匹配误差信号是 由被测件反射 的部分信 号经信号源反射 回被测件再 由被测件反射的信号 。在传输测量中 ， 源匹配误差信号是 由测试装置 反射到信号源再 由信号源反射 回来的信号 。 源匹配愈大 ， 差愈小 。 误 由 源匹配引起的误差取决于测试装置输入阻抗 和信号源之间 的匹配 。 测
科技信 ＹＩＦ Ｒ ＴＯ ＣＥ Ｃ Ｅ Ｈ ＯＬ Ｇ Ｎ Ｏ ＭＡ Ｉ Ｎ
２１ ０ ０年
第１ ３期
矢量网络分析仪的误差修正
张 文 涛
（ 中国电子 科技 集 团公 司 第 四十 一研 究所 山东
【 摘
青岛
２６ ５ ） ６ ５ ５
要】 矢量网络分析仪具有强大的测试功能， 由于硬件能做到的程度以及试 用方法的不 同， 但 会给 实际测量带来不确 定的误差 ， 本文主
要 从 误 差 来 源 、 准 方 式 、 准 件 类 型 讨 论 了如何 取 得 最 大测 试 准 确 度 的 问 题 。 校 校
【 关键词】 测量误差 ； 误差修正 ； 校准件
０ 前 言
矢量 网络分析仪具有 强大的测试功能 ， 但是矢量 网络分析仪 的硬 阻抗 匹 配 。 件不可能是完美无缺的 ， 因此在使用过程 中往往通过误差修正技术 以 ２１ ．． 隔离 ４ 补偿硬件的不完美 ， 高矢量 网络分析仪的测量精度 。 提 如 同方 向性在反射测量中带来 的误差 ， 网络分析仪信号传输通道 间的能量泄露也给传输测量 带来误差 。 隔离是 由于参考和测试通道信 １ 测 量 误 差 的 来 源 号之 间的干扰而出现在分析仪数字检波器处的信号的矢量和 ， 包括测 矢量网络分析仪 的测量误差基本可以分为系统误差 、 随机误差和 试装置 内的信号泄漏和接 收机 的 Ｒ Ｆ和 Ｉ 部分 的信号泄漏。 Ｆ 漂移误差三大类。 隔离带来的误差 取决 于被测件 的特性。 隔离会 给高损传输测量带 １１ 系 统误 差 ． 来误差 ， 但对大多数测量来说 ， 隔离影响是很小的 ， 因而无须修正。 系统误差 ， 即由于被测 件的不匹配和泄 漏、 测试通道和参考 通道 ２１ 频率响应 ．． ５ 的隔离 、 系统频率响应造成 的重复性误差 ， 些误差是可 以通过 校准 这 频率响应是所 有测试装置 的幅度 和相位随频率变化而 变化的矢 消除的 ， 校准后 的指标反 映了矢量网络分析仪 的测量精度 ， 主要 由校 量和。 这些变化包括信号分离器件 、 测试电缆、 转接器 以及参考通道和 准标准件的性 能和所采用的误差修正模式决定 。 测试通道之间的变化 。频率响应包括传输 响应和反射响应 ， 既影响传 １２ 随机误差 ． 输测量也影 响反射测量 。 随机误 差是不可重复 的误差 项 ， 如测试信号 源的相位噪声 、 量 测 如上所述 ， 矢量 网络分析仪的系统误差包括方 向性 、 源匹配 、 负载 过程中或校准过程 中连接端 口的测量重复性和 开关 重复性等都属 于 匹配 、 隔离 、 传输跟踪和反射 跟踪 ， 每种误差 又包 括正向和反 向两种 ， 随机误差 ， 在测试仪器中减小 随机误差 的最有效方法是对测试数据进 因此矢量 网络分析仪共包括 １ ２种系统误差 。系统误差 的修正就是针 行平 均 或 平 滑 处 理 。 对以上 １ ２项误差项进行去除误差 。 １３ 漂移误差 ． ２ 误 差 修 正 技 术 分 类 ． ２ 漂移误差包括频漂、 温漂和测试装置校准和测量 中的其他物理变 常用 的误差修正包括响应 校准 、响应与 隔离校准 、单端 口校准 、 化， 测量稳定性主要来 源于漂移误差 ， 由矢量网络分析仪的初始指标 、 Ｔ Ｌ校准和全二端 口校准 ， Ｒ 其校准精度 由低到高分别为 ： 校准标准件的性能和误差修正模式决定。 响应校准 ： 有效去除传输测量和反射测量 中测试装置的频率响应 误差 。响应校准是最简单的一项校准 ， 适用于对精度要求不是很高的 ２ 矢 量 网络 分 析仪 的误 差 修 正 测量 。 在实际测量 中， 系统误差是测量不确定 性的最重要来源 ， 系统误 响应和隔离校准 ： 在传输测量 中， 有效去除频响和隔离误差 ； 在反 差能够被量化出来 ， 因而能够被修正从而消除对测试 结果的影响。为 射测量 中， 能有效去除频率 响应和方向性误差。 用于高损耗 、 适 匹配 良 准确修正矢量 网络 分析仪的系统误差 ，把 系统误差具体归 为以下几 好的器件的测量。 类： 方向性、 源匹配 、 负载匹配 、 隔离和频率 响应 。 单端 口校准 ： 去除反射测量 中的方向性、 源匹配和频响误差。 测单 ２１ 系统 误 差 分 类 ． 端 口器件或接适 当终端 的双端 口器件的反射参数 时精度很高。 ２１ 方 向性 ．． １ Ｔ Ｌ校准 ： Ｒ 修正双端 口器件 四个 ｓ 数。因为分析仪的硬件无 法 参 在分析仪 中，定 向耦合 器的作用是从正 向传输 波 中分离 出反 向 完全修正源匹配和负载 匹配误差 ， 因而精 度较全二端 口校准低。 波， 它用来检测来 自被测件的反射信号 。 理想情况下 ， 定向耦合器能够 全二端 口校准 ： 对双 端 口器件的传输 和反 射测量 ， 能够修正正 反 完全地从入射信号 中分离反 射信号 ，只有反射信 号出现在耦合输 出 两向的方向性 、 匹配 、 源 负载匹配、 隔离和频 响误 差。给出最 高的幅值 端。 然而实 际的耦合器不可能是 理想 的， 由于泄漏 ， 少量的人射信号会 和 相位 精 度 。 出现在耦合输 出端。衡量定 向耦合器 的性能指标就是方 向性 ， 由方 向 通 常情况下校准精度越高 ， 校准后 系统越稳定 。 性引起 的误差与测试装置的特性无关 ，对于反射较小的器件测量 ， 方 ３ 矢 量 网络 分 析 仪 的 校 准 件 向性 是 主要 的 误 差来 源 。
矢量网络分析仪校准基本理论
Zhi Xu, Field Product Manager
误差模型
误差模型,即是用 于描述矢量网络分 析仪中测量得到的 A1,B1…与实际需 要测量的a1,b1… 之间的关系的数学 模型. 选择不同的误差模 型即是选择不同的 校准方式. 同一误差模型可能 可以用多个校准方 式解出.
8
A1
A2
矢量网络分析仪主要应用于精确快速 测量微波器件或微波电路的"S"参数
5
Zhi Xu, Field Product Manager
怎样作到准确测量?
矢量网络分析仪是 非常精密的测量仪 表,当它被适当地 校准之后! 矢量网络分析仪地测量精度很大程度上依赖 于校准(精度改善)的过程.
原始误差(校准前)2%~80% 剩余误差(校准后)0.1%~2% 接头是一个重要的误差来源,特别在较高的频率
由于至被测件的反射相位路径较 测量端口的反射相位路径为长, 因此当扫频测量时由被测件的反 射和端口的反射信号会矢量叠加 ,而产生SIN波样起伏的曲线
精密空气线加入至被测标准件和测量端口之间
Zhi Xu, Field Product Manager
17
检验件可以追溯至(美国)国家标准
18
Zhi Xu, Field Product Manager
16
开路器
必须屏蔽 终端电容必须建立模型
Zhi Xu, Field Product Manager
校准的确认
测量已知空气短线可以很好地确认矢量网络分析仪 校准后的方向性和匹配测量端口的反射,例如,方向 性误差和源匹配误差, 例如使用-15dB回波损耗的偏置 负载通过SIN波样的波峰和波谷的差值即可以估计出 矢量网络分析仪校准后的有效方向性误差 Ed=-20log(10Ep-p/20-1)+20log(10Ep-p/20+1)+15dB 对于有效失配误差可以用短路器用同一方程式得到 这种技术可以用于提高被测件的测量精度,也可以 测量测量仪表的不确定度常用于标量网络分析仪的校 准
网络分析仪校准及测试
仪器校准及产品测试规范一、校准1.1校准件的选用（1）根据不同的产品接头形式，如N型、SMA型、DIN(7/16)，我公司常用校准方式有2种，一种为SMA型校准，一种为N型校准，根据不同产品输入输出接头形式选用不同的校准件，我公司常见接头形式及配置具体如下：1.2校准方法和步骤1.2.1校准方法：（1）校准前先检查仪器通电、开机显示等是否正常（2）将仪器按电缆配置，以及附件配置进行连接，并使电缆自然弯曲放置，确保完好连接并连接正确无误（3）再根据不同产品，按《调试作业指导书》规定要求设置仪器，S参数、带宽、频点、功率、扫描点，驻波（回波）参考线设置等（4）确认各项设置符合要求后准备校准1.2.2校准步骤：1.2.2.1 N 型校准步骤第一步：PORT1端口的校准将仪器按键面板按→→→→将校准件“OPEN ”件与电缆Port 1端口完好连接，按，待该软键上出现“√”时，将“OPEN ”取下，再将“Short”件与电缆Port 1端口完好连接，按键，待该软键上出现“√”时，将“Short ”取下，再将“Load ”件与电缆Port 1端口完好连接，按键，待该软键上出现“√”时，将“Load”取下,PORT1端口校准完成，将各校准件PORT2端口如上操作。
第二步：PORT2端口的校准将各校准件按如上方法接到PORT2端口，往下操作，校准PORT2端口，略。
第三步：直通校准将仪器电缆PORT1和PORT2用“直通”对接，按键，待该软键上出现“√”时，按直通校准完成。
第四步：观察校准值根据仪器所设置相关频点，观察S11、S22通道，如果设置为驻波，显示值应接近1.00，回波值应大于55 dB 以上，S21通道损耗值应接近0.00dB,方可认为校准正确。
第五步:校准、设置保存与调用（1）保存：按硬件，再按软菜单→向下键→ Save as ”对话框，选择需要保存文件的路径，按对应产品型号将校准设置文件命名，按保存校准设置。
矢量网络分析仪校准项目探讨
些特 ｌ 生已知 的校准件 进行测量 ， 测量结果 存储 到矢量 并将 网络分析仪 的存储单 元 中， 利用数 据和校准 件的数 学模 型
来计算误差模型 ， 为后续 的测量 消除 系统误差 的影 响。这 个过程也就是我们通常所说的网络分析仪 自校准过程。
差模 型包括 正 向和反 向的上述 ６ 误差 ， １ 系统误 项 共 ２项
差 。系统误 差 是 由测试 设 备 和测 试 装 置 不 完 善 所 引 起
陷都 会产 生测量 误 差 。为 了 降低 这一 系列误 差 ， 矢 网 在
进行 测量 之前 ， 必须对仪器 内部及测试系统进行校准 ， 从而
提高测量精 度。但 是 ， 由于 矢量 网络 分析仪 是一种综 合性
能很强的仪器 ， 在对其计 量校准时过程和操作较繁琐 ， 并且
的， 具有重 复性且不 随 时间变化 而变化 ， 因此 可通过 自校 准并 通过算 法处理予 以消除 。后 两项误 差影 响是不 可预 见 的 ， 以无 法从 测量 误 差 中消 除 。它 们是 由诸 多 因素 所 造成 的 ， ： 如 仪器 系统噪声 、 连接 器 的重 复性 、 温度 变化及
大部分客 户用 Ｖ Ａ测 量 复杂 系统 中使用 元 器 件 的 Ｎ 传输 和反射性 能 。这些 性 能最直 观 明 了的表 征 方式 是 Ｓ
鼬 冬 冬 ： 量 网络 分橱 仪 校 准项 ８探 ｉ 矢 ｔ ．
参数 ， 因此 从实 际角度 出发 ， 并考 虑到传 输 和匹配 等系统
误差 ， 数测 量 准确 度在 Ｖ Ａ的校 准 中是 必 不可 少 的 Ｓ参 Ｎ
展 矢 量 网络 分 析 仪 的 计 量 工作 提 供 了参 考 。 关 键 词 ： 量 网络 分 析 仪 ； 统误 差 ； 确 度 ； 准项 目 矢 系 准 校
矢量网络分析仪使用注意事项
，
完 成 相 应 测 量 需要 使 用 矢 量 网络 分 析仪 。 网络 分 析
仪 是 很 复 杂 且 具 有 多 方 面 用 途 的 测试 设 备 ，既 能应 用 于
研发过程 ，还可以直接用 于生产测试 ．能够采用 网络 分 反射跟踪误差 Ｅ ． Ｔ 和传输跟踪误差 ；反 向测量模型里
ｘ ， 析仪进行分析的电路范围极其 广泛 ，例如滤 波器 、手机 包 含 ６个 误 差 项 ，分 别 是 方 向性 误 差 隔 离 误 差 Ｅ 昭 主板 、汽车天线、音 响功放 、卫 星通信模块 等。笔 者根 源 失 配 误 差 ，负 载 失 配 误 差 ，反 射 跟 踪 误 差 Ｅ 据 多 年 在 网络 分 析 仪 使 用方 面 积 累 的 工作 经 验 ，总 结 了 使 用 网络 分 析 仪 的 注 意 事 项 。
因而 可 以定 量 描 述 ，测 试前 可 以 利用 网 络分 析 仪校 准 件 进 行 自校 准 ，消 除 系 统 误 差 。
． ｓ １ １ Ａ ＝｛ ［ （ ５ １ １ Ｍ － Ｅ Ｄ ） ／ Ｅ 盯 ］ ［ １ ＋ Ｅ ｓ ２ ２ 『 ） 田 ‘ ］
一
［ － 『Ｅ ［ ： Ｍ － 嘲
－
１
１
Ｅ Ｌ ＇ Ｅ 【
） ， ］ ｝
Ｓ １ ２ Ａ
这几个公式便是线性状态下的误差 网络模型 。所谓
Ｅ ｘ
的网络分析仪系统校准指 的就是利用上述几个误差模型
图 ２ 双 端 口 网络 反 向测 量信 号流 图
的方 程 ，通 过测 量 参 数 已知 的 网络 分 析 仪 校 准 件 （ 通 常
关键词 ：网络分析仪 ；系统校准 ；校 准件 ；注意事项
中 图分 类 号 ：Ｔ Ｂ ９ ７ ３ 文献 标 识 码 ：Ａ ＤＯ Ｉ ：１ ０ ． １ ９ ５ ４ １ ／ ｊ ． ｃ ｎ ｋ ｉ ． ｉ ｓ ｓ ｎ ｌ ０ ０ ４ － ４ １ ０ ８ ． ２ ０ １ ７ ． ０ ５ ． ０ ２ ６
矢量网络分析仪校准和验证的常见误区
⽮量⽹络分析仪校准和验证的常见误区为了庆祝这篇⽂章在国家⼯程技术数字图书馆的“中国科学引⽂索引（CSCI）数据库”中已被引⽤5次。
特在此公众号中再版。
由于⼿机阅读属于“碎⽚阅读”，所以要精简，甚⾄能写出《三⾔⼆拍》的感觉，于是就有了尤⽼师和⼥神的对话。
在讲校准之前，先介绍⼀下⽹络分析仪的“系统误差模型”。
如果你去看各种论⽂或书籍，都喜欢给你下⾯这张图，然后列⼀⼤堆公式，先把你搞晕，这个是传统的10项误差模型。
也有⽂献叫12项误差模型，包含了2个isolation误差项，但是现代⽹分基本做得很好了，这个项可以忽略，故⼤部分都讲10项误差模型。
我们这是碎⽚时间阅读材料，就不讲这些复杂的⽅程组了！我们就来看看下图的简化结构和误差模型吧，我们以测S21为例，实际测的是b2和a1的功率⽐b2-a1（为了⽅便，这⾥功率统⼀采⽤对数单位dBm），但是在图中可以看到，b2和a1是不能直接测到的，必须通过功分器在1端⼝的参考接收机通道测出a1’，然后在2端⼝的测量接收机通道测出b2’，因此（（b2’-a1’）和（b2-a1）之间的差值，我们就定义为系统误差。
所谓校准，就是测量⼀组已知器件（即校准件或称标准件），根据仪器接收机实际测试的结果和已知校准件的特性⽐较，联列⽅程组，解出上述的误差项eij，从⽽为后续的测量提供修正。
这⾥需要对校准件做进⼀步说明，在同轴系统中，校准件通常是开路、短路、匹配和直通，但是由于现实中⽆法实现理想的开路、短路、匹配和直通，因此需要正确的标定校准件的“特征数据(characteristicdata)”，例如开路应该表征为⼀个寄⽣电容和⼀段传输线；短路表征为寄⽣电感和⼀段传输线，匹配⼀般表征为⼀个理想50欧姆，现代⽹络分析仪也可以对匹配的不理想性进⾏表征。
如下图所⽰。
⼀般在校准件的附带的存储设备⾥⾯，都以⽂件形式定义，现在⾼端的校准件⼀般都会配备⼀个优盘，⾥⾯存着这套校准件的特征数据（⼀般每套校准件都有⾃⼰的序列号），严格讲每套校准件要和⾃⼰配套的特征数据配合使⽤。
矢量网络分析仪使用方法
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2：选择Calibration
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3：选择两端口校准
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4：先做Reflection校准
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依次做好以上六步校 准后Return
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5：接着做 Transmission校准
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1-2端口直通校准
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先把1和2端口通过 双阴SMA头连接上。
再在面板上按对应 Port1-2 Thru键执行校 准动作
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校准状态储存SAVE和Recall
按Save键，存储校准好的 状态。便于以后调用。
按Recall键，调用之前存 储好的校准状态。
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储存为自建文件---可长期使用
存储为自建文件名
第一步：校准仪器（包括固定线缆）
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矢网的手动配件（校准件型号）
校准件型号
Open Short Load Thru
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矢网的配件（线缆）
线缆为HUBBER+SUHNNER品牌
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矢量网络分析仪的测量误差分析与测量校准方法
０ 引言 矢量网络分析仪能同时测量器件的幅频特性和
相频特性，是射频工程领域中最复杂、使用最广泛的 测量仪器，可用于测量微波器件或组件的相关特性， 包括阻抗、反射系数、插损、增益、耦合度、方向性、插 入相移、时延、群时延等参数。［１］
矢量网络分析仪是射频和微波测量领域最精准 的测量仪器，然而即使使用最先进、硬件最完备的矢 量网络 分 析 仪 进 行 测 量，测 得 值 中 也 会 存 在 误 差。［２］矢量网络分析仪的测量误差主要包括漂移误 差、随机误 差 和 系 统 误 差。［３］初 学 者 往 往 对 矢 量 网 络分析仪的测量误差来源不太清楚，对测量校准缺 乏系统全面的认识，导致在实际测量中不能很好的 减小和修正测量误差ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ影响了测得值的质量。
ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＥｒｒｏｒｓＡｎａｌｙｓｉｓａｎｄＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＣａｌｉｂｒａｔｉｏｎ ＭｅｔｈｏｄｓｏｆＮｅｔｗｏｒｋＡｎａｌｙｚｅｒ
ＬｉｕＧｕｉｂｉｎ ＺｏｕＸｉａｎｌｉ ＬｉａｎｇＱｉ
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｓｏｆｎｅｔｗｏｒｋａｎａｌｙｚｅｒｍａｉｎｌｙｉｎｃｌｕｄｅｄｒｉｆｔｅｒｒｏｒｓ，ｒａｎｄｏｍｅｒｒｏｒｓａｎｄｓｙｓｔｅｍａｔｉｃｅｒ ｒｏｒｓＴｈｅｍｅｔｈｏｄｓｔｏｒｅｄｕｃｅｄｒｉｆｔｅｒｒｏｒｓａｎｄｒａｎｄｏｍ ｅｒｒｏｒｓｗｅｒｅｇｉｖｅｎＯｎｔｈｅｂａｓｉｓｏｆａｎａｌｙｚｉｎｇｔｈｅｍｅｃｈａｎｉｓｍ ｏｆ ｓｙｓｔｅｍａｔｉｃｅｒｒｏｒｓ，ｈｏｗｔｏｍａｋｅａｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｗａｓｄｉｓｃｕｓｓｅｄｆｒｏｍｔｈｅｓｅｌｅｃｔｉｏｎｏｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｓｔａｎｄａｒｄｓ， ｔｈｅｓｅｌｅｃｔｉｏｎｏｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｔｙｐｅｓａｎｄｔｈｅｃｈｅｃｋｏｆｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｑｕａｌｉｔｙＩｔｉｓｈｅｌｐｆｕｌｔｏｕｎｄｅｒｓｔａｎｄｔｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒ ｒｏｒｓ，ｍａｋｅａｂｅｔｔｅｒｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎａｎｄｉｍｐｒｏｖｅｔｈｅａｃｃｕｒａｃｙｏｆｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ｎｅｔｗｏｒｋａｎａｌｙｚｅｒ；ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｅｒｒｏｒｓ；ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ；ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎｑｕａｌｉｔｙ
矢量网络分析的校准SOLT、TRL与Ecal
矢量网络分析的校准:SOLT、TRL与Ecal作者：Louisu与以往的矢量网络分析仪(VNA)相比，现在的许多仪器提供了更多的校准方法供用户选择。
更多的选择固然好，但同时也带来了更多的混乱。
幸运的是，一些关键的比较点可以快速缩小选择范围，并确定最适当的校准技术。
本文将讨论常用的网络分析仪校准技术及其相对精度，重点是可靠的测量实践和其他能够改善精度的因素。
校准类型现在的网络分析仪都具有极强的处理能力和灵活性，针对特定应用的许多校准方法也随之涌现出来。
例如，针对特定应用的校准类型有混频器/变频器校准（用于频率偏置器件）、噪声系数校准和夹具内测量等。
下面以全面的1端口和2端口矢量校准为讨论的重点，并回顾网络分析仪中针对所有误差源的矢量校准方法。
这些方法与那些不考虑所有误差项的方法（例如响应校准）相比，精确度要高得多。
讨论校准精度时，将讨论范围限定为一些常用的校准类型，大多数现代校准方法来源于这些常用的校准类型。
常用的校准技术有三种：SOLT（短路－开路－负载－直通）、TRL（直通－反射－线路）和ECal（电子校准）模块。
在每一种校准技术中，通常又针对特定的测量要求（如宽带频率或晶圆上探测）分成不同的校准方法。
表1中总结了这些常用的校准技术及其各自的主要优势。
网络分析仪中的系统误差图1总结了典型网络分析仪中的系统误差来源。
相位测量功能使得VNA能够精确地计算所有的误差来源。
方向误差会影响反射测量的精度。
隔离误差会影响发射测量的精度。
源和负载误差与被测件和分析仪测量端口阻抗之间的失配有关。
反射和发射跟踪误差与分析仪的参考接收机和测量接收机的频率响应差异有关。
探究SOLT校准大多数网络分析仪用户最先熟悉的校准方法是SOLT。
SOLT校准能够提供优异的精度和可重复性。
这种校准方法要求使用短路、开路和负载标准校准件。
如果被测件上有雌雄连接器，还需要分别为雌雄连接提供对应的标准件，连接两个测量平面，形成直通连接。
矢量网络分析仪校准方法
矢量网络分析仪校准方法实验室特写FeaturedLab矢量网络分析仪校准方法研究ResearchonCalibrationMethodsofVectorNetworkAnalyzers全凌云（中国电子科技集团公司第四十一研究所，山东青岛266555）QuanLing-yun(The41stInstituteofCETC,ShandongQingdao266555)摘要：文章简单介绍了矢量网络分析仪的工作原理和误差修正原理，研究了矢量网络分析仪的校准方法及其适用范围，并探讨了实际校准过程中需要注意的一些问题。
关键词：矢量网络分析仪；误差修正；双端口校准中图分类号：TM935文献标识码：A文章编号：1003-0107(20010）03-0061-03Abstract:Theworkingprincipleanderrorcorrectionprinciplearein troducedbrieflyinthepaper.Calibrationmethodsofvectornetworka nalyzersandtheirapplicabilityarestudied.Somenoteworthyquestio nsduringrealcalibrationarediscussedfinally.Keywords:VectorNetworkAnalyzer;ErrorCorrection;DualPorts CalibrationCLCnumber:TM935Documentcode:AArtecleID:1003-0107(2010)03-0061-031引言矢量网络分析仪是一种高性价比、高性能的智能化测量仪器，它将激励信号源、S参数测试微波电路和幅相接收机有机的结合起来，集中在一个机箱内，集成了现代微波技术、电子技术和计算机技术，使其测量速度、测量精度和智能化程度都达到了很高的水平。
高效、强大的误差修正能力、优良的硬件设备，使矢量网络分析仪能够对微波网络参数进行全面、精确的测量。