分子泵保养与使用和维修手册
分子泵说明书-2012
FF-160/750 FF-160/750Z LF160 CF160
金属密封CF接口专用 在分子泵的前级口上
胶圈密封LF接口专用 FF-160/750中LF接口分子泵 FF-200/1200中LF接口分子泵 FB-250/1600中LF接口分子泵 FB-400/4200
10
卡钳（LF专用）
个
5 6 10
4.4 分子泵选购件 表 3 选购配件表
序号
名 称
单位
规格
数量
备
4.2 分子泵适配电源 每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的 损失本公司概不负责。适配电源见表1。 表1 分子泵适配电源表 序号 分子泵型号 适配电源 1 FF-160/620、FF-160/620F FK-620 2 FF-160/750、FF-160/750Z FK-750 3 FF-200/1200 FK-1200 4 FB-250/1600、FF-250/1600 FK-1600 5 FB-400/4200 FK-4200
14
XC
系列分子泵使用说明书
图 12、FB-400/4200 安装简图
15
XC
系列分子泵使用说明书
5.5 分子泵排气口简图
图 13 KF40 接口
图 14 KF50 接口
图 15 LF100 接口
16
XC
系列分子泵使用说明书
6.安装
各类泵保养维修作业指导书
各类泵保养维修作业指导书一、前言泵作为现代工业生产中不可或缺的设备之一，在使用过程中需要定期进行保养维修工作，以确保其正常运行和延长使用寿命。
本作业指导书旨在为各类泵的保养维修工作提供指引和参考，使操作人员能够正确高效地进行相关工作。
二、泵的分类根据泵的工作原理和用途，可以将泵分为离心泵、肯纳泵、齿轮泵、柱塞泵等各种类型。
针对不同类型的泵，其保养维修工作也会有所不同，下面将对各类泵的保养维修进行简要介绍。
1. 离心泵保养维修离心泵是最常见和广泛使用的泵之一，在保养维修过程中需要注意以下几个方面：- 定期检查泵的轴承和密封件，确保其正常工作状态；- 清洗并更换润滑油，保证泵的润滑效果；- 定期检查泵的进出口管道，防止堵塞和泄漏；- 注意泵的运行温度和振动情况，如有异常及时排除。
2. 肯纳泵保养维修肯纳泵是一种具有高压、高流量特点的泵，其保养维修工作需要重点关注以下几个方面：- 定期检查泵的密封圈和动态密封装置，确保密封性良好；- 定期检查泵的过滤器和排水器，清除杂质和水分；- 清洗并更换润滑油和油滤器，确保润滑系统正常工作；- 定期检查泵的工作温度和压力，如有异常及时调整。
3. 齿轮泵保养维修齿轮泵是一种用于输送高粘度液体的泵，其保养维修工作主要包括以下几个方面：- 定期检查泵的齿轮和轴承，如有磨损及时更换；- 清洗并更换润滑油，保证泵的润滑效果；- 定期检查泵的进出口阀门和管道，确保畅通无阻；- 定期检查泵的排气阀和密封圈，如有磨损及时更换。
4. 柱塞泵保养维修柱塞泵是一种高压、高精度的泵，其保养维修工作需要特别注意以下几个方面：- 定期检查泵的柱塞、密封圈和阀体，如有损坏及时更换；- 清洗并更换柱塞泵的润滑油和油滤器；- 定期检查泵的进出口阀门和出口压力，如有异常调整；- 注意柱塞泵的运行温度和噪音情况，如有异常及时处理。
三、保养维修流程针对各类泵的保养维修，可以制定一套标准的流程来进行操作，以确保工作的顺利进行。
岛津分子泵使用注意事项
岛津分子泵使用注意事项
1.请相关人员仔细阅读并充分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明
2.分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正确连接并确认处于锁紧状态。
3.分子泵在通电后及正常运转时旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请尽量不要触碰泵体及控制器，特别是电缆线，绝对不能触碰。
4.当停止分子泵是它，请先给出停机指令（STOP），待分子泵减速结束，ROTATION指示灯熄灭（液晶显示屏上显示STOP,及转速显示为0%），确认分子泵已经完全停止，才可以关闭电源。
如需要拆卸缆线，在如前述正常停机并关掉电源后，才可以拆下缆线，分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头。
5.当遇到意外断电时，分子泵会发生报警（POWER FAILURE），此时分子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态，同时减速运行（BRAKE），在减速到一定转速时，自发电停止，旋转体掉落（TOUGH DOWN），由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。
在分子泵旋转体掉到保护轴承时，分子泵会发出比较大的声音，这种情况是正常的。
遇到意外断电时，请设法尽快恢复供电，如能在5分钟之内恢复供电，则不会发生 TOUGH DOWN，旋转体会恢复悬浮状态，重新启动也可以进行。
6.当发生人为误操作导致断电时，请及时恢复供电，需要分子泵继续运转时，请按RESET按扭（按第一下，报警蜂鸣器消音，按第二下，报警复位，报警指示等熄灭），之后给出启动（START）指令。
7.分子泵正常运转时，请尽量避免在泵体及控制器附近施加比较大的或是频繁的震动，避免冲击钻作业和任何会产生较大磁场的作业。
8。
每日点检分子泵及控制器的运行状况，检查真空度和冷却水状况。
分子泵说明书2.2
F-100/110
F-100/150
110
110
150
N2：108； H2：5×102
≤6×10-6 (DN100 LF)
≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100 CF)
KF25(DN25 ISO-KF)
LF100(DN100 ISO-K)、CF100
陶瓷轴承
普通轴承
42300
＜2
≤0.1
脂润滑 任意角度
29
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；
② 此极限为水冷条件下的测试结果；
③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
3-孔M8×20
图 2-9 FF-200/1200、FF-200/1200C 安装简图
图 2-10 FF-200/1200N 安装简图
150
脂润滑
安装方式
竖直±5°
任意角度
竖直±5°
任意角度
重量（kg）
29
19
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果； ② 此极限为水冷条件下的测试结果； ③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
图 2-4 FF-160/500F 安装简图
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
水嘴
泵腿 前级接口
KF40
控制器接口
图 2-12 F-250/1500 安装简图
图 2-13 F-250/1500N安装简图
图 2-14 FF-250/1600安装简图
图 2-15 FF-250/1800安装简图
分子泵离心泵真空泵安全操作及保养规程
分子泵离心泵真空泵安全操作及保养规程分子泵、离心泵和真空泵是在实验室和工业领域中常用的设备，用于创建和维持真空环境。
为确保设备的安全性和延长其使用寿命，正确的操作和定期保养是至关重要的。
本文将介绍分子泵、离心泵和真空泵的安全操作指南和保养规程。
1. 分子泵的安全操作•在操作前，确保所有的密封件和O型环都是完好的，并且没有任何泄漏。
•在操作过程中，严禁将手指或其他物体插入分子泵内部。
分子泵内部的高速旋转部件可能会导致严重伤害。
•在运行分子泵之前，确保外部冷却装置正常工作，并且冷却剂充足。
•分子泵应该始终安装在水平的基座上，并确保固定牢固，以防止震动和晃动。
•在启动前，确认分子泵的所有参数设置（如转速、压力等）都符合操作要求。
•在停止使用分子泵后，应将其完全冷却，并确保所有零件处于静止状态，然后再进行其他操作。
2. 离心泵的安全操作•在操作离心泵前，确保设备外部无任何损坏或松动，并且所有的安全保护装置都处于良好状态。
•在使用离心泵时，严禁将手指或其他物体靠近进样口或排气口。
高速旋转的离心泵可能会造成严重伤害。
•离心泵应该放置在坚固平稳的表面上，并确保周围无杂物。
•启动离心泵前，先检查所有的管道连接和阀门等部件是否安装正确，并确保无泄漏。
•离心泵转速应根据具体应用要求进行调整，避免超过设备额定转速。
•停止使用离心泵后，应将其完全停止，并切断电源。
3. 真空泵的安全操作•在进行真空泵操作之前，确保设备及其周围环境没有任何杂物或物质会对其造成损坏或妨碍操作。
•使用真空泵时，避免操作人员直接接触泵体，以免被高温表面烫伤。
•在操作真空泵过程中，严禁插入任何物体进入排气口或进气口，以免发生意外伤害。
•在启动真空泵前，确认泵体与真空系统的所有连接都安全可靠，并且没有任何泄漏。
•严禁在真空泵工作时对其进行拆卸或维修，除非经过专业人员授权。
•停止使用真空泵后，应先切断电源，然后等待泵体完全停止旋转，才能拆卸或移动设备。
分子泵保养与使用和维修手册
一、分子系的内部结构1．高真空接口 60．球型轴承2．前级真空接口 61．半径方向防震垫圈3．冷却水连接 63．轴向防震垫圈4．排气接口 64．电视单元5．电气连接 65．0-圈6．橡胶底座 72．0-圈10．转子73．0-圈10 a．转子中心毂 80．锁紧著14．安装螺帽 81．0-圈16．USIT接头 82．润滑油包58．螺丝 83．0-圈59螺帽 84．油包安装环二、分子泵的清洗：一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。
直接清洗的方法如下：1．关掉分子泵，进行排气。
2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。
3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等4．拆掉润滑的油包5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。
7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。
8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。
9．拿出分子泵。
10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。
11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。
注意接口的密封表面不要损坏。
12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。
13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。
注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。
三、驱动马达的检查驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。
一个是不带驱动器检查线路。
带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。
涡轮分子泵使用注意事项
涡轮分子泵使用注意事项涡轮分子泵是现代高科技制造中的一种高精度、高效率的真空泵，广泛应用于半导体、光电、化工、医药等领域。
但是，在使用涡轮分子泵的过程中，需要注意一些事项，以确保其正常运行和延长使用寿命。
1. 清洁和维护涡轮分子泵的运行需要高度洁净的环境，因此在使用前和使用后，应该对泵进行清洁和维护。
清洁时，应使用专业的清洗剂和工具，避免使用硬质刷子或金属工具，以免损坏泵的表面和部件。
维护时，应按照泵的说明书进行操作，检查泵的密封性、泵叶、轴承、电机等部件的磨损程度和工作情况，及时更换和维修。
2. 安装和调试涡轮分子泵的安装和调试需要专业技术人员进行，以确保其正确安装和正常运行。
在安装时，应根据泵的说明书进行操作，选择合适的安装位置和固定方式，并进行密封性测试。
在调试时，应根据泵的工作特性和使用要求，进行参数设置和调整，以达到最佳工作状态。
3. 保护和维护电源涡轮分子泵的电源需要稳定、可靠，应保证电源电压、电流和频率的稳定性和正常运行。
在使用时应注意防雷、防潮、防过流等措施，避免电源故障和电机损坏。
在长期不使用时，应断开电源，以免电子元件老化和损坏。
4. 注意使用环境涡轮分子泵的使用环境需要干燥、清洁、无尘、无油烟和无腐蚀性气体，应尽量避免在恶劣环境下使用。
在使用时应注意周围温度和湿度，避免过高或过低的温度和湿度对泵的影响。
在使用过程中，应及时清理泵的周围环境，保持干净整洁。
5. 注意控制气体流量涡轮分子泵的使用需要控制气体流量，以避免泵的过载和损坏。
在使用前需要计算和控制气体流量，避免过大的气体流量导致泵的过载或损坏。
在使用过程中，应根据泵的工作特性和使用要求，调整气体流量和泵的工作状态。
涡轮分子泵的使用需要注意清洁和维护、安装和调试、保护和维护电源、注意使用环境和控制气体流量等事项。
只有在遵循这些注意事项的前提下，才能保证涡轮分子泵的正常运行和延长使用寿命。
分子泵说明书下
6.安装6.1 注意事项分子泵不能用于抽除液体或者带有粉尘、固体颗粒的气体；除了耐腐蚀型泵以外，其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体，耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时，必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等，且泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。
确认分子泵与电源相配套。
每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源供电，否则造成的损失，本公司概不负责。
确认安装环境必须满足如下条件：1)泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs)；2)环境放射性强度<105rad；3)环境温度为5~40℃；4)空气相对湿度：≤85%；5)电压：220±22V，频率：50±1Hz；6)海拔：≤3000米。
安装前应检查分子泵运输中是否被损坏：打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。
若存在异常现象，应及时通知我公司，不得自行处理，否则由此带来损失我公司概不负责。
不允许将分子泵长期置于大气状态下存放，在打开进气口和排气口盲板时，应注意真空卫生要求，严禁杂物、灰尘等落入泵内。
安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
6.2 连接安装6.2.1真空联接分子泵的进气口和排气口法兰采用国际标准见表4分子泵技术数据表,尺寸见分子泵安装简图和分子泵排气口简图。
注意：法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。
泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上，但F-400/4200不建议吊装，若一定要吊装必须用活套法兰（订货时单独订购）固定。
分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时，分子泵必须固定。
为保护分子泵转子，防止外界物质落入泵内，可在泵口装上防护网，但装入此网后，抽速约降低15％左右。
前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管，管路上应装有隔断放气阀，作为停机时对前级机械泵放气。
放气阀可选用手动阀或电磁阀。
放气过程的操作请参照停机部分。
为保护泵体真空卫生，防止潮湿，放气时，可通氮气或干燥空气。
泵维护保养说明
泵运行、操作、维护、保养制度为使各类泵安全、可靠运行，充分发挥设备效能，日常维护保养工作非常重要，根据所使用泵的特点，编写该使用维护保养制度，认真落实执行：1、保持设备清洁、干燥，无严重油污，无泄漏。
2、每班检查轴承箱内油位是否合适，正确的油位应在油位线位置附近，不得超过±2mm，需润滑脂要定期用黄油枪加油，并做详细记录。
3、经常巡查泵运行是否声音异常，振动及泄漏情况，发现问题及时汇报并且及时处理。
4、严禁泵在抽真空状态下运行，因泵在抽真空状态下运行不但振动剧烈，而且会影响泵的寿命，一定要特别注意！5、泵内严禁进入金属物体和超过泵允许通过的大块固体，严禁进入胶皮、棉丝、塑料布等柔性物质，以免破坏过流部件及堵塞叶轮流通，使泵不能正常工作。
因此，重点及时每班清理振动筛接液槽、清卤泵坑里的异物。
6、经常检查轴封水和密封水流量，压力是否合适，可采用检查轴封水管阀门开启度与检测填料箱温度的方法，温度高说明供水量不足，应及时给予调节。
7、定期检测轴封水泄漏量，当泄漏量加大时，应调整填料压盖的螺栓，需要更换填料时要及时进行更换。
填料的填压方法：（1）填料长度按轴套圆周展开长度确定，各环填压时要将切口交错120°。
（2）填压好后一定要进行通水试运转，运转时再详细调整压盖螺栓，达到渗漏成点且不成线状为最佳，填料填压十分重要关系到密封状态好坏，而且还会影响泵的性能，应引起足够注意。
8、经常检测轴承温度，最高不得超过75℃。
9、泵连续运行800小时后应彻底更换润滑油一次。
10、经常检查进、出水管路系统支撑机构松动情况，确保支撑牢靠、稳固。
11、经常检查泵在基础上的紧固情况，联接应牢固、可靠及电机的地脚螺栓紧固和皮带松紧度。
12、开泵前应先开轴封水和冷却水，然后再开泵；停泵后，过15分钟后方可关闭轴封水及冷却水。
1、开车前认真检查皮带连接卡子是否完好、牢靠，皮带上有无异物、障碍物，各传动机构位置是否正确，有无铁件，各螺栓是否牢固，尾部滚筒是否堵塞，有卡住之物，机械前后、左右是否有人，清扫器是否完好等，一切均正常确认无误，方可开启设备运行。
分子泵说明书2.2
照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY 将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有 最终解释权。由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属 KYKY 所有。
套
8
分子包括 O 圈）
套
10 卡钳（LF 专用）
个
2
CF 接口专用
1
耐腐蚀泵专用
1 油润滑泵专用（不含 100 系列）
1
LF 接口专用
3
100 系列、160 系列、200 系列 中 LF 接口分子泵
6
250 系列
9
400 系列
1.6 配件
选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 表 1-2 选购配件表
-□/□□
特征代号 2 额定抽速（l/s） 高真空接口口径 特征代号 1 说明： 特征代号 1： “F”，表示涡轮分子泵； “FF”，表示复合分子泵。 特征代号 2： “F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷； “N”，表示耐腐蚀泵； “C”等其他字母，表示产品或性能的改进 相关性能参见各系列的技术说明。 1.4 工作条件 分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连 续工作入口压强要求小于等于 1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于 5Pa），且要求前级排气 口压强保持在 10Pa 以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的 KYKY 分子泵控制器。
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一、分子系的内部结构
1．高真空接口 60．球型轴承
2．前级真空接口 61．半径方向防震垫圈
3．冷却水连接 63．轴向防震垫圈
4．排气接口 64．电视单元
5．电气连接 65．0-圈
6．橡胶底座 72．0-圈
10．转子73．0-圈
10 a．转子中心毂 80．锁紧著
14．安装螺帽 81．0-圈
16．USIT接头 82．润滑油包
58．螺丝 83．0-圈
59螺帽 84．油包安装环
二、分子泵的清洗：
一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。
直接清洗的方法如下：1．关掉分子泵，进行排气。
2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。
3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等
4．拆掉润滑的油包
5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜，如下图。
7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。
8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。
9．拿出分子泵。
10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。
11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。
注意接口的密封表面不要损坏。
12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。
13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。
注意第一次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。
三、驱动马达的检查
驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。
一个是不带驱动器检查线路。
带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。
切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。
下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。
在不带驱动单元的检测方法，这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。
检查的时候请参考下图：
图中的标号在外部表现的颜色为：
在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流，在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。
然后用手转动分子泵。
如果正常的话，测室出来的电压的极性每周会变化一次。
四、更换轴承
在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。
更换轴承需要爱一个干净的环境中更换，我们一般更换的是马达这边的轴承。
更换轴承需要一些特殊的专用工具。
值得注意的是，在每次更换轴承的时候，油包也一定要更换。
下面的图是一些专用工具（真实自己可以加工的）。
图中A是中心铀，B和D都是校准用的工具，是调节间隙和位置用的。
C是马达的拔除器。
抄写的分解图如下：
1．将分子泵放在一个平的平面上，拆下盖子80，并用两个螺丝刀取出油包82，如下图：2．用工具B拆下固定环84，拿出72和73两个密封圈。
3．从马达64上拆下4个螺丝58。
4．拧下螺母59，注意是反丝的。
5．拆掉两个橡皮角6，利用工具C小心地拔出马达64。
6．拿走马达64。
7．卸下工具C，装上橡皮脚6。
利用镊子拿出轴承60、防震垫圈61和63。
8．用酒精清洗马达，下列的元件必须一起更换：轴承60、防震垫圈61和63、油包82。
9．开始安装，安装的时候所有的元件必须用酒精清洗。
10．将电气接口5和排气接口质在一个方向上，将泵直立起来。
11．带上手套或用柔软的布，压下转子10（注意只能压转子毂部分10A，不要压圆盘的牙齿部分）
12．将分子泵翻过来放置，高真空接口朝下，将轴向的防震垫63圈放入凹槽，装入径向的防震垫圈61。
13．打开轴承的包装，将固定螺母59的方向朝上，利用专用工具A装人轴上。
相关图片：
14．将泵水平成置，这样在上螺母时的铁屑等东西不会掉入轴承中，然后将螺母59上紧，后再
拧松，用0.6NM的力矩搬扳手上紧螺母59。
15．利用专用工具B，安装固定环84和密封圈72、73，用力上紧，直到感觉有金属性的抵制为止。
然后在工具B上做一个记号，将84旋回90度。
16．拿出旧的油包，放入新的油包，装上密封圈和盖子，到此，更换己经完成。
但是在使用以前，必须对磁性轴进行检查和校正，同时对转页的间隙进行调整。
17．磁性轴承的校正方法：用手压（在转子毂上）下转子，然后将泵从轴的方向旋转90度，如果转子向高真空接口的方向跳起（可以听见声音，也可以感觉到），说明是OK的。
如果不是，就要利用工具D对其进行校正。
如果转子跳起的角度小于90度，则须将工具D顺时针旋转，大于90度跳起，将工具D逆旋转，
如下图：
一旦达到跳起的角度，这时才算真正的完成更换。
分子泵可以安装使用了。