2010-6半导体气敏传感器
⒈烧结型气敏器件 烧结型气敏器件的制作是将一定比例的敏感材料（SnO2、
ZnO等）和一些掺杂剂（Pt、Pb等）用水或粘合剂调合，经研 磨后使其均匀混合，然后将混合好的膏状物倒入模具，埋入加 热丝和测量电极，经传统的制陶方法烧结。最后将加热丝和电 极焊在管座上，加上特制外壳就构成器件。
化物半导体材料制成的气体传感器。其中以SnO2气敏传感器 较 成熟，应用最广泛，下面就以此传感器为例进一步说明气敏传 感器的特性与参数。
造成器件接触不良
TGSl09型直热式气敏传感器结构图
旁热式气敏器件
旁热式气敏器件是把高阻加热丝放置在陶瓷绝缘管内， 在管外涂上梳状金电极，再在金电极外涂上气敏半导 体材料，就构成了器件
克服了直热式结构的缺点，器件的稳定性得到提高
薄膜型气敏器件
制作采用蒸发或溅射的方 法，在处理好的石英基片 上形成一薄层金属氧化物 薄膜（如SnO2、ZnO等）， 再引出电极。实验证明： SnO2和ZnO薄膜的气敏特 性较好
㈡晶界势垒模型 晶界势垒模型是基于半导体气敏材料多为多晶体。在相邻
晶粒间存在着势垒，而势垒的高低是影响气敏材料表面阻值的 重要因素。
当n型的SnO2材料表面吸附氧分子时，形成负离子吸附的 结果使晶粒表面形成空间电荷层，表面能带上弯，晶界势垒高 度大大增加，材料表面形成高阻状态。
当与还原性气体接触时（如H2），与吸附的氧发生反应， 同时释放电子，降低了晶界势垒的高度，从而使材料表面电阻 率降低。该模型较好的解释了气敏传感器在还原性气体中电阻 率下降的规律。
按其工作原理不同，半导体气敏传感器主要分为电阻型 和非电阻型两大类：
电阻控制型
表面电阻控制型 体电阻控制型
半导体气敏传感器
非电阻控制型
二极管式气敏传感器 MOS二极管式气敏传感器 Pd-MOSFET气敏传感器
半导体式气敏传感器的分类
§6.1 电阻控制型气敏传感器
电阻控制型气敏传感器是利用材料的阻值随待测气体的成 分或浓度发生改变的性质制成的器件。这种器件大多需要在加 热的情况下正常工作，根据阻值发生改变的原理差异，电阻控 制型气敏传感器也可以分为两类：表面电阻控制型和体电阻控 制型。
根据其外型或加热方式的不同，烧结型气敏传感器又分为 两种：直热式和旁热式。
直热式气敏器件
器件管芯由三部分组成： SnO2烧结体、加热丝和测量 丝。直热式器件管芯体积很小，加热丝和测量丝直接 埋在金属氧化物半导体材料内，工作时加热丝通电加 热并兼作一个测量极。
缺点：
热容量小，易受环境气流的影响 测量电路与加热电路之间相互干扰，影响其测量参数 加热丝在加热与不加热两种情况下产生的膨胀与冷缩，容易
因此，当氧化型气体吸附到N型半导体（SnO2, ZnO)上， 还原型气体吸附到P型半导体(CrO3)上时，将使半导体载流子 减少，而使电阻值增大。
当还原型气体吸附到N型半导体上，氧化型气体吸附到P 型半导体上时，则载流子增多，使半导体电阻值下降。
规则总结：
氧化型气体＋N型半导体：载流子数下降，电阻增加 还原型气体＋N型半导体：载流子数增加，电阻减小 氧化型气体＋P型半导体：载流子数增加，电阻减小 还原型气体＋P型半导体：载流子数下降，电阻增加
第六章 半导体气敏传感器
§6.1 电阻控制型气敏传感器 §6.2 非电阻控制型气敏传感器
半导体气敏传感器是指利用半导体气敏元件同气体接触， 造成半导体性质发生变化的原理来检测特定气体的成分或者 浓度。
半导体气敏元件是60年代初期研制成功的，最先研制的 是SnO2 薄膜元件。它是利用加热条件下SnO2薄膜电阻随接触 的可燃性气体浓度增加而下降，实现对可燃性气体检测。继 而又发现在SnO2烧结体中添加Pt或Pd等贵重金属可提高灵敏 度。1968年诞生了商品半导体气敏元件，其后其它各种材料 的半导体气敏元件也相继投放市场。
正是由于吸附的气体分子从材料表面得到或者给予电子， 使表面层的阻值发生了改变，我们分别考虑以下两种情况：
当半导体的功函数小于吸附分子的亲和力时， 吸附分子将从 器件夺得电子而变成负离子吸附， 半导体表面呈现空间电荷 区。氧气等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体或 电子接收性气体。
如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向 器件释放出电子，而形成正离子吸附。具有正离子吸附倾向 的气体有H2、CO、碳氢化合物和醇类，它们被称为还原型气 体或电子供给性气体。
二、表面电阻控制பைடு நூலகம்元件
⒈表面电阻控制型气敏传感器的工作原理 ㈠表面电导理论
表面电阻控制型元件的表面电阻会根据待测气体种类及浓 度的不同增大或减小。当半导体器件被加热到稳定状态，在气 体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性 自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残 留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。吸附分子和 材料表面层交换电子而带上不同的电荷成为正离子或负离子， 同时影响半导体材料表面层的性质。
器 件 电 阻 / k
10 0
稳 定状 器件加热 态
响 应 时 间 约 1 min 以 内 氧 化型
50
5
还 原型
加 热开 关
2 mi n 4 min 大 气中
吸 气时
N型半导体吸附气体时器件阻值变化图
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⒉表面电阻控制型元件的基本特性和参数 表面电阻控制型气敏传感器的代表有SnO2、ZnO等金属氧
表面电阻控制型（表面电导型）：与被测气体接触后，利 用材料表面电阻值的变化进行检测，主要包括SnO2、ZnO等金 属氧化物半导体材料制成的气体传感器。
体电阻控制型（体电导控制型）：与被测气体接触后，由 于晶体结构发生变化，使体电阻发生改变，典型的器件如γFe2O3材料制作的气体传感器。
一、电阻控制型气敏传感器的基本结构
优点：灵敏度高、响应迅 速、机械强度高、互换性 好、产量高、成本低等
厚膜型气敏器件
厚膜型气敏器件是将SnO2和 ZnO等材料与3％～15％重 量的硅凝胶混合制成能印刷 的厚膜胶，把厚膜胶用丝网 印制到装有铂电极的氧化铝 基片上，在400～800℃高 温下烧结1～2小时制成。
优点：一致性好，机械强度 高，适于批量生产。
氧化物半导体气体传感器原理
氧化物半导体气体传感器原理
氧化物半导体气体传感器原理
氧化物半导体气体传感器是一种常见的气体传感器，它可以检测空气
中的氧气、一氧化碳、二氧化碳等气体。
其原理是利用氧化物半导体
材料的电学性质，当气体分子与其表面发生反应时，会改变其电阻值，从而实现气体检测。
氧化物半导体材料通常是由金属氧化物粉末制成的，如二氧化锡、氧
化铁等。
这些材料具有良好的导电性，但在空气中表面会形成一层氧
化物薄膜，使其电阻值增加。
当空气中存在可燃气体时，这些气体分
子会与氧化物表面发生化学反应，使氧化物表面的氧化物薄膜减少，
电阻值降低。
因此，可以通过测量氧化物半导体材料的电阻值变化来
检测空气中的气体浓度。
氧化物半导体气体传感器通常由氧化物半导体材料、加热元件和电路
组成。
加热元件可以使氧化物半导体材料保持在一定的温度范围内，
以保证其稳定性和灵敏度。
电路可以将氧化物半导体材料的电阻值变
化转化为电信号输出，从而实现气体检测。
氧化物半导体气体传感器具有灵敏度高、响应速度快、成本低等优点，
因此在工业、环保、医疗等领域得到广泛应用。
但是，由于其灵敏度受温度、湿度等环境因素影响较大，因此在实际应用中需要进行校准和调试，以保证其准确性和可靠性。
总之，氧化物半导体气体传感器是一种常见的气体传感器，其原理是利用氧化物半导体材料的电学性质，通过测量其电阻值变化来检测空气中的气体浓度。
它具有灵敏度高、响应速度快、成本低等优点，在工业、环保、医疗等领域得到广泛应用。
半导体气敏传感器的分类
半导体气敏传感器的分类半导体气敏传感器的世界可真是个神奇的地方，听起来可能有点复杂，但其实它就像我们生活中的调味品，给我们的科技增添了很多色彩。
这些传感器就像小侦探，能够感知空气中的各种气体，帮助我们实时监测环境，保护我们的健康。
想象一下，如果没有这些小家伙，我们可能每天都在呼吸一些危险的气体，而浑然不知。
就像是电影里的超级英雄，默默守护着我们。
半导体气敏传感器到底有哪些分类呢？咱们可以把它们分为几大类，首先就是氧化物半导体传感器。
这种传感器就像是敏锐的嗅觉，能够检测到空气中的多种气体，特别是那些我们不容易察觉的有害气体。
它们通常是用一些金属氧化物制成的，像是二氧化锡、氧化锌等等。
这些材料在接触到特定的气体时，会发生变化，发出信号，让我们及时得知空气的“健康状况”。
这就像是你身边的朋友，发现你情绪不对劲，马上提醒你要调整一下心态。
接下来是导电聚合物传感器，这个听起来可能有点高大上，实际上也是很接地气的。
这种传感器的工作原理和氧化物半导体有点类似，但它们的材料是聚合物，像塑料那样的东西。
聚合物的好处在于它们可以很容易地被加工成各种形状，而且可以适应不同的环境。
就好比你家的沙发，不管你坐得多舒服，总有一天需要换个新样式。
这些传感器能对一些有机气体特别敏感，比如我们日常生活中常见的香水、油漆的气味，真的很厉害。
再聊聊电化学传感器，听名字就有点神秘。
这种传感器一般用于检测一些特定的气体，比如一氧化碳、二氧化硫等，它们工作起来就像是一个化学小实验。
气体在传感器内部发生反应，产生电信号。
说白了，它就像是一个小小的化学实验室，在我们身边默默地工作。
这类传感器的精度高，非常适合用于一些需要严谨监测的场合，比如工业排放监控。
这就像一个细致入微的管家，随时提醒你要注意环境的变化。
还有一类，叫做热导传感器，这个名字听上去就很炫酷。
这类传感器通过测量气体的热导率来识别不同的气体。
气体的热导率就像是每个气体的“指纹”，不同的气体有不同的热导特性。
半导体气体传感器原理
半导体气体传感器原理
半导体气体传感器是利用气体在半导体表面的氧化还原反应导致敏感元件电阻值发生变化而制成的。
具体来说，当气体接触到半导体表面时，被吸附的分子首先在物体表面自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残留分子产生热分解吸附在物体表面。
如果半导体的功函数小于吸附分子的亲和力，则吸附分子将从器件夺走电子而变成负离子吸附，半导体表面呈现电荷层。
例如氧气，等具有负离子吸附倾向的气体被称为氧化型气体。
如果半导体的功函数大于吸附分子的离解能，吸附分子将向器件释放出电子，而形成正离子吸附。
具有正离子吸附倾向的气体有氢气、一氧化碳等，它们被称为还原性气体。
当氧化型气体吸附到n型半导体，还原性气体吸附到p 型半导体上时，将使半导体载流子减少，而使电阻增大。
当还原型气体吸附到n型半导体上，氧化型气体吸附到p型半导体上时，则载流子增多，半
导体阻值下降。
以上信息仅供参考，如需了解半导体气体传感器原理的更多信息，建议查阅相关书籍或论文。
简述半导体气敏传感器的工作原理
简述半导体气敏传感器的工作原理半导体气敏传感器是一种能够检测气体浓度变化并转化为电信号输出的传感器，其工作原理主要基于气敏材料的电阻特性随着气体浓度的变化而发生改变。
本文将对半导体气敏传感器的工作原理进行详细阐述，以便更好地理解这一类型传感器的工作机制。
1. 气敏材料的选择半导体气敏传感器中最核心的部分就是气敏材料，它的选择直接影响着传感器的性能和灵敏度。
常用的气敏材料包括氧化锡（SnO2）、氧化锆（ZrO2）、氧化钛（TiO2）等。
这些材料具有高灵敏度、稳定性和良好的可制备性，能够有效地实现对多种气体的检测。
2. 气敏材料的电阻特性气敏材料在不同气体环境中的电阻值会发生变化，这是半导体气敏传感器工作原理的基础。
在空气中，气敏材料的电阻值较高；而当有害气体存在时，气敏材料的电阻值会下降。
这是因为气体与气敏材料表面发生化学反应，导致电子浓度发生变化，从而影响了材料的电阻特性。
3. 电阻变化与气体浓度关系半导体气敏传感器的工作原理可以通过气体在气敏材料表面吸附和解吸的过程来解释。
当目标气体存在时，气体分子会吸附在气敏材料表面，导致了材料表面的电子浓度变化，从而引起电阻值的变化。
电阻值的变化与气体浓度呈正相关关系，一般来说，气体浓度越高，电阻值变化越大。
4. 电路控制为了准确地检测气敏材料的电阻变化，半导体气敏传感器一般会配备特定的电路控制系统。
这些电路系统可以校准并转换气敏材料的电阻变化为电信号输出，便于进一步的数据处理和分析。
通过对输出信号的处理，可以得到准确的气体浓度信息。
5. 灵敏度与稳定性半导体气敏传感器的工作原理决定了其具有较高的灵敏度和稳定性。
灵敏度主要表现在对气体浓度变化的快速响应能力，而稳定性则保证了传感器的长期稳定工作。
这使得半导体气敏传感器在工业生产、环境监测等领域有着广泛的应用。
总结来看，半导体气敏传感器的工作原理主要基于气敏材料的电阻特性随着气体浓度变化而发生变化。
通过对气敏材料的电阻变化进行监测和处理，可以实现对气体浓度的准确检测和监测。
半导体气体传感器的结构及原理
一、在博物馆文物、档案管理方面的运用这是温湿度传感器应用的另一个领域。
档案的纸张在温湿度适宜的条件可以多存放一些时间，而一旦温湿度条件遭到破坏纸张将要变脆，重要资料也将随之荡然无存，对档案馆进行温湿度记录是必要的，可以预防恶性事故的发生。
使用温湿度传感器将使温湿度记录的工作得以简化，也将节约文物保管的成本，使这一工作得以科学化，不受到过多的人为因素的干扰。
二、在疫苗冷链中的运用气体传感器主要针对于行业中的气体进行检测，在工业、电子、电力、化工、治金等行业中都有一定的应用。
气体传感器的种类是比较多的，其中常用的主要有半导体式、接触燃烧方式、化学反应式、光干涉式、热传导式、红外线吸收散式等。
而这当中以半导体气体传感器应用更为广泛。
半导体气体传感器由气敏部分、加热丝以及防爆网等构成，它是在气敏部分的sno2、fe2o2、zno2等金属氧化物中添加pt、pd等敏化剂的传感器。
传感器的选择性由添加敏化剂的多少进行控制，例如，对于zno2系列传感器，若添加pt，则传感器对丙烷与异丁烷有较高的灵敏度;若添加pd，则对co与h2比较敏感。
气体传感器以陶瓷管为框架，外覆一层敏感膜的材料，利用膜两端的镀金引脚进行测量。
敏感膜的材料最常用的有金属氧化物、高分子聚合物材料和胶体敏感膜等。
它的两个关键部分是加热电阻和气体敏感膜。
金电极连接气敏材料的两端，使其等效为一个阻值随外部待测气体浓度变化的电阻。
由于金属氧化物有很高的热稳定性，而且这种传感器仅在半导体表面层产生可逆氧化还原反应，半导体内部化学结构不变，因此，长期使用也可获得较高的稳定性。
原理简介如下：金属氧化物一旦加热，空气中的氧就会从金属氧化物半导体结晶粒子的施主能级中夺走电子，而在结晶表面上吸附负电子，使表面电位增高，从而阻碍导电电子的移动，所以，气体传感器在空气中为恒定的电阻值。
这时还原性气体与半导体表面吸附的氧发生氧化反应，由于气体分子的离吸作用使其表面电位高低发生变化，因此，传感器的电阻值要发生变化。
半导体传感器
气敏传感器1、半导体气敏传感器工作机理气敏传感器是利用气体在半导体表面的氧化和还原反应，导致敏感元件阻值变化化型气体——电子接收性气体；氢、碳氧化合物、醇类等具有正离子吸附倾向的气体，被称为还原型气体——电子供给性气体。
N型半导体，如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等；P型半导体，如氧化钴、氧化铅、氧化铜、氧化镍等。
当氧化型气体吸附到N型半导体上，半导体的载流子减少，电阻率上升；当氧化型气体吸附到P型半导体上，半导体的载流子增多，电阻率下降；当还原型气体吸附到N型半导体上，半导体的载流子增多，电阻率下降；当还原型气体吸附到P型半导体上，半导体的载流子减少，电阻率上升；气敏元件的加热作用：电阻型气敏元件通常工作在高温状态（2000C—4500C），目的是为了加速气体吸附和上述的氧化还原反应，提高灵敏度和响应速度；另外使附着在壳面上的油雾、尘埃烧掉。
在常温下，电导率变化不大，达不到检测目的，因此以上结构的气敏元件都有电阻丝加热器。
加热时间2—3分钟，加热电源一般为5V。
N型半导体与气体接触时的氧化还原反映①先在大气中加热，阻值急剧下降，后上升，达到稳定。
②通过被测气体氧化性气体（O2，NOX），吸取元件中电子，使电阻值增加。
③还原性气体（H2，CO）向元件释放电子，使电阻值下降。
通常器件工作在空气中，由于氧化的作用，空气中的氧被半导体（N型半导体）材料的电子吸附负电荷，结果半导体材料的传导电子减少，电阻增加，使器件处于高阻状态；当气敏元件与被测气体接触时，会与吸附的氧发生反应，将束缚的电子释放出来，敏感膜表面电导增加，使元件电阻减小。
空气中——氧化作用——氧被电子吸附——电子减少——高阻状态；气体接触——吸附——氧发生反应——电子释放——电导增加——电阻减小。
优点：工艺简单，价格便宜，使用方便；气体浓度发生变化时响应迅速；即使是在低浓度下，灵敏度也较高。
缺点：稳定性差，老化较快，气体识别能力不强，各器件之间的特性差异大等。
电阻式半导体气敏传感器的基本性能分析
电阻式半导体气敏传感器的基本性能分析09电本120091004106 成绩：摘要：利用理论分析与参阅相关技术手册，了解电阻式半导体气敏传感器的结构，基本原理，推导气敏传感器的特性参数：电阻值，灵敏度，漂移等。
能够在充分研究理论知识之后，学会简单的应用，设计电路，利用温度补偿降低其对传感器稳定性的影响。
关键词：电阻半导体气敏传感器基本原理特性参数温度补偿The basic performance analysis of Resistance-typesemiconductor gas sensorAbstractAccording to the theoretical analysis, refer to the relevant technical manual to understand the structure of Resistance-type semiconductor gas sensor and it's basic principles. Derive the characteristic parameters of gas sensors,like sensitivity, linearity, drift, selection characteristics.Making full use of the theoretical knowledge , learn simple applications to design a circuit for using the temperature compensation to reduce its impact on the stability of the sensor.Keywords:Resistance-type semiconductorbasic principles characteristic parameters the temperature compensation引言气敏传感器是用来检测气体类别、浓度和成分的传感器。
气敏传感器的分类
气敏传感器的分类气敏传感器是一种常用的传感器，用于测量气体浓度和其他气体特性。
气敏传感器根据其感知材料类型和传感器结构可以分成多种类型。
一、基于感知材料分类1.半导体气敏传感器半导体气敏传感器的感知材料是一种硫化锡(SnO2)、氧化锌(ZnO)、钨三氧化物(WO3)等半导体材料。
在气体进入传感器后，半导体材料表面的电子结构会产生变化，导致电阻率发生变化，从而实现测量气体浓度的目的。
半导体气敏传感器体积小、响应速度快、能耗低、价格相对较低。
2.电化学气敏传感器电化学气敏传感器的感知材料通常是一种贵金属或其合金，如白金、铂铑合金等，其原理是将气体与电解液接触后，气体分为氧化或还原的反应，被感知材料所吸收或反应。
这种传感器具有高灵敏度和高选择性，但价格相对较高，且需要在特定的环境中使用。
光学气敏传感器的感知材料是一种可以与气体反应的荧光分子，当气体进入传感器后，荧光分子会产生变化，从而导致光学信号的变化，通过检测光学信号的变化可以实现气体浓度的测量。
这种传感器具有高灵敏度和高选择性，但价格相对较高。
二、基于传感器结构分类红外型气敏传感器是一种基于红外吸收原理的传感器，它可以测量气体的分子结构。
当气体进入传感器后，红外光源发出红外光束，气体会吸收其中的特定波长，通过检测红外光束的强度变化可以实现气体浓度的测量。
电容型气敏传感器是一种将电容作为感知元件的传感器。
当气体进入传感器后，感知元件所在区域的介电常数会发生变化，从而导致电容值发生变化，通过检测电容值的变化可以实现气体浓度的测量。
总之，气敏传感器可以根据其感知材料类型、传感器结构等多方面的因素进行分类。
不同类型的气敏传感器在其应用领域和技术特点方面有所不同，具体的使用需要根据实际需求进行选择。
半导体传感器
2 湿敏传感器
2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 ◆半导体陶瓷湿敏电阻通常是用两种以上的金属氧化物半导 体材料混合烧结而成的多孔陶瓷。这些材料有ZnO-LiOV2O5系、 Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、Fe3O4等， 前三种材料的电阻率随湿度增加而下降，故称为负特性湿 敏半导体陶瓷，最后一种的电阻率随湿度增大而增大，故 称为正特性湿敏半导体陶瓷（为叙述方便，有时将半导体 陶瓷简称为半导瓷）。
2 湿敏传感器
2 湿敏传感器
图10-6 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器结构
ห้องสมุดไป่ตู้
2 湿敏传感器
图10-7 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器相对湿度与电阻的关系
● MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器的相对湿度与电阻值之
间的关系，见图10-7所示。传感器的电阻值既随所处环 境的相对湿度的增加而减少，又随周围环境温度的变化 而有所变化。
2 湿敏传感器 ◆水的饱和蒸气压随温度的降低而逐渐下降。在同样的空气水
蒸气压下，温度越低，则空气的水蒸气压与同温度下水的饱 和蒸气压差值越小。当空气温度下降到某一温度时，空气中 的水蒸气压与同温度下水的饱和水蒸气压相等。此时，空气 中的水蒸气将向液相转化而凝结成露珠，相对湿度为100％ RH。该温度称为空气的露点温度，简称露点。如果这一温 度低于0℃时，水蒸气将结霜，又称为霜点温度。两者统称 为露点。空气中水蒸气压越小，露点越低，因而可用露点表 示空气中的湿度。
2 湿敏传感器
图10-5 Fe3O4半导瓷湿敏电阻特性
3. 典型半导瓷湿敏元件 (1) MgCr2O4-TiO2湿敏元件 ●氧化镁复合氧化物——二氧化钛湿敏材料通常制成多孔陶瓷 型“湿—电”转换器件，它是负特性半导瓷，MgCr2O4为Ｐ 型半导体，它的电阻率低，阻值温度特性好，结构如图10-6 所示。
半导体传感器2010-6
器件的灵敏度特性虽然各有差异， 单他们都遵循共同规律，即器件电 阻与检测气体浓度之间大多有如下 关系：
式中m代表器件相对于气体浓度变化 的敏感性，又称气体分离能，对于 可燃气体，m值为1/2～1/3；n与检 测气体、器件材料等因素有关，并 随测试温度和材料中有无增感剂而 有所不同。
SnO2气敏传感器的灵敏度特性曲线
器器器器 / k 响响响响响1 min以以
100
器器器器
稳稳稳 态
氧氧氧
50
5 2 min 4 min
还还氧
器器加加 大大大
吸大响
N型半导体吸附气体时器件性和参数 表面电阻控制型气敏传感器的代表有SnO2、ZnO等金属氧 化物半导体材料制成的气体传感器。其中以SnO2气敏传感器 较 成熟，应用最广泛，下面就以此传感器为例进一步说明气敏传 感器的特性与参数。 ⑴灵敏度特性 气敏传感器在最佳工作条件下，接触同一种气体，其电阻 值Rs随气体浓度变化的特性称为灵敏度特性，用K表示： K= Rs/ R0 式中的R0为气敏传感器在正常空气条件下（洁净空气中）的电 阻值称为固有电阻值，一般固有电阻值在(103 ～105 ) 范围； Rs为传感器在一定浓度的检测气体中的电阻值。
厚膜型气敏器件
厚膜型气敏器件是将SnO2和 ZnO等材料与3％～15％重量 的硅凝胶混合制成能印刷的 厚膜胶，把厚膜胶用丝网印 制到装有铂电极的氧化铝基 片上，在400～800℃高温下 烧结1～2小时制成。 优点：一致性好，机械强度 高，适于批量生产。
二、表面电阻控制型元件
⒈表面电阻控制型气敏传感器的工作原理 ㈠表面电导理论 表面电阻控制型元件的表面电阻会根据待测气体种类及浓 度的不同增大或减小。当半导体器件被加热到稳定状态，在气 体接触半导体表面而被吸附时，被吸附的分子首先在表面物性 自由扩散，失去运动能量，一部分分子被蒸发掉，另一部分残 留分子产生热分解而固定在吸附处（化学吸附）。吸附分子和 材料表面层交换电子而带上不同的电荷成为正离子或负离子， 同时影响半导体材料表面层的性质。 正是由于吸附的气体分子从材料表面得到或者给予电子， 使表面层的阻值发生了改变，我们分别考虑以下两种情况：