提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率的途径
光伏电池效率提升有哪些技术路径
光伏电池效率提升有哪些技术路径在当今能源转型的大背景下，光伏电池作为一种清洁能源的重要来源，其效率的提升对于推动太阳能的广泛应用具有至关重要的意义。
那么，究竟有哪些技术路径可以实现光伏电池效率的显著提升呢？首先，材料的优化是提高光伏电池效率的关键之一。
以硅基光伏电池为例，通过提高硅材料的纯度，可以减少杂质对电荷传输的阻碍，从而提高电池的性能。
此外，研发新型的半导体材料，如砷化镓（GaAs）、碲化镉（CdTe）等，也为提升光伏电池效率带来了新的可能性。
这些材料具有更优异的光电转换特性，能够在相同条件下吸收更多的光子并产生更多的电荷。
电池结构的改进也是一个重要的方面。
传统的平面结构光伏电池在光吸收和电荷收集方面存在一定的局限性。
而新型的结构设计，如异质结结构、背接触结构等，则能够有效地提高光的捕获和电荷的传输效率。
异质结结构通过将不同禁带宽度的材料结合在一起，形成内建电场，促进电荷分离，从而提高电池效率。
背接触结构则减少了正面金属电极对光的遮挡，增加了有效光照面积，进而提升电池的输出性能。
减反射涂层技术的应用同样不可忽视。
光伏电池表面的反射会导致光的损失，降低电池的效率。
通过在电池表面沉积一层减反射涂层，如氮化硅（SiNx）或二氧化钛（TiO2）等，可以有效地减少反射，增加光的入射量。
这些涂层不仅能够降低反射率，还可以起到钝化电池表面、减少缺陷态的作用，进一步提高电池的性能。
多结技术是提升光伏电池效率的另一种有效途径。
多结光伏电池由多个不同带隙的半导体材料层叠而成，能够吸收更广泛的太阳光谱。
每个结吸收特定波长的光子并进行光电转换，从而实现更高的总转换效率。
这种技术在空间应用和聚光光伏系统中已经取得了显著的成果。
在制造工艺方面的创新也对光伏电池效率的提升发挥着重要作用。
例如，采用更精细的光刻技术和先进的扩散工艺，可以实现更精确的电极图案和更均匀的杂质分布，从而优化电池的电学性能。
此外，低温工艺的发展也有助于减少热损伤和缺陷的产生，提高电池的质量和效率。
光伏发电效率提升方案
光伏发电效率提升方案光伏发电效率提升方案：1. 使用高效太阳能电池板：选择高效率、低成本的太阳能电池板，如多晶硅电池、单晶硅电池或薄膜太阳能电池板等。
这些电池板具有更高的能量转换效率，可以提供更多的电能。
2. 提高光伏电池板的光吸收能力：在太阳能电池板表面应用反射材料，以提高对太阳能的光吸收能力。
此外，使用光学镜片或集中太阳能系统可以进一步增加太阳能电池板的光吸收和能量转换效率。
3. 优化阳光入射角度：太阳能电池板效率会随阳光入射角度的变化而变化。
通过安装跟踪系统或自动调整装置，能够使太阳能电池板始终保持最佳的入射角度，从而提高发电效率。
4. 减少光伏电池板的温度：高温会降低太阳能电池板的能量转换效率。
通过散热系统或改善电池板的散热性能，可以减少电池板的温度，提高发电效率。
5. 清洁和维护太阳能电池板：积灰、灰尘或污垢会阻碍阳光的入射，影响光伏发电效率。
定期清洁电池板表面，保持其清洁状态，并及时检查和更换损坏的部件，可以有效提高发电效率。
6. 优化电池板布局和组合：通过优化太阳能电池板的布局和组合，最大限度地利用可用空间和阳光资源。
合理设计电池板的安装位置和角度，可以提高整体发电效率。
7. 储能技术的应用：通过结合储能技术，如锂离子电池、氢燃料电池或储氢技术，将多余的太阳能电能存储起来，提高光伏发电系统的整体效率和可靠性。
8. 智能化监控和控制系统：应用智能化监控和控制系统来优化光伏发电系统的运行效率。
通过实时监测太阳能电池板的发电功率、温度和状态等参数，并根据实时数据调整系统的运行，可以提高系统的整体性能。
9. 研发创新技术：持续进行光伏技术的研发和创新，探索新的材料、工艺和设备。
例如，开发高效率、低成本的第三代太阳能电池技术，如钙钛矿太阳能电池或有机太阳能电池等，有助于进一步提高光伏发电系统的效率。
10. 政策和法规支持：政府可以出台相关政策和法规，鼓励和支持光伏发电技术的发展和推广。
通过提供资金支持、减税或税收优惠、购买电能的回购政策等方式，吸引更多的投资和参与者，推动光伏发电效率的提升。
光伏发电效率提升方案
光伏发电效率提升方案
光伏发电作为一种可再生能源发电方式，其能量转换效率直接影响到其经济性和可持续发展性。
为提高光伏发电效率，以下是一些可能的方案：
1. 高效光伏电池技术：研发新型高效光伏电池技术，如多结光伏电池、钙钛矿光伏电池等。
这些新型电池技术具有更高的光电转换效率，可以提高光伏发电的效率。
2. 使用反射镜和透镜：利用反射镜和透镜将太阳光线聚焦到光伏电池上，增加光的密度，提高光伏发电效率。
3. 光伏电池冷却技术：光伏电池在工作时会产生热，降低电池效率。
通过使用冷却技术，如冷却板或流体冷却系统，可以将光伏电池的温度降低，提高光伏发电效率。
4. 提高材料质量和制造工艺：改进光伏电池的材料质量和制造工艺，减少缺陷和能量损失，提高光伏电池的效率。
5. 使用太阳能跟踪系统：太阳能跟踪系统可以实时调整光伏电池板的角度，使其始终与太阳保持垂直，最大程度地利用太阳光，提高光伏发电效率。
6. 增加光伏系统的光吸收能力：在光伏系统表面涂覆特殊材料，可以增加其对光的吸收能力，提高光伏发电效率。
7. 提高光伏电池组件的负载匹配：光伏电池组件的负载匹配可
以通过调整电路的电阻和电压来实现，以获得最佳发电效率。
8. 提高光伏发电系统的光电转换效率：通过改进光伏电的收集和转换系统，如增加电路的效率和减少能量损失等，可以提高光伏发电效率。
总之，提高光伏发电效率的方案有很多，包括改进电池技术、优化系统设计和制造工艺、提高光伏电池组件的负载匹配等等。
这些方案的实施可以进一步推动光伏发电的发展，降低其成本，促进可持续发展。
光伏电站增加发电量的措施
光伏电站增加发电量的措施
光伏电站增加发电量的措施可以从以下几个方面进行考虑：
1. 提高光伏板的转换效率：通过使用更高效的光伏电池技术，如多晶硅、单晶硅或薄膜太阳能电池，提高光伏板的转换效率，以更好地吸收太阳能并将其转化为电能。
2. 定期清洗光伏板：定期清洗光伏板上的灰尘、沙尘和污渍，确保光伏板表面清洁，减少尘埃对太阳能吸收的阻碍，提高光伏电站的发电效率。
3. 优化光伏电站布局：合理规划和布置光伏电站的组件，以最大限度地提高太阳能的吸收。
例如，避免组件之间的阴影遮挡，使得每个组件都能得到充分的阳光照射。
4. 应用太阳能跟踪技术：太阳能跟踪技术允许光伏面板随着太阳的运动而调整其角度和方向，以最大限度地吸收太阳能。
这种技术可以增加光伏电站的发电量，尤其是在清晨和傍晚时段。
5. 应用能量存储技术：使用能量存储技术，如电池储能系统，将白天多余的太阳能存储起来，在太阳不可用或需求高峰期使用。
通过合理规划存储和释放能量，提高光伏电站的发电量。
6. 综合利用光伏电站周围环境资源：考虑光伏电站周围的环境资源，如植被、水资源等，通过合理的规划和设计，充分利用这些资源提高光伏电站的发电效率。
7. 不断改进系统运营管理：通过实施精细化的运营管理，及时进行设备检修和维护，提高系统的可靠性和性能，以确保光伏电站的持续高效运行。
提高太阳能电池转换效率的方法
提高太阳能电池转换效率的方法提高太阳能电池转换效率的方法随着全球对可再生能源需求的不断增长，太阳能电池成为了人们关注的焦点。
然而，太阳能电池的转换效率是其应用过程中一个重要的限制因素。
因此，提高太阳能电池的转换效率成为了科研人员和工程师们的重要任务。
以下列举了一些提高太阳能电池转换效率的方法。
一、材料优化1.选用更高性能的光伏材料。
不同材料对于太阳能的吸收和转化效率有着不同的表现。
一些新兴的材料，如钙钛矿太阳能电池，具有较高的能量转换效率和低制造成本，是提高太阳能电池效率的重要途径之一。
2.优化硅材料。
硅是太阳能电池中最常用的材料之一，科研人员通过改变硅材料的纯度、晶体结构等因素，提高其对太阳能的吸收和转化效率。
二、结构优化1.多结太阳能电池。
多结太阳能电池是一种将不同能隙的材料结合在一起，形成多个“结”的太阳能电池。
这种结构可以拓宽太阳能电池的吸收光谱范围，从而提高其转换效率。
2.倒置太阳能电池。
倒置太阳能电池是将传统太阳能电池的结构进行翻转，将电流收集层放在顶部，以提高电流的收集效率。
三、表面优化1.减小反射损失。
太阳能电池表面的反射损失是影响其转换效率的因素之一。
通过采用光学涂层、微观结构等方法，可以减小太阳能电池表面的反射损失，提高太阳能的吸收效率。
2.表面钝化。
表面钝化是一种通过降低太阳能电池表面反射率和增加光学厚度来提高其转换效率的方法。
通过钝化太阳能电池的表面，可以减少表面缺陷和载流子复合，提高载流子的收集效率。
四、光学优化1.采用透镜或反射镜。
通过采用透镜或反射镜等光学元件，可以将阳光集中到太阳能电池上，提高其转换效率。
这种技术对于空间太阳能电站等大型光伏系统具有重要意义。
2.光热转化。
光热转化是一种将太阳能转化为热能，再利用热能驱动光电转换过程的方法。
通过将太阳能聚集在热接收器上，提高温度并利用热电偶原理将热能转换为电能，可以提高太阳能电池的转换效率。
五、环境因素优化1.温度管理。
太阳能电池技术改进方案及关键问题分析
太阳能电池技术改进方案及关键问题分析引言：随着全球对可再生能源需求的不断增长，太阳能电池作为一种具有潜力的清洁能源技术受到越来越多的关注和重视。
然而，太阳能电池的效率和成本仍然是制约其广泛应用的主要因素。
因此，本文将讨论目前太阳能电池技术的改进方案，并对关键问题进行分析，以期推动该领域的发展。
太阳能电池技术改进方案：1. 多晶硅电池技术：多晶硅电池是目前最常见的太阳能电池技术，其性能稳定且成本较低。
然而，传统的多晶硅电池面临着效率较低和制造过程中产生大量废料的问题。
针对这些问题，改进方案包括：- 提高光电转化效率：通过改进材料的制备工艺、表面涂层技术和光电转化效率的提升，使太阳能电池的效率得到提高。
- 降低制造成本：采用先进的制造工艺和新型材料，如引入晶体生长技术和薄膜封装技术，以降低成本。
- 废料利用：研究和开发废弃多晶硅电池的再生利用技术，减少对环境的影响。
2. 单晶硅电池技术：单晶硅电池因其高效转换率和稳定性而备受关注，但成本较高且对制造工艺要求较高。
改进方案包括：- 多晶材料制备技术：通过改进单晶硅生长技术，使其制造成本降低，实现大规模商业化生产。
- 合金材料利用：研究并应用新材料合金，提高太阳能电池的效能和稳定性。
- 局部点缀技术：通过在电池表面局部点缀金属导线，分布式提高电流收集效果。
3. 薄膜太阳能电池技术：薄膜太阳能电池以其灵活性和轻薄的特点备受瞩目，但其效率仍较低。
改进方案包括：- 提高光吸收技术：采用新型材料和设计结构，提高薄膜太阳能电池对光的吸收效率。
- 提高载流子传输效率：通过优化薄膜太阳能电池的导电层结构和材料，提高载流子传输效率。
- 提高稳定性：改进材料、工艺和封装技术，提高薄膜太阳能电池的稳定性和耐久性。
关键问题分析：1. 资源供应问题：太阳能电池生产所需的硅材料、稀有金属等资源供应存在限制。
因此，研究和开发替代材料以及回收再利用废弃太阳能电池是解决该问题的关键。
2. 能源转换效率问题：太阳能电池的转换效率仍然不高。
光伏组件的效率提升技术
光伏组件的效率提升技术光伏发电是目前被广泛应用的一种可再生能源技术，同时也是减缓气候变化和降低碳排放的重要手段之一。
光伏组件是光伏发电系统的核心部件，其功率转换效率的提升对于整个光伏系统的性能至关重要。
在这篇文章中，我们将介绍几种常见的光伏组件效率提升技术。
一、提高光伏组件效率的背景光伏组件的效率是指光能转化为电能的比例，通常用百分比表示。
当前市场上，光伏组件的效率大致在15%至25%之间。
提高光伏组件效率的重要性不言而喻，可以进一步提高光伏系统的发电效率，降低发电成本，并减少对传统能源的依赖。
二、提高光伏组件效率的技术1. 多晶硅电池技术多晶硅电池是目前市场上应用最广泛的光伏组件。
通过改善晶体结构以及晶格纯度，可以提高多晶硅材料的光电转化效率。
同时，优化多晶硅电池的制程工艺，减少电池表面和界面的缺陷，也能进一步提高光伏组件的效率。
2. 单晶硅电池技术相较于多晶硅电池，单晶硅电池的晶体结构更加有序，晶格纯度更高，因此具有更高的光电转化效率。
然而，制造单晶硅电池的成本较高，限制了其在普及中的应用。
目前研究人员正在努力降低单晶硅电池的制造成本，以提高其市场竞争力。
3. 薄膜太阳能电池技术薄膜太阳能电池是一种利用薄膜材料制成的光伏组件。
相较于传统的硅基光伏组件，薄膜太阳能电池具有更轻薄、柔韧的特点，并且可以在室内和低光条件下工作。
然而，由于薄膜太阳能电池的光电转化效率较低，目前仍面临着效率提升的挑战。
4. 提高光伏组件温度系数光伏组件的温度系数是指温度升高时组件输出功率的变化率。
降低光伏组件温度系数可以提高在高温条件下的发电效率。
目前，研究人员通过优化材料的选择和加工工艺，已经取得了一定的成果。
5. 提高光伏组件的光吸收能力光伏组件的光吸收能力与其光电转化效率密切相关。
通过改进光伏组件的光学结构，如表面纳米结构、反射层设计等，可以提高组件对光的吸收效率，从而提高光伏组件的效率。
6. 提高光伏组件的稳定性光伏组件在长期运行中往往会受到各种外界因素的影响，如温度变化、湿度、紫外辐射等。
提高太阳能电池效率的方法
提高太阳能电池效率的方法引言太阳能电池作为一种清洁、可再生的能源，已经成为减少对化石燃料的依赖和减少环境污染的重要手段。
然而，目前太阳能电池的效率仍然较低，远远不能满足实际应用的需求。
因此，提高太阳能电池的效率成为了当前研究的热点之一。
本文将探讨几种提高太阳能电池效率的方法。
优化光吸收光吸收是太阳能电池的第一步，优化光吸收能够提高光电转换效率。
以下是几种优化光吸收的方法：1. 材料选择选择光吸收材料的能带结构和光学性质与太阳光谱相匹配，能够提高太阳能电池的效率。
例如，钙钛矿太阳能电池具有宽禁带和高吸收系数，可以实现较高的光吸收效率。
2. 表面纳米结构通过制备表面纳米结构，能够增加太阳光在材料表面的反射和散射，从而增加光在材料中的传输路径，提高光吸收效率。
3. 多层结构设计多层结构，将材料分为不同的层次，每一层的能带结构和光学性质不同。
通过调控不同层次的光吸收和光电转换效率，可以实现更高的总的光电转换效率。
提高载流子传输载流子的传输是太阳能电池中的关键环节之一。
以下是几种提高载流子传输的方法：1. 导电材料选择具有较高导电性能的材料作为电极，可以减小电极电阻，提高载流子的传输效率。
2. 正负电子传输的平衡调控阳极和阴极之间正负电子的传输平衡，可以避免电子的堵塞和损失，提高载流子的传输效率。
3. 提高载流子扩散长度通过设计有利于载流子传输的结构和界面，提高载流子的扩散长度，减小载流子的传输阻力，提高太阳能电池的效率。
4. 提高载流子寿命通过选择合适的材料和改善材料的表面和界面性质，可以提高载流子的寿命，减小载流子的重新组合，提高太阳能电池的效率。
提高光电转换效率光电转换效率是衡量太阳能电池性能的重要指标。
以下是几种提高光电转换效率的方法：1. 半导体材料的优化优化半导体材料的能带结构和载流子传输特性，可以提高光电转换效率。
例如，掺杂和合金化可以调控能带结构，而改变材料的结构和掺杂浓度可以影响载流子的传输特性。
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提高多晶S i薄膜太阳电池转换效率的途径Prepared on 22 November 2020本文由【】搜集整理。
免费提供海量教学资料、行业资料、范文模板、应用文书、考试学习和社会经济等w o r d文档“微纳电子技术”2008年第4期专家论坛187-提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率的途径纳米器件与技术193-小尺寸超高频双极晶体管工艺及特性模拟198-单电子晶体管的蒙特卡罗模拟及宏观建模纳米材料与结构205-腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜209-Bi2O3/TiO2纳米复合物的微波合成及光催化性质MEMS器件与技术214-基于MEMS技术的微波滤波器研究进展219-新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究显微、测量、微细加工技术与设备222-纳米光刻对准方法及其原理231-变温腐蚀法制备纳米光纤探针235-一维纳米结构的拉伸力学测试240-Si 基GaN薄膜的制备方法及结构表征=======================================专家论坛187-提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率的途径彭英才1，2，姚国晓3，马蕾1，王侠1（1. 河北大学电子信息工程学院，河北保定071002；2. 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室，北京 100083；3. 中国天威英利新能源有限公司，河北保定071051）摘要：多晶Si薄膜对可见光进行有效地吸收、光照稳定性好、制作成本低，被公认为是高效率和低成本的光伏器件材料。
以提高多晶Si薄膜太阳电池转换效率为主线，介绍了增大晶粒尺寸以增加载流子迁移率、进行表面和体内钝化以减少复合中心、设计p-I-n结构以增加光收集效率、制作绒面结构以提高对入射光的吸收效果、改进电池结构以谋求最大效率等工艺措施；综述了近5年来多晶Si薄膜电池在材料生长、结构制备和性能参数方面取得的最新进展，并对其发展前景做了预测。
关键词：多晶Si薄膜；大晶粒；氢钝化；p-I-n结构；太阳电池；转换效率纳米器件与技术193-小尺寸超高频双极晶体管工艺及特性模拟赵守磊，李惠军，吴胜龙，刘岩（山东大学孟尧微电子研发中心，济南250100）摘要：基于通信系统中射频电路设计的特殊要求，对小尺寸（基区宽度低于100 nm）、超高频（特征频率高于15 GHz）双极晶体管工艺制程和器件的物理特性进行了模拟，为工艺线流片进行可行性研究。
该器件采用BiCMOS制程结构实现，在对小尺寸、超高频双极性器件物理模型进行详尽分析的基础上，实现了该器件工艺级（Sentaurus Process）及器件物理特性级（Sentaurus Device）的仿真，提出TCAD工艺及器件的一体化设计方案。
模拟结果表明，在高频指标参数 17GHz下，所得β值接近于80，满足设计要求。
关键词：小尺寸；双极器件；频率特性；工艺仿真；特性模拟198-单电子晶体管的蒙特卡罗模拟及宏观建模孙海定，江建军（华中科技大学电子科学与技术系，武汉430074）摘要：以单电子晶体管为研究对象，系统阐述了库仑阻塞、库仑台阶、单电子隧穿等物理现象的产生机理。
微观模拟与宏观建模相结合,着重介绍了如何用蒙特卡罗方法和Matlab相结合对上述各种物理现象进行数值模拟,同时对单电子晶体管进行宏观电路等效,用一些常用元器件进行宏观建模。
采用强大的模拟集成电路软件Hspice进行分析模拟,大大减少了计算及仿真时间。
通过分析比较,两者曲线得到了较好的吻合,直观地反映了单电子晶体管的电学特性,为进一步研究复杂系统提供了理论依据。
关键词：单电子晶体管；单电子隧穿；库仑阻塞；库仑台阶；蒙特卡罗；Hspice纳米材料与结构205-腐蚀法制备绒面ZnO透明导电薄膜刘佳宇，朱开宇，王文辕（河北理工大学信息学院，河北唐山063000）摘要：利用中频脉冲磁控溅射系统制备高透过率、高电导率的平面ZnO薄膜。
对平面ZnO薄膜进行短时间弱酸腐蚀，可以获得绒面效果的ZnO透明导电薄膜。
分析了工作气压和衬底温度对薄膜绒面结构的影响，获得了适合薄膜太阳能电池的绒面ZnO透明导电薄膜。
当压力控制在 Pa左右，衬底温度150~170 ℃范围内沉积的薄膜具有最佳的绒面和较低的电阻率，电阻率可达×10-4 Ω·cm，载流子浓度×1020 cm-3，霍尔迁移率40.1 cm2/V·s,在可见光范围平均透过率超过85％。
关键词：中频脉冲溅射；绒面ZnO；透明导电膜；腐蚀；结构209-Bi2O3/TiO2纳米复合物的微波合成及光催化性质廖学红，王小佳（黄冈师范学院化学系，湖北黄冈438000）摘要：以硝酸铋和硫酸钛为原料，通过直接投料微波辐射水解合成法制备了掺铋TiO2纳米复合物，并用XRD、TEM进行了表征。
结果表明，直接投料摩尔比为1∶10掺铋TiO2纳米复合物，经500 ℃热处理后晶型为锐钛矿型，粒径为6~10 nm。
以催化降解甲基橙来考察其光催化活性，结果表明所制备的纳米复合物是一个好的催化剂。
研究了Bi3+的掺杂量、热处理温度、催化剂用量对掺铋TiO2纳米复合物光催化性能的影响。
当催化剂用量为1 g/L时，2 mg/L的甲基橙溶液在紫外光辐射30 min后，降解率达到97%。
该复合物对甲基橙溶液的光催化降解符合一级动力学方程。
关键词：Bi3+掺杂；二氧化钛；纳米复合物；微波合成；光催化MEMS器件与技术214-基于MEMS技术的微波滤波器研究进展欧阳炜霞，张永华，王超，郭兴龙，赖宗声(华东师范大学微电子电路与系统研究所，上海200241)摘要：基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。
与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比，MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。
对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结，综述了近几年MEMS滤波器的研究进展，包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关/电容实现的可调滤波器。
指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要，具有重要的现实意义。
关键词：MEMS技术；硅体微加工；LIGA技术；微波滤波器；可调滤波器219-新型三轴MEMS热对流加速度传感器的研究吕树海，杨拥军，徐淑静，徐爱东，徐永青(中国电子科技集团公司第十三研究所，石家庄050051)摘要：介绍了一种基于热流原理的新型三轴MEMS热对流加速度传感器，它没有活动质量，无需多个器件组合就可以进行任意方向的加速度信号测量。
分析了该器件的工作原理，设计了器件结构，进行了工艺开发，加工出了原理样机。
测试表明：该器件实现了三个轴向的加速度信号的检测性能，验证了新原理的可行性；测量量程达到±2 g，分辨率达到1 mg，抗冲击能力达到10 000 g，具备了良好的性能。
关键词：微电子机械系统；三轴；对流场；加速度；传感器显微、测量、微细加工技术与设备222-纳米光刻对准方法及其原理周绍林1，2，唐小萍1，胡松1，马平1，陈旺富1，2，杨勇1，2，严伟1(1. 中国科学院光电技术研究所，成都610209 ；2. 中国科学院研究生院，北京100039)摘要：对准技术对光刻分辨力的提高有着重要作用。
45 nm节点以下的光刻技术如纳米压印等，对相应的对准技术提出了更高的要求。
对光刻技术发展以来主要用于接近接触式和纳米压印光刻的对准技术做总结分类，为高精度的纳米级光刻对准技术提供理论研究基础和方向。
经过分析，从原理上将对准技术分为几何成像对准、波带片对准、干涉光强度对准、外差干涉对准及莫尔条纹等五种对准方法。
最后结论得出基于条纹空间相位的对准方法具有最好的抗干扰能力且理论上能达到最高的对准精度，而其他基于光强的对准方法的精度更易受到工艺涂层的影响。
因此，基于干涉条纹空间相位对准的方法在纳米级光刻对准中具有很好的理论前景。
关键词：纳米光刻；对准技术；掩模与硅片；标记；对准精度231-变温腐蚀法制备纳米光纤探针杨修文1，祝生祥2，胡毅1（1. 郧阳师范高等专科学校物理系，湖北丹江口442700；2. 同济大学 Pohl 固体物理研究所，上海200092）摘要：通过改变温度，用腐蚀的方法制备出用于近场光学显微镜的光纤探针。
通过控制光纤在不同温度的腐蚀液中腐蚀的时间，制备出多种形貌的光纤探针，所制作探针的锥形过渡区短而锥角大。
该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、制备的探针表面光滑等优点，利用该方法成功地制备出针尖尺寸50～300 nm、针尖锥角在40°～74°可调的光纤探针。
将制备的探针用于扫描全息光栅（500线/mm），结果在40 mm 范围内扫描有20个周期，与全息光栅的标定结果相符。
关键词：纳米光纤探针；近场光学；显微镜；腐蚀法；温度235-一维纳米结构的拉伸力学测试金钦华1，2，王跃林1，2，李铁2（1.上海交通大学微纳科学技术研究院，上海200030；2.中国科学院微系统与信息技术研究所，上海200050）摘要：对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时，面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点，解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术。
从实验使用的测试仪器及拉伸方式出发，将目前发表的一维纳米拉伸实验分为基于探针、MEMS和电子束辐照开展的拉伸实验，并对各种实验方法进行了比较。
发现基于MEMS的拉伸实验由于其对测试仪器的改造小、花费少、且通过设计制作不同测试功能的芯片可实现多样测试，是更有发展前景的测试技术。
关键词：一维纳米结构；轴向拉伸实验；纳米力学；微机电系统力学测试芯片；原位测试240-Si 基GaN薄膜的制备方法及结构表征张敬尧，李玉国，崔传文，张月甫，卓博世(山东师范大学物理与电子科学学院，济南250014)摘要：分别采用射频磁控溅射、热壁化学气相沉积（CVD）、电泳沉积法制备GaN薄膜。
利用扫描电镜（SEM）、荧光光谱仪对样品进行结构、形貌和发光特性的分析比较。
射频磁控溅射方法中, 把SiC中间层沉淀到Si衬底上，目的是为了缓冲由GaN外延层和Si衬底的晶格失配造成的应力。
结果证实了SiC中间层提高了GaN薄膜的质量。
热壁化学气相沉积法制备GaN晶体膜时，选择H2作反应气体兼载体，有利于GaN膜的形成。
电泳沉积法显示所得样品为六方纤锌矿结构的GaN多晶薄膜。
结果表明：溅射法制备的GaN薄膜结晶效果好；CVD法制备时GaN薄膜应用范围广；电泳沉积法操作方便、简单易行。
关键词：GaN薄膜；Si基；溅射；化学气相沉积；电泳沉积。