膜厚均匀性测试
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汽车涂装工艺中的漆膜质量评价指标
漆膜外观质量评价指标
平整度
01
02
03
平整度
漆膜表面应光滑、连续， 无明显的凹凸、颗粒、气 泡等缺陷，以达到良好的 视觉效果。
检测方法
通过目视观察、触感检测 以及使用平整度检测仪器 进行定量测量。
影响因素
涂装过程中的施工方法、 环境温湿度、涂料粘度等 都会影响漆膜平整度。
光泽度
光泽度
漆膜表面反射光线的能力 ，体现漆膜的镜面效果。
要点二
详细描述
耐候性是指漆膜抵抗阳光、紫外线、风雨等气候因素影响 的能力。在汽车涂装工艺中，耐候性是评价漆膜质量的重 要指标之一，因为它直接影响到汽车在使用过程中的外观 保持能力。耐候性通常采用人工加速老化试验进行评估， 通过观察漆膜在模拟实际使用环境下的颜色变化、光泽丧 失、开裂等现象的发生程度来评价其耐候性能。
06
漆膜质量评价测试方法
目视评价法
总结词
通过观察漆膜表面，评估其外观、颜色 、光泽和纹理等特性。
VS
详细描述
目视评价法是最基本、最直观的漆膜质量 评价方法。评估人员通过肉眼观察漆膜表 面，检查是否存在颜色不均、气泡、裂纹 、杂质等缺陷。同时，观察漆膜的光泽和 纹理，以评估其美观度和质感。
仪器评价法
桔皮现象
桔皮现象
漆膜表面呈现类似桔皮状的纹理 ，影响外观质量。
检测方法
目视观察以及使用仪器测量桔皮的 大小和深度。
影响因素
涂料的流平性、涂装环境的温湿度 、涂装技术等都会导致桔皮现象的 产生。
Hale Waihona Puke 3漆膜物理性能评价指标硬度
总结词
硬度是衡量漆膜抵抗刮擦和划痕的能力的重要指标。
详细描述
硬度是指漆膜抵抗刮擦和划痕的能力。通常采用摆杆硬度计进行测量，摆杆硬 度计的测量原理是通过测量漆膜抵抗形变的能力来反映其硬度。硬度高的漆膜 能够更好地抵抗划痕和刮擦，保持外观的完整性。
平整度
01
02
03
平整度
漆膜表面应光滑、连续， 无明显的凹凸、颗粒、气 泡等缺陷，以达到良好的 视觉效果。
检测方法
通过目视观察、触感检测 以及使用平整度检测仪器 进行定量测量。
影响因素
涂装过程中的施工方法、 环境温湿度、涂料粘度等 都会影响漆膜平整度。
光泽度
光泽度
漆膜表面反射光线的能力 ，体现漆膜的镜面效果。
要点二
详细描述
耐候性是指漆膜抵抗阳光、紫外线、风雨等气候因素影响 的能力。在汽车涂装工艺中，耐候性是评价漆膜质量的重 要指标之一，因为它直接影响到汽车在使用过程中的外观 保持能力。耐候性通常采用人工加速老化试验进行评估， 通过观察漆膜在模拟实际使用环境下的颜色变化、光泽丧 失、开裂等现象的发生程度来评价其耐候性能。
06
漆膜质量评价测试方法
目视评价法
总结词
通过观察漆膜表面，评估其外观、颜色 、光泽和纹理等特性。
VS
详细描述
目视评价法是最基本、最直观的漆膜质量 评价方法。评估人员通过肉眼观察漆膜表 面，检查是否存在颜色不均、气泡、裂纹 、杂质等缺陷。同时，观察漆膜的光泽和 纹理，以评估其美观度和质感。
仪器评价法
桔皮现象
桔皮现象
漆膜表面呈现类似桔皮状的纹理 ，影响外观质量。
检测方法
目视观察以及使用仪器测量桔皮的 大小和深度。
影响因素
涂料的流平性、涂装环境的温湿度 、涂装技术等都会导致桔皮现象的 产生。
Hale Waihona Puke 3漆膜物理性能评价指标硬度
总结词
硬度是衡量漆膜抵抗刮擦和划痕的能力的重要指标。
详细描述
硬度是指漆膜抵抗刮擦和划痕的能力。通常采用摆杆硬度计进行测量，摆杆硬 度计的测量原理是通过测量漆膜抵抗形变的能力来反映其硬度。硬度高的漆膜 能够更好地抵抗划痕和刮擦，保持外观的完整性。
薄膜均匀性的研究分析
差别一般不大，大约在零点几个纳米
左右， 故 Hr 的值与 Hmin 的值很接近。计算得 到膜厚分布的曲线为：
Hr = −0.0002506*10−7 *r2 +1.1002506*10−7 （５） 将 不 同 的ｒ 值 代 入 式（ ４ ） 、式 （ ５ ） ， 结 果 如
图１ 基片上膜厚分布曲线
图２ 基片上膜厚分布曲线 图３ 根据数据得出的掩模板形状
的膜厚遮挡掉，来提高膜厚均匀性是一种 新 的 发 展 思 路 ［５］。本 文 主 要 是 在 真 空 蒸 发 镀的条件下，对薄膜厚度均匀性进行了讨 论，以及为达到膜厚均匀设计了适合的修 正板。
１ 修正板公式推导
通过列举一些实际的数据，可以得到
掩 模 板 的 外 形 轮 廓 。选 择 基 片 半 径
Ｒ＝２０ｃｍ；基片旋转中心的偏心距 e =0 ；最 小 膜 厚 Hmin = 1 ｎ ｍ ； 膜 厚 分 布 服 从 二 次 函 数 Hr = a*r2 +b ； 在 ｒ ＝ １ ｃ ｍ 处 ， Hr =1 ｎ ｍ ； 膜 厚 分 布 的 曲 线 过 （ ２ ０ ｃ ｍ ， １ ｎ ｍ ） 点 。由 于 蒸 发 镀
随着真空镀膜技术的广泛应用，对薄 膜 均 匀 性 的 要 求 也 越 来 越 高 。任 何 一 种 有 实际应用价值的薄膜都对膜厚分布有特 定的要求，除了少数特殊场合外，绝大多 数情况下都要求薄膜厚度尽可能均匀一 致 ［１，２］。薄 膜 均 匀 性 是 指 待 镀 基 片 上 所 镀 的 膜厚随着基片在真空室内位置的变化而
真空室中基板温度的分布往往是不均 匀 的 ， 这 与 真 空 室 内 加 热 源 的 位 置 、能 量 大 小 等 因 素 有 关 。通 常 夹 具 上 中 间 部 分 与 边 缘 部 分 的 温 度 差 可 达 几 十 摄 氏 度 。这 样 由 于凝聚系数的差异，温度高的地方膜厚势 必 比 温 度 低 的 地 方 薄 。所 以 要 通 过 一 系 列 温控手段来合理地改变真空室中温度场的 分布。 ２ ． ３ 基板与蒸发源相对位置的影响
左右， 故 Hr 的值与 Hmin 的值很接近。计算得 到膜厚分布的曲线为：
Hr = −0.0002506*10−7 *r2 +1.1002506*10−7 （５） 将 不 同 的ｒ 值 代 入 式（ ４ ） 、式 （ ５ ） ， 结 果 如
图１ 基片上膜厚分布曲线
图２ 基片上膜厚分布曲线 图３ 根据数据得出的掩模板形状
的膜厚遮挡掉，来提高膜厚均匀性是一种 新 的 发 展 思 路 ［５］。本 文 主 要 是 在 真 空 蒸 发 镀的条件下，对薄膜厚度均匀性进行了讨 论，以及为达到膜厚均匀设计了适合的修 正板。
１ 修正板公式推导
通过列举一些实际的数据，可以得到
掩 模 板 的 外 形 轮 廓 。选 择 基 片 半 径
Ｒ＝２０ｃｍ；基片旋转中心的偏心距 e =0 ；最 小 膜 厚 Hmin = 1 ｎ ｍ ； 膜 厚 分 布 服 从 二 次 函 数 Hr = a*r2 +b ； 在 ｒ ＝ １ ｃ ｍ 处 ， Hr =1 ｎ ｍ ； 膜 厚 分 布 的 曲 线 过 （ ２ ０ ｃ ｍ ， １ ｎ ｍ ） 点 。由 于 蒸 发 镀
随着真空镀膜技术的广泛应用，对薄 膜 均 匀 性 的 要 求 也 越 来 越 高 。任 何 一 种 有 实际应用价值的薄膜都对膜厚分布有特 定的要求，除了少数特殊场合外，绝大多 数情况下都要求薄膜厚度尽可能均匀一 致 ［１，２］。薄 膜 均 匀 性 是 指 待 镀 基 片 上 所 镀 的 膜厚随着基片在真空室内位置的变化而
真空室中基板温度的分布往往是不均 匀 的 ， 这 与 真 空 室 内 加 热 源 的 位 置 、能 量 大 小 等 因 素 有 关 。通 常 夹 具 上 中 间 部 分 与 边 缘 部 分 的 温 度 差 可 达 几 十 摄 氏 度 。这 样 由 于凝聚系数的差异，温度高的地方膜厚势 必 比 温 度 低 的 地 方 薄 。所 以 要 通 过 一 系 列 温控手段来合理地改变真空室中温度场的 分布。 ２ ． ３ 基板与蒸发源相对位置的影响
聚酰亚胺薄膜厚度均匀性分析
聚酰亚胺薄膜厚度均匀性分析摘要：聚酰亚胺薄膜（Polyimide Film），简称PI薄膜，是世界上最好的绝缘类高分子材料，本文简单论述了聚酰亚胺薄膜的生产工艺，并重点分析了厚度均匀性对薄膜力学性能、电气性能的影响以及测试和改进方法。
关键词：聚酰亚胺薄膜、厚度均匀性、测厚技术聚酰亚胺薄膜（Polyimide Film），简称PI薄膜，是世界上最好的绝缘类高分子材料，由于聚酰亚胺分子中包含十分稳定的芳杂环结构单元，因而此类薄膜具有较高的热稳定性、拉伸强度，较低的线性膨胀系数，适宜的弹性模量以及优良的耐高低温性、绝缘性、耐介质性等其他高分子材料无可比拟的优异性能，被誉为“黄金薄膜”。
正因如此，它广泛的应用于电气电子领域（柔性印刷电路板FPC、自粘带、电缆绝缘材料等）、航空航天领域、太阳能光伏领域、电子产品领域（手机、电脑、音响等）以及条形码、雷达、防火罩等其他方面。
1、聚酰亚胺薄膜的生产工艺聚酰亚胺薄膜的制取根据工艺的不同分为浸渍法、流延法和流延拉伸法。
浸渍法是最为传统的方法之一，在铝箔底材上浸渍聚酰胺酸溶液，通过烘焙干燥形成聚酰胺酸薄膜。
将底材连同薄膜放入高温烘焙炉进行脱水亚胺化反应，后经剥离、切边、收卷、酸洗、水洗、干燥即可制得聚酰亚胺薄膜。
该种方法的生产工艺和操作最为简单，但制成薄膜厚度均匀性和机械强度较差，很难达到高性能薄膜的质量要求。
流延法是将聚酰胺酸溶液通过流延嘴流延到下方运行的不锈钢带上，经干燥道干燥成型为具有自支持性的凝胶状膜。
将此凝胶状膜从刚带上剥离下来进行高温亚胺化、收卷即制得聚酰亚胺薄膜，此法制取的薄膜均匀性和机械性能获得了显著提高。
流延拉伸法与流延法不同之处在于收卷前，增加了一道双轴拉伸工序，这种变化不仅大幅提升了薄膜的物理性能，电气性能、热稳定性也大为改观。
分析聚酰亚胺薄膜市场发展趋势，微电子领域将成为最具潜力的应用领域之一，其轻量化、精细化要求必然带动电子工程用（电子级）聚酰亚胺薄膜的大规模生产，为达到高品质要求，流延法和流延拉伸法将会成为行业普遍的制备方法并在实践中得到进一步改进。
一种用于检测薄膜均匀性的光谱方法
Ａ ｅ Ｓ ｃ ｒ Ｎ ｗ ｐｅ ｔ ｕｍ ｅ ｈ ｏ ｅ ｓ ｉ ｌ ｎｉｏ ｍ ｉｙ Ｍ ｔ ｏｄ ｆ ｒ Ｍ ａ ｕｒ ｎｇ Ｆｉｍ Ｕ ｆ ｒ ｔ
Ｊ Ｈ ｎ—ｈｎ Ｚ ｕｎｊａ Ｉ ｏ ｇｚ ｅ ， ＯＵＪ ａ － ｎ ｕ
（ ｔ ｎ ｌ ａ ｏａｏｙｆｒＩ ｆ ｒｄＰ ｙ ｉｓ Ｓ ａ ｇ ａ Ｉｓｉｕｅｏ ｅｈ ｉａ ｂ ｓ ８ Ｎａｉ ａ ｂ ｒ ｔｒ ｎｒ ｅ ｈ ｓ ， ｈ ｎ ｈ ｉ ｎ ｔ ｔ ｆ ｃｎｃ ｌ ｙ ｉ ． ｏ Ｌ ｏ ａ ｃ ｔ Ｔ Ｐ ｃ
算简单， 甚至无须 知道薄膜本 身的信息， 因此可
（） １
避免直接 测量厚度时所产 生的测量误差 。
ｈｔ ： ｊｕｎ １ｉ ． ． ／ ｗ ｔｐ ／ ｒａ．ｔ ａ ｃ ｈ ／ｏ ｓｐ ｃ ｎ
・
２ 实验 过 程
２ １ 实 验 系 统 ．
最 多 可 安 装 １ 不 同靶 材 。它 们 可 以镀 制 各 种 Ｏ种 金 属 、氧 化 物和 氮 化 物 ，在 不 开 腔 的前 提 下 可 实 现 高 达 １ 靶 材 的 连 续 镀 制 。该 系 统 由 中 国 科 ０种 学 院 上 海 技 术 物 理 研 究 所 红 外 物 理 国 家 重 点 实 验 室 与 上 海 宇 豪 光 电 技 术 有 限公 司共 同 设 计 和
ｓ ｒ ｍ ｅ ｔ ｏ ｌ ｈ ｃ ｎ ｓ ．Ｔｈ ｒ ｆ ｒ ，ｉ ｃ ｎ ｏ ｔ ｉ ｈ ｎ ｆ ｒ ｉｙ ｉ ｆ ｒ ａ ｉ ｎ ｏ ｈ ｌ ｑ ｉ ｋ ｙ ｕ ｅ ｎ ｆｆ ｍ ｔ ｉｋ ｅ ｓ ｉ ｅ ｅ ｏ ｅ ｔ ａ ｂ ａ ｎ ｔ ｅ ｕ ｉ ｍ ｔ ｎ ｏ ｍ ｔｏ ｆｔ ｅ ｆ ｍ ｕ ｃ ｌ ．Ｔｈ ｏ ｉ ｅ ｍｅ ｈ ｄ ｉ ｏ ｖ ｎ ｅ ｔ ａ ｄ ｓｍｐｌ ｎ ｏ ｒ ｔｏ ｎ ｓ ｏ ｍ ｐ ｒ ａ ｔ ｖ ｌ ｅ ｔ ｈ ｍ ｐ ｏ ｅ ｎ ｆ ｃ ａ ｉ ｇ ｔ ｏ ｓｃ ｎ ｅ ｉｎ ｎ ｉ ｅ ｉ ｐｅ ａ ｉ ｎ ａ ｄ ｉ ｆ ｉ ｏ ｔ ｎ ａ ｕ ｏ ｔ ｅ ｉ ｒ ｖ ｍｅ ｔ ｏ ｏ ｔｎ
汽车涂装中的喷漆均匀性检测
佳的喷涂效果。
定期维护与校准检测设备
要点一
总结词
定期维护和校准检测设备能够确保检测结果的准确性和可 靠性，提高喷漆均匀性。
要点二
详细描述
为了确保检测设备的准确性和可靠性，应定期进行设备的 维护和校准工作。这包括清洗喷枪、更换过滤器、检查气 路是否通畅等，以确保设备的正常运行。同时，对于检测 设备也应定期进行校准，以确保检测结果的准确性。通过 这些措施，可以提高喷漆均匀性，从而提高汽车涂装的质 量和美观度。
喷漆均匀性检测可以确保汽车各个部位涂层的厚度和成分比 例符合设计要求，避免出现明显的色差、条纹或斑点等外观 缺陷，使汽车外观更加美观。
保证涂层性能
喷漆均匀性检测可以确保涂层厚度符 合标准，从而保证涂层的各项性能， 如防腐蚀、防刮擦、耐候性等。
涂层厚度的均匀性直接影响其物理和 化学性能的发挥，通过喷漆均匀性检 测可以避免因涂层厚度不均而导致的 性能下降或涂层剥落等问题。
均匀现象。
仪器检测
使用色差仪、光泽度计等仪器 检测涂层的色差、光泽度等参 数，以量化评估喷漆均匀性。
触摸检测
通过触摸涂层表面，感受其平 滑度，判断涂层的均匀程度。
破坏性检测
在必要时，通过剥离涂层进行 破坏性检测，以评估涂层的附
着力和均匀性。
04
喷漆均匀性检测的设备 与工具
喷枪
喷枪是用于将涂料均匀地喷涂到汽车表面的工具，其质量和性能对喷漆效果和均匀 性至关重要。
VS
详细描述
喷涂时，应保持喷枪与被涂装表面之间的 适当距离，通常在15~25厘米之间。同时 ，喷枪的角度应与被涂装表面保持垂直或 稍微倾斜，以获得更好的涂层效果。
控制喷涂压力与流量
总结词
喷涂压力和流量是影响喷漆均匀性的关键参 数，控制好这两个参数能够确保涂层厚度和 颜色的均匀分布。
定期维护与校准检测设备
要点一
总结词
定期维护和校准检测设备能够确保检测结果的准确性和可 靠性，提高喷漆均匀性。
要点二
详细描述
为了确保检测设备的准确性和可靠性，应定期进行设备的 维护和校准工作。这包括清洗喷枪、更换过滤器、检查气 路是否通畅等，以确保设备的正常运行。同时，对于检测 设备也应定期进行校准，以确保检测结果的准确性。通过 这些措施，可以提高喷漆均匀性，从而提高汽车涂装的质 量和美观度。
喷漆均匀性检测可以确保汽车各个部位涂层的厚度和成分比 例符合设计要求，避免出现明显的色差、条纹或斑点等外观 缺陷，使汽车外观更加美观。
保证涂层性能
喷漆均匀性检测可以确保涂层厚度符 合标准，从而保证涂层的各项性能， 如防腐蚀、防刮擦、耐候性等。
涂层厚度的均匀性直接影响其物理和 化学性能的发挥，通过喷漆均匀性检 测可以避免因涂层厚度不均而导致的 性能下降或涂层剥落等问题。
均匀现象。
仪器检测
使用色差仪、光泽度计等仪器 检测涂层的色差、光泽度等参 数，以量化评估喷漆均匀性。
触摸检测
通过触摸涂层表面，感受其平 滑度，判断涂层的均匀程度。
破坏性检测
在必要时，通过剥离涂层进行 破坏性检测，以评估涂层的附
着力和均匀性。
04
喷漆均匀性检测的设备 与工具
喷枪
喷枪是用于将涂料均匀地喷涂到汽车表面的工具，其质量和性能对喷漆效果和均匀 性至关重要。
VS
详细描述
喷涂时，应保持喷枪与被涂装表面之间的 适当距离，通常在15~25厘米之间。同时 ，喷枪的角度应与被涂装表面保持垂直或 稍微倾斜，以获得更好的涂层效果。
控制喷涂压力与流量
总结词
喷涂压力和流量是影响喷漆均匀性的关键参 数，控制好这两个参数能够确保涂层厚度和 颜色的均匀分布。
Chapter 7 薄膜厚度和沉积速率的测定和监控
二、电容法
电介质薄膜的厚度可以通过测量它的电容 量来确定。 方法一： 根据这一原理可以在绝缘基板上，按设计 要求淀积出一对电极，使之形成平板形电容 器。当未淀积介质时，电容值主要由基板的 介电常数决定。而淀积介质薄膜后，其电容 值由电极的间距和厚度，以及淀积薄膜的介 电系数决定。只要用电容电桥测出电容值的 变化便可确定淀积的膜厚。
第二部分：薄膜的测量
——薄膜厚度及沉积速 率的测定和监控
第七章 膜厚和淀积速率的测量与监控 7-1 7-2 7-3 7-4 7-5 概述 称重法 电学方法 光学方法 触针法
7-1 概述
薄膜的厚度(膜厚)是薄膜最重要的参 数之一，它影响着薄膜的各种性质及其 用途。实际应用的薄膜的厚度很小，通 常在几个纳米到几个微米之间。因此膜 厚的测量以及薄膜形成过程中对它的厚 度的监控不仅十分重要，而且往往是一 项特殊的技术。 薄膜沉积过程中的沉积速率则是制 膜工艺过程中的一个重要参数，它直接 影响到薄膜的结构和特性。
方法二： 另一种方法是在绝缘基板上先形成下电极， 然后淀积一层介质薄膜后，再制作上电极，使 之形成一个平板形电容器。然后根据平板电容 器公式，在测出电容值后，便可计算出淀积介 质薄膜的厚度。显然，这种方法只能用于淀积 后的膜厚测量，而不能用于淀积过程的监控。 计算时所需要的值，可取块材介质的介电系 数值。 由于确定介电系数和平板电容器或叉指电 容器的表面积(电极)所造成的误差，限制了这 种方法的准确性。
3）物性膜厚dp： 在实际使用上较有用，而且比较容易测 量，它与薄膜内部结构和外部结构无直接 关系，主要取决于薄膜的性质(如电阻率、 透射率等)。 三种定义的膜厚值往往满足下列不等式： dT≧dM ≧ dP
七、膜厚的测试方法
由于实际表面的不平整性，以及薄膜不 可避免有各种缺陷、杂质和吸附分子等存在， 所以不论用哪种方法来定义和测量膜厚，都 包含着平均化的统计概念，而且所得膜厚的 平均值是包括了杂质、缺陷以及吸附分子在 内的薄膜的厚度值。 具体：1）在形状膜厚的测量方法中，触 计法和多次反射干涉法最常用，由它们所确 定的膜厚，确实是由表面的形状所决定。
薄膜材料的表征与测量方法
44
45
§6.3 薄膜成分的表征方法
46
§6.4 薄膜附着力的测量方法
对薄膜最基本的性能要求之一：对衬底 的附着力要好。
薄膜附着力测试方法的共同点：在对薄 膜施加载荷的前提下，测量薄膜脱落时 的临界载荷。测试结果只具有定性意义 。
刮剥法和拉伸法。
47
48
刮剥法
将硬度较高的划针垂直置于薄膜表面，施加载 荷对薄膜进行划伤试验的方法来评价薄膜的附 着力。
36
扫描隧道显微镜（STM）
1981年，美国IBM公司Prof. G. Binning 和Dr. H. Rohrer发明了扫描隧道电子显 微镜（Scanning Tunneling Microscope） ，简称STM。（1986年获诺贝尔物理奖 ）
原理：利用量子力学中的隧道效应对样 品表面进行分析，可以直接观察到原子 ，是目前进行表面分析的最精密的仪器 。
有分辨率高、观察景深长。 可以采用不同的图像信息形式。 可以给出定量或半定量的表面成分分析结
果。
20
21
二次电子像
二次电子：入射电子从样品表层激发出 来的能量最低的一部分电子。它们来自 样品表面最外层的几层原子。
二次电子像：较高的分辨率。 需要样品具有一定的导电能力，对于导
电性较差的样品，可以采用喷涂一层导 电性较好的C或Au膜的方法，提高样品 表面的导电能力。
关系。h普朗克常数，m、q
电子的质量和电量。
h
2mqV
29
将透射束和衍射束斑点组成的图像投影到 荧光屏上，就给出了晶体在特定入射方向 上的衍射谱，包含的结构信息：
晶体点阵的类 型和点阵常数
晶体的相对位 向
与晶粒的尺寸 大小、挛晶等 有关的晶体显 微缺陷方面的 信息。
45
§6.3 薄膜成分的表征方法
46
§6.4 薄膜附着力的测量方法
对薄膜最基本的性能要求之一：对衬底 的附着力要好。
薄膜附着力测试方法的共同点：在对薄 膜施加载荷的前提下，测量薄膜脱落时 的临界载荷。测试结果只具有定性意义 。
刮剥法和拉伸法。
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刮剥法
将硬度较高的划针垂直置于薄膜表面，施加载 荷对薄膜进行划伤试验的方法来评价薄膜的附 着力。
36
扫描隧道显微镜（STM）
1981年，美国IBM公司Prof. G. Binning 和Dr. H. Rohrer发明了扫描隧道电子显 微镜（Scanning Tunneling Microscope） ，简称STM。（1986年获诺贝尔物理奖 ）
原理：利用量子力学中的隧道效应对样 品表面进行分析，可以直接观察到原子 ，是目前进行表面分析的最精密的仪器 。
有分辨率高、观察景深长。 可以采用不同的图像信息形式。 可以给出定量或半定量的表面成分分析结
果。
20
21
二次电子像
二次电子：入射电子从样品表层激发出 来的能量最低的一部分电子。它们来自 样品表面最外层的几层原子。
二次电子像：较高的分辨率。 需要样品具有一定的导电能力，对于导
电性较差的样品，可以采用喷涂一层导 电性较好的C或Au膜的方法，提高样品 表面的导电能力。
关系。h普朗克常数，m、q
电子的质量和电量。
h
2mqV
29
将透射束和衍射束斑点组成的图像投影到 荧光屏上，就给出了晶体在特定入射方向 上的衍射谱，包含的结构信息：
晶体点阵的类 型和点阵常数
晶体的相对位 向
与晶粒的尺寸 大小、挛晶等 有关的晶体显 微缺陷方面的 信息。
大口径光学元件薄膜厚度均匀性修正
ｃ ｄ ： ． Ｍ （ ｎ＋ １ ｒ ＂ Ｏ Ｏ ）ｎ ｏｓａｃ Ｓ ｄｓ
＿
（） ２
７ ｒ 【
设膜层 的 密度 为 Ｉ 则 基板 上 的膜厚 ｔ Ｄ ， 为
茜 研
∞ ａ ｓ
ｃ ｓ
从（） ３ 式可 以看 出膜厚 与 材料蒸 气参 数 ｎ和蒸 气 入射 角 ０有 关 ， 与基 板与蒸 发 源 距离 ｒ 关 。 还 有 上述 分 析 的条 件 是假设 原 子或 分子 与基板 的 附着 系数 为 １ 但 事 实上 蒸气 原 子 或分 子 的入 射 角 不 同 ， ， 与基 板 的附着 系数 也不 同 。若基 板 上温度 分 布不 均 ， 其上 每 一 点 的 附着 系数也 不 同 ［ 。然 而 对 于 一 台多 功能 的 则 ５ ］ 镀 膜机 ， 内部 相应 附件 较 多 ， 旦设备 组装 完成 ， 发 系统 、 子 辅助 系统 位 置就 固定 下 来 了 ， 一 蒸 离 因此 对于 ｒ 节 调 不灵 活 的薄膜 沉积 系统 ， 效 的调节 方法 是添 加修 正板 ， 用递 进 的实 验方 法修正 膜 厚［ 。 有 采 ６ ］
ｄ 一 ． Ｍ （ ｎ＋ １ ｍｃ ｓａｄ２ ） ｏ ＂ ｇ
． ．
（） １
７ 【
式中： 为镀 膜材 料 的蒸气 参数 （ 产生蒸 气 的能量 大小 、 式及 膜料 有关 ） 与 方 。又设 此 镀 膜材 料 是沉 积 在 距膜 料 ｒ 的基板 的单 位面积 ｄ 处 Ｓ上 ， 设此 ｄ Ｓ与膜 料蒸 气方 向成 ０角 ， （ ） 可表示 为 则 １式
文 章编 号 ： １ ０ — ３ ２ ２ ０ ） ７ １ ５ —５ ０ １４ ２ （ ０ ７ ０ ． １ ３０
大 口径 光 学元 件 薄膜 厚 度 均 匀性 修 正 。
＿
（） ２
７ ｒ 【
设膜层 的 密度 为 Ｉ 则 基板 上 的膜厚 ｔ Ｄ ， 为
茜 研
∞ ａ ｓ
ｃ ｓ
从（） ３ 式可 以看 出膜厚 与 材料蒸 气参 数 ｎ和蒸 气 入射 角 ０有 关 ， 与基 板与蒸 发 源 距离 ｒ 关 。 还 有 上述 分 析 的条 件 是假设 原 子或 分子 与基板 的 附着 系数 为 １ 但 事 实上 蒸气 原 子 或分 子 的入 射 角 不 同 ， ， 与基 板 的附着 系数 也不 同 。若基 板 上温度 分 布不 均 ， 其上 每 一 点 的 附着 系数也 不 同 ［ 。然 而 对 于 一 台多 功能 的 则 ５ ］ 镀 膜机 ， 内部 相应 附件 较 多 ， 旦设备 组装 完成 ， 发 系统 、 子 辅助 系统 位 置就 固定 下 来 了 ， 一 蒸 离 因此 对于 ｒ 节 调 不灵 活 的薄膜 沉积 系统 ， 效 的调节 方法 是添 加修 正板 ， 用递 进 的实 验方 法修正 膜 厚［ 。 有 采 ６ ］
ｄ 一 ． Ｍ （ ｎ＋ １ ｍｃ ｓａｄ２ ） ｏ ＂ ｇ
． ．
（） １
７ 【
式中： 为镀 膜材 料 的蒸气 参数 （ 产生蒸 气 的能量 大小 、 式及 膜料 有关 ） 与 方 。又设 此 镀 膜材 料 是沉 积 在 距膜 料 ｒ 的基板 的单 位面积 ｄ 处 Ｓ上 ， 设此 ｄ Ｓ与膜 料蒸 气方 向成 ０角 ， （ ） 可表示 为 则 １式
文 章编 号 ： １ ０ — ３ ２ ２ ０ ） ７ １ ５ —５ ０ １４ ２ （ ０ ７ ０ ． １ ３０
大 口径 光 学元 件 薄膜 厚 度 均 匀性 修 正 。