(整理)光栅尺工作原理
光栅尺的工作原理

光栅尺的工作原理光栅尺是一种常用的测量设备,广泛应用于机械加工、自动化控制、精密测量等领域。
它通过光学原理实现对物体位置的高精度测量。
下面将详细介绍光栅尺的工作原理。
一、光栅尺的基本结构光栅尺由光栅条和读数头两部份组成。
光栅条是由一系列等距的透明条纹和不透明条纹组成,通常采用光刻技术创造。
读数头包含光源、光电二极管和信号处理电路等元件。
二、光栅尺的工作原理1. 光栅尺的发光原理光栅尺的光源通常采用发光二极管(LED)。
当电流通过LED时,LED会发出特定波长的光。
这种光经过透明条纹和不透明条纹的交替作用后,形成一系列的光斑。
2. 光栅尺的光电转换原理光栅尺的读数头上安装有光电二极管。
当光斑照射到光电二极管上时,光电二极管会产生电荷。
光栅尺的读数头会将光电二极管产生的电荷转换为电压信号。
3. 光栅尺的信号处理原理光栅尺的读数头上的信号处理电路会对光电二极管产生的电压信号进行放大和处理。
经过处理后的信号会被转换为数字信号,以便后续的数据处理和显示。
4. 光栅尺的位置测量原理光栅尺的光栅条上的透明条纹和不透明条纹的间距是固定的,称为刻度间距。
当物体挪移时,光栅尺上的光斑也会相应地挪移。
通过测量光斑的位置变化,可以计算出物体相对于光栅尺的位置。
5. 光栅尺的分辨率原理光栅尺的分辨率是指它可以测量的最小位移量。
分辨率取决于光栅条上透明条纹和不透明条纹的间距,以及光电二极管的灵敏度等因素。
通常,光栅尺的分辨率可以达到亚微米级别。
三、光栅尺的优势和应用1. 高精度测量:光栅尺可以实现亚微米级别的位置测量精度,适合于对位置要求较高的应用场景。
2. 快速响应:光栅尺的读数头可以实时采集和处理信号,响应速度快,适合于高速运动的物体测量。
3. 抗干扰能力强:光栅尺采用光学原理测量,不受电磁干扰和机械振动的影响。
4. 应用广泛:光栅尺广泛应用于机床、自动化设备、激光加工等领域,用于位置测量、运动控制等应用。
总结:光栅尺是一种基于光学原理的高精度测量设备,通过光栅条和读数头的相互作用,实现对物体位置的测量。
光栅尺的工作原理

光栅尺的工作原理光栅尺是一种用于测量长度、角度和位置的精密测量仪器。
它由一个光栅和一个读取头组成,通过测量光栅上的光信号变化来确定被测量物体的位置或者运动。
下面将详细介绍光栅尺的工作原理。
一、光栅尺的基本结构光栅尺由透明的玻璃或者金属基底上刻有一系列等间距的光栅线条组成。
光栅线条通常是通过光刻技术创造的,具有高精度和高稳定性。
读取头是一个光电传感器,通常是一个光电二极管或者光电三极管。
二、光栅尺的工作原理1. 发射光信号光栅尺的读取头发射一束光束,通常是一束激光光束。
这束光经过光栅线条后,会发生衍射现象。
2. 衍射现象当光束通过光栅线条时,会发生衍射现象。
光栅线条上的间距非常小,与光束的波长相当,因此光束会被分成多个衍射光束。
这些衍射光束的相位差与光栅线条的间距有关。
3. 接收光信号读取头接收到经过衍射后的光信号,并将其转换为电信号。
光电传感器的灵敏度和分辨率决定了光栅尺的精度。
4. 信号处理接收到的电信号经过放大和滤波处理,然后转换为数字信号。
数字信号可以通过计算机或者其他设备进行进一步处理和分析。
5. 位置测量通过比较光栅尺上的光信号变化,可以确定被测量物体的位置或者运动。
光栅尺可以测量线性位移、角度、速度等。
三、光栅尺的优势和应用领域1. 高精度和高分辨率:光栅尺的创造工艺和读取头的灵敏度决定了其高精度和高分辨率,通常可以达到亚微米级别的测量精度。
2. 高稳定性和重复性:光栅尺具有良好的稳定性和重复性,可以长期稳定地工作,适合于精密加工和测量领域。
3. 宽测量范围:光栅尺可以测量从几微米到几米的长度范围,适合于不同尺寸的物体测量。
4. 广泛应用:光栅尺广泛应用于机床、自动化设备、半导体创造、精密仪器等领域,用于测量和控制位置、长度和角度等参数。
总结:光栅尺是一种精密测量仪器,通过测量光栅线条上的光信号变化来确定被测量物体的位置或者运动。
它具有高精度、高分辨率、高稳定性和重复性等优势,并广泛应用于机械加工、自动化设备、半导体创造等领域。
光栅尺工作原理

光栅尺工作原理光栅尺是一种常用的测量设备,用于测量物体的位置和运动。
它基于光学原理,利用光的干涉和衍射来实现高精度的测量。
下面将详细介绍光栅尺的工作原理。
1. 光栅尺的基本结构光栅尺由一个光栅和一个读取头组成。
光栅是由许多平行的刻痕组成,刻痕之间的间距非常小,通常在几微米到几十微米之间。
读取头包含一个光源和一个光电探测器。
2. 光栅尺的工作原理光栅尺的工作原理基于光的干涉和衍射现象。
当光栅尺上的光源照射到光栅上时,光栅会将光分成多个光束,并形成干涉条纹。
这些干涉条纹会被反射回读取头的光电探测器上。
3. 光栅尺的干涉原理光栅尺的干涉原理是利用光的波动性和干涉现象。
当光通过光栅时,光束会被分成多个光束,这些光束之间会发生干涉。
干涉条纹的形成是由于光栅上的刻痕间距非常小,光经过光栅后会发生相位差,从而形成干涉条纹。
4. 光栅尺的衍射原理光栅尺的衍射原理是利用光的波动性和衍射现象。
当光通过光栅时,光束会发生衍射,形成多个衍射波。
这些衍射波会相互干涉,形成干涉条纹。
通过测量干涉条纹的变化,可以确定物体的位置和运动。
5. 光栅尺的测量原理光栅尺通过测量干涉条纹的变化来实现对物体位置和运动的测量。
当物体移动时,光栅尺上的干涉条纹会发生移动和变化。
读取头中的光电探测器会检测到这些变化,并将其转换为电信号。
通过分析电信号的变化,可以确定物体的位置和运动。
6. 光栅尺的精度和分辨率光栅尺的精度和分辨率取决于光栅的刻痕间距和读取头的灵敏度。
刻痕间距越小,光栅尺的精度和分辨率越高。
读取头的灵敏度越高,对干涉条纹的变化越敏感,从而提高了测量的精度和分辨率。
总结:光栅尺是一种基于光学原理的测量设备,利用光的干涉和衍射现象来实现高精度的测量。
通过测量干涉条纹的变化,可以确定物体的位置和运动。
光栅尺具有高精度和分辨率的特点,广泛应用于各种需要精确测量的领域,如机械加工、自动化控制等。
简述光栅尺工作原理及应用

简述光栅尺工作原理及应用光栅尺是一种精密测量仪器,常用于机床、测量仪器等精密加工和检测系统中。
其工作原理基于光学原理和电子技术原理,利用光栅条纹和光电检测器之间的相互作用来实现长度、角度等物理量的测量。
本文将对光栅尺的工作原理和应用进行详细介绍。
一、光栅尺的工作原理光栅尺的基本构成是光栅条纹和光电检测器,其中光栅是由一系列平行的条纹组成的线性光栅,条纹的宽度和间距非常小,精度可达到亚微米级别。
光电检测器则是光电二极管或双晶电子扫描器等电子元器件,能够将光信号转化为电信号。
光栅尺通过将光源、光栅和光电检测器组合在一起,实现对长度、角度等物理量的非接触式测量。
光栅尺的工作原理可以分为三个过程:1、光栅的发光和透射:光栅的条纹宽度和间距非常小,通常在几十或者几百微米范围内,人眼无法看到。
当光源照射到光栅上时,光栅的条纹会发生透射和反射,形成特定的光学线条。
2、光学信号的检测:光电检测器可以将光学信号转化为电学信号,其中包含光栅条纹的信息。
在实际应用中,光电检测器可以采用光电二极管、双晶电子扫描器等元件。
当光学信号入射到光电检测器上时,会产生电流,电流强度与光学信号的亮度成正比。
3、信号处理和计量:将光栅尺检测到的电信号转化为数值信号,可以通过A/D 转换器将模拟信号转换为数字信号进行记录和处理。
最终,数值信号经过处理得到物理量的数值输出。
除了基本的线性光栅,还有二维、三维光栅尺,其原理和线性光栅类似,不同点在于二维和三维光栅尺可以测量物体的超出线性运动轨迹的角度和形状等复杂运动规律。
二、光栅尺的应用光栅尺广泛应用于精密加工和检测系统中,如机床、精密仪器和制造业等多个领域。
光栅尺的应用主要有以下几个方面:1、长度测量:光栅尺可以测量物体的线性运动轨迹长度,其精度可达到亚微米级别。
光栅尺广泛应用于机床、加工中心、激光加工机等多个领域,能够测量工件、刀具和加工台等物体的长度和移动轨迹。
2、角度测量:光栅尺还可以测量物体的角度,其精度可达到亚角秒级别。
光栅尺的工作原理

光栅尺的工作原理光栅尺是一种用于测量和检测物体位置的精密测量仪器,广泛应用于机械加工、自动化控制和精密测量领域。
其工作原理基于光学干涉原理和编码技术,能够实现高精度的位置测量。
光栅尺的主要组成部分包括光源、光栅、检测器和信号处理器。
光源发出一束平行光线照射到光栅上,光栅是由一系列等距的透明和不透明条纹组成的,这些条纹被称为光栅线。
当光线通过光栅时,会发生折射和衍射现象。
光栅尺的工作原理可以分为两种类型:增量式和绝对式。
1. 增量式光栅尺工作原理:增量式光栅尺通过测量光栅线的移动来确定物体的位置。
当物体移动时,光栅线也会相应地移动。
光栅尺上的检测器会接收到经过光栅衍射的光信号,并将其转换为电信号。
信号处理器会对电信号进行处理,计算出物体的位移或位置信息。
2. 绝对式光栅尺工作原理:绝对式光栅尺通过在光栅上编码信息来直接确定物体的位置。
光栅上的每一个光栅线都被编码成独特的二进制码。
检测器接收到经过光栅衍射的光信号后,会将其转换为对应的二进制码。
信号处理器会将二进制码转换为物体的绝对位置信息。
光栅尺的工作原理基于光学干涉原理。
当光线通过光栅时,会发生衍射现象,即光线会在光栅上产生干涉条纹。
这些干涉条纹的形状和间距与光栅的结构参数相关。
通过测量干涉条纹的特征,可以计算出物体的位移或位置信息。
光栅尺的精度受到多个因素的影响,包括光栅线的间距、光源的稳定性、检测器的灵敏度等。
为了提高测量精度,光栅尺通常采用高精度的光栅和稳定的光源,同时配备高分辨率的检测器和精密的信号处理器。
总结起来,光栅尺的工作原理基于光学干涉原理和编码技术,能够实现高精度的位置测量。
通过测量光栅线的移动或解码光栅上的信息,可以确定物体的位移或位置信息。
光栅尺在机械加工、自动化控制和精密测量领域具有重要的应用价值。
光栅尺的工作原理

光栅尺的工作原理光栅尺是一种用于测量物体位置和运动的精密测量仪器。
它利用光的干涉原理来实现高精度的测量。
下面将详细介绍光栅尺的工作原理。
一、光栅尺的基本结构光栅尺由光栅条和读取头组成。
光栅条是由一系列等距的透明条纹和不透明条纹组成的,这些条纹被刻在一个透明的基底上。
读取头包含一个光源和一个光电探测器。
二、光栅尺的测量原理1. 光栅尺的工作过程光栅尺通过光栅条上的透明和不透明条纹来产生干涉。
当光源照射到光栅条上时,透明条纹和不透明条纹会形成一系列的亮暗交替的光斑。
这些光斑经过透射后,被读取头中的光电探测器接收。
2. 干涉原理光栅尺利用光的干涉原理来测量物体的位置和运动。
当光通过光栅条时,光的波长与光栅条的周期相比,会产生干涉现象。
根据干涉现象的性质,可以测量出物体的位置和运动。
3. 光栅尺的测量精度光栅尺的测量精度取决于光栅条的周期和读取头的分辨率。
光栅条的周期越小,测量精度越高。
而读取头的分辨率越高,测量精度也越高。
三、光栅尺的工作过程1. 光源发出的光线经过透明条纹和不透明条纹的交替干涉后,形成一系列的亮暗交替的光斑。
2. 这些光斑经过透射后,被读取头中的光电探测器接收。
光电探测器将光信号转换为电信号。
3. 读取头将电信号传输给测量系统,测量系统通过对电信号进行处理,可以得到物体的位置和运动信息。
四、光栅尺的应用领域光栅尺广泛应用于各种精密测量领域,如机械加工、半导体制造、精密仪器等。
它具有测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强等特点。
五、光栅尺的优缺点1. 优点:- 高精度:光栅尺具有非常高的测量精度,可以达到亚微米甚至纳米级别的精度。
- 高稳定性:光栅尺在测量过程中具有很好的稳定性,不受温度和湿度的影响。
- 高分辨率:光栅尺的读取头具有很高的分辨率,可以实现精确的位置和运动测量。
2. 缺点:- 昂贵:光栅尺的制造成本较高,因此价格相对较高。
- 对环境要求高:光栅尺对环境的要求较高,需要在洁净、稳定的环境下使用。
光栅尺工作原理

光栅尺工作原理光栅尺是一种用于测量和控制位置的精密仪器,它广泛应用于机械加工、自动化控制和精密测量等领域。
本文将详细介绍光栅尺的工作原理,包括其结构、测量原理和应用。
一、光栅尺的结构光栅尺主要由光栅条和读数头组成。
光栅条是由一系列等距的透明和不透明线条组成,通常使用光刻技术创造。
读数头通过光电转换器将光栅条上的光信号转换为电信号,进而实现位置的测量和控制。
二、光栅尺的测量原理光栅尺的测量原理基于光的干涉现象。
当光线通过光栅条时,会发生衍射和干涉,形成一系列亮暗交替的光斑。
读数头接收到这些光斑后,通过光电转换器将其转换为电信号。
具体来说,光栅尺工作时,光源会照射到光栅条上。
光栅条上的透明和不透明线条会使光线发生衍射,形成一系列亮暗交替的光斑。
读数头接收到这些光斑后,光电转换器会将其转换为电信号。
根据光斑的位置和间距,可以计算出位置的变化。
三、光栅尺的应用1. 机械加工:光栅尺广泛应用于机床、数控机床等设备中,用于测量和控制加工过程中的位置和运动。
2. 自动化控制:光栅尺可用于自动化生产线和机器人等设备中,用于实现位置的测量和控制,提高生产效率和质量。
3. 精密测量:光栅尺具有高精度和稳定性,可用于精密测量仪器和实验室中,如光栅测微仪、干涉仪等。
四、光栅尺的优势和局限性光栅尺具有以下优势:1. 高精度:光栅尺具有很高的分辨率和重复性,可实现亚微米级的测量和控制。
2. 高速度:光栅尺的测量速度快,可以实时监测和控制位置的变化。
3. 高稳定性:光栅尺对温度和振动的影响较小,具有较高的稳定性和可靠性。
然而,光栅尺也存在一些局限性:1. 灵敏度有限:光栅尺的测量范围和灵敏度受到光源和读数头的限制,不能适合于所有测量场景。
2. 环境要求高:光栅尺对环境的要求较高,如光照、温度和振动等因素都会对测量结果产生影响。
3. 成本较高:相比于其他测量方法,光栅尺的创造和维护成本较高,适合于对精度要求较高的应用场景。
综上所述,光栅尺是一种基于光的干涉现象进行测量和控制的精密仪器。
光栅尺原理

光栅尺原理光栅尺是一种用于测量物体位移的装置,它利用光的干涉原理来实现高精度的测量。
光栅尺广泛应用于机床、自动化设备、精密仪器等领域,是现代工业中不可或缺的测量工具。
光栅尺的原理基于光的干涉现象。
光栅尺由一个细长的光栅条组成,光栅条上刻有许多等距的透明条纹,条纹之间的间距非常小。
当光线照射到光栅条上时,会产生光的衍射和干涉现象。
光栅尺的光源会发出一束平行光线,这束光线经过光栅条后会发生衍射,形成一系列的光斑。
光栅尺的光斑会被接收器接收,并转化为电信号。
接收器会对接收到的光斑进行处理,通过计算光斑的位置和数量,可以确定物体的位移。
光栅尺的分辨率决定了测量的精度,分辨率越高,测量的精度越高。
光栅尺的分辨率取决于光栅条上的条纹数量。
条纹的数量越多,分辨率越高。
当光栅尺的分辨率达到一定的要求时,可以实现亚微米级别的测量精度。
光栅尺的分辨率还受到光栅条纹的宽度和间距的影响,宽度和间距越小,分辨率越高。
光栅尺的测量原理可以通过以下步骤来描述:首先,光栅尺的光源发出一束平行光线,这束光线经过光栅条后会发生衍射。
衍射光线会形成一系列的光斑,这些光斑会被接收器接收。
接收器对接收到的光斑进行处理,通过计算光斑的位置和数量,可以确定物体的位移。
光栅尺有很多优点。
首先,光栅尺的测量精度高,可以达到亚微米级别。
其次,光栅尺的测量速度快,可以实时监测物体的位移。
此外,光栅尺的体积小,安装方便,适用于各种环境。
另外,光栅尺的稳定性好,不受温度、湿度等环境因素的影响。
光栅尺在工业生产中有着广泛的应用。
在机床领域,光栅尺常用于测量工件的位移,控制机床的运动精度。
在自动化设备中,光栅尺可以用于测量机器人的位置,实现精确的运动控制。
在精密仪器中,光栅尺可以用于测量光学元件的位移,保证光学系统的精度。
光栅尺利用光的干涉原理实现了高精度的位移测量。
它广泛应用于机床、自动化设备、精密仪器等领域,为现代工业的发展做出了重要贡献。
随着科技的不断进步,光栅尺的测量精度还将进一步提高,为工业生产带来更多的便利和效益。
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1 光栅尺工作原理光栅位移传感器的工作原理,是由一对光栅副中的主光栅(即标尺光栅)和副光栅(即指示光栅)进行相对位移时,在光的干涉与衍射共同作用下产生黑白相间(或明暗相间)的规则条纹图形,称之为莫尔条纹。
经过光电器件转换使黑白(或明暗)相同的条纹转换成正弦波变化的电信号,再经过放大器放大,整形电路整形后,得到两路相差为90o的正弦波或方波,送入光栅数显表计数显示。
二、工作原理常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。
图4-9是其工作原理图。
当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来放置两光栅尺时,必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。
在光源的照射下,交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠,因而遮光面积最小,挡光效应最弱,光的累积作用使得这个区域出现亮带。
相反,距交叉点较远的区域,因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少,不透明区域面积逐渐变大,即遮光面积逐渐变大,使得挡光效应变强,只有较少的光线能通过这个区域透过光栅,使这个区域出现暗带。
这些与光栅线纹几乎垂直,相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。
莫尔条纹具有以下性质:(1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。
(2) 若用W表示莫尔条纹的宽度,d表示光栅的栅距,θ表示两光栅尺线纹的夹角,则它们之间的几何关系为W=d/sin当角很小时,上式可近似写W=d/θ若取d=0.01mm,θ=0.01rad,则由上式可得W=1mm。
这说明,无需复杂的光学系统和电子系统,利用光的干涉现象,就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。
这种放大作用是光栅的一个重要特点。
(3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的,所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应,能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。
(4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。
两光栅尺相对移动一个栅距d,莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度W,其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直,且当两光栅尺相对移动的方向改变时,莫尔条纹移动的方向也随之改变。
根据上述莫尔条纹的特性,假如我们在莫尔条纹移动的方向上开4个观察窗口A,B,C,D,且使这4个窗口两两相距1/4莫尔条纹宽度,即W/4。
由上述讨论可知,当两光栅尺相对移动时,莫尔条纹随之移动,从4个观察窗口A,B,C,D可以得到4个在相位上依次超前或滞后(取决于两光栅尺相对移动的方向)1/4周期(即π/2)的近似于余弦函数的光强度变化过程,用表示,见图4-9(c)。
若采用光敏元件来检测,光敏元件把透过观察窗口的光强度变化转换成相应的电压信号,设为。
根据这4个电压信号,可以检测出光栅尺的相对移动。
1.位移大小的检测由于莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动是相对应的,故通过检测这4个电压信号的变化情况,便可相应地检测出两光栅尺之间的相对移动。
每变化一个周期,即莫尔条纹每变化一个周期,表明两光栅尺相对移动了一个栅距的距离;若两光栅尺之间的相对移动不到一个栅距,因是余弦函数,故根据之值也可以计算出其相对移动的距离。
2 位移方向的检测在图4-9(a)中,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿正方向移动,这时,莫尔条纹相应地沿向下的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程和及输出的相应的电压信号和如图4-10(a)所示,在这种情况下,滞后的相位为/2;反之,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿负方向移动,这时,莫尔条纹则相应地沿向上的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程和及输出的相应的电压信号和如图4-10(b)所示,在这种情况下,超前的相位为/2。
因此,根据和两信号相互间的超前和滞后关系,便可确定出两光栅尺之间的相对移动方向。
二、工作原理常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。
图4-9是其工作原理图。
当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来放置两光栅尺时,必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。
在光源的照射下,交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠,因而遮光面积最小,挡光效应最弱,光的累积作用使得这个区域出现亮带。
相反,距交叉点较远的区域,因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少,不透明区域面积逐渐变大,即遮光面积逐渐变大,使得挡光效应变强,只有较少的光线能通过这个区域透过光栅,使这个区域出现暗带。
这些与光栅线纹几乎垂直,相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。
莫尔条纹具有以下性质:(1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。
(2) 若用W表示莫尔条纹的宽度,d表示光栅的栅距,θ表示两光栅尺线纹的夹角,则它们之间的几何关系为W=d/sin当角很小时,上式可近似写W=d/θ若取d=0.01mm,θ=0.01rad,则由上式可得W=1mm。
这说明,无需复杂的光学系统和电子系统,利用光的干涉现象,就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。
这种放大作用是光栅的一个重要特点。
(3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的,所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应,能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。
(4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。
两光栅尺相对移动一个栅距d,莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度W,其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直,且当两光栅尺相对移动的方向改变时,莫尔条纹移动的方向也随之改变。
根据上述莫尔条纹的特性,假如我们在莫尔条纹移动的方向上开4个观察窗口A,B,C,D,且使这4个窗口两两相距1/4莫尔条纹宽度,即W/4。
由上述讨论可知,当两光栅尺相对移动时,莫尔条纹随之移动,从4个观察窗口A,B,C,D可以得到4个在相位上依次超前或滞后(取决于两光栅尺相对移动的方向)1/4周期(即π/2)的近似于余弦函数的光强度变化过程,用表示,见图4-9(c)。
若采用光敏元件来检测,光敏元件把透过观察窗口的光强度变化转换成相应的电压信号,设为。
根据这4个电压信号,可以检测出光栅尺的相对移动。
1.位移大小的检测由于莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动是相对应的,故通过检测这4个电压信号的变化情况,便可相应地检测出两光栅尺之间的相对移动。
每变化一个周期,即莫尔条纹每变化一个周期,表明两光栅尺相对移动了一个栅距的距离;若两光栅尺之间的相对移动不到一个栅距,因是余弦函数,故根据之值也可以计算出其相对移动的距离。
2 位移方向的检测在图4-9(a)中,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿正方向移动,这时,莫尔条纹相应地沿向下的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程和及输出的相应的电压信号和如图4-10(a)所示,在这种情况下,滞后的相位为/2;反之,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿负方向移动,这时,莫尔条纹则相应地沿向上的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程和及输出的相应的电压信号和如图4-10(b)所示,在这种情况下,超前的相位为/2。
因此,根据和两信号相互间的超前和滞后关系,便可确定出两光栅尺之间的相对移动方向。
工作原理:直线光栅尺和旋转编码器均依据相对运动的原理来产生光信号,这些信号经过光电器件的转换处理后,用来检测机械装置的位移。
FAGOR公司反馈产品采用两种不同的材料来产生反馈信号:1.刻线玻璃尺(直线光栅尺有效测量长度3米以下使用)刻线玻璃盘片(旋转编码器)2.刻线钢带尺(直线光栅尺有效测量长度3米以上使用)测量过程:FAGOR公司反馈产品提供的输出信号是由光源通过刻在直线尺或盘片的栅格线后,再经光电转换装置的处理产生的。
读数装置由光源、刻线玻璃与栅格窗、以及光电二极管接收装置组成。
FAGOR公司反馈产品采用红外发光二极管(IRED)作为光源,这种光源具有安全、寿命长的特点。
1.刻线玻璃反馈系统红外线光束被光电二极管接收前,先通过有刻线轨迹的板与栅格窗,有刻线轨迹的板与栅格窗,有刻线轨迹的板与栅格窗间的相对运动回产生正弦波形式的光波,这种光波经光电二极管接收后,会转换成最初始的电流正弦波信号,这些电信号的周期与栅距是一样的。
2.刻线钢带反馈系统工作原理是让光以反射方式通过网状栅格,读数系统由一个LED 组成作为刻线钢带的光源(衍射光)。
网状成像装置和信号光检测元件采用FAGOR工作最新专利技术设计,该装置能使成像在相同平面,从而大大提高了信号的精度和可靠性。
3.旋转和角度编码器FAGOR公司旋转和角度编码器,采用衍射光通过刻线玻璃光栅盘片,再经过光电转换产生电信号。
栅距有每转多少线决定增量式直线光栅尺LIF417相关参数热膨胀系数:16108--⨯=K α精度等级:m μ3±参考点:1个在测量长度的中点位置处 增量信号:TTL栅距:8m μ插补:5倍信号周期:0.8mμ扫描频率:250KHz边缘间距a:0.175sμ最高运动速度:60m/s位置检测:零件和限位信号;TTL输出信号(无线路驱动器)电源:5V±5%、电气连接:0.5m电缆,带D-sub接头,接口电子设备内置在接头中。
最大电缆长度:增量信号:30m;零位限位10m振动55-2000Hz:≤2002/sm(IES 60068-2-6)冲击11ms:≤5002/sm(IES 60068-2-6)工作温度:0-50摄氏度扫描头:9g(无连接电缆)接口电子设备:140g光栅尺:0.8g,0.08g/mm测量长度编码器电缆:37g/m。