Penning真空计
宜准电子科技WPC400和PVC410宽量程皮拉尼潘宁复合真空计说明书
操作手册宜准电子，让真空测量更简单!INSTRUE , Makes Vacuum Measurement Easier.宽量程皮拉尼潘宁复合真空计WPC400 集成数显皮拉尼冷阴极真空计 PVC410 集成皮拉尼冷阴极变送规● 宽量程，覆盖大气到1.0E-5Pa 高真空检测 ● 支持本地显示，实时读取真空度数值● 特殊电极材料与结构，维护频率低，使用寿命久● 内嵌温度自动补充，消除环境温度波动对测量的干扰 ● 双传感互锁，真空计在任意真空度均可安全启动 ● 可选Pa 、Torr 、mBar 三种单位显示● 双通讯模式，同时输出模拟量与RS485-Modbus 数据通讯 ● 支持双路可编程设置开关量输出●适配GaugeReader 数据采集、配置、存储上位机软件1.型号选择集成数显皮拉尼冷阴极真空计WPC 400 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 集成皮拉尼冷阴极变送规PVC 410 X (X为真空接口，A:KF25，B:KF40，C:CF25，D：CF35) 2.参数表参数数值WPC400 PVC410测量范围 (空气， N2) 1.0×10-5 ~1.0×10+5 Pa精度1.0×10-5 ~1.0×10- 4 Pa : ±35% 1.0×10-4 ~1.0×10+4 Pa : ±25% 1.0×10+4 ~1.0×10+5 Pa : ±50%重复性1.0×10-5 ~1.0×10+3 Pa : ±5% 1.0×10+3 ~1.0×10+5 Pa : ±25%耐压(绝对压力) 1.5×10+5 Pa反应时间< 100 ms < 50 ms 工作环境0º C ~ +45º C； 5 ~ 85 %, 不结露存储环境-40º C ~ +75º C；5 ~ 90 %, 不结露信号输出5位LED显示，单位可选NA 双控制开关输出 60VDC 0.5A NARS485， 9600 bps，Modbus RTU模拟量输出+0.0V~+10.0VDC电接口DSub9公插座RJ45插座供电电源+16~+32 VDC /0.5A ；最大功耗 2.5W 防护等级IP40，IEC529真空系统连接标配 DN 25 ISO-KF；其他需定制重量与尺寸420g (KF25)， 130H X 60W X50D 310g (KF25)，90H X 41Dia.接触真空的材料SS304不锈钢, Kovar 4J50, 钨丝, 馈通玻璃注. 由于研发及新品推出，宜准电子保留修改该文档的权利，请与原厂保持联系!注意D-Sub 9针连接器的区别：公头，母头，焊接侧，插入侧。
冷阴极真空计
阳极是一个中空的 环，电子还可能穿过 阳极环前进，被带 负电位的阴极排斥 而折回，在两阴极间往返 振荡，最后被阳极吸收
優點
①量測壓力範圍廣：5 ×10 -9 - 1 × 10 2 mbar (10-2 ~ 10-7 torr) ②使用容易，其操作僅為控制單元上之「開 關」動作。污染之探測頭可清洗。 ③陽極環和鈦陰極可以輕鬆進行清潔或更換 ④耐固耐用可作為系統壓力保護裝置售價不 高，偶曝露大氣亦無妨。 ⑤适用于有大量放气和经常暴露于大气的真 空设备的测量
冷陰極真空計
introduction
Байду номын сангаас
離子真空計依其電子電流產生裝置，基本上可 分為兩大類：冷陰極離子真空計(cold-cathode ionization gauge)與熱陰極離子真空計(hotcathode ionization gauge) 冷陰極真空計又稱為潘寧式真空計(Penning vacuum gauge)，其感測頭之電極結構而言， 大概可分為兩大類： 一．非輻射對稱感測頭 二．輻射對稱感測 頭
真空計的比較
冷发射产生 少量初始自由电子 在电场的作用下 向阳极运动
正交磁场改变 电子的运动轨迹
冷陰極真空計 工作原理
I=Kpn (11) I--放电电流 K—常数 n—常数， 1～2， 与规管结构有关。
电、磁场的共同作用 螺旋形轨道 迂回地飞向阳极
电子碰撞气体分子 电离形成的正离子 在阴极上打出二次电子 ，短时间内雪崩式地 产生大量的电子和离子 即自持气体放电
缺點
①準確度不如離子真空計。 ②壓力指示隨氣體種類變化。每個氣體種類 需要校正 ③需特別注意低壓的時候（低真空不可開啟）
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皮拉尼真空计原理详解
皮拉尼真空计原理的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。
其工作原理是：真空度不同，是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
热传导真空计主要被应用于中低真空领域。
代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。
原理Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。
单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2)如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。
剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4)(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。
如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。
如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5)Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6)I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。
Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
关闭PGD400真空计 电源开关拨至OFF将 PGD400真空计电源关闭 (如仪器安装在控制柜机架上, 应通过中央配电箱开关)。
在再次启动 PGD400 电源前，至少等待 10 秒钟 仪器本机初始化。
tinb14c1 (2009-07)
19
4.3 运行模式
PGD400真空计工作于下列运行模式：
• 测量模式 用于显示测量值或状态信息 (→ 21)
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
必须不超过允许的 最高室温 (→ 9) 并具备良好的通风。
为降低面板上的机械应力，应在适当位置对仪器进行支撑。 将 PGD400 滑入控制柜的开口中 …
… 接着用四个 M3 或等效的螺丝进行紧固。
tinb14c1 (2009-07)
13
3.2 电源连接
危险
危险： 线电压 确保产品已经安全接地，否则出现故障是十分危 险的.仅推荐使用带保护接地的 3 芯电源电缆 (3×1.5 毫米2)。 电源线插头必须插入带保护接地的插座中，不能使 用无保护接地的延伸电缆。
莱宝真空测量简易样本
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Corporate Presentation Master
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热传导真空规
应用建议
– 使用时避免气体杂质沉积，会影响测量精度 – 避免震动，冲击和过强的气流，会影响使用寿命
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变送器 : (带内置芯片)
命名规则: 2个字母+ 数字 (例如： TTR 91, CTR100) 优点: - 拓展性强 (温度补偿, 复合真空规……) - 可以直接和 PLC 或计算机连接工作 局限性 - 不适合辐射环境 -烘烤温度低
电离真空规
电离原理1
气体分子
=>
离子 + 电子 -
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+
电离真空规
电离原理 2
+
N S
气体分子 离子 + 电子 -
-
+
-
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Corporate Presentation Master
电离真空规
结构图 PR 35
1- Flange 2- Housing 3- Anode ring 4- Ceramic 5- Electrical feed through 6- Socket 7- Anode pin 8- Cathode plate
- 量程覆盖12 个数量级: 5x10-10 – 1000 mbar -ITR 90 真空计复合运用热传导和电离技术 - 连续测量范围达 10E-10 到 1000 mbar -系统带有显示器可单独使用 - RS-232 C 接口
AP2004皮拉尼真空计
AP2004皮拉尼真空计AP2004模拟输出：2个设置点 ＋ 模拟输出2个设置点 ＋ RS485ADIXEN在使用这个真空计之前，请仔细阅读此文件。
1、安全1-1．符号注意关于正确处理或使用的重要信息。
1-2．一般安全指令·这个真空计不要使用在腐蚀性或毒性气体的工况腐蚀性气体如含氟的气体可能造成传感器内部损坏，从而导致外部气体泄漏。
这可能造成人身伤害。
·小心安装或拆除真空计将真空计安装在真空管路上之后或拆除其之前，用干净和干燥气体去除传感器内部残余的气体和蒸气。
1-3．专业技术人员注意所有在这个文件中描述的工作要由经过适当技术培训和有足够经验的专业人去执行。
2、质量保证1．这个真空计的保修期为交货后一年。
2．如果这个真空计在这个文件描述的正常操作下发生任何故障，我司将提供免费维修。
3．质量保证是针对该产品。
任何因产品造成的其他损伤不在保质范围内。
4．即使在保质期内，如遇以下损坏需付费维修：ⅰ) 因不正确使用或非法维修及修改造成的损坏。
ⅱ) 在交货之后, 机械撞击造成的损坏。
ⅲ) 连接装置导致故障或损坏。
ⅳ) 因颗粒或外部物体进入传感器造成的损坏。
ⅴ) 因自然灾害造成的损坏例如火灾、地震、洪水或雷击。
ⅵ) 其它不在我们的责任范围之内的损坏。
5.维修或更换零件后的保修期为90天或遵从原先保质期的到期日，两种情况中相对晚到的日期为准。
3、技术参数3-1．详述测量压力范围：5E-2～1E5 (Pa)测量精确性 ：5E-2～1E-1 (Pa)：±50％：1E-1～1E4(Pa)：±15％：1E4～1E5 (Pa)：±50％重复性 ：1E-1～1E4：2% ／ 环境温度25℃输入电压 ：+14～30VDC(标准 24VDC) ／ 允许脉动：在2Vp-p下面消耗功率 ：2W (消耗电流＜150mA)模拟输出：0～10V (查阅 4-1)真空计辨识阻抗：13ｋΩ (D-sub 5-9pins)设置点：2 个接点输出 (1A30V, DC) ∕ SP・485 version only界面：RS485∕485 version onlyI∕O接口 ：D-sub 9 pin(4-40)最大线长：200 m (0.34mm2)工作温度范围：5~60℃贮藏温度范围：-20~70℃匹配皮拉尼传感器：MP-1 (NW16，NW25，φ34ICF ，1/8NPT ，φ15adapter)3-2．尺寸 (下图为NN25接口的传感器)80×40×23mm3-3．零件名称 (下图为NN25接口的传感器M-350 PG-485)3-4．I／O接口的插头分配D-sub 9 Pin (公接头) M-350PG-STDM-350PG-SP M-350PG-4851 模拟输出(＋) RS485(＋)2 不使用 设置点 COM (继电器触点)3 不使用(N.C.)4 DC 电源输入(＋)：24VDC5 真空计辨识 (13ｋΩ)6 不使用 设置点1 (继电器触点)7 不使用设置点2 (继电器触点)8 模拟输出(－) RS485(－) 9DC 电源输入(－)：0VDCADIXEN皮拉尼真空计传感器 皮拉尼真空计 控制器 I/O 接口 (D-sub 9P) 设置面板注意不要连接不使用的插脚。
数字皮拉尼真空计工作原理
数字皮拉尼真空计工作原理数字皮拉尼真空计是一种常用于测量低压和超高真空范围内气体压强的仪器。
它基于皮拉尼原理工作，通过测量气体分子与传感器之间的碰撞频率来确定气体的压强。
数字皮拉尼真空计具有精度高、响应快、稳定性好等优点，在许多工业和科学领域都有广泛的应用。
数字皮拉尼真空计的工作原理如下：当气体分子与传感器碰撞时，会产生微小的电流信号。
数字皮拉尼真空计利用电流信号的变化来判断气体压强的变化。
其工作过程可以分为三个步骤：气体进样、电离和电流测量。
气体进样是指将待测气体引入数字皮拉尼真空计的感应腔室中。
通常，数字皮拉尼真空计的感应腔室由两个电极构成，其中一个电极被加电，另一个电极则被接地。
当待测气体进入感应腔室后，气体分子会与感应腔室内的气体分子发生碰撞，从而产生电离。
接下来，电离是指气体分子与电子碰撞后发生的电离过程。
在数字皮拉尼真空计中，加电极会向感应腔室中的气体分子提供足够的能量，使得部分气体分子电离成为正离子和自由电子。
这些正离子和自由电子会在感应腔室中不断地与其他气体分子碰撞，并引发更多的电离过程。
电流测量是指通过测量感应腔室中的电流信号来确定气体压强。
数字皮拉尼真空计中的测量电路会将感应腔室中的电流信号放大，并转换成与气体压强成正比的电压信号。
这个电压信号经过一系列的处理后，最终被数字显示器显示出来，以提供给用户进行读取和分析。
总结一下，数字皮拉尼真空计的工作原理是基于皮拉尼原理，通过测量气体分子与传感器之间的碰撞频率来确定气体的压强。
它通过气体进样、电离和电流测量三个步骤，将气体压强转换成电压信号，并通过数字显示器显示出来。
数字皮拉尼真空计以其精度高、响应快、稳定性好等优点，在许多工业和科学领域都有广泛的应用。
莱宝真空计PTR225规管
1.2.3 信号输出............................................................................................................................... 5
1.2.4 开关阈值............................................................................................................................... 6
2.2.5 识别...................................................................................................................................... 12
2.2.6 开关阈值（PTR 225 S） ................................................................................................... 13
PTR 225/PTR 225S PTR 237 潘宁真空规
产品号： 157 34；164 34 157 36
操作说明书
（汉语说明书仅供参考，如有疑义以英文说明书为准）
欧瑞康莱宝真空（OLV）服务 如果设备被退回给欧瑞康莱宝真空（OLV）要说明设备是否没有对健康物质性的危害或 者设备是否被污染。如果设备被污染，要求述明危害的性质。没有污染的设备会被欧瑞 康莱宝真空（OLV）退回到寄件人地址。
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书山有路勤为径，学海无涯苦作舟
Penning 真空计
Penning 真空计是利用真空中的放电现象,测量中高真空领域的温度计,测量性稳定,耐用性久为其特点。
Penning 真空计构造原理
Penning 真空计利用Penning 放电现象。
通常而言,冷阴极放出的电子比热阴极少。
单纯在阴阳两极间加电压,假如压力低于0.1Pa 则不会持续放电。
为了增加电子飞行距离,从外部加磁场,这样可使在更低的压力下也可放电。
检测部如图所示,主要构造为圆筒形(或园环形)阳极。
圆板状的阴极和永久
磁铁构成。
磁力线和电极的中心轴平行设置。
阳极电压2~3kV,磁场强度约1000G。
从阴极放出的电子受洛仑兹力而做螺旋运动。
同时,轴方向的空间电压如图
C 所示。
电子被控制在势井内,于两侧的阴极之间做往返运动。
实际上的电子运动要比这种估算复杂得多。
但是,螺旋运动和往返运动使得电子的飞行距离大幅度增长。
电子最终会被阳极捕捉,但是在被捕捉之前多次和气体分子碰撞,在两阴极之间产生等离子体状态。
等离子体中的电子和阳极放出的电子一样会做螺旋
运动和往返运动,但离子因为质量较大,螺旋运动半径较大,而且在高电位空间产生,短时间内被阴极捕捉。
Penning 放电可在0.1Pa 的压力下发生。
假设电子的数量和气体压力无关,在阴极被捕捉到的离子数量(单位时间发生电离的次数=电流),则与压力及气体分子的电离断面积成正比例。
假如知道离子电流和压力的比例系数,则可知道压力值。
电离断面积依气体分子而变化,比例系数也会因气体分子而变。
市场上的真空计通常以干燥空气或氮气为标准测出比例系数。