PEGP-06 Etch Process
用于治疗恶病质的环状肽[发明专利]
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专利名称：用于治疗恶病质的环状肽
专利类型：发明专利
发明人：舒布赫·D·夏尔马,拉梅什·拉吉普罗希特,凯文·B·伯里斯,施亦群,安妮特·M·沙迪亚克
申请号：CN200580029661.6
申请日：20050706
公开号：CN101010095A
公开日：
20070801
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：一种如下化学式示出的高选择性黑皮质素－4受体拮抗剂环状六肽，其中R、R、R、R、R、R、x、y和z如说明书中说明，及一种治疗体重异常，包括恶病质、肌肉减少和衰竭综合征或疾病的方法，及治疗炎症和免疫异常的方法。
申请人：帕拉丁科技公司
地址：美国新泽西
国籍：US
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：林晓红
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玻片表面PEG硅烷化处理方法(提供抗细胞粘附作用)
玻片表面PEG硅烷化处理（提供短期的抗细胞粘附作用）大量研究表明，聚乙二醇（PEG）表面具有良好的抗蛋白吸附功能，因而具备抗细胞黏附的作用。
PEG还具有相当好的生物相容性，毒性低，电中性，不会引起机体的排异反应，因此在生物学实验中有广泛的应用。
在具有金微米图案的玻片表面，玻片背景和金微米区域都是可细胞黏附的。
若实验设计需要限制细胞在玻片表面的粘附，可选择对裸露的玻片表面进行“PEG钝化”处理。
因而选择的钝化试剂要能和玻璃表面的官能团发生反应，同时又不与金发生作用。
为了达到以上两个要求，可选择使用带硅氧烷基的寡聚乙二醇试剂（MTPES）作为钝化试剂，它的一端是硅氧烷基，可以与玻片表面的羟基共价结合，另一端是PEG（实际上是寡聚乙二醇链段，n=5-15）链段，可以提供良好的抗细胞粘附作用。
利用分子自组装方法，可使MTPES在玻片表面形成含寡聚乙二醇的单分子层。
实验试剂：硅烷化PEG试剂：（2-[Methoxy(polythelene oxypropyl)trimethoxysilane]）95% MPTES三乙胺（TEA）分析纯，上海强顺化工有限公司甲苯分析纯，上海凌峰化学试剂有限公司实验仪器：DT-03型低温等离子体处理仪OmegaDZF真空干燥箱上海华连医疗器械有限公司PEG硅烷化接枝可分为等离子体处理、恒温反应、后处理几个步骤。
（1）等离子体处理（目的是在玻璃表面制造出活性羟基）。
等离子体是部分电离的气体，它的组成成分包括电子、离子、自由基、中性粒子和光子。
活泼的自由基易发生化学反应，带电的微粒通过高速撞击能做功。
通过化学反应和物理轰击，等离子体处理能够对各种材料进行表面改性处理。
具有金微米图案的玻片首先要用氧等离子体进行表面活化，等离子体处理仪的工作功率为100 W，真空度0.3 mBar，处理时间15 min. 处理结束后，将玻片取出装架并立即放入Milli-Q水中浸泡20 min，这一步操作的目的是在玻璃表面制造出活性羟基，以便与MPTES中的硅基团发生反应。
多肽合成南京肽业甲基化
多肽合成南京肽业甲基化南京肽业是一家专业从事多肽合成的公司，其多肽合成技术处于国内领先水平。
其中，甲基化合成是公司的核心技术之一。
甲基化是一种常见的化学修饰方式，可用于改变肽分子的物理化学性质以及生物活性。
南京肽业的甲基化合成技术是在先进的肽合成平台基础上，经过多年积累和不断创新而来。
其甲基化合成涉及多个环节，包括阳离子的半保护和去保护、甲基化反应、脱保护等。
首先，在多肽合成过程中，为避免酸性氨基酸在酸性条件下失活，需要进行阳离子的半保护。
南京肽业采用的半保护试剂常用的是菲咯啉试剂。
在肽合成平台上，将肽链加入到反应器中并进行干燥，随后加入菲咯啉试剂，并控制pH值将其转化为阳离子。
这样可以通过控制酸碱度的方式，保护肽链中的酸性氨基酸。
反应完成后，可将试剂去除，并对肽链进行再次干燥。
接下来是甲基化反应。
南京肽业所采用的甲基化试剂是偏磷酸二甲酯（Me2POC1）。
甲基化反应一般在冰水中进行，反应时间控制在20分钟左右。
通过甲基化反应，可将肽链上的空缺位点甲基化，从而增强肽分子的稳定性和生物活性。
最后，脱保护是甲基化合成的最后一步。
南京肽业采用的脱保护试剂是三氟醋酸（TFA），它具有强酸性，可将试剂中的半保护基去除，使肽链中的酸性氨基酸还原到自由状态。
但是，TFA的强酸性也会对肽分子产生一定的负面影响，因此脱保护的反应时间和浓度需要加以控制和优化。
综上所述，南京肽业的甲基化合成技术是一项高度复杂的技术流程，需要优秀的实验室技术和优良的材料质量。
但是，其核心技术在保证多肽合成质量的同时，也具有显著的应用前景，可用于以下领域的研究和应用：1. 生物医学研究。
甲基化合成可以增强肽分子的生物活性和稳定性，可以用于药物研发和治疗疾病。
2. 生物芯片制备。
甲基化合成可以用于肽芯片的制备，实现生物分子的检测和筛选。
3. 蛋白质组学研究。
甲基化合成可以用于研究蛋白质的修饰和功能，从而深入了解生命活动的机制。
总之，南京肽业的甲基化合成技术不仅是公司的核心竞争力，也是行业内的领先水平。
聚乙二醇维生素E琥珀酸酯的绿色制备技术-高分子材料论文-化学论文
聚乙二醇维生素E琥珀酸酯的绿色制备技术-高分子材料论文-化学论文——文章均为WORD文档，下载后可直接编辑使用亦可打印——聚乙二醇维生素E 琥珀酸酯（TPGS）是维生素E 的水溶性衍生物，由维生素E 琥珀酸酯（TAS）与聚乙二醇酯化而成，已载入《美国药典》[1].在国内外已广泛应用于制剂研究中，作为增溶剂、吸收促进剂、乳化剂、增塑剂以及脂溶性药物传递系统的载体[2-3].TPGS 的合成工艺分两步：维生素E 与琥珀酸酐反应生成维生素E 琥珀酸酯（TAS），再与聚乙二醇（PEG）反应生成TPGS.TAS 通常在碱性催化剂作用下制备[4],酸性催化剂会使产物变黑。
碱性催化剂有醋酸钠、碳酸钾、吡啶、叔胺类等[5],反应温度较高，100 ~180 ℃，反应时间3 ~8 h,然而过高的反应温度也会使产品氧化而变黑，故有文献[6-7]报道在反应体系中加入金属Zn,但其使反应体系复杂化，同时也增加生产成本。
TAS 与PEG 的酯化反应通常在酸性催化剂或缩合剂作用下进行反应[8],催化剂有H2SO4、三氟乙酸、对甲苯磺酸等，然而采用这样酸催化剂，不易回收使用，不符合绿色工艺要求。
Collnot 等[9]报道了将TAS 溶于二氯甲烷，等摩尔量PEG,在N,N-二环己基碳二亚胺（DCC）、二甲氨基吡啶（DMAP）作用下，制备TPGS;同时，文中指出，PEG 相对分子质量不同，TPGS 活性有一定差异，其中，PEG1000 是最具活性的。
DCC 反应后产物为二环己基脲（DCU），DCU 不溶于有机溶剂，可过滤除去；然而DCC 不易除去，在产品中有残留，从而影响产品质量。
因此，开发一条TPGS 的绿色制备工艺具有现实意义。
离子液体是新型绿色溶剂，其独特的理化性质引起众多学者的关注，在酯化反应、烷基化反应、酰化反应、重排反应、氧化还原反应、缩合反应等有机合成反应中有着广泛的应用[10-12].我们在这方面也开展了研究工作[13-14].本文旨在构建一种绿色、有效的催化反应体系，用于TPGS 制备。
胃泌素释放肽前体定量测定试剂盒、其制备方法及检测方法[发明专利]
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专利名称：胃泌素释放肽前体定量测定试剂盒、其制备方法及检测方法
专利类型：发明专利
发明人：奚伟红,朱丹丹,王京,高淑舫,陈美
申请号：CN201410297442.7
申请日：20140627
公开号：CN104089949A
公开日：
20141008
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及一种胃泌素释放肽前体（ProGRP）定量测定试剂盒及其检测方法，包括磁分离试剂的制备、酶反应物的制备、反应增强剂的配制、校准品稀释液的配制、校准品和质控品的配制、清洗浓缩液的配制和底物溶液的配制七个步骤。
本发明胃泌素释放肽前体（ProGRP）定量测定试剂盒及其检测方法具有较高的灵敏度和特异性，更短的获得检测结果的时间和更简便的操作方式，还能区分小细胞肺癌（SCLC）和非小细胞肺癌（NSCLC），对肺癌的早期诊断具有重要意义。
申请人：江苏福隆生物技术有限公司
地址：214434 江苏省无锡市江阴市城东街道东盛西路78号
国籍：CN
代理机构：江阴市同盛专利事务所(普通合伙)
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治疗苯丙酮尿症的工程益生菌及其构建方法与应用
专利名称：治疗苯丙酮尿症的工程益生菌及其构建方法与应用专利类型：发明专利
发明人：付加芳,曹广祥,马欣,王杰,林赓
申请号：CN202111347505.1
申请日：20211115
公开号：CN113969292A
公开日：
20220125
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明涉及医药领域和生物技术领域，具体涉及治疗苯丙酮尿症的工程益生菌及其构建方法与应用；所述重组表达载体包括重组表达载体一和重组表达载体二；所述重组表达载体一为包含苯丙氨酸氨裂合酶基因PAL核苷酸序列、蛋白质分泌加工结构域编码基因prtP核苷酸序列和嗜酸乳杆菌组成型启动子SL的表达载体；所述重组表达载体二为包含苯丙氨酸氨裂合酶基因PAL核苷酸序列，苯丙氨酸转运泵基因pheP和嗜酸乳杆菌组成型启动子SL的表达载体；首次构建在胃肠道中能够分泌苯丙氨酸氨裂合酶到菌体外的工程益生菌，有效降解胃肠道中被消化食物中的苯丙氨酸，降低患者的苯丙氨酸摄取量，用于治疗PKU。
申请人：山东第一医科大学(山东省医学科学院)
地址：250117 山东省济南市槐荫区青岛路6699号
国籍：CN
代理机构：济南圣达知识产权代理有限公司
代理人：李筝
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聚乙二醇_PEG_处理对希蒙德木种子活力的影响
聚乙二醇（PEG）处理对希蒙德木种子活力的影响周建勇1 高捍东2（1滁州市林业局，安徽滁州239000；2南京林业大学）摘 要：希蒙德木种子经过 PEG处理后内部酶的活性发生变化，不同浓度的PEG处理24h后，可以降低种子的膜透性和丙二醛的含量，提高超氧化物歧化酶和过氧化氢酶的活性；但随着处理时间的延长，膜的透性增加，丙二醛含量上升，超氧化物歧化酶和过氧化氢酶的活性降低。
PEG5%处理24h效果最好。
关键词：聚乙二醇；希蒙德木种子；相对电导率；丙二醛；超氧化物岐酶；过氧化氢酶 中图分类号S793 文献标识码B 文章编号1007-7731（2010）20-047-003Effect of PEG Pretreatment on Vigor of Simmomdsia Seed Zhou Jianyong 1 Gao Handong 2（1Chuzhou Forestry Bureau ,Chuzhou339000，China；2 Nanjing Forestry University）Abstrac： Simmondsia seeds were treated with PEG.The results showed that pretreatments of PEG with differentlevels after 24h can decrease relative electrical conductivity and MDA content, and increase SOD activity and CAT activity.But with the time longened, relative electrical conductivity and MDA content increase while SOD and CAT activity decrease .The treatment of PEG5% with 24h has the greatest effect．Key words: PEG；Simmondsis seed；Relative electrical conductivity; Malonaldehyde;Catalase;Superoxide dismutase 希蒙德木（Simmondsia Chinensis （Link） Schneider）系希蒙德木科，仅1属1种，为多年生常绿灌木，是一种耐干旱的重要油料植物，原产地在美国西南部与墨西哥西北部接壤的索诺拉沙漠地区[1]。
聚乙二醇支载四分枝琥珀酰亚胺的合成
以 Ｃ Ｃ。 Ｄ ｌ为溶剂 ， ＴＭＳ为 内标 ． １ １ ２ 试 剂 处理 二 氯 甲烷 ， 氧化 二磷 回流 干燥 ； ＭＦ， ．． 五 Ｄ 氢化钙 回流 ， 减压 蒸馏 ； ＴＨＦ， 丝 回流 ， 钠 常
压 蒸馏 ．
１ ２ Ｐ Ｇ支 载 四分枝 琥珀 酰亚胺 （ Ｅ － Ｎ ） ． Ｅ Ｐ Ｇ ４ ＨＳ 的合成
ｌ
Ｍ ｅ Ｃ ＯＯ
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中无 小 分 子 杂 质．真 空
干 燥 除去 滤 饼 中 所 含 Ｃ Ｃ 乙醚 ， 白色 粉 Ｈ ｌ、 得
末 １ （ ． ７ｇ ９ ． ） ９ ９ ， ８ ２ ．
第 ２ 期
赵 盼等 ： 乙二 醇 支 载 四分 枝 琥 珀 酰 亚 胺 的 合 成 聚
PEG6000沉淀结合差速离心方法浓缩水中脊髓灰质炎病毒
PEG6000沉淀结合差速离心方法浓缩水中脊髓灰质炎病毒PEG6000沉淀结合差速离心方法浓缩水中脊髓灰质炎病毒文章来源： 2006-7-18 18:54:14PEG6000沉淀结合差速离心方法浓缩水中脊髓灰质炎病毒第四军医大学学报2000年第21卷第1期张文清马文煜骆文静姜绍谆胡艳冰侯悦张进于碧云摘要：目的建立一种简便、有效的从细胞培养物中纯化PV1病毒的方法用于水病毒消毒实验.方法PV 1 Henan株在Hep-2细胞中增殖后用聚乙二醇(PEG)6000沉淀结合差速离心的方法纯化病毒. rT-PCR和透射电镜(TEM)鉴定提纯病毒的形态学和分子生物学特性.结果pH值7.5时终浓度70 g·L-1的PEG6000沉淀病毒的感染性回收率(PFU 计数)为79.2%，提纯系数(PF)为106，再经差速离心(16000 g 30 min，100 000 g 4.5 h)浓缩病毒的感染性回性率和提纯系数分别为29.0%和168. rT-PCR和TEM最终鉴定提纯物为PV 1 Henan株.结论PEG6000结合差速离心的方法较之蔗糖密度梯度区带离心方法易于操作，且比单独PEG沉淀有更高的纯化系数，是一种简便、有效的方法.关键词：脊髓灰质炎病毒；病毒分离与纯化；聚乙二醇；离心法0 引言影响水中病毒消毒效果的因素很多，除了病毒的生物学特性、消毒剂的性质与剂量以及环境温度外,还有水中病毒聚集性、水质酸碱度、离子强度以及病毒周围有机物等［1］.包绕在病毒周围的有机物，尤其是蛋白类，不仅为病毒提供物理屏障，使消毒剂不易穿透至作用靶点，而且有机物中许多化学基团如巯基还可与氧化性消毒剂产生反应，导致消毒剂有效浓度大为降低. emetson等［2］报告，臭氧灭活Hep-2. 细胞中的PV和Coxs病毒需要的消毒剂浓时积(CT值)较灭活游离于细胞外的这两种病毒高约150倍,因此在人工制备病毒污染水样时要经过反复冻融感染细胞、超声粉碎、低速离心沉淀细胞碎片以及其它特殊沉淀病毒蛋白、离心提纯病毒的过程.我们采用反复冻融、超声粉碎、低速离心以去除细胞碎片,并进一步用PEG6000沉淀病毒蛋白、差速离心提纯PV1病毒.1 材料和方法1.1 材料电子显微镜，JEM-2000EX型，日本电子公司；高速冷冻离心机GL-20A型，湘西仪器仪表厂；超速离心机，Centrikont-2080型，瑞士Kontron公司.病毒株与细胞株［3］，PEG 6000，日本进口，天津天秦公司分装.1.2 方法细胞培养与病毒感染按我们先前的方法［3］.接种病毒3～5 d出现严重CPE（＞）后反复冻融细胞5～6次，再经超声粉碎至细胞完全裂解.病毒原液（S）在4℃环境经4000 r·min-1离心30 min后弃沉淀(P1)，留上清(S1)冻存备用.PEG沉淀：在S1中缓慢滴加400 g·L-1PEG 6000溶液至PEG终浓度为70 g·L-1，并随时搅拌、调整pH 至7.5.4℃过夜后，8000 r·min-1离心30 min后弃上清(S2)，留沉淀(P2).差速离心：用0.01 mol·L-1pH 7.4的PBS混悬P2后4℃12 000 r·min-1(16 000g)离心30 min后弃沉淀(P3)，上清(S3)再经PBS混悬，4℃38 000 r·min-1 (100 000 g)超速离心4.5h弃上清(S4)，沉淀(P4)混悬后冰浴条件下14 mm振幅超声粉碎2 min，加双抗处理后用灭菌双蒸去离子水稀释，-75℃冻存.蛋白质浓度测定：按Lowry方法.病毒感染性测定：采用改良的蚀斑试验［3］. RT-PCR：详见我们先前的实验［4］.TEM鉴定：30 mL·L-1戊二醛和10 g·L-1饿酸双固定P4中病毒，按常规电镜制作程序用Epon812, dDSA, DMP-30混合液制备包埋块，超薄切片后用醋酸铀和枸橡酸铝染色，透射电镜下观察照相.2 结果2.1 细胞培养物处理效果细胞冻融、粉碎后低速离心可去除绝大部分细胞碎片(P1)，由Tab1可见，离心降低25%的蛋白，但病毒的感染性仅下降15.8%.表1 从细胞培养物中提纯PV1病毒结果tab 1 The results of purification of PV 1 from cell culturesSample(No) V/mLProtein Virus infectivity g·L-1 %Recovery PFU/L %Recovery PFU/g PF aS1600 6.24 100.00 2.80×108100.0 0.49×108 1.00S11584 4.73 75.00 2.38×10884.2 0.50×108 1.01P1Discarded - - - - - -S2Discarded 2.80 - 5.54×106- - -P240b 1.71 0.69 8.87×10979.2 5.19×109 106.00S338 0.87 0.33 5.02×10942.6 5.77×109 118.00P3Discarded - - - - - -S4Discarded - - 2.37×107- - -P424b0.66 0.16 5.42×10929.0 8.21×109 168.00a: PF (Purify coefficient)=(S1～S4or P1～P4PFU/mg protein)÷(SPFU/mg protein); b:Volume of pellets suspended with PBS buffer.s0: Primary virus solution. S1,S2,S3,S4:supernate,after first,second,third,and fourth centrifugation,respectively.P1,P2,P3,P4: precipitation,afterfirst,second,third,and fourthcentrifugation,respectively.2.2 PEG 6000沉淀病毒蛋白作用PEG处理后的沉淀物P2能保留79.2%的病毒感染性，同时去除99.1%非病毒蛋白，从而使提纯系数达到106 (Tab 1).2.3 差速离心提纯沉淀病毒的作用经一次高速和一次超速离心后可除去P2中约50%的小分子杂蛋白，而感染性回收率分别为42.6%和29.0%，提纯系数分别为116和168(Tab 1).2.4 RT-PCR及TEM鉴定结果提取物(P4)电镜检查可见密集分布的直径约30 nm、呈对称颗粒球形的病毒(Fig 1)，与文献一致，而提纯前细胞内质网中见有散在的病毒颗粒(Fig2). RT-PCR扩增后电泳可见一个214 bp特异片断，与阳性对照相同.图1 纯化后沉淀物PV1透射电镜鉴定结果fig 1 TEM photograph of poliovirus type 1 henan strain after purification ×20000图2 纯化前感染细胞透射电镜检查结果fig 2 TEM photograph of poliovirus type 1 henan strain in infected Hep-2 cells×120003 讨论常用的PV提纯方法是丁醇抽提、酶处理及两次超速离心后，再经速率区带密度梯度离心［5］，有较高的感染性回收率，但费时费力，不易操作，难以用于经常性提纯使用.而PEG沉淀法适于从含有大量宿主蛋白和磷脂的大体积(通常为数千毫克升)原始材料中选择性沉淀病毒，具有手段温和、非病毒蛋白残留量少等优点，但单独使用则感染性回收率低.本实验通过冻融、粉碎、低速离心等预处理去除细胞碎片而降低沉淀过程中非病毒蛋白的影响，结果显示约25%的细胞蛋白被沉淀去除.在此基础上，用PEG 6000沉淀法结合差速离心，可去除99%以上的非病毒蛋白，感染性回收率为29.0%，提纯系数(PF)168，与单独PEG沉淀(PF为66.4)［6］相比提高了近一倍；与蔗糖密度梯度离心相比，虽然感染性回收不及前者(47.0%)［7］，但相对而言，方法简便易行，适合于水中PV消毒实验人工病毒污染水样的经常性制备.作者简介：张文清(1965-)，男(汉族)，安徽省怀宁县人.讲师，博士. 现工作在第一军医大学军队卫生学教研室，广州510525. Tel.(020)7705370-48522 Email.defaultuser@张文清（第四军医大学：预防医学系军队卫生学教研室，陕西西安 710033)马文煜（第四军医大学：基础部微生物学教研室，陕西西安710033)骆文静（第四军医大学：预防医学系军队卫生学教研室，陕西西安 710033)姜绍谆（第四军医大学：基础部微生物学教研室，陕西西安710033)胡艳冰（第四军医大学：预防医学系军队卫生学教研室，陕西西安 710033)侯悦（第四军医大学：预防医学系军队卫生学教研室，陕西西安 710033)张进（第四军医大学：预防医学系军队卫生学教研室，陕西西安 710033)于碧云（第四军医大学：基础部微生物学教研室，陕西西安710033）参考文献［1］韩友.消毒剂灭活病毒影响因素的研究进展［J］.中国消毒学杂志，1993；10(3):168-171.［2］Emerson MA， Sproul OJ, Buck CE. Ozone inactivation of cell-associated virus ［J］. Appl Environ Microbiol， 1982；43(2):603-610.［3］张文清，姜绍谆，马文煜et al.水中脊髓灰质炎病毒细胞感染模型中病毒株与细胞株的筛选［J］.第四军医大学学报，1998；19(6):643-645.［4］张文清，姜绍谆，马文煜et al.水中脊髓灰质炎病毒感染性、抗原性及核酸指标检测方法的评价研究［J］.第四军医大学学报，1998；19(5):498-500.［5］戴华生. 新实验病毒学［M］. 北京:中国学术出版社，1983:595-596.［6］黄志尚，黄祥瑞，杨佩英et al. Sindbis 病毒的浓缩提纯［J］.中华微生物学和免疫学杂志，1981；1(2):101-103.［7］马文煜，于碧云，姜绍谆et al.从感染鼠脑浓缩提纯流行性乙型脑炎病毒的研究［J］.第四军医大学学报，1984；5(4):251-254.。
线性杂双功能PEG试剂OPSS-PEG-Acid,OPSS-PEG-COOH,巯基吡啶聚乙二醇羧基
线性杂双功能PEG试剂OPSS-PEG-Acid，OPSS-PEG-COOH，巯基吡啶聚乙二醇羧基英文名称：OPSS-PEG-COOH，OPSS-PEG-Acid中文名称：巯基吡啶-聚乙二醇-羧基OPSS-PEG-COOH是一种具有OPSS和羧基的线性杂双功能PEG试剂。
它是一种有用的带有PEG间隔基的交联剂。
OPSS代表正吡啶基二硫化物或邻吡啶基二硫代，与硫醇、SH、巯基或巯基反应形成S-S键。
OPSS有时被称为PDP，吡啶基二硫代丙酸盐。
在标准酸/胺或酸/醇耦合条件下，COOH可与胺或羟基反应。
提示：避免频繁的溶解和冻干，现取现用Classification：Carboxylic acid PEG Orthopyridyl disulfide (OPSS) PEGCAS：N/AMV：可定制，巯基吡啶聚乙二醇羧基1k、巯基吡啶PEG羧基2k，OPSS-PEG-COOH 3.4k、OPSS-PEG-Acid 5k，OPSS-聚乙二醇-羧基10k、巯基吡啶-PEG-Acid 20k Purity：95+%Storage：-20℃可长期保存，注意避光并置于干燥处Place of Origin：中国陕西西安相关产品：Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：20000 Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：10000 Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：5000 Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：3400 Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：2000 Dopamine-PEG-SH，Dopamine-PEG-Thiol，多巴胺-聚乙二醇-巯基，MW：1000 FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：3400FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：1000FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：2000FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：5000FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：10000 FITC-PEG-SH，Fluorescein-PEG-Thiol，荧光素-聚乙二醇-巯基，MW：20000 4-Arm PEG-OH，4-Arm PEG-hydroxyl，四臂-聚乙二醇-羟基，MW：20000 4-Arm PEG-OH，4-Arm PEG-hydroxyl，四臂-聚乙二醇-羟基，MW：50004-Arm PEG-OH，4-Arm PEG-hydroxyl，四臂-聚乙二醇-羟基，MW：10000。
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Resist
Resist
KECKEC-C
PEP
9
1-4-5:Physical and Chemical Etch (物理化学刻蚀) – – – 具有好的方向性和选择性 常用于亚微米图形的刻蚀 接触孔, 多晶硅, 金属的刻蚀
Radical Ion Etch Product
Resist
Resist
KECKEC-C
Aluminum and Other Metals Silicon Dioxide (SiO2), Silicon Nitride (Si3N4), Single-crystal Silicon, Polysilicon
Tungsten
Nitrogen Trifluoride (NF3)
KECKEC-C
SiO2 + (F) -> SiF4 + O2 + F2 ☞ Gases which are produced during etching are pumped from chamber by vacuum pump.
KECKEC-C
PEP
7
1-4-3:Physical (Sputter) Etch (物理刻蚀) – – – – 各向异性, 选择性较差 (usually 1:1) 经过电场加速的离子轰击 wafer 表面 均匀性较好 对高的深宽比的刻蚀有好的接触面
PEP
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湿刻和干刻的比较：
区分 1.产能较高 2.低的费用 优点
Wet etching
Dry etching 1.各向异性 2.能够刻蚀微小图形
缺点
1.各向同性 2.刻蚀3um 以下的图形不可以
1.产能较低 2.设备昂贵
KECKEC-C
PEP
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1-5:去除光刻胶 5:去除光刻胶
光刻胶用来作为从光刻掩膜版到硅片表面的图形转移媒介，一旦刻蚀完成，光刻胶在硅片表面就不再 有用，必须完全去除。 二种方式： * 湿法去胶 - 利用H2SO4和H2O2的混合液来去除光刻胶，优点是高的去胶速率，但化学药品消耗大，光刻胶易残 留 * 等离子体去胶 - 等离子体去胶用氧气来干法去胶，优点是光刻胶去除干净，但是由于离子轰击和硅片充电所带来 的对硅片上器件的等离子体损伤
5-4-1:定义: 干蚀刻是利用一种电浆蚀刻（plasma etching）。电浆蚀刻中蚀刻的作用，可能是电浆中离子撞击 晶片表面所产生的物理作用，或者是电浆中活性自由基（Radical)与晶片表面原子间的化学反应，甚 至也可能是以上两者的复合作用。
RF Power Input ~
Plasma Wafer
- 目录 1.刻蚀
1)刻蚀概念 2)刻蚀分类 3)湿法腐蚀 4)干法刻蚀 5)去除光刻胶
2.刻蚀的主要设备
KECKEC-C
PEP
1
1.刻蚀 刻蚀(Etching) 刻蚀
1-1:定义 定义: 定义 － 利用化学或物理方法有选择地从Wafer表面去除不需要的材料的过程. 图形刻蚀: － 1. 图形刻蚀 • 有选择性的刻蚀掉Wafer表面未被光刻胶保护的材料. 无图形刻蚀: － 2.无图形刻蚀 无图形刻蚀 • 为了特定的目的在Wafer表面完全的刻蚀掉一层材料. － 3. Wafer Cleaning: • 去除污染物或除去上一步骤的残留物.
KECKEC-C
PEP
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2.刻蚀的主要设备 2.刻蚀的主tching M/C KECKEC-C PEP
Al Etching M/C
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KECKEC-C
PEP
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1-3-2： Wet Etch 原理: Wet etching processes are generally isotropic. HF -> H+ + F☞ HF is ionized H and F ion.
SiO2 + 6HF -> H2+ SiF6 + 2H2O ☞ Concentration of F ion is reduced during etch and H ion increase in liquid.
Gas Inlet To Vacuum Pump KECKEC-C PEP
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1-4-2:Dry Etching 原理 Dry etching processes are anisotropic. e + CF4 -> CF3+ + F + 2e ☞ Etching gas is ionized by strong RF power giving at upper and lower electrode. These ions contribute to etch.
PEP
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•
等离子体刻蚀的参数: – RF 能量 – 气体流量 – 腔体中的压力 – 温度 – 极板间的距离
KECKEC-C
PEP
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•
气体在等离子体刻蚀中的应用:
Common Materials and Gasses Used for Dry Etch
Sputter Etching
Argon (Ar)
待刻蚀材料
蚀刻剂
Aluminum (Al)
H3PO4 + HNO3 + HC2H3O2 + H20 HNO3 + HF + HC2H3O2 + H20 HF + NH4F (buffering agent) H3PO4
Silicon and Polysilicon
Silicon Dioxide (SiO2) Silicon Nitride (Si3N4)
Photoresist Removal “Ashing”
Oxygen (O2) Boron Trichloride (BCl3), Chlorine (Cl2), Carbon Tetrachloride (CCl4) Carbon Tetrafluoride (CF4), Hydrogen Bromide (HBr), Sulfur Hexafluoride (SF6)
KECKEC-C
PEP
4
1-3-4: 漂洗(Rinse) - 一般使用 DI-Water进行清洗，以除去残留的化学药品
1-3-5: 甩干(Dry) 三种方式: • 利用高压氮气对Wafer表面进行干燥 • 离心机 (SRD) • IPA 干燥
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PEP
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1-4:干法刻蚀 干法刻蚀(Dry Etching) 干法刻蚀
Ion
Sputtered Species
Resist
Resist
KECKEC-C
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1-4-4:Chemical Etch (化学干刻) – – – 各向同性, 选择性较好 等离子区产生的自由基具有高的反应速度 通常用于整层膜的去除 (如光刻胶的去除)
Free Radical Volatile Products
1-2:刻蚀分类： 刻蚀分类： 刻蚀分类 (1)湿法腐蚀(Wet Etching) (2)干法刻蚀(Dry Etching)
KECKEC-C
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1-3:湿法腐蚀 (Wet Etching) 湿法腐蚀 1-3-1： Wet Etch 常用的化学药品:
Common Materials and Etchant for Wet Etch
NH4F -> NH4+ + F☞ NH4F help prevent depletion of F ion, and thus maintain stable etching characteristics. 1-3-3：Wet Etch 特点： – – – – – 高的选择性 各向同性 一般用于特征尺寸大于3微米以上 高的产能 化学药品不安全