真空镀膜仪操作流程
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机操作方法
真空镀膜机是一种常用的表面处理设备，主要用于在物体表面形成薄膜。
以下是一般的真空镀膜机操作方法的简要步骤：
1. 准备物体：将需要进行镀膜的物体清洁干净，确保表面没有灰尘、油脂或其它污染物。
2. 准备镀膜材料：根据需要的薄膜材料类型，准备相应的镀膜材料，一般为金属或者陶瓷材料。
3. 设置真空环境：将物体放置在真空镀膜室中，并确保室内的真空度达到所需的要求。
这通常需要使用真空泵和其他辅助设备。
4. 启动真空系统：打开真空系统的开关，开始抽取室内空气，直到达到设定的真空度。
5. 加热：在达到所需真空度后，加热镀膜材料使其蒸发。
加热的温度和时间取决于材料的性质和所需的薄膜厚度。
6. 沉积：薄膜材料从加热源蒸发出来后，会沉积在物体的表面。
这个过程需要一定的时间，以确保薄膜厚度均匀。
7. 冷却：在薄膜沉积完毕后，将镀膜室冷却至室温，以固化薄膜并使其附着在物体表面。
8. 释放真空：关闭加热源和真空系统，并逐渐恢复大气压力，最终打开镀膜室门让物体取出。
请注意，以上步骤是一个大致的操作流程，不同型号的真空镀膜机可能会有些差异。
在使用真空镀膜机之前，请务必详细阅读设备的操作手册，并根据实际情况进行操作。
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程
1.打开总电源，打开总水源，打开中气源。
2.打开机械泵冷水阀门并启动机械泵，开始对管道抽真空。
3.开预阀，对扩散泵抽真空（延时自动启动罗茨泵）同时打开扩散泵上下冷却阀门及水冷挡板冷却阀门。
4.开扩散泵，约一小时左右后，扩散泵处于正常工作状态。
5.开启放气阀，打开箱门。
6.装入待镀元件，关闭箱门，关闭放气阀。
7.当扩散泵处于正常工作后，关闭预阀，打开低阀，延时120秒后自动启动罗茨泵，对蒸发室抽低真空，当蒸发真空度达到 1.0-0Pa 时，关闭低阀，开预阀，开高阀，对蒸发室抽高真空。
8.逐步调试增加蒸发室内温度。
9.蒸发室内温度及正空度达到所需求值时，打开膜厚仪，预热枪灯丝后开始蒸镀。
10.蒸镀完成后，关闭膜厚仪及枪灯丝，关闭高阀及扩散泵。
11.逐步降低蒸发室内温度。
12.待达到规定温度时（大于1小时）关闭低阀和机械泵。
13.关总电源，关总水源，关总气源。
真空镀膜机操作规程
真空镀膜机操作规程真空镀膜机是一种高精度的设备，操作规程的合理执行可以确保设备的正常运行并保证产品的质量。
下面是一份真空镀膜机的操作规程，供参考：一、操作前准备1. 检查设备的电源和附属设施，确保运行环境安全正常。
2. 检查真空镀膜机内部是否有异物或污染物，清洁设备确保表面干净。
二、设备开启与调试1. 打开设备的电源，并按照操作手册正确操作所有开关与按钮，确保设备的正常运行。
2. 设备初次开启或长时间未使用后，需打开辅助泵进行抽真空，待真空度达到标准值后再进行下一步操作。
3. 真空镀膜机应设有校准装置，操作人员应根据实际需要进行相应的校准，确保设备的稳定性和精度。
三、样品处理与准备1. 将待镀膜的样品放置在有效位置，确保样品的平整，并避免样品之间的碰撞。
2. 样品表面应清洁干净，不存在污染和油渍，否则会影响镀膜质量。
四、真空镀膜操作1. 打开样品舱门，将样品放置在样品架上，确保样品与样品架之间没有杂质。
2. 关闭样品舱门，设定镀膜参数，如镀膜材料、镀膜时间、镀膜温度、反应气体等。
3. 执行真空镀膜程序，按照操作手册的步骤进行操作，确保每一个程序的稳定运行。
4. 在镀膜过程中，操作人员应经常观察反应室内的状态，如真空度、压力、温度等参数，并及时调整。
5. 镀膜结束后，将样品从样品架上取下，放置在准备好的容器中，注意避免样品与其他物体接触，避免污染。
五、设备关闭与清洁1. 关闭设备的各个开关和电源，确保设备停止运行。
2. 清洁设备内部，包括反应室和样品架，确保设备内部干净整洁。
3. 清洁设备外部，特别是控制面板和触摸屏，避免灰尘或污渍附着在上面。
4. 检查设备的附属设施，如冷却系统，确保其正常运行。
六、操作注意事项1. 操作人员应穿戴好相应的防护用品，如手套、口罩、护目镜等，确保工作安全。
2. 镀膜材料和反应气体应储存妥善，避免与火源、高温、湿度等有害物质接触。
3. 真空镀膜机应定期进行维护保养，如更换密封圈、清洁真空管道、校准仪器等。
真空镀膜实验操作步骤
真空镀膜本实验应用真空蒸发的方法：即在真空中把制作薄膜的材料加热蒸发，使其淀积在适当的表面上来获得一质量优良的金属膜。
●真空镀膜机真空镀膜机结构图●蒸发系统蒸发系统蒸发源蒸发源的形状如下图，大致有螺旋式(a)、篮式(b)、发叉式(c)和浅舟式(d)等。
蒸发源真空蒸发实验的具体操作步骤：1. 检查真空镀膜机及复合真空计上各开关，并它们全部置在“关”的位置（特别是复合真空计上的规管电源一定要置在“关”的位置）；2. 接通真空镀膜机总电源，再把钟罩操作旋钮拨至“钟罩升”，等钟罩升至适当位置后拨至“关”；3. 把制作薄膜的铝材处理后放置在蒸发源的适当位置，再用挡板挡住蒸发源；把经清洗、干燥处理后的玻璃片放置在工作架的适当位置；然后把钟罩操作旋钮拨至“钟罩降”使钟罩降至最低位置后拨至“关”；4. 接通复合真空计电源，校准“测量2”的加热电流为98 mA，然后旋钮旋到“测量2”；5. 接通真空镀膜机冷却水源，再接通真空镀膜机的“机械泵及扩散泵”电源，“拉”低阀，用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为5Pa后，“推”低阀，改用“测量1”监测系统内的气压变化（确认“测量1”的加热电流为98 mA），直到系统内的气压值为5Pa时，“开”高阀；6. 再次采用“测量2”监测钟罩内的气压变化，记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值为0.1Pa后，接通复合真空计上的规管电源，启用电离规管对钟罩内的气压变化进行监测并记录相应的P（t）～t 曲线，直到钟罩内的气压值下降为0.015Pa 以下；7. 用电源插销接通所选用的蒸发源“电极”，再接通“烘烤、蒸发”电源，调节其电流强度为30 A并维持约1分钟，移开挡板，继续增大电流至45A并维持30秒，然后把电流强度调节为零，同时关闭复合真空计上的规管电源！！！8. 在进行抽气10分钟后，“关”高阀，“机械泵及扩散泵”改接为“机械泵”；9. 机械泵继续开动，水源不关，开风扇吹扩散泵……30分钟后接通“充气阀”对钟罩内“充气”，待充气完成后升钟罩，取出镀膜片；10. 再经半小时后关机械泵、水源及总电源。
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机操作流程
真空镀膜机是一种非常重要的设备，它能够将金属薄膜均匀地沉
积在不同的基材上。
这种设备广泛应用于电子领域、医疗领域、航空
领域和化学领域等众多领域中。
本文将会为大家讲述真空镀膜机的操
作流程。
一、设备准备
在使用真空镀膜机之前，我们需要检查设备的运行状态，并检查
真空室内部是否存在瑕疵或污垢。
接着，清洁真空室内的所有夹具和
样品，并确保样品表面没有杂质和气泡。
二、真空抽气
将已经准备好的样品夹具放入真空室中，打开机器上的电源开关。
接下来，需要将真空室抽气直到其内部真空度达到所需的水平。
通常，我们将需要达到 1*10^-6 Torr 的真空度，这些都需要根据具体的样
品和需求而定。
三、样品镀膜
当真空度达到预定水平后，可启动样品镀膜程序。
在这个阶段，
你需要调整设备上的参数，例如反应气体、沉积速率以及沉积时间等等。
这些参数都需要根据样品的材料和形状进行调节。
最终目的是均
匀地沉积薄膜层。
四、停止反应
沉积时间用完后，需要切断电源并停止气体反应。
然后将真空室
压力调整为标准的大气压。
最后取出已经完成镀膜过程的样品，在放
回原位之前清洁表面上的杂质和污垢。
总结
以上为真空镀膜机的操作流程。
在进行操作时，我们必须保证设
备运行的正常和安全。
特别需要注意的是在各个阶段需要调整设备上
的参数，以保证样品能够得到最佳的效果。
有了这些基本的操作步骤，你可以轻松操作真空镀膜机，并为你的研究和生产工作创造更加优秀
的成果。
真空镀膜机操作程序
真空镀膜机操作程序①检查镀膜机各操作控制开关是否在"关"位置。
②打开总电源开关，设备送电。
③低压阀拉出。
开充气阀，听不到气流声后，启动升钟罩阀，钟罩升起。
④安装固定钨螺旋加热子。
把PVDF薄膜和铝盖板固定在转动圆盘上。
把铝丝穿放在螺旋加热子内。
清理钟罩内各部位，保证无任何杂质污物。
⑤落下钟罩。
⑥启动抽真空机械泵。
⑦开复合真空计电源（复合真空计型号：Fzh-1A)。
a 、左旋钮“1”顺时针旋转至指向2区段的加热位置。
b 、低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至110mA时，左旋钮"1"旋转至指向2区段测量位置。
⑧当低真空表“2”内指针再次顺时针移动至6、7Pa时，低压阀推入。
这时左旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑨开通冷却水，启动扩散泵，加热40min。
⑩低压阀拉出。
重复一次⑦动作程序：左下旋钮“1”转至指向2区段测量位置。
低真空表“2”内指针顺时针移动，当指针移动至6、7Pa时，开高压阀（阀杆顺时针旋转）。
⑪等低真空表“2”内指针右移动至0、1Pa时，开规管灯丝开关。
a 、发射、零点测量钮“9”旋转至指向发射位置。
b 、左下旋钮“1”旋转至指向1区段测量位置。
⑫旋转发射调节钮“4”，使高压真空表“5”内指针指向5。
⑬发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向零点位置。
⑭旋转零点调节钮“10”，让高压真空表“5”内指针指向0位置。
⑮发射、零点、测量旋钮“9”旋转至指向测量位置。
⑯旋转标准调节钮“3”，让高压真空表“5”内指针指向10。
⑰旋转“倍加器”开关钮“8”至指向10-12，当高压真空表“5”内指针逆时针左移超过1时，再把“倍加器”开关旋钮“8”旋转至指向10-3。
⑱当高压真空表“5”内指针逆时针移动超过6、7Pa时，开工件旋转钮开关，钟罩内被镀件PVDF膜转动。
⑲开蒸发钮开关。
把电流分插塞插入蒸发电极分配孔内（设有1、2、3、4孔，可插入任意一孔）。
真空镀膜工安全操作规程
真空镀膜工安全操作规程真空镀膜工是一项高风险、高技术含量的工作，必须遵循严格的安全操作规程以确保工作人员的身体健康和设备的安全运行。
本文档阐述了真空镀膜工的安全操作规程，以供参考。
工作前准备在进行真空镀膜工作之前，需要做好以下准备：1.检查设备是否完好，是否存在故障或漏洞等情况。
必要时修复或更换设备，确保设备安全运行。
2.检查镀膜材料是否充足，需要提前准备好所需的镀膜材料与工具，以确保工作顺利进行。
3.准备好个人防护装备，包括防护面罩、手套、防护服、安全鞋等。
确保个人安全和卫生。
4.了解现场应急预案，熟悉应急处理流程，以便需要时及时采取措施应对突发事件。
操作流程真空镀膜工作流程如下：1.打开真空镀膜室门并进入室内。
确保门紧闭后，操作者需要按下真空开关，减少压力，确保真空室内安全。
2.打开度规，确保设定好的膜层厚度准确无误。
根据相应的厚度设置真空度、电流等参数，在设备上进行相应调节。
3.选择所需的镀膜材料，打开加热器，聚焦电子枪以进行喷射。
在此期间，还需要对镀膜随时控制电流和其他参数，以保证镀膜质量。
4.将已制作好的样品放入真空室中进行镀膜，注意样品的定位和留空，确保镀膜质量和完整性。
5.镀膜完成后，将样品从真空室中取出。
关闭所有设备，清理残留物，清洁真空室，确保设备处于安全状态。
安全注意事项在进行真空镀膜工作的过程中，需要格外注意以下事项，以确保设备的安全运行：1.不得在真空室内残留任何材料或杂质，否则会影响镀膜的质量。
需要定期清理真空室，清洁设备的表面和内部。
2.操作者需要佩戴个人防护装备，并保持设备上的警示标志和指示标记清晰可见。
操作前必须检查设备是否完好，避免因为设备损坏造成人身伤害。
3.避免在真空室内进行运动或拖动重物，避免损坏真空室。
4.避免在真空室内引入可燃物品或液体等物质，这可能会引发火灾或爆炸。
5.操作结束后，应及时关闭设备并清理真空室，以免产生残留物质或是使设备损坏。
总结以上是针对真空镀膜工的安全操作规程，需要操作者遵循。
山东真空镀膜机操作规程
山东真空镀膜机操作规程
《山东真空镀膜机操作规程》
一、操作前准备
1. 确认设备及工具完好无损，必要时进行维修及更换。
2. 检查真空镀膜机的电源及周围环境，确保安全使用。
3. 穿戴好防护用具，如手套、护目镜等。
二、操作步骤
1. 打开真空镀膜机的电源，根据设备要求设定好相应的工作参数。
2. 将待处理材料放置于真空镀膜机的工作台上，注意放置位置及稳定度。
3. 启动真空镀膜机，观察真空度及工作状态，确保正常运行。
4. 根据需要，进行镀膜的预处理，如清洗、打磨等。
5. 将镀膜材料放置于真空镀膜机内，注意操作时避免碰触到内部设备。
6. 根据具体要求，进行镀膜操作，注意控制镀膜层厚度及均匀度。
7. 镀膜完成后，关闭真空镀膜机，将待处理材料取出，进行必要的后续处理。
三、操作注意事项
1. 操作人员需熟悉真空镀膜机的工作原理及操作要点，严格按
照规程进行操作。
2. 避免在真空镀膜机运行过程中对设备进行擅自操作，以免造成意外伤害。
3. 定期进行真空镀膜机的维护保养，确保设备的正常运行。
4. 操作结束后，做好设备清洁及安全关闭工作，及时进行设备及工具的归位整理。
以上即为《山东真空镀膜机操作规程》，希望操作人员严格遵守并按规定进行操作，确保设备的正常使用及工作安全。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
高真空镀膜仪操作流程
1.开启循环水，并检查循环情况和是否漏水。
2.开启电源总阀。
3.打开真空室的手动放气阀放气，放气结束后关闭手动放气阀。
接着打开真空
室盖。
4.放置蒸镀金属和样品，关闭真空室盖。
5.开启真空计，开启机械泵，然后打开前级阀
6.待真空度小于10Pa后开启分子泵。
待真空度小于7*10-4Pa后开始蒸镀（蒸镀
期间不要关闭机械泵、前级阀和分子泵）。
7.蒸镀：
（1）开启并设置膜厚控制系统
（2）开启样品架旋转按钮（5%-10%），并打开样品托挡板。
（3）开启蒸镀电极电源并检查腔体内挡板情况
（4）膜厚仪示数归零。
（5）调节电流值（银38A；金50A）开始蒸镀。
（6）当膜厚达到要求值后先关挡板后，再将电流调节阀归零，并盖住样品托。
8.关闭设备
（1）关闭真空计！！！！
（2）关闭分子泵，当分子泵示数为零时，关闭前级阀，最后关闭机械泵。
（3）打开真空室手动放气阀，放气结束后再关闭放气阀。
（4）取出样品（此时可以放置下一次要蒸的样品）
（5）开启真空计，打开机械泵，前级阀，将真空室抽真空至10Pa以下。
（6）关闭真空计，关闭前级阀和机械泵。
（7）关闭设备总电源和墙上总电源以及循环水系统。
若出现异常，请先关闭分子泵！！！
紧急情况，请关闭总电源！！！！。