Tescan 扫描电镜操作规程
TESCAN扫描电镜使用说明书
Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。
（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
（4）系统自动进行硬件、软件自检。
（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。
（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。
（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。
（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。
（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。
（6）确认BSE探头已摇出。
3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。
（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。
（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储。
（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。
（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。
（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。
Tescan型扫描电子显微镜操作规程
Tescan型扫描电子显微镜操作规程Tescan型扫描电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以将样品的表面形貌及结构进行精细的观察和分析。
本文将介绍Tescan型扫描电子显微镜的操作规程，以帮助使用者更加有效地使用该设备。
一、准备工作1.1 确定目的：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，首先需要确定使用该设备的目的。
用户应该了解所需观察的样品类型、结构形态和分析的问题等。
1.2 样品制备：选择适当的样品并进行制备。
样品制备可以使用化学刻蚀、机制切割、离子束切割等方法。
1.3 清洁操作区域：在使用Tescan型扫描电子显微镜前，应该确保周围环境干净整洁，无杂质和灰尘等影响观察效果的物质。
1.4 开机前的准备：检查仪器的接线和电源，并确保仪器与电源相连接。
在开机前应该预热电子枪，并确保其正常工作。
二、扫描电子显微镜的操作步骤2.1 软件的启动与设置操作员需先启动Tescan型扫描电子显微镜的控制软件，通过用户界面进行图像显示、设备操作及数据采集等操作。
使用者可根据需要进行各项设置，如图像分辨率、曝光时间和扫描范围等。
2.2 样品放置将准备好的样品放置到样品台上，并调整样品的位置，以便获取所需的区域图像。
2.3 调整电子枪在设备正常工作前，调整好电子枪的参数，首先进行缺陷修复，然后将加速电子管的电压调整至合适的值。
常规加速电子压力通常在20~30kV之间。
2.4 断定缩放倍数在将电子枪的电压和电流调整好后，操作员需要指定所需的缩放倍数。
缩放倍数越高，分辨率越高，对样品的影响也越小。
2.5 图像采集操作员通过扫描压电晶体，可以获取样品的表面结构和拓扑形状等信息，并进行图像采集。
在图像采集前，需要设置图像的扫描速度、曝光时间和扫描范围等参数。
2.6 图像处理与分析图像处理和分析是Tescan型扫描电子显微镜的重要功能之一，可以对采集到的图像进行各种图像处理和数据分析，以获得更多的信息。
操作员可以通过各种图像处理工具对所获取的数据进行处理和分析，如细节增强、对比度调整、线性增强和颜色增益等等。
扫描电子显微镜(SEM)标准操作规程
1. S—4300F型扫描电子显微镜操作规程：①将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧预抽室门按下EV AC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1推入样品后关闭MV1；②换样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1取出样品，关闭MV1重复第一步；③打开主机面板上display power 开关，接通操作系统开关，按照计算机提示进入WINDOWS操作界面；④点击桌面上的PC—SEM文件夹，进入扫描电镜操作平台；⑤打开LOCK开关，拨向AOUT OPEN方向，点击SEM操作界面上的vacc打开高压对话框。
将电流设置在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节，调节范围1kv~20kv，点击ON，打开高压系统；⑥调节样品位置，选择所需结构。
利用桌面上AUTO按钮调节图像的对比度和亮度，调节扫描速度，得到一幅满意的图像。
打开光路调节键，利用Beam、Aperture、StigX、StigY、STIGMATOR/ALIGNMENT相互配合调节光路系统；⑦选择选区扫描速度，调节高倍像中的像散，最终得到一幅高清晰图像，⑧存图像数据：点击Speed 3，点击M键，关闭Image窗口选择Yes，确定存储路径点击Save完成图像的抓取；2.注意事项：①换样品时样品杆只能在X方向上平行滑动，不得随意倾斜、旋转等；②样品预抽室放大气前必须关闭高压系统；③样品台锁定系统打开后，样品台只允许X、Y向的移动，不得做其他运动；③每次更换样品前后必须观察P1、P2、P3三级离子泵的真空情况，其中P1、P2不得小于3*10/-7，P3不得小于7*10/-7，如低于上述标准不得加高压；④如使用数码打印机打印图像，必须使SEM操作平台提前检索到打印机；⑤磁性材料的测试必须提前和管理人员联系，弱磁性材料必须经管理人员认可后方可上机实验，强词性材料不得上机测试，否则将停止其上机资格；⑥粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜；。
TESCAN-VEGA3-操作规程
TESCAN-VEGA3-操作规程TESCAN-VEGA3是一款高精度的扫描电子显微镜，广泛应用于材料科学、生命科学和纳米科学领域。
本文将介绍TESCAN-VEGA3的操作规程，以便用户正确、高效地使用该仪器。
1. 准备工作在操作TESCAN-VEGA3之前，首先确保仪器连接稳定，电源正常，并保持周围环境干净整洁。
操作人员应佩戴手套和实验服，以防止样品污染。
2. 打开仪器打开TESCAN-VEGA3之前，操作人员应先确保样品已安全放置在样品台上。
然后按照仪器上的指示，打开仪器电源，并等待系统初始化完成。
3. 调整参数在开始扫描之前，需要根据样品类型和需要观察的细节，对扫描参数进行调整。
TESCAN-VEGA3提供了丰富的参数调整选项，用户可以根据具体需求进行设置。
常用的参数包括电子束能量、放大倍数、扫描速度和探针电流等。
4. 放置样品根据实验需求，将样品小心地放置在样品台上，并调整样品位置，确保待观察区域位于扫描范围内。
在放置样品时，需注意避免样品与扫描器相互碰撞，以防损坏设备。
5. 开始扫描调整完参数并放好样品后，即可开始扫描操作。
在TESCAN-VEGA3的界面上，选择合适的扫描模式，并点击开始扫描按钮。
仪器会自动对样品进行扫描，并根据设定的参数生成相应的图像。
6. 图像观察和分析扫描完成后，可以观察和分析生成的图像。
TESCAN-VEGA3提供了多种图像处理和分析工具，用户可以利用这些工具对图像进行增强、测量和分析。
例如，可以调整亮度、对比度和色彩平衡，或者绘制线条、圆形和矩形以测量长度、面积和形状。
7. 保存和导出数据在观察和分析完图像后，可以选择将数据保存和导出。
TESCAN-VEGA3支持多种数据格式，如图片格式（如JPEG、PNG）和矢量图形格式（如SVG、PDF）。
用户可以根据需要选择合适的数据格式，并选择保存位置。
8. 关闭仪器使用完TESCAN-VEGA3后，应及时关闭仪器。
台式扫描电镜操作规程
台式扫描电镜操作规程引言：台式扫描电镜(SEM)是一种常用的显微镜仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
为了确保SEM的正常运行和保证操作人员的安全，制定一套操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍SEM的操作规程，包括准备工作、开机和关机操作、常规操作和安全注意事项等内容。
一、准备工作：1.操作人员需穿戴好个人防护装备，包括实验室服、手套、护目镜等。
2.检查SEM设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷阱和真空恢复系统等。
3.准备好所需的样本，确保样本符合SEM的要求。
同时，确保样本干燥、清洁，尽量避免灰尘和污物。
二、开机操作：1.打开SEM控制软件，并登录系统。
2.打开SEM设备的电源，确保系统电源稳定。
3.打开真空恢复系统开关，等待真空稳定。
4.打开冷阱开关，确保冷阱工作正常。
5.进行电子束的对准操作，确保电子束的准直性。
三、常规操作：1.在样品台上固定好样本，并通过样品台调节电子束焦点和位置。
2.设置所需的加速电压、探针电流、显微放大倍数等参数。
3.检查SEM图像，并进行必要的图像调整和优化。
4.对样本进行显微观察，记录所需的显微图像。
5.在操作过程中，若需要更换样品或对设备进行其他操作，应先将电子束关闭，避免辐射伤害。
四、关机操作：1.保存操作数据，并关闭SEM控制软件。
2.将电子束调节至合适位置，并关闭加速电压。
3.关闭冷阱和真空恢复系统，并等待真空泄压完成。
4.关闭SEM设备的电源，并断开电源线。
五、安全注意事项：1.操作人员需严格遵守实验室安全规程，确保自身安全。
2.在操作过程中，注意保持SEM设备的稳定和平衡，避免碰撞或摔落。
3.使用SEM时，应注意防止静电产生和电磁干扰，以避免对设备造成损坏。
4.操作结束后，应集中处理样品残留物，并清理工作区域。
5.定期对SEM设备进行维护和保养，确保其正常运行并延长使用寿命。
6.严禁未经授权人员操作SEM设备，以免造成不必要的损坏和安全事故。
扫描电子显微镜操作规程
扫描电子显微镜操作规程
JSM-6610LV型扫描电子显微镜操作规程
1 样品镀膜
1.1 关闭充气阀门，打开镀膜机开关。
1.2 当真空度达到2×10-1mbar时，调节等离子电流至10mA （最大不超过20mA），根据样品情况，设置镀膜时间，镀膜时间一般不超过120m。
1.3 镀膜完成后，关闭镀膜机开关，打开充气阀门，取出样品，盖好上盖。
2 上机
2.1 打开稳压电源。
2.2 开启扫描电镜总电源，待泵运行稳定后，依次打开扫描电镜、能谱仪的主控计算机。
2.3 打开分析软件操作界面，点击“VENT”对样品室进行释压，同时检查“STAGE”状态，设定Z值为30mm。
待完全释压后，轻轻打开样品室门取出样品座，将样品固定在样品座上，然后将样品座放回样品室，关闭样品室门，点击“EVAC”开始对样品室抽真空。
2.4 当样品室真空度达到要求后，即可打开灯丝开始样品分析。
2.5 找到被测样品，调整好工作距离，设置合适的物镜光阑尺寸、束斑尺寸及加速电压。
分析样品前，检查灯丝相状态，如果灯丝相不饱和，要进行电子枪对中（电镜合轴）、聚焦、消像散等步骤，将电镜调至最佳观察状态。
2.6在“SCAN1”模式下进行对中、聚焦、消像散，在“SCAN2”模式下进行样品观察，选择具有代表性的视域，调整亮度、明暗度等至图像最清晰为止，在“SCAN4”模式下扫描拍照，并将所拍照保存至指定文件夹中。
摄取的照片用一次性光盘刻录拷贝，主控计算机严禁插入其他移动存储设备。
3 关机
关闭灯丝，退出分析软件操作界面，然后依次关闭主控计算机、
扫描电镜总电源、稳压电源。
4 及时填写仪器运行记录。
S扫描电镜操作步骤
S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
电子显微镜标准操作规程
电子显微镜标准操作规程1．目的建立电子显微镜标准操作规程，为了使操作者操作电子显微镜更规范、更精确。
2．范围适用于电子显微镜标准操作规程。
3．职责操作者。
4．规程4.1 将制备好的样品固定在样品架上，将样品台每个手柄调节至标准位置，打开AIR待预抽室放大气后装上样品。
推紧，预抽室门按下EVAC键抽真空，待SEC、high灯亮后打开手动阀MV1后关闭MV1。
4.2 核样时，将所有旋钮调节至标准位置，打开手动阀MV1，取出样品，关闭MV1重复第一步。
4.3 打开主机面板上display power开关，接通操作系统开关，按照计算工机提示进入windows操作界面。
4.4 点击桌面上的PC—SEM文件，进入扫描电镜操作平台。
4.5 打开Lock开关，拨向Aout open方向，点击SEN操作界面上的Vacc 打开高压对话框。
将电流在10uA的位置上，电压可根据样品自由调节。
4.6 有图像数据点击speed3，点击M键，关闭Image窗口选择yes，确定存储路径，点击save完成图像的抓取。
4.7 注意事项4.7.1 核样品时样品只能在X方向上平行滑动，不能旋转等。
4.7.2 粉末样品测试前必须确定其粘结的牢固程度，禁止悬浮颗粒进入显微镜。
剩余包装材料处理程序、目的：建立剩余包装材料处理程序，使剩余包装材料的处理正确、规范，防止错药、混药事故发生。
二、适用范围：适用于剩余包装材料的处理。
三、责任者：工艺员包装班班长、仓库保管员、QA质监员，生产部质检员。
四、程序：1 每批产品包装完成后，对未用完的包装材料进行清理，将已盖批号或有效期和未盖批号、有效期的包装材料分别存放，分别处理。
2 对已盖批号、有效期的包装材料的处理：对标签、说明书、合格证及大、中、小盒一律销毁，并做好销毁记录，负责销毁人及监督销毁人员均要签字；销毁记录见《包装材料销毁记录》（编码：RD0104500）（附件1）；3 对于未加盖批号有效期的包装材料的处理：3.1 对未加盖批号但有质量问题的包装材料在质量监督员监督下销毁。
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Tescan 钨灯丝扫描电镜操作规程
1.点击Vent （操作界面右下方）按钮，放气。
等待右下方显示Venting Finish,即可进行下一步操作。
2.装载试样。
需将试样用导电胶粘紧。
（放样时注意操作界面Z轴距离，钨灯丝100以上。
）检查每一个螺丝是否拧紧。
不应有露在外的螺丝头。
3.小心关上仓门，点击Pump（位于Vent旁边）。
抽真空。
等待Chamber 真空度钨灯丝到达5*10-2以上即可进行下一步。
4. 操作前参数检查：
A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信息盘的HV 再在右上边输入所要求值。
B，其次检查Beam intensity值，正常扫描时为10，打能谱时调节为12。
C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-7标号）。
样品台会移动到视野内。
5.调节Z轴逐次减小，使样品接近镜筒。
（这个值为样品台到镜筒的距离。
所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10的余量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z 轴至20。
6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先点击Mag（视野右手边一竖行快捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100倍），逐级放大。
当视野中图像模糊，
但有图像时，点击WD(视野右手边一竖行快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。
再放大，再聚焦，直至达到需求即可。
如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况：
1）调节WD时图像有移动，选择右下方HV附近Adjustment 中第三项弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪动图像，然后调节轨迹球（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。
2）图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg右手边一竖行快捷键中。
然后调节轨迹球。
（按住F11调节上下方向，F12调节左右方向）直至图像不在变形，再聚焦。
（一般要求调节清楚地放大倍数大于需要拍照倍数。
例如：需要1000倍，则应将2000倍调节清楚。
）
7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，视野右手边一竖行快捷键中选择选项，然后轨迹球上下调节对比度，左右调节亮度。
8.右手边一竖行快捷键中选择Speed选项选择扫描速度6
或7，（调节时Speed选择4以下）。
然后点击右手边一竖行快捷键中最后一项保存照片。
9.重复6-8完成拍照。
10.实验完成后归位操作：
A. 将Z轴输入钨灯丝100，使样品台降回原位。
B. 放大倍数调至最小（MAG可以直接输入0，则自动变为最小值）
C．扫描速度最低（speed调节为1）；
D．关闭高压（点击HV）。
11.点击Vent放气，等待完成后拉开仓门，取出试样后仍然应当将螺丝拧进去。
12.取样完成后关闭仓门抽上真空。
补充：对于试样：
A．不导电样品应选择喷金或喷碳。
B．块体试样底面应尽量平整。
C．粉体试样，粒度相对大的可以用镊子夹取按在导电胶上，粒度小的细粉应拿不与之反映的溶剂分散后，滴一滴在锡箔纸上。