冷场发射扫描电镜安全操作规程
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程电子显微镜是一种高精度的仪器，操作时需要遵循一定的安全规程和保养措施，以确保仪器的正常运行和使用者的安全。
下面是电子显微镜的安全操作和保养规程，供参考。
一、电子显微镜的安全操作规程：1.进入实验室前，要穿戴好实验室专用工作服，并佩戴好相应的防护用品，如手套、眼镜和口罩等。
2.在操作电子显微镜之前，应先了解设备的基本知识，熟悉仪器的使用方法和操作步骤。
3.在使用电子显微镜之前，要确保仪器的电源已经关闭，并检查仪器的相关连接线是否牢固。
4.在进行样品准备时，应使用专用工具进行操作，避免直接用手触摸样品和仪器部件。
5.在开机之前，应确认好样品装载台、真空系统和冷凝系统等设备是否运行正常。
6.在启动电子显微镜之前，要确保室内的温度和湿度适宜，尽量避免环境中的尘埃和静电干扰。
7.在启动电子显微镜后，应根据实际需要进行相关参数的调整，如电子束强度、放大倍数和对比度等。
8.在放大和观察样品时，要注意不要过度放大或观察过长时间，以免对样品和仪器造成损坏。
9.在操作电子显微镜时，要保持室内环境的安静和稳定，避免不必要的震动和干扰。
10.在关闭电子显微镜之前，要先将相关参数调整到初始位置，然后将电源关闭，并检查仪器是否有异常情况。
二、电子显微镜的保养规程：1.每天使用电子显微镜之前，要先清理设备外部的尘埃和杂物，并定期清洁仪器的内部部件，如样品台和镜筒等。
2.定期检查电子显微镜的电源线和电源插头是否有损坏或老化现象，并及时更换或维修。
3.定期检查仪器的真空系统和冷凝系统，保持其正常运行状态，如有异常情况，应及时修理或更换相关部件。
4.定期检查仪器的操作系统、数据存储系统和软件程序等，确保其正常运转和更新。
5.定期校准电子显微镜的各项参数和功能，以确保仪器的精度和准确性。
6.在仪器长时间不使用时，要将其储存在干燥、清洁和稳定的环境中，以免仪器受潮、腐蚀或受损。
7.在操作电子显微镜时，要避免使用尖锐或硬物品接触样品、仪器内部或镜筒，以免划伤或损坏仪器。
扫描透射电子显微镜安全操作及保养规程
扫描透射电子显微镜安全操作及保养规程1. 引言扫描透射电子显微镜（Scanning Transmission Electron Microscope，STEM）是一种用于高分辨率材料表征的重要工具。
然而，由于其高度复杂的结构和敏感的操作方式，使用STEM时需要特别注意安全操作和保养。
本文将介绍STEM的安全操作规程和保养方法，以确保用户和设备的安全。
2. 安全操作规程2.1 准备工作在使用STEM前，需要进行以下准备工作：•确保操作区域干净整洁，避免杂物堆积和液体溅出。
•穿戴适当的实验室安全装备，包括实验服、手套和安全眼镜。
•确保操作区域通风良好，避免有害气体聚集。
2.2 启动和关闭STEM在启动和关闭STEM时需要注意以下事项：•检查主电源和仪器电源是否正常，确保能够提供稳定的电力供应。
•按照操作手册的指示正确启动和关闭STEM，避免误操作导致设备损坏或人员伤害。
2.3 样品准备和加载样品准备和加载是使用STEM前的重要步骤，需要注意以下事项：•样品准备过程中避免直接接触样品，使用无尘操作台和无尘手套，并使用特制的镊子和刷子处理样品。
•在加载样品时，确保样品和样品架的对准正确，并且样品架处于稳定的位置，以避免样品脱落或碰撞。
2.4 操作注意事项在使用STEM时需要注意以下事项：•根据操作手册的指示进行操作，不得擅自修改或调整仪器参数。
•在操作过程中，避免碰撞仪器和样品，以及触摸仪器内部部件。
•注意保持操作区域的清洁，避免灰尘或其他杂物进入仪器内部。
2.5 急停和紧急情况处理在STEM操作过程中，如果出现紧急情况，需要立即执行急停和相应的紧急处理措施：•在紧急情况下，立即按下急停按钮，切断电源，停止所有仪器运行。
•在处理紧急情况之前，确保自己的安全，避免面对危险物质或高温等。
3. 保养规程3.1 日常保养为了保持STEM的正常运行和延长其寿命，需要进行日常保养，包括：•定期清洁操作区域和仪器表面，使用适当的清洁剂和工具。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程
开机操作：
1.开变压器电源
2.开主电源
3.开真空（VACSWl键点亮）
4.开水箱电源
5.开操作系统（右手OPESWl键点亮）
6.开电脑（账户和密码均为SEMUSer）
7.开软件（桌面PjSEM）GUeSt账户，无密码
8.仪器进行自检，等待5分钟后，所有自检变绿通过，初
始化样品台，主机上EXCHPoSN灯亮起。
9.推入样品，EXCHPoSN以及HLDR灯亮起
10.开电子枪Maintance-Gun-Starup 电源会持续增加
FilamentCurrent至2.29ExtractVoltage至3.0
11.半个小时后电子枪稳定，SIP-l<9E-8,SIP-2<2E-6
12.若真空读数稳定低于至5.0E∙4后，则可进行实验
关机操作：
1.关闭主屏上观察OBSERATIONOFF
2.关电子枪M AINTANENCE-G UN-S HUTDOWN等待
FilamentCUrrent慢慢变为0
3.打开Camera,确认所有探头均退出样品舱，将样品取出或
退到准备舱
4.关软件操作系统File-exit-exit
5.关闭电脑
6.关闭电镜操作系统（控制台右下方OPESW上0键点击变
亮其中I键为开启）
7.关闭真空系统（控制台左下方VACSW。
键）
8.关水箱（控制台右后方的白色箱子MAIN阀门拉下）
9.5分钟后，关闭主电源（控制台左下方MlANSWo键
点亮）
10∙确定备用电源处于工作状态（控制台面上左上方，白色盒子,工作时绿灯亮起，电流超过20UA）
IL关闭变压器（机器后，最左侧蓝色箱子，阀门拉下）。
电子扫描电镜安全操作及保养规程
电子扫描电镜安全操作及保养规程前言电子扫描电镜是一种高科技仪器，具有高分辨率、高增大比、高放大倍数等优点，在各种领域都有着广泛的应用。
然而，电子扫描电镜的操作也存在一定的安全风险，不当的使用可能会导致损毁设备或造成人员意外伤害。
因此，正确的操作及保养规程对于电子扫描电镜的长期使用和维护至关重要。
一、安全操作规程1.1 机器准备与开机操作电子扫描电镜作为一种极其精密的仪器，在使用前必须进行必要的准备。
操作员应该先检查仪器和周围环境是否符合使用标准，如: 确认设备电源、水、电和气路的接线是否可靠，确认仪器与支撑平稳等。
同时，操作员需戴上手套，确保不会在接触样品及移动零件时出现过多灰尘或指印，影响到扫描的效果。
开机操作前，操作员需先观察高压放电柜是否在正常发光，监测是否同步达到负高斯模式、屏摆及粗定。
然后才能打开高压电源，开启设备。
1.2 样品准备与安装样品的准备和安装是电子扫描电镜最容易出现问题的环节之一。
在样品准备前，应先对样品进行必要的处理，去除对扫描影响的杂质。
在样品安装环节中，需要操作员核实室温是否稳定，待机气压足够，样品把手是否被限位。
并确认样品在探测器视野范围内，避免安装后还需要重新调整样品位置、从而导致数据不准确的情况。
1.3 扫描操作在扫描操作中，要注意保持平稳的检测条件：检测室内含氧量与组成避免发生意外的振荡以及温度的波动。
同时，要保持各种参数的稳定——如: 扫描倍率、工作电压、倍增电压等。
在开始扫描之前，先进行调焦、对焦及像仪对中调整等，最后开始电子束击中样品以便获得所需要的影像。
1.4 关机与设备维护使用完毕的电子扫描电镜，操作员应及时将仪器关机。
对于已经使用过的样品，要立即清洗干净并予以冷冻塞入样架内保存。
对于设备的维护，保养工作也要及时进行——如: 对各种零部件进行清洗、润滑，检查机器结构，和保证周边环境的干净整洁。
在检修和更换设备部件的时候，一定要按照操作工序进行执行，避免任何擅自的修改。
扫描电镜(SEM)安全操作保养规程
扫描电镜(SEM)安全操作保养规程背景扫描电镜(SEM)是一种在微观范围内进行物质表面形态与成分分析的高性能仪器。
使用SEM需要注意安全操作和日常保养，以确保操作者和仪器的安全，同时保证SEM的长期稳定运行。
安全操作1.操作前准备在进行SEM操作前，必须进行以下操作：•确认仪器是否处于关闭状态；•检查所有仪器配件是否连接良好；•使用地点和电源必须符合SEM操作要求；•必须穿戴防静电服，并戴好手套和口罩。
2.样品准备•选择适当的SEM样品；•样品必须稳定，不能存在松动、震动等不稳定因素；•在准备样品时使用合适的工具和标准样品处理方法；•使用SEM样品夹时要注意样品夹合适的应力。
3.操作过程中•操作人员必须在不离开SEM仪器前提下的专职监管下进行操作；•操作人员必须遵守SEM的操作流程和指挥；•在进行样品扫描前，必须进行仪器真空泵压力检查；•镜头排除后必须保证不触碰仪器样品或观察室内部分，直至镜头回位；•SEM操作不能在天气不良或环境不适宜的情况下进行。
保养规程SEM操作完后，必须进行适当的保养，以确保SEM的长期稳定运行。
以下是一些SEM保养规程：1.仪器保养•清理真空泵和仪器表面的灰尘和杂物；•替换真空泵油和其他耗材；•定期检查和更换仪器零件；•定期对仪器进行维护、校准和升级。
2.样品保养•样品存储时应放在干燥的环境中；•如果样品需要磨制和抛光，必须使用特殊磨料和抛光布；•避免样品受到挤压、刮擦等因素影响。
注意事项•SEM是一种高精密仪器，使用过程中必须严格按照规定步骤和操作；•禁止在SEM室内饮食、吸烟、喧哗和进行其他非SEM操作；•禁止在SEM室内接通手机等无线设备；•在SEM进行长时间操作时，必须合理安排人员，避免疲劳导致人员错误操作。
结论SEM是一种高性能仪器，在使用过程中必须保证操作安全和仪器保养，以确保SEM的长期稳定运行。
我们应当严格按照规定操作步骤和保养规程进行操作和维护，并注重培训操作技能，提高操作人员的素质和技能，进一步避免仪器意外或故障等不可预测的情况发生。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程1. 引言场发射扫描电子显微镜（Field Emission Scanning Electron Microscope，FE-SEM）是现代科学研究中常用的一种实验设备。
本文档旨在说明使用FE-SEM的安全操作规程以及设备的保养方法，保障使用人员的安全并延长设备的使用寿命。
2. 安全操作规程2.1 个人安全 - 在使用FE-SEM之前，使用人员应接受相关培训，了解设备的基本操作方式和安全注意事项。
- 在操作过程中，使用人员应佩戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、手套和实验服等。
- 在进行样品处理和加载时，应注意避免接触有毒或腐蚀性物质，并采取适当的防护措施。
- 若出现设备故障或异常情况，应立即停止操作并向相关人员报告。
2.2 设备安全 - 在操作之前，应检查设备的电源、冷却系统和真空系统是否正常工作。
- 禁止在离设备太近的地方放置易燃、易爆物品。
- 避免使用金属工具或其他尖锐物品直接接触设备，以免损坏设备外壳或导致电气短路。
- 在操作时，确保设备周围没有杂物或其他障碍物，以免影响操作或造成伤害。
2.3 样品处理与装载 - 检查待测样品是否符合FE-SEM的尺寸和材料要求。
- 在进行样品处理和装载时，避免给样品带来静电或其他污染源，保持样品表面干净。
- 使用合适的工具和技术进行样品装载，确保样品与设备接触良好。
3. 设备保养规程3.1 日常清洁 - 定期清洁设备外壳和工作区域，避免尘埃和杂物积累。
- 使用清洁棉布或软刷，避免使用酸性、碱性或腐蚀性溶剂来清洁设备。
- 定期清理样品台和探针，确保设备在正常工作状态下进行观察。
3.2 真空系统维护 - 定期检查真空泵和真空管路的密封性能，确保系统处于正常工作状态。
- 定期更换真空泵的油封、滤芯等易损件，延长设备使用寿命。
- 注意监测真空度的稳定性，如发现异常应及时处理。
3.3 电子枪维护 - 定期检查电子枪的工作状况，清洁电子发射区域，避免灰尘和污垢的堆积。
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
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基本信息
参与对象：本科生
规程制定者：徐泽忠
制定时间：2017年5月14日
执行时间：2017年5月14日
用房安全员：赵茂俞
事故紧急联系电话：62158367
适用地点： 43#101室
仪器操作规程
1开机
1.1检查真空、循环水状态。
1.2开启“Display”电源。
1.3电脑启动后，根据提示，按“Ctrl+Alt+Delete”，口令为空，进入系统；启动电镜程序，口令为空。
严格注意开关机顺序；
1-3个月需检查和清晰X射线管的水过滤器；
1年要检查清洗水管和水箱，防止由于水垢而降低冷却效果。
一旦发生故障故障，立即停止实验。
电源火线、零线、地线连接不正确及破损的危险特性
如果电源火线、零线、地线连接是否正确或者电线有破损，将有可能引起漏电而电到或者烧坏仪器的危险
防护措施
实验开始前，检查电源火线、零线、地线连接是否正确，电线是否有破损，确认无误后才能给装置通电。
3.1根据样品特性与观察要求，在操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加高压。
3.2用滚轮将样品台定位至观察点，在操作界面中调整样品台高度。
3.3选择合适的放大倍数，点击“Align”键，调节旋钮盘，逐步调整电子束位置、物镜光阑中、消像散基准。
3.4在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散，在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。
2样品放置、撤出、交换
2.1严格按照高度规定高样品台，制样，固定。
2.2按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门，推入样品台，旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。
3观察与拍照
分析测试中心
2017年5月14日
3.5选择合适的图像大小与拍摄方法，按“Capture”拍照。
3.6根据要求选择照片注释内容，保存照片。
4关机
4.1将样品台高度调回8mm。
4.2按“Home”键使样品台回到初始状态。
4.3“Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。
4.4退出程序，关闭电脑，关闭“Display”电源。
注意事项及
预防措施
(1)实验开始前，检查电源火线、零线、地线连接是否正确，电线是否有破损，确认无误后才能给装置通电。
(2)先打开循环水冷却系统，再开启仪器主机。
注意事项
预防措施
循环冷却水机的注意事项：
1、先开循环冷却水机再开仪器主机；
2、关机时先关闭仪器主机，待循环水机运行至少15分钟后再关闭冷却水机。
防护措施