蔡司场发射扫描电镜操作项目培训
蔡司三坐标培训教材
测量策略
备注:几乎所有元素可以通 要数据备份文件存放的路径
不同的元素有不同的测量策略 主探针 s<=0.
机器型号： CONTURA G2
方式定义,可以用测量机测量. 系统在默认状态下会有自己的坐标系，其原点在左上角。
常用的策略： 用主探针进行
探头允许最大承重50g 探针组定义、添加、删除
蔡司三坐标培训教 材
培训大纲
一、软件知识
（一）基本知识
基本操作 元素采集 测量策略 坐标系 特性输出 CNC编程 输出报告设置 探针校准 数据备份 机器配置
培训大纲
（一）曲线知识
曲线生成 曲线策略和评定 曲线输出
二、硬件知识及基本知识
（一）CONTURA G2知识 （二）基本知识
基本操作
定义安全参数 启动软件后，出现如下对话框图示1，直接确定，等待系统出现归零对话框图示2，点击确定。
量程：700*1000*600 附加坐标系和基本坐标系可以是相互独立的坐标系，也可以只在原有的基本坐标系之上修改需要的相关参数。
启动软件后，出1. 现如下定对话义框安图示全1平，直面接确定，等待系统出现归零对话框图示2，点击确定。 注备意注每 ：个常元用素的的椭2. 合圆理，打圆定点槽数，义。方回槽，退圆距环最离好不要自动识别， 模系型统编 在程默方认法状一态3. 样下。会有定自己义的探坐标针系，其原点在左上角。
坐标系
一、基本坐标系
笛卡尔坐标
圆柱坐柱
球坐标
坐标系
二、附加坐标系
资源→其它→坐标系
附加坐标系和基本 坐标系可以是相互独 立的坐标系，也可以 只在原有的基本坐标 系之上修改需要的相 关参数。
蔡司SEM（SIGMA）操作规范
蔡司SEM（SIGMA）操作规范蔡司——SEM（SIGMA）操作规范⼀、仪器结构光学系统：电⼦枪、电磁透镜、扫描线圈、光阑组件机械系统：⽀撑部分、样品室真空系统样品所产⽣的信号收集、处理、显⽰系统⼆、三种主要信号背散射电⼦（BSD）：⼊射电⼦在样品中经散射后再从上表⾯射出来的电⼦。
反映样品表⾯不同取向、不同平均原⼦量的区域差别。
⼆次电⼦(SE2)：由样品中原⼦外壳层释放出来，在扫描电⼦显微术中反映样品上表⾯的形貌特征。
X射线(EDS)：⼊射电⼦在样品原⼦激发内层电⼦后外层电⼦跃迁⾄内层时发出的光⼦。
三、⼯作原理：扫描电镜的⼯作原理可以简单地归纳为“光栅扫描，逐点成像”。
从电⼦枪阴极发出的直径20um～30um的电⼦束，受到阴阳极之间加速电压的作⽤，射向镜筒，经过聚光镜及物镜的会聚作⽤，缩⼩成直径约⼏毫微⽶的电⼦探针。
在物镜上部的扫描线圈的作⽤下，电⼦探针在样品表⾯作光栅状扫描并且激发出多种电⼦信号。
这些电⼦信号被相应的检测器检测，经过放⼤、转换，变成电压信号，最后被送到显像管的栅极上并且调制显像管的亮度。
显像管中的电⼦束在荧光屏上也作光栅状扫描，并且这种扫描运动与样品表⾯的电⼦束的扫描运动严格同步，这样即获得衬度与所接收信号强度相对应的扫描电⼦像，这种图像反映了样品表⾯的形貌特征。
四、操作步骤(⼀)启动系统1、开机将仪器主机上绿⾊按钮“On”打开，双击软件图标，输⼊⽤户名及密码。
2、加⾼压左击图标，单击，待⾼压上升到设定值，状态栏中显⽰为，系统状态就绪。
(⼆)更换样品1、放真空左击→→→，放真空。
2、换样品排⽓完成后，缓慢地将样品室拉开，轻轻将原样品取下，装⼊新样品，旋紧固定，缓慢关闭样品室。
3、抽真空单击→抽真空，待显⽰为时，抽真空完毕，可进⾏正常测试。
注：样品室不开打开太久，制样及更换样品时需戴⼿套，以免污染样品及样品室。
(三)测试样品1、选择观察区点击，将视野切换到TV模式下，前后移动Z⽅向杆将样品台调整到合适的⾼度，点击，将视野切换到Normal模式下，点击，状态栏中显⽰为⿏标左键调整图像亮度，右键调整对⽐度，使图像视野清晰；点击，状态栏显⽰为将⿏标功能切换为调整倍数、聚焦，⿏标左键将放⼤倍数调到最⼩，右键聚焦，选择较快的扫描速度（=1-3），使⽤操纵杆移动样品台位置，找到要观察的样品，并将观察区移动到视野中⼼。
蔡司场发射扫描电镜Merlin培训
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（4）自检完毕后，在EM server log on 对话框中输入用户名和密码，进入SmartSem软
件。
Username：SCUT Password：SCUT
仪器工作界面
工具栏
图像观察区
参数设置栏
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确认仪器状态
电子枪状态：
Fil I，Extractor V 和Extractor I。
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1、能谱点分析
采集电镜图像
选择分析区域，采集谱 图
确认谱图中各峰元 素归属
计算含量，形成报 告
需要保存谱图元素数据的，可以在谱图上鼠标右键，导出txt格式数据。
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2、能谱线分析
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3、能谱面分布
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Z上下移动
X、Y及旋转移动
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键盘功能图
像散调节
光阑对中调节
聚焦窗口
图像旋转
图像移动
换样
camera
亮度对比度
扫描速度
放大倍数调节
聚焦调节
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（3）选择检测器类型
在Detectors栏目下，选择所需检测器，建议开始时用SE2，以便寻找样品。 TV模式和观察模式切换
像散调节钮
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光阑对中的调节
在较高倍数下，按wobble钮，调节Aperture X和Y，使图像呈心脏般起伏，而不出现左右摇摆。调节 好后，再按一下wobble钮，回到正常模式。
像散和光阑对中调节完成后，需要再对试样进行聚焦。
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蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
工作原理简介
电子枪发射电子，经 过加速和聚焦形成电 子束。
信号被探测器接收并 转换为电信号，经过 处理后形成图像。
电子束在磁场作用下 扫描样品表面，与样 品相互作用产生各种 信号。
设备的主要组件和功能
聚光镜
将电子束聚焦并调 整光束大小。
探测器
接收样品产生的信 号，并将其转换为 电信号。
电子枪
发射电子，是电镜 的照明源。
蔡司场发射扫描电镜操作培训课件
目录
• 设备介绍 • 操作流程 • 高级操作与优化 • 应用与案例展示 • 安全注意事项
01 设备介绍
设备概述
01
蔡司场发射扫描电镜是一种高分 辨率、高放大倍率的电子显微镜 ，用于观察和分析材料表面的微 观结构和形貌。
02
它采用电子作为照明源，通过电 子束扫描样品表面，将产生的信 号收集并处理成图像。
紧急情况处理
如遇电镜异常或故障，应立即切断电 源，保持现场，并及时联系专业维修 人员。
若发生触电或火灾等紧急情况，应迅 速切断电源，使用灭火器扑灭火灾， 同时拨打紧急电话求救。
安全培训与教育
操作人员应接受专业培训，熟悉电镜的基本原理、操作流程 及安全注意事项。
定期对操作人员进行安全教育培训，提高安全意识，确保操 作过程的安全性。
陶瓷与玻璃材料探索
研究陶瓷和玻璃材料的微观结构，如气孔率、晶相组成和显微组织 。
表面科学探索
01
ห้องสมุดไป่ตู้
02
03
表面形貌分析
利用场发射扫描电镜观察 材料表面的形貌和粗糙度 ，分析表面的物理和化学 性质。
表面元素组成分析
结合能谱仪等附件，对材 料表面元素进行定性和定 量分析，了解表面化学组 成。
蔡司三坐标培训计划
蔡司三坐标培训计划培训内容概括：1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则2.蔡司三坐标对温湿度及电源、气压的要求3.蔡司三坐标的开关机4.蔡司三坐标的校准及要注意的问题5.蔡司三坐标测量工件过程及精度分析6.以一个工件为例建立自动程序，主要讲述三坐标的编程的过程7.对一些常用的测量方法及测量思路进行探讨A 测量圆锥上固定高度的截面圆直径或者固定直径的高度B 测量构造尺寸及构造元素的尺寸C 测量键槽位置度的方法及评定方法D 焊接轴的测量方法及步骤8.测量报告的分析A 位置度的评定原理及出现的问题B 平面度、垂直度、平行度等评定原理9.蔡司三坐标扫描测量原理及测量方法以一个平面或者一个内孔（圆或者圆柱）扫描测量，对测量结果进行讲解分析10.蔡司三坐标常见故障及其解决办法蔡司三坐标培训教程1.蔡司三坐标的简单介绍及保养细则德国蔡司三坐标是在国际上比较有名的，一是它的精度比较高，二是它的运行稳定性及重复性比较好，三是德国蔡司三坐标所用的探头是三维的，可以在空间的360 度方向探测，测量方向及测量误差自动进行补偿。
相对海康斯康三坐标的二维探头来说，精度比较高，测量稳定性及重复性就比较好。
对蔡司三座标的保养可以参考------- 蔡司三坐标保养细则2.蔡司三坐标对使用环境（温湿度及电源、气压）的要求VistaA对温度的要求18C〜22CB 湿度同样对机器的使用有很大的影响。
湿度过大，容易造成电子元器件的短路，需要配备除湿机；湿度过小，容易产生静电，需要配备加湿机。
Vista 对湿度的要求40％to 60 ％C 对气源的要求，要无水，无油，无尘（实际达不到），但纯度要达到99% 以上；D 一般要求压力6〜10bar,根据不同型号的三坐标，相对Vista来说要求压力6〜8bar建议配备1) 无油空压机或集中的干净气源2) 储气罐3) 粗过滤器4) 压缩空气干燥机5) 精密过滤器（除油）；精密过滤器（除尘）6) 压力调节阀（带0—10bar压力表）E对电源的要求（相对Vista型号的三坐标）电压要求220±0% 频率50HZt3.5% 最大总功率（UPS要求）1000VA3.蔡司三坐标的开关机开机：1 ）检查计量室的温湿度2）打开总电源、总气源检查气压压力3）按照安装顺序，依次打开稳压电源、UPS、空气过滤器等4）打开CMM （coordinate measuring machine）5）打开计算机外部设备，例如打印机、显示器6）打开计算机主机，进入xp 系统7）双击桌面上的快捷图标登录Calypso 软件，机器回零8）打开或者新建一个测量程序，开始测量关机：1）将测头停在合适的位置（一般要求z 轴不暴露光栅尺，位于机器右后上方）2）保存当前测量程序3）退出Calypso 软件（CMM 主机不关，再次开机时CMM 不再回零）4）退出XP 系统5）依次关掉计算机的主机、显示器、打印机等PC 设备6）按下紧急按钮，关掉CMM 主机7）按照顺序依次关掉空气过滤器、UPS、稳压电源等8）关掉总电源、总气源注意:建议每次开关机时间间隔五分钟以上。
扫描电镜操作规程
ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程
一、开机
1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；
2、开总电源；
3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；
4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；
5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；
6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，
按绿灯“ON”；
7、输入开机密码；
8、启动软件“SmartSEM”；
9、输入用户名；
11、输入用户口令；
12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；
13、加电子枪高压；
14、加灯丝高压；
15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。
二、关机
（一）日常关机
1、放气，取样品；
2、关灯丝高压；
3、退出软件“SmartSEM”；
4、退出软件“EMServer”；
5、关电脑；
6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；
（二）完全关机
1、按红灯；
2、关空压机，搬空压机开关至“0”；
3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；
4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；
5、关总电源。
2014-1-10。
扫描电镜和电子探针分析技术培训要点
扫描电镜和电子探针分析技术培训要点扫描电镜和电子探针分析技术培训要点目标
了解扫描电镜和电子探针的基本结构与原理,了解扫描电镜和电子探针检测/校准项目及相关要求,掌握国家标准中扫描电镜和电子探针的检测方法,掌握扫描电镜和电子探针测量数据的结果处理方法及测量结果不确定度评定的基础知识。
1、扫描电镜和电子探针分析技术基础
(1) 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析方法通则
(2) 扫描电镜的结构,电子束与固体样品的相互作用,表面形貌分析基础,X
射线能谱,EDX,分析基础,电子背散射衍射技术,EBSD,分析基础。
2、扫描电镜和电子探针分析技术的仪器设备操作技术
,1,扫描电镜的成像原理与基本构成～各部件的用途和操作技术。
,2,X射线能谱仪的结构与分析软件～测量前的准备、测量条件的选择～定量分析修正方法。
,3,EBSD系统附件的构成、工作条件、背景扣除、样品处理。
3、扫描电镜和电子探针分析技术的标准方法与应用技术
,1,GB/T 17359-1998, 扫描电镜和电子探针X射线能谱定量分析方法通则
,2,GB/T 16594-1996, 微米级长度的扫描电镜测量方法
,3,GB/T 19501-2004, 电子背散射衍射分析方法通则
,4,GB/T4930-93～电子探针分析标准样品通用技术条件
4、扫描电镜和电子探针分析技术的数据分析与处理
能谱成分分析案例。
场发射扫描电子显微镜实验操作
场发射扫描电子显微镜实验操作扫描电子显微镜（SEM）是一种能够获得高分辨率表面形貌信息的重要工具。
在实验室中，我们经常会使用场发射扫描电子显微镜来观察样品的微观结构和形貌。
本文将介绍场发射扫描电子显微镜的实验操作步骤。
实验准备在进行场发射扫描电子显微镜实验之前，我们需要进行一些准备工作。
首先，确保实验室环境干净整洁，以避免样品受到污染。
其次，检查扫描电子显微镜设备，确保设备正常工作。
最后，准备好待观察的样品，并确保样品表面平整干净。
样品处理与加载处理样品是进行场发射扫描电子显微镜实验的关键步骤。
首先，将待观察的样品切割成适当大小，并利用相关方法处理表面以去除可能的杂质。
然后，将样品加载到扫描电子显微镜样品台上，并使用夹具固定样品。
参数设置在进行扫描电子显微镜实验前，需要设置合适的参数以获得清晰的显微结构图像。
首先，调整加速电压和工作距离，以适应待观察样品的性质和尺寸。
其次，设置扫描速度和倍率，以获得所需的图像分辨率。
最后，根据需要选择不同的检测模式和滤波器。
图像获取与分析当参数设置完成后，可以开始进行样品的图像获取。
通过扫描电子束对样品进行成像，获得样品表面的细微结构信息。
在获取图像后，可以利用相应软件对图像进行分析，包括测量尺寸、分析形貌等。
同时，可以记录图像和相应数据以备后续分析。
结束实验与维护实验结束后，及时关闭扫描电子显微镜设备，并对设备进行清洁和维护。
将样品从样品台取下，妥善保存或处理。
同时，整理实验记录和数据，保留有关信息以备后续参考。
通过以上步骤，我们可以完成一次成功的场发射扫描电子显微镜实验操作。
这不仅可以帮助我们深入了解材料的微观结构和形貌，还可以为科学研究和工程应用提供重要参考。
希望本文对您进行场发射扫描电子显微镜实验操作有所帮助。