S4800扫描电镜操作说明书
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南
样品台倾转Tilt——T
倾转注意： a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °） b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调 Z到8mm。
减速功能
本机附加减速功能，通过在样品表面施加与 加速电压相反方向的电压，使到达样品表 面的电子发生减速，抑制电荷积累现象， 适合对不导电样品的高分辨率观察。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点 击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和 发射电流。发射电流一般设为10A 3）加高压 点击ON键，出现确认样品尺寸对话框，确定后， 开始自动加电压
图像记录方式的选择
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比， 从而提高图像的质量，因此通常采用慢扫描 方式记录图像。但是扫描速度越慢，样品的 放电现象越显著。所以，如果样品放电现象 比较严重，不能采用慢扫描方式记录图像， 这时可以采用多次快速扫描叠加的方式记录 图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移 明显的样品无法采用这种技术。对于既放电 又漂移的样品，采用单次快速扫描的方式反 而可以获得最高质量的图像。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点
击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
1、启动操作程序PC－SEM
打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和 密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到
焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南解读
注意！
本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内 容，不能代替培训。有意自己操作扫描电 镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度， 文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！
S－4800 扫描电镜外观
2、加载样品
2）将样品托装在样品架（specimen holder）上 （1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面 与样品高度计的下面尽量相平。
注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一 致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面 伸出来，这样会造成机械故障。
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。 （1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托 （15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在 样品托上。
注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处 理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导 电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤 干或用吹风机吹干后再插入样品室。
HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程
HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥，样品要尽量的小，多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品，否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置，样品表面平坦，样品厚度不可太大。
操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关，开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开，之后按下Reset键;3.启动Evac Power，等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后，开启操作台电源，PC机自动启动进入Windows操作系统，并自动运行S-4800操作程序，此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。
二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品，并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8，WD=8，x=25，y=25，Rotation=0)，如未复位，将其复位;3.点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室，点击Evac键，抽好真空后点市Open键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上，旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆，最后点击Close关闭阀门，安装样品结束。
三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦，然后用fine键细调聚焦，直到图像清楚;4.放回到观察倍数，用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像，不合适重新执行步骤2，3，若合适即可拍照。
日立S4800扫描电镜中文使用手册
一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
二、操作说明1．开机（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
2．图像观察（1）装入样品制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。
（2）图像观察及保存SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。
（3）结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。
3．关机（1）日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY（2）完全关机短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
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可编辑
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
S-4800扫描电镜操作步骤
扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EV AC键，当EV AC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON 提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
5.对中调整改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。
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冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户）燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝）编写人：李月晴吕益飞普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。
高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散一、日常开机1，开启冷却循环水电源。
2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。
4，打开电源插排的开关。
5，打开装有EDS软件的主机电源。
6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。
如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa；IP3：9.6×10-7Pa。
PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。
注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。
记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。
二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压）目的：高温去除针尖表面吸附的气体1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing；2，选择flashing intensity为2 ；3，若flashing运行时Ie小于20µA，则反复执行直至Ie值超过20µA且不再增加。
4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。
三、加液氮容积不要超过1L，能维持4~6h。
四、样品制备及装入样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。
1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。
2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。
3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中，工作距离(WD) 要大于8.0mm。
操作过程：(1) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
（非导电样品可以用双面胶。
）(2) 把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（3）样品若不导电，需要喷镀金膜。
喷镀金膜：真空6~8Pa，电流调到10mA左右（通过降低真空度来调节电流，点按检验按钮可以查看电流值），喷金时间一共30s（习惯先20s后10s）。
五、样品装入放样品是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视1，粘好样品后，用标准高度规（8mm高度）检测样品高度，使样品的最高处和高度规的下边缘精确对齐，误差在1mm范围内。
如图1所示。
同时确认样品台和调节螺杆固定好，紧固盘片已固定。
图12，在样品交换室上按Air键，放空气进入该交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
如图2所示图23，Air→装样品→EV AC→Open→推入到底→Close→HOME最后在软件操作界面上点击Home键，等绿色显示条停止闪烁后，说明腔室内样品座已完全回归原位。
如图3所示：图3确认样品杆在unlock位置，稍微推样品杆使样品杆前端可见，然后将图1中的样品台装入样品杆前端，lock样品杆后，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空，等听到“滴”的声音后，再按Open键，可以打开交换室和主机腔室之间的阀门，可以清楚的看到阀门打开，听到“滴”的提示声音。
确认阀门打开后，将样品杆轻推入到底，然后旋转样品杆至unlock位置，抽出样品杆到底，这样样品就已经放在主机腔室中了。
按close键关闭阀门，听到“滴”的提示声音后，说明已关闭。
下面即可开始样品观察了。
[注]: 以上放样品步骤，2分钟左右即可完成，所以不要着急，要一步步来。
六、样品观察及拍照1，样品放好后，在软件界面上选择合适的高压和发射电流，然后点击”ON”加高压，如图4所示。
在加高压时会弹出样品台大小、高度确认对话框，如图5所示。
高度前面已确认是8mm 标准高度，如果样品台大小（平面尺寸）和对话框中数值不相符，则要点击cancel，在软件面板中的Stage部分，选择合适的样品台大小，如图6所示图4图5（注：该提示为15mm，但在本台仪器上显示为5 inch，属于正常情况。
15毫米=0.59inch。
）图62，在L/M（低放大倍率）下找到要看的样品，使用stage里面的导航图，在上图6中点击Disp，弹出导航图，找到要观察的样品后，点击Reg，即可在导航图中记录相应的位置。
观察中发现图象过亮或过暗，用鼠标点击，自动调节对比度和亮度。
3，然后切换到H/M模式。
单击操作界面上的Align键，如图7所示，点击其中的Beam Align，做电子束对中调整，调整好后点击off。
图74，在要观察样品区域，旋转Magnification旋钮，把图象调到合适放大倍数，然后调节Focus旋钮中的Coarse (粗调)旋钮将图象大致调清楚，滚动轨迹球对所要观察的细节进行搜索。
Focus 调焦发现图像移动，需要做Aperture Align ，点击图7界面上的Aperture Align ，使图像象心脏一般跳动，然后点击off 。
5，如果调焦时，发现图像向一个方向变模糊，需要调Stigmator ，进行象散校正。
需对x 和y 进行单独校正，可反复多次校正，同时调节Fine 旋钮聚焦。
4）和5）步的调整总结在下图8中。
图8说明：扫描速度的选择，速度越慢图象质量越高，漂移和荷电现象越严重。
图象调节过程中用TV ，Fast 或Red; 图象观察和确认用CSS 或Slow 。
6，得到清晰的图像后，选择Slow （分辨率高）或CSS （对于轻微荷电样品用）或TV/Fast （对于强荷电样品，不耐高压且慢扫易变形图像）扫描模式，然后点击拍照键，如图9所示，即可拍照片。
图97，在Captured Image 中选择欲保存的照片，点击右下方SA VE 按钮。
选择保存位置、使用者及样品信息后保存。
如图10。
七、EDS（或EMAX）扫描EDS分辨率为133ev选项→电镜控制→电镜设置→感兴趣区→采集图谱→确认元素→定量分析设置(传送，保存)→报告(保存Word)；同时项目另存。
保存完word后可关闭word小窗口。
每个采集的图谱都要进行元素确认。
看含量≤offset的3倍的元素删掉以后，要重新传送保存。
存图：图像光谱结果汇总。
1，EMAX探头限位：到达黑色台。
2，升加速电压Vacc至20KV，电流Probe Current设为High。
,3，聚焦。
（图像大致清晰即可，如2K倍，因为EMAX分辨率低，为μm级）。
能谱范围是微米级（因为电子束光斑是微米级别，即打能谱的区域越大越靠谱）。
4，调节工作距离。
给定工作距离为15mm(与EMAX探头有关)。
场发射SEM工作距离为8mm。
此时，需增加工作距离为15mm（工作距离以扫描图片上的为准）。
如SEM图片距离为9.2mm，此时要想调节工作距离到真实距离15mm的话，需将工作距离设为13.8mm，点按stage导航图里面的go即可。
重新聚焦。
5，打开EMAX软件，以创建新项目。
做完上一个样品的能谱后，EMAX软件都要关闭再重新打开，目的是创建新项目。
（也可以不关闭，直接新建。
关闭的目的是为了防止误操作）6，选项>> 电镜控制。
需要输入和扫描匹配的参数，2000倍，20KV，15mm（扫描图片上的真实值为准）。
按回车以确认参数输入进去，点关闭。
7，电镜设置。
该步骤类似于预扫，参数要看死时间。
死时间可简单理解为无效时间所占百分比，处理时间与死时间基本成正比，处理时间某个参数设为4或者5都行，以保证死时间在20~30%即可。
8，点扫描需要设置为——point&ID线扫描和面扫描需要设置为——Mapping（1）点扫描：感兴趣区>> 采集（点按圆点，鼠标划过时有中文提示）——采集图谱——点扫描——确认元素——图谱1(增删元素)——定量分析设置——传送——保存——定量分析—报告——word 保存，另存项目。
（2）线扫描：感兴趣区——SmartMap，线扫描预扫——添加已知元素——线扫描——等到强度足够的时候，回到SmartMap点按停止扫描——报告SmartMap——word保存，另存项目。
（2）面扫描：以后补充上！！！！！！！！！！！！！！！！！！注意：元素存在的一般判断准则：在未知元素的前提下，测量值超过误差的三倍，一般判断为含有此元素；在已知元素的前提下，可删除不可能存在的元素，而不理会测量得出的数值。
八、取样品取样品也是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视1)需要取样品时，先点击图4中的OFF键关电子束。
然后点击图2中的EXC 键,，直到不闪烁为止。
2)然后点击图3中的”Open”，等隔离阀打开后（听到”滴“的声音），将处于Unlock位置的样品杆轻推入到底，然后Lock样品杆，将样品台拉出到底。
3）点击图3中的“Close”，等隔离阀关闭后（听到”滴“的声音后），点击”Air”，放空气进入交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
4）打开交换室后，稍微推样品杆使样品杆前端可见，旋转样品杆至”unlock”位置，然后将样品台卸下，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空。
5）将样品从样品台卸下，并清除导电胶带，保持样品台清洁。
九、关机1，Vacc降为15KV，Probe Current设为Norm。
2，File >> Exit3，EMAX探头归位。
一直旋，旋的同时注意把持住仪器，直到探头露出来，位置在7以上就能看到。
4，关EMAX软件的电脑。
5，关信号采集开关，位置打到0，为关闭。
6，关电源插排的开关，以防雷电击坏。
7，关Display8，关循环水，在隔壁屋，点OFF/ON，cool灯灭即可。