2014-05 扫描电镜操作注意事项
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程电子显微镜是一种高精度的仪器，操作时需要遵循一定的安全规程和保养措施，以确保仪器的正常运行和使用者的安全。
下面是电子显微镜的安全操作和保养规程，供参考。
一、电子显微镜的安全操作规程：1.进入实验室前，要穿戴好实验室专用工作服，并佩戴好相应的防护用品，如手套、眼镜和口罩等。
2.在操作电子显微镜之前，应先了解设备的基本知识，熟悉仪器的使用方法和操作步骤。
3.在使用电子显微镜之前，要确保仪器的电源已经关闭，并检查仪器的相关连接线是否牢固。
4.在进行样品准备时，应使用专用工具进行操作，避免直接用手触摸样品和仪器部件。
5.在开机之前，应确认好样品装载台、真空系统和冷凝系统等设备是否运行正常。
6.在启动电子显微镜之前，要确保室内的温度和湿度适宜，尽量避免环境中的尘埃和静电干扰。
7.在启动电子显微镜后，应根据实际需要进行相关参数的调整，如电子束强度、放大倍数和对比度等。
8.在放大和观察样品时，要注意不要过度放大或观察过长时间，以免对样品和仪器造成损坏。
9.在操作电子显微镜时，要保持室内环境的安静和稳定，避免不必要的震动和干扰。
10.在关闭电子显微镜之前，要先将相关参数调整到初始位置，然后将电源关闭，并检查仪器是否有异常情况。
二、电子显微镜的保养规程：1.每天使用电子显微镜之前，要先清理设备外部的尘埃和杂物，并定期清洁仪器的内部部件，如样品台和镜筒等。
2.定期检查电子显微镜的电源线和电源插头是否有损坏或老化现象，并及时更换或维修。
3.定期检查仪器的真空系统和冷凝系统，保持其正常运行状态，如有异常情况，应及时修理或更换相关部件。
4.定期检查仪器的操作系统、数据存储系统和软件程序等，确保其正常运转和更新。
5.定期校准电子显微镜的各项参数和功能，以确保仪器的精度和准确性。
6.在仪器长时间不使用时，要将其储存在干燥、清洁和稳定的环境中，以免仪器受潮、腐蚀或受损。
7.在操作电子显微镜时，要避免使用尖锐或硬物品接触样品、仪器内部或镜筒，以免划伤或损坏仪器。
扫描电镜操作注意事项
扫描电镜操作注意事项
操作扫描电镜时需要注意以下几点：
1. 安全操作：戴上安全镜、手套和实验室服。
确保操作过程中没有任何危险物质泄漏或飞溅。
2. 仪器准备：确保仪器处于适当的状态。
检查电子束的对准情况，确保电镜的真空度符合要求。
3. 样品制备：样品制备对于扫描电镜至关重要。
样品必须表面平整、洁净，并且尽量避免气泡、杂质或其他可能干扰扫描电镜成像的情况。
通常需要使用特殊的样品制备技术，如金属溅射、冷冻干燥等。
4. 样品安装：将样品小心地安装在样品台上，确保样品在电镜扫描过程中固定不动，同时避免不必要的振动。
5. 电镜参数设置：根据实际需要，设置合适的电子束加速电压、放大倍数、对比度等参数。
根据样品性质，选择合适的扫描模式（如透射电镜、反射电镜等）和扫描速度。
6. 电磁干扰：保持实验环境的电磁干扰最小化。
尽量避免其他电器设备在扫描电镜附近操作，以减少电磁干扰对成像质量的影响。
7. 操作规范：遵循操作手册的操作步骤，并进行必要的校准和调试。
在操作中要小心移动任何操作部件，以防止意外损坏。
8. 操作结束：操作完成后，关闭电镜并清理工作区。
彻底清洁和保存样品，确保下次使用时样品的完整性。
以上是扫描电镜操作时需要注意的一些事项，操作时应严格按照操作手册和实验室操作规程进行操作。
如果对操作程序不熟悉或者遇到困难，应及时寻求相关专业人员的帮助和指导。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项-心得教学提纲
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项-心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
台式扫描电镜操作规程
台式扫描电镜操作规程引言：台式扫描电镜(SEM)是一种常用的显微镜仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米科学等领域。
为了确保SEM的正常运行和保证操作人员的安全，制定一套操作规程是非常必要的。
本文将详细介绍SEM的操作规程，包括准备工作、开机和关机操作、常规操作和安全注意事项等内容。
一、准备工作：1.操作人员需穿戴好个人防护装备，包括实验室服、手套、护目镜等。
2.检查SEM设备是否处于正常工作状态，包括电源、冷阱和真空恢复系统等。
3.准备好所需的样本，确保样本符合SEM的要求。
同时，确保样本干燥、清洁，尽量避免灰尘和污物。
二、开机操作：1.打开SEM控制软件，并登录系统。
2.打开SEM设备的电源，确保系统电源稳定。
3.打开真空恢复系统开关，等待真空稳定。
4.打开冷阱开关，确保冷阱工作正常。
5.进行电子束的对准操作，确保电子束的准直性。
三、常规操作：1.在样品台上固定好样本，并通过样品台调节电子束焦点和位置。
2.设置所需的加速电压、探针电流、显微放大倍数等参数。
3.检查SEM图像，并进行必要的图像调整和优化。
4.对样本进行显微观察，记录所需的显微图像。
5.在操作过程中，若需要更换样品或对设备进行其他操作，应先将电子束关闭，避免辐射伤害。
四、关机操作：1.保存操作数据，并关闭SEM控制软件。
2.将电子束调节至合适位置，并关闭加速电压。
3.关闭冷阱和真空恢复系统，并等待真空泄压完成。
4.关闭SEM设备的电源，并断开电源线。
五、安全注意事项：1.操作人员需严格遵守实验室安全规程，确保自身安全。
2.在操作过程中，注意保持SEM设备的稳定和平衡，避免碰撞或摔落。
3.使用SEM时，应注意防止静电产生和电磁干扰，以避免对设备造成损坏。
4.操作结束后，应集中处理样品残留物，并清理工作区域。
5.定期对SEM设备进行维护和保养，确保其正常运行并延长使用寿命。
6.严禁未经授权人员操作SEM设备，以免造成不必要的损坏和安全事故。
扫描电镜操作注意事项PPT
11
5．重复步骤3。 6. 2%单宁酸过滤后洗2次，每次30min。 7．重复步骤3。 8. 梯度乙醇脱水（50 75 90 100）%×2次，
每 次30min，也可在75或90%乙醇中过夜。 9. 醋酸异戊酯置换乙醇40min。
12
10. 六甲基二硅胺烷原液（HMDS）5-10min替 代临界点干燥，放青霉素瓶中抽真空后密 封。
2. 根据不同样品，采用不同的干燥方法，防止 因干燥时间过长，压力过大造成样品过度收缩 和断裂。样品厚而贴不牢不平，造成喷镀不均， 样品边缘空白，发亮而出现充电现象和边缘效 应。图像漂移。为此可降低电压（1-5 KV）减 少充电和边缘效应。
3. 用单宁酸的目的为提高二次电子发射率，耐
受电子轰击，防止样品断裂。
23
4. 样品脱水干燥贴牢后，需放置玻璃密封真空（加干 燥剂）干燥器皿内。样品喷镀后，最好当天观察， 照相,如看不完，还需放干燥器中密封真空保存，防 灰尘潮气进入。最好勿超过3个月。
5. 因条件有限，无临界点干燥仪，我们采用六甲基二 胺烷（HMDS）代替临界点干燥仪，优点是快速经 济，不受仪器限制，看普通标本，组织细胞支架材 料，与常规临界点干燥处理效果基本一致；看精细 材料（ECM）的分辨率还是有差距。
3
4
5
扫描电镜的优点
景深长，视野广，图像呈三维立体结构，样 品制作较透射电子显微镜简单，功能多，根 据样品性质不同，其处理方法也有所区别， 下面主要介绍组织工程支架、细胞、细胞外 基质等样品的制作技术。
6
一. 样品制作处理步聚
取样→清洗→第一次固定（戊二醛）→第二 次固定（锇酸）→缓冲液中漂洗→梯度脱水 →醋酸戊酯置换→临界点干燥（改成六甲基 二硅胺烷HMDS代替临界点干燥）→表面喷 镀→扫描电镜中观察。根椐我们的具体情况 加以改进。
扫描电子显微镜的操作步骤与技巧
扫描电子显微镜的操作步骤与技巧扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种非常重要的科学研究工具，广泛应用于材料科学、生物学、医学等领域。
通过使用扫描电子显微镜，我们可以观察和研究微小的物体结构和形貌。
然而，要正确操作该设备并获得高质量的显微图像，并不是一件简单的事情。
在本文中，我们将讨论扫描电子显微镜的基本操作步骤和一些技巧。
首先，确保准备工作的完整。
操作扫描电子显微镜之前，应确保待观察样品已经被充分准备。
这包括样品的固定和处理，以确保其表面平整和干燥。
如果样品表面不平整或存在水分，则可能会导致扫描电子显微镜的成像效果不佳。
因此，在开始操作之前，应仔细检查样品的处理程度以及其是否符合操作要求。
其次，正确设置和校准设备。
扫描电子显微镜有许多参数和控制选项，而正确设置和校准这些参数至关重要。
首先，我们需要选择适当的加速电压和电流，以确保样品能够正常激发和产生电子束。
其次，在显微镜的对准方面，我们要关注电子束和样品之间的距离以及投射角度。
调整这些参数可以最大程度地提高成像质量。
除了基本的操作步骤之外，还有一些技巧可以帮助我们获得更好的成像效果。
首先，要避免电子束损伤。
当样品处于高于正常加速电压的情况下，电子束可能引起样品的电离和热损伤。
因此，我们应尽量选择低电压和电流，并在操作过程中控制好作用时间，以避免这种损伤。
其次，要注意电子束的扫描速度。
快速扫描速度可能会导致成像模糊，而过慢的扫描速度可能会导致成像时间变长。
合理调节扫描速度可以获得清晰且高效的显微图像。
此外，掌握样品准备技巧也是操作扫描电子显微镜的重要一环。
在扫描电子显微镜中，样品的导电性对成像起着至关重要的作用。
对于不导电的样品，需要涂覆一层导电剂，以提供导电性。
而对于易挥发性的样品，则需要低温固定和冷冻来保持其形态。
掌握这些样品处理技巧可以更好地应对不同的样品类型，并获得高质量的显微图像。
最后，及时的设备维护和保养也是操作扫描电子显微镜的关键。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
高分辨率成像时参数设定
1. EHT 高电压，电子束波长短，分辨率高，但同时电子束样品作用体积大，空间分辨率降低。
2. Probe current 小束流，小光阑，束斑小，分辨率高 3. 探测器选择 HV使用SE，低真空使用VPSE+BSD，环境真空使用EPSE+BSD
4. 工作距离（WD) SE2：7-10mm
扫描电镜操作注意事项
龙胜 应用技术专员
Confidential confidential
Contents
1
电镜室的环境要求
2
3 4
扫描电镜试样制备
扫描电镜操作技巧 安全注意事项
Confidential
Contents
1
电镜室的环境要求
2
3 4
扫描电镜试样制备
扫描电镜操作技巧 安全注意事项
Confidential
Confidential
不同电压下分辨率对比
1KV 100K
10KV 100K
Confidential
不同电压下的表面形貌像对比
• 低电压条件下表面细节清晰 • 高电压下电子束穿透深度大，表面细节被掩盖
10KV
2KV
20KV
Confidential
元素分析
1.大光阑，保证足够多的计数率，以提高精度与节约时间 2.选择最佳工作距离 3.对于需要元素面分布的样品，需要样品尽量平整
样品台
平台 特殊形状
预倾角
Confidential
样品台支架
Confidential
块状样品，表面形貌观测
1. 固定 2. 导电处理
Confidential
粉末状样品
1. 尺寸小于100纳米 • 少量粉末置于分散液中（酒精） • 超声分散 • 取液滴滴在光滑平面上（铝箔）
2. 尺寸大于1微米 • 将样品散在导电胶带或导电浆上 • 用压缩气体或洗耳球将未固定牢的粉末吹走
Confidential
截面样品
1. 切割 2. 镶嵌 3. 打磨抛光
4. 清洗
5. 固定
Confidential
导电浆液/胶带
Confidential
镀导电膜
对膜材料的要求：导电性好，二次电子产额高，晶粒小，分布均匀 常用的膜材料：Au, Au/Pd, Pt, Cr, C, etc. 厚度：通常 2-20 nm 镀膜厚，导电性好，但是会造成对原始形貌的遮盖，形成假象
Confidential
Confidential
Carl Zeiss, N.N., Division Date tbd. 26
Thanks
Confidential
电镜室环境
1. 杂散磁场，噪音，震动要求 高倍图像时看不到明显干扰，如图像细条纹，抖动等 2. 温nfidential
震动干扰下的图像
Confidential
Contents
1
电镜室的环境要求
2
3 4
扫描电镜试样制备
扫描电镜操作技巧 安全注意事项
Confidential
Confidential
样品台撞到极靴或探测器
1. 控制样品最高点与物镜极靴距离，如过小：
潜在危险：撞极靴或探测器
2. 控制样品台倾斜角度，如过大： 潜在危险：撞极靴或探测器 3. 样品高低起伏过大 潜在危险：小工作距离观测样品凹陷处时，样品突出部分可能撞到极靴 尽量在CCD观察模式下移动样品台高度或倾斜样品，实时观察样品与极靴或探测器的距离
电 镜
能 谱 最优工作距离
试样
Confidential
背散射成分衬度像
1. 大光阑，保证足够多的背散射电子发射 一般使用30μm或者更大的光阑
2. EHT：设定在较高值, 如10KV
3. 探测器信号收集程度设定：level选择为high
4. 工作距离：7-10mm
Confidential
不同电压下背散射电子成像衬度对比
电压越大，信号越丰富，成分衬度越明显
2KV
10KV
20KV
Confidential
不同工作距离下背散射电子成像衬度对比
EHT: 20KV WD: 11.9mm
EHT: 20KV WD: 7.0mm
Confidential
Contents
1
电镜室的环境要求
2
3 4
扫描电镜试样制备
扫描电镜操作技巧 安全注意事项
Confidential
样品仓进样
制样以及放样品过程中带手 套，防止样品台污染。
Confidential
Contents
1
电镜室的环境要求
2
3 4
扫描电镜试样制备
扫描电镜操作技巧 安全注意事项
Confidential
扫描电镜拍照步骤
1. 聚焦 2. 消像散
3. 电子束对中：wobble 调整
Confidential