8.KYKY-EM3200型扫描电子显微镜操作规程
电子显微镜操作步骤说明书
电子显微镜操作步骤说明书简介：电子显微镜（Electron Microscope，简称EM）是一种利用电子束来观察和研究物质的高分辨率显微技术。
本文将详细介绍电子显微镜的操作步骤，以帮助读者正确操作并获得准确的实验结果。
操作步骤：1. 准备工作在使用电子显微镜之前，需要进行一些准备工作。
首先，确保实验室环境干净，无尘、无污物，以确保获得清晰的显微图像。
其次，将样本制备好，确保样本表面平整、无污染，并且大小适宜，方便放置于电子显微镜观察。
2. 开机与预热将电子显微镜接通电源，确保连接无误。
然后，打开电子显微镜主机的电源开关，待其启动完成后，进行预热。
预热时间根据具体仪器而有所不同，请根据仪器使用说明书确定预热时间。
在预热过程中，可以进行一些其他准备工作，如调整目镜和物镜的位置。
3. 调整仪器参数在预热完成后，进入仪器调整阶段。
首先，调整加速电压和透射电镜电压。
加速电压决定了电子束的能量，透射电镜电压决定了样本投射到屏幕上的亮度和对比度。
根据实验要求，选择合适的加速电压和透射电镜电压。
4. 样本装载将已经准备好的样本装入样本架，并通过样本架的旋转或移动机构将样本调整到适当的位置。
确保样本安装稳固，并注意不要触碰样本的表面。
5. 调整焦距与对焦通过调整物镜的焦距和目镜的焦距，可以实现对样本的清晰观察。
首先，通过移动物镜或调整物镜焦距的方式来对焦。
然后，通过调整目镜的焦距，使样本的图像清晰可见。
在对焦过程中，可以通过透射电镜和屏幕上的图像实时观察和调整。
6. 选择增大倍率与观察根据需要，选择合适的增大倍率。
电子显微镜具有较高的放大倍率，可以观察微小的物体和细节。
在观察过程中，可以通过样本架的调整，以及调节图像亮度和对比度，来获得最佳的观察效果。
7. 实时调整参数与记录结果在观察样本的过程中，可能需要对加速电压、透射电镜电压、焦距等参数进行实时调整，以获得更好的观察效果。
同时，将观察到的结果记录下来，以备后续分析和研究使用。
SEM操作规程
扫描电子显微镜操作规程
一、开始运行系统：
1.打开总电源。
2.打开空气压缩机。
3.打开机械泵和变压器。
4.通入冷却水。
5.打开真空电源，系统开始抽低真空。
6.30分钟后，使系统抽高真空。
7.待前级真空、管道真空和高真空均指示到200的位置以后，即可开始工
作。
二、关机
1.关闭阀1，打开“STAND BY”开关。
2.将真空控制板上的自动、手动开关置于手动，此时只有阀2继续抽扩散
泵的前级真空。
3.30分钟后，关真空电源。
4.关闭机械泵、空气压缩机、总电源。
5.关冷却水。
三、注意事项：
1.在测量高真空时，不要将表头开关置于HI V AC位置上。
2.加高压时，不要一下子加到20-30KV，特别是房间较潮湿的地方，高压
容易打火，造成仪器元件损坏。
所以可以先加10KV，再以1KV的步距
逐步增加高压。
3.要慢慢增加束流，并且是灯丝在饱和点工作。
4.灯丝一定要安正，否则看不到图像。
5.在仪器不用时，要定期开机抽真空。
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1.。
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程
场发射扫描电子显微镜安全操作及保养规程电子显微镜是一种高精度的仪器，操作时需要遵循一定的安全规程和保养措施，以确保仪器的正常运行和使用者的安全。
下面是电子显微镜的安全操作和保养规程，供参考。
一、电子显微镜的安全操作规程：1.进入实验室前，要穿戴好实验室专用工作服，并佩戴好相应的防护用品，如手套、眼镜和口罩等。
2.在操作电子显微镜之前，应先了解设备的基本知识，熟悉仪器的使用方法和操作步骤。
3.在使用电子显微镜之前，要确保仪器的电源已经关闭，并检查仪器的相关连接线是否牢固。
4.在进行样品准备时，应使用专用工具进行操作，避免直接用手触摸样品和仪器部件。
5.在开机之前，应确认好样品装载台、真空系统和冷凝系统等设备是否运行正常。
6.在启动电子显微镜之前，要确保室内的温度和湿度适宜，尽量避免环境中的尘埃和静电干扰。
7.在启动电子显微镜后，应根据实际需要进行相关参数的调整，如电子束强度、放大倍数和对比度等。
8.在放大和观察样品时，要注意不要过度放大或观察过长时间，以免对样品和仪器造成损坏。
9.在操作电子显微镜时，要保持室内环境的安静和稳定，避免不必要的震动和干扰。
10.在关闭电子显微镜之前，要先将相关参数调整到初始位置，然后将电源关闭，并检查仪器是否有异常情况。
二、电子显微镜的保养规程：1.每天使用电子显微镜之前，要先清理设备外部的尘埃和杂物，并定期清洁仪器的内部部件，如样品台和镜筒等。
2.定期检查电子显微镜的电源线和电源插头是否有损坏或老化现象，并及时更换或维修。
3.定期检查仪器的真空系统和冷凝系统，保持其正常运行状态，如有异常情况，应及时修理或更换相关部件。
4.定期检查仪器的操作系统、数据存储系统和软件程序等，确保其正常运转和更新。
5.定期校准电子显微镜的各项参数和功能，以确保仪器的精度和准确性。
6.在仪器长时间不使用时，要将其储存在干燥、清洁和稳定的环境中，以免仪器受潮、腐蚀或受损。
7.在操作电子显微镜时，要避免使用尖锐或硬物品接触样品、仪器内部或镜筒，以免划伤或损坏仪器。
电子显微镜的操作规程
电子显微镜的操作规程电子显微镜（ESEM）是一种先进的显微镜技术，具有高分辨率和高放大倍数的特点，广泛应用于科学研究和工业生产中。
为了正确操作电子显微镜并获得准确的图像和数据，以下是电子显微镜的操作规程。
一、准备工作1. 确保电子显微镜的工作环境稳定，无震动和静电干扰。
2. 检查显微镜是否正常运行，如电源是否接通，主控开关是否打开等。
3. 检查电子显微镜的样品台是否干净，无尘和污染。
二、打开电子显微镜1. 将主控开关调至ON位置，等待电子显微镜启动。
2. 根据需要选择透射电子显微镜或扫描电子显微镜模式。
3. 等待电子显微镜的预热过程，确保设备温度稳定。
三、加载样品1. 在样品载物台上放置准备好的样品，确保样品平整且与载物台接触良好。
2. 使用样品夹固定样品，并调整样品的位置，使得感兴趣的区域位于观察范围内。
3. 确保样品室内的环境湿度适宜，可以根据样品的需要进行湿化或干燥。
四、对焦和取像1. 调节电子束的对焦功能，使得电子束聚焦在样品上。
2. 根据需要选择合适的放大倍数，以获得所需的图像细节。
3. 调整亮度和对比度，确保图像清晰可见。
4. 使用显微镜镜头和样品台的微动装置，进行微小调整和平移，以获得最佳图像。
五、记录和保存数据1. 使用数字相机或计算机连接电子显微镜，以记录图像和数据。
2. 对于扫描电子显微镜，可以使用软件进行图像采集和分析。
3. 确保保存的数据和图像被正确命名和归档，以便后续分析和研究使用。
六、关闭电子显微镜1. 将主控开关调至OFF位置，关闭电子显微镜。
2. 温和地关闭样品室门和抽真空系统，避免损坏设备。
3. 清理和整理工作区域，确保其它使用者能够方便使用电子显微镜设备。
电子显微镜的操作规程对于获得准确的图像和数据至关重要。
通过遵循以上规程，操作者可以确保电子显微镜的正常运行，并获得高质量的图像和数据，以促进科学研究和工业生产的发展。
电子显微镜使用方法
电子显微镜使用方法电子显微镜是一种高分辨率显微镜，可以用于观察微观结构和表面形貌。
以下是电子显微镜的使用方法：1. 准备样本：- 选择要观察的样本，确保它们具有透明性和导电性。
- 将样本切割成合适的尺寸，并进行必要的处理（如金属蒸镀）以增强导电性和对比度。
2. 打开电子显微镜：- 打开电子显微镜的电源开关，并等待一段时间，直至系统稳定。
3. 调整电子束参数：- 使用亮度调节旋钮调整电子束的亮度，使其适中但不过亮。
- 使用对比度调节旋钮调整电子束的对比度，以获得清晰的图像质量。
4. 定位样本：- 使用样本定位台将样本放入电子显微镜中，并通过移动台的控制器将样本定位在所需的位置上。
- 使用显微镜底部的光学系统进行粗略对焦，以确保样本大致清晰可见。
5. 精细对焦：- 使用电子显微镜的对焦装置（通常配有纳米级别的精细调节）对样本进行精细对焦，以获得最清晰的图像质量。
6. 图像观察：- 通过电子显微镜的视觉系统直接观察样本的图像。
- 根据需要，可以通过调整电子束参数和对焦进行优化，以获得更好的图像。
7. 图像记录：- 如果需要记录图像，可以使用电子显微镜的图像捕捉功能，将图像保存在计算机或其他存储设备中。
8. 清洁和关闭：- 使用清洁软布轻轻清洁样本和电子显微镜的表面。
- 关闭电子显微镜的电源开关，并遵循制造商提供的指示将设备关闭。
请注意，以上是电子显微镜的基本使用方法，具体的操作步骤可能因不同的电子显微镜型号而有所不同。
使用电子显微镜时，请务必按照制造商提供的操作指南进行操作。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金:将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
)二、扫描电镜的操作1.安装样品“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮; 1) 按2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面);3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣;4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮;5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆)2.试样的观察(注意:软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器)-51) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右);2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察;3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图;4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度;5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像;6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像;7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。
下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。
1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。
b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。
c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。
2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。
b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。
c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。
3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。
b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。
c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。
4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。
b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。
c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。
d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。
5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。
b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。
c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。
6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。
b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。
以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。
在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。
电子显微镜操作规程
电子显微镜操作规程一、引言电子显微镜（Electron Microscope，简称EM）是一种利用电子束取代光束作为照明物体的显微镜。
它利用电子的波粒二象性，可对物质进行高分辨率、高放大倍数的观测和分析。
为了确保正常的操作和有效利用电子显微镜，制定一份操作规程十分必要。
本文将详细介绍电子显微镜的操作规程。
二、仪器准备1. 开启电子显微镜主机，并预热20分钟，以确保仪器处于稳定状态。
2. 根据需要选择合适的电子显微镜操作模式，如高分辨率模式或低倍观察模式。
3. 根据样品的性质和目的选择合适的电子显微镜工作参数，如加速电压、工作距离等。
三、样品准备1. 样品应经过必要的预处理，并严格按照自身特点进行固定、染色或切片等预处理步骤。
2. 样品应尽量避免表面积过大、过厚或过稠密，以保证电子束的穿透和透射效果。
3. 样品应放置在适当的载体上，并必要时进行导电处理，以便于电子显微镜观察。
四、样品装载1. 打开电子显微镜的样品舱门，并将样品放置于样品台上，注意避免破坏样品或与电子束碰撞。
2. 关闭样品舱门，并确保舱门完全密封，以防止外界因素对样品的干扰。
3. 确保样品台水平摆放，以保持样品稳定，防止对观察结果产生影响。
五、图像调整1. 选择合适的目镜放大倍数，根据观察需要进行调整。
2. 通过调整对比度、亮度、聚焦等参数，优化图像质量和清晰度。
3. 可根据需要进行图像采集和处理，如调整灰度、测量距离、标记等功能。
六、操作注意事项1. 操作前应仔细阅读电子显微镜的使用说明书，熟悉仪器的结构和功能。
2. 操作期间要注意保持仪器的清洁，并避免触摸或摩擦显微镜的关键部位。
3. 操作过程中要轻拿轻放样品载体，以免损坏样品或影响观察结果。
4. 避免超过电子显微镜的工作限制范围，如最大工作倍数、最大加速电压等。
5. 操作完成后，及时关闭电子显微镜并进行必要的清洁和维护，确保仪器的长期稳定运行。
七、安全注意事项1. 操作人员应戴上防护眼镜和手套，以防样品或仪器操作过程中产生的有害物质对人身安全造成伤害。
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1 目的为了正确指导KYKY-EM3200型扫描电子显微镜的操作及注意事项。
2 范围本规程规定了KYKY-EM3200型扫描电子显微镜的操作步骤、常见故障及处理方法、注意事项、保养规定及其他说明。
3 操作步骤3.1操作前检查3.1.1仪器接电正常。
3.1.2废气排放管路畅通。
3.2操作步骤3.2.1真空系统自动操作3.2.1.1 真空系统自动开机3.2.1.1.1 开电源（机械泵、压缩机、变压器及仪器总电源）；开循环水。
3.2.1.1.2 开真空电源，并按一下“STAND BY”准备开关，此时红灯亮。
3.2.1.1.3 将主机背后真空控制板上的自动/手动（AUTO/MAN）开关置于自动（AUTO）状态，此时V2和D.P（扩散泵电炉加热）开始工作（灯亮）。
3.2.1.1.4预热30min以后，再按一下“STAND BY”（灯灭），这时V2、D.P、V5、V4全部打开，系统自动进入高真空状态。
3.2.1.1.5 在系统进入抽高真空以后，真空表头开关指在“MANIFOID”挡，或是“FORELINE”挡，指针都指示在“LO V AC”区，接近到1µ（到头）。
如果真空表头置“HI V AC”档，指针指示到“HI V AC”区，指示高真空度。
一般指针指示到“LO V AC”区1µ左右，即可开始工作。
3.2.1.2 真空系统自动关机3.2.1.2.1 关V1，按一下“STAND BY”开关（灯亮），此时V5、V4关闭（只有V2和D.P开着）。
3.2.1.2.2 将主机背后真空控制板上的自动/手动（AUTO/MAN）开关置于手动（MAN），打开V2（ON），其余开关都是关（OFF），这时 D.P（扩散泵电炉）关，只有V2开着继续抽扩散泵前级的低真空。
3.2.1.2.3 30min后，关闭电源、关闭机械泵、循环水。
3.2.3 样品喷金操作3.2.3.1 将样品用导电胶均匀粘在样品盘边缘。
3.2.3.2 将样品放入离子溅射仪的玻璃室中，打开电源开始抽气（确认盖子上旋钮关闭）。
3.2.3.3 调节针阀待玻璃室压力达到5 Pa/mmHg~6Pa/mmHg，按一下试验按钮，看电流是否在6mA~8mA之间。
如果是，则按启动按钮开始喷金（可根据样品导电性设置相应喷金时间）。
3.2.3.4 喷金结束（即电流为零），关掉电源。
3.2.3.5 打开盖子上旋钮，等样品盘冷却后从玻璃室取出，准备放入样品室。
3.2.4 换样品的操作3.2.4.1 手动换样品：3.2.4.1.1 关高压和灯丝，再关掉V1、V5、V4，然后打开放气阀V6，样品室开始放气（只有V2、D.P、V6开着）；3.2.4.1.2松开样品台锁，把Z向逆时针转几圈，以便更换样品后，样品碰不到物镜下极靴。
拉出天平台后更换样品，更换好样品后，检查密封圈确保在槽内。
然后推入样品台，关V6，关V2，打开V3，样品室开始抽低真空；3.2.4.1.3 真空表头指示到100µ和50µ之间时（“MANIFOLD”档），关V3，开V2，开V5，开V4，系统进入抽高真空，表头指示“LO V AC”区1µ附近时，即可开始工作。
3.2.4.2 自动换样品：3.2.4.2.1 关闭高压和灯丝，再关掉V1，然后按一下“CHAMB VENT”（样品室放弃开关），此时V5、V4关闭，过3-5秒钟后，V6开，样品室即可自动放气；3.2.4.2.2 松开样品台锁，把Z向逆时针转几圈，以便更换样品后，样品碰不到物镜下极靴。
拉出天平台后更换样品，更换好样品后，检查密封圈确保在槽内。
然后推入样品台，再按一下“CHAMB VENT”开关，样品室自动开始抽低真空，低真空到后，系统自动进入抽高真空状态。
当观察真空表头指示“LO V AC”区1µ附近时，即可开始工作。
3.2.5 换电子枪灯丝的操作3.2.5.1 手动方式3.2.5.1.1 将主机柜背后真空控制板上的自动、手动开关置于手动位置。
3.2.5.1.2 关掉高压电源和灯丝加热电源。
3.2.5.1.3 关闭V1及V5阀。
3.2.5.1.4 打开V6放气阀，使空气进入样品室和电子枪。
3.2.5.1.5 更换好灯丝后，关V6，关V4、V2，并打开V3，开始抽样品室的低真空，当真空指针指示在100µ和50µ之间时（在“MANIFOLD”挡），再打开V4继续抽电子枪的低真空，真空指针指示也在100µ和50µ之间时，关V3，打开V2和V5，系统开始抽高真空，当指针指示“LO V AC”区1µ附近时，可开始工作。
3.2.5.2 自动方式3.2.5.2.1 将主机背后真空控制板上的自动、手动开关置于自动位置。
3.2.5.2.2 关掉高压和灯丝。
3.2.5.2.3 关V1。
3.2.5.2.4 按一下电子枪放气开关“GUN VENT”，此时灯亮，阀自动动作，样品室和电子枪开始进入空气。
3.2.5.2.5 取下电子枪盖帽，卸下灯丝组件，将旧灯丝拆下，清洗栅帽孔周围，并换上新灯丝，灯丝组件重新装好，同时检查密封圈的好坏，是否在槽内，然后将盖帽装好。
3.2.5.2.6 重新按一下电子枪放气开关“GUN VENT”，此时灯灭，系统开始抽真空，并能自动进入高真空。
3.2.5.2.7 当看到高真空指示绿灯亮时（在电器柜操作面板上），或当指针指示“LO V AC”区1µ附近时，可打开V1，继续工作。
3.2.6 扫描电镜的操作3.2.6.1 图像的获得3.2.6.1.1 真空系统进入高真空以后，打开电器柜前面板上的电源开关（CONSOLE POWER），打开计算机电源开关。
此时，计算机启动并自动进入桌面状态。
点击KYKY3200SEM软件，进入3200电镜的操作界面。
3.2.6.1.2 拉开V1阀门（镜筒中间位置的阀，V1不仅使电子通道畅通，它也是高压联锁开关，拉开V1、30kV、12kV、300V、光电倍增管电源才能工作）。
3.2.6.1.3 调节亮度（BRIGHTNESS），从屏幕上可看到扫描光栅。
3.2.6.1.4 调节对比度（CONTRAST），直至在屏幕光栅上能看到“小雪花点”，或者将数值调到150左右。
3.2.6.1.5 调节高压（ACCELERATION POTENTIAL）。
用鼠标拉动高压，一般导电好的样品可加至20kV~25kV或者30kV。
导电不太好的样品，如半导体等加至10kV~15kV，视样品情况而定。
（不可直接拖动到30kV，特别是南方地区和房间较潮湿的地方，高压容易打火，造成仪器元件损坏。
所以工作时可先加10kV，再逐步增加高压，直到所需的数值。
）3.2.6.1.6 高压调节完后，顺时针旋转灯丝电压（FILAMENT）旋钮。
当旋至5左右时，束流发射表头指针从0缓慢上升。
当灯丝电压旋钮旋至6以后时，须慢慢旋，同时注意束流表指针，当增加灯丝电压，束流表指针基本不动了，则说明灯丝电流已饱和，这时稍微退回已点灯丝电压即可。
另外，也可以观察图像，缓慢增加灯丝电压，图像亮度在增加，当增加灯丝电压，图像亮度基本不变了，则说明灯丝电流已饱和。
（有时由于灯丝装的位置及电子枪对中不合适，缓慢增加灯丝电压，束流指针在增加；随着灯丝电压的继续增加，束流表头指针却在在减小；如果看图像，可发现图像亮度达到一定程度后开始变暗。
此时不可将灯丝电压保持在束流较大的地方，还是须缓慢增加灯丝电压；直至束流表头指针基本不动，此时为饱和电压，在这种情况下，用内六角扳手调整电子枪上的三个螺钉。
具体的调整法：旋动一个螺钉，观察图像亮度，旋动至图像亮度最大为准；三个螺钉依次调节，以达到图像最亮为好。
）3.2.6.1.7 调节电对中X、Y两个方向旋钮，使图像最亮。
3.2.6.1.8 把放大倍数选在100~500倍。
3.2.6.1.9 仔细调节物镜电流大小，使图像聚焦清楚。
可先粗调，再细调，使图像聚焦。
高倍数看像时，可调节微调。
3.2.6.1.10 移动样品台的X、Y手把，调整扫描区域。
开始寻找所需扫描的样品时，可将倍数放得小一些，逆时针旋转Z方向旋钮，将样品移至低处，此时视野较大，找好目标后，将扫描区域移至屏幕中间，逐步放大，反复聚焦，直到图像清晰。
如果工作距离太大或太小，可以调节样品台的Z方向，顺时针旋工作距离（WD）缩短，逆时针旋工作距离（WD）增大。
3.2.6.2 物镜光阑的合轴3.2.6.2.1 将光栅放到固定选区，扫描速度放在第1~2档，并选图像上的一个“特征点”。
3.2.6.2.2 选择放大倍数在1500~2000倍或以上的范围。
3.2.6.2.3 反复调节物镜细调，使图像聚焦不往返进行。
观察图像的移动，如果移动较大，则说明物镜光阑合轴不好。
3.2.6.2.4 调节物镜光阑两个方向的旋钮，使得图像不发生位移或位移最小。
（具体操作：先将“特征点”聚焦好，并记住聚焦位置，改变物镜电流细调，“特征点”不聚焦并且移动了，这时缓慢调节物镜光阑X、Y方向，使“特征点”移回至原来聚焦的位置，如此反复几次，直至“特征点”基本不动或移动幅度最小为止。
）3.2.6.3 消除像散（如果图像中的细节有互为90º方向的拉长时，说明有像散，需要消除。
）3.2.6.3.1方法一:1) 将光栅置于“选区”位置，放大倍数为1000倍左右。
2) 调节物镜细调旋钮，使得图像恰好在两个方向图像拉长的中间，即正聚焦（这时图像有可能模糊，但不拉长）。
3) 调节消像散器的X方向，找一个较为清楚的图像，然后聚焦；调节消像散器的Y方向，找一个较为清楚的图像，再聚焦。
4) 按上述方法反复几次，放大倍数也从1000倍至几千倍。
3.2.6.3.2方法二:1) 将光栅置于“选区”位置，放大倍数从1000倍开始，增加到你要观察的放大倍数下再次消像散。
2) 调节物镜细调旋钮，使得图像恰好在两个方向图像拉长的中间，即正聚焦（这时图像有可能模糊，但不拉长）。
3) 按辅助消像散按钮，显示器上出现一幅图像和十字交叉线。
整个图像上会有一小区域图像清晰，其它地方较模糊，此时调整消像散电位器的X和Y，使得十字交叉线的交叉点，移至图像清晰区域的中心或最清楚的点上，关辅助消像散按钮。
4) 继续聚集图像，再进行一次消像散直到图像没有拉长的现象。
3.2.6.3.3方法三:1) 将图像聚焦。
2) 点自动消像散，启动自动消像散程序，等待片刻像散自动消好。
3.2.6.4 拆装灯丝的方法3.2.6.4.1 将灯丝旋钮逆时针退到底，高压降至0，对比度降至0，关闭V1。
3.2.6.4.2 按电子枪放气开关，放气后，打开电子枪室，将灯丝组件拔下，松开三个顶丝，将已断的灯丝取下。
3.2.6.4.3 用氨水将灯丝组件里的挥发物擦拭干净，再用乙醇擦拭一遍。