真空镀膜产品质量证明书

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质量合格证明证明书

质量合格证明证明书

质量合格证明证明书一、证明书的目的和范围本质量合格证明证明书旨在确认某一产品或服务的质量符合特定的标准和要求。

本证明书适用于各类产品和服务,包括但不限于电子产品、机械设备、食品、医疗器械、建筑工程等。

二、证明书的内容和要求1. 证明书的格式本证明书采用标准格式,包括证明书的抬头、正文、附件等部分。

证明书的抬头应包括发证单位的名称、地址、联系方式以及证明书的编号和日期。

正文部分应包括以下内容:(1)证明申请人的基本信息,包括名称、地址、联系方式等;(2)证明产品或服务的基本信息,包括名称、型号、规格等;(3)证明产品或服务的质量标准和要求,包括国家标准、行业标准或合同约定等;(4)证明产品或服务的质量检测结果,包括检测方法、检测数据、检测机构等;(5)证明产品或服务的质量合格情况,包括是否符合质量标准和要求等;(6)证明书的有效期限,包括开始日期和截止日期。

2. 证明申请和审批程序(1)证明申请人应向发证单位提交申请材料,包括申请表、产品或服务的相关资料等。

(2)发证单位应对申请材料进行审查,并安排相应的质量检测。

(3)质量检测应由具备相应资质的检测机构进行,确保检测结果的准确性和可靠性。

(4)根据质量检测结果,发证单位应对申请进行审批,并决定是否发放证明书。

(5)发证单位应在规定的时间内发放证明书,并将相关信息记录在证明书登记册中。

3. 证明书的有效性和监督(1)本证明书在有效期内具有法律效力,证明产品或服务的质量合格。

(2)证明申请人应在证明书有效期内保持产品或服务的质量符合标准和要求,如发现质量问题应及时采取措施进行整改。

(3)发证单位有权对证明申请人进行定期或不定期的监督检查,确保产品或服务的质量持续符合标准和要求。

(4)如证明申请人在有效期内发生质量问题且无法及时整改,发证单位有权撤销或暂停证明书的有效性。

三、附件本证明书的附件包括但不限于以下内容:(1)质量检测报告:详细记录产品或服务的质量检测方法、数据和结果。

产品质量证明书模板(精选)(二)2024

产品质量证明书模板(精选)(二)2024

产品质量证明书模板(精选)(二)引言概述:产品质量证明书是为了证明产品的质量达到一定标准而发出的文件。

本文结合实际应用经验,为读者提供了产品质量证明书模板的精选版(二)。

本模板包含了五个大点,分别是产品信息、测试结果、质量控制、标准符合性和声明。

每个大点下面有若干小点,涵盖了相关主题的基本要点。

以下将对每个大点进行详细阐述。

正文:一. 产品信息1. 产品名称:明确产品的名称。

2. 产品型号:指明产品的型号或规格。

3. 生产日期:记录产品的生产日期。

4. 批次编号:标示产品所属的批次编号。

5. 生产厂商:提供产品的生产厂商信息。

6. 产品描述:对产品的特点和功能进行简要描述。

7. 用途范围:说明产品适用的场景和使用范围。

8. 维修保养:提供产品的维修和保养指南。

二. 测试结果1. 测试目的:明确进行测试的目的和标准。

2. 测试方法:描述用于测试产品的方法和步骤。

3. 客观指标:列举测试中所涉及的客观指标。

4. 测试结果:提供测试的详细结果和数据。

5. 结果分析:对测试结果进行分析和解读。

三. 质量控制1. 质量标准:说明产品质量需要符合的标准和规范。

2. 检验流程:描述产品从原料到出厂的全过程检验流程。

3. 检验设备:列出用于产品检验的各种设备和工具。

4. 检验记录:记录产品质量检验中的关键数据和结果。

5. 不合格处理:描述对于不合格产品的处理流程和措施。

四. 标准符合性1. 国家标准:列出产品符合的国家标准和法规。

2. 行业标准:说明产品符合的行业标准和规范。

3. 认证证书:提供产品相关的认证证书或资质。

4. 技术要求:明确产品必须满足的技术要求和指标。

5. 验收标准:说明产品验收时所需符合的标准和条件。

五. 声明1. 质量承诺:声明产品质量符合相关标准和要求。

2. 法律责任:声明产品的生产依法合规且责任明确。

3. 保修服务:说明产品享有的保修期限和服务内容。

4. 售后支持:列举产品的售后支持措施和联系方式。

产品质量证明书(证明书范文)(二)2024

产品质量证明书(证明书范文)(二)2024

产品质量证明书(证明书范文)(二)引言概述:产品质量证明书是公司对于产品的质量进行官方认证和保证的文件。

本文将从产品质量控制、生产过程、原材料采购、检验流程和质量认证五个大点展开讨论,并提供相关证明书范文。

正文:一、产品质量控制1. 确定产品质量标准,包括外观、性能、可靠性等指标。

2. 建立完善的质量管理体系,将质量控制纳入全员责任。

3. 进行产品质量检测,采集数据并进行分析,及时发现问题并改进。

二、生产过程控制1. 制定详细的生产工艺流程,确保每个环节都严格按照标准操作。

2. 使用先进的生产设备和工艺,提高产品制造的精度和效率。

3. 跟踪生产过程中的关键节点,及时调整生产计划,保证产品质量。

三、原材料采购控制1. 严格筛选供应商,签订合作协议,明确原材料的质量要求。

2. 定期对供应商进行质量评估,确保其具备稳定的供货能力和质量保证。

3. 对进货的原材料进行抽样检测,确保其符合质量标准。

四、检验流程控制1. 建立科学的检验规范和流程,确保每批产品都经过严格检测。

2. 使用专业的检验设备,对产品进行外观、性能、可靠性等方面的检验。

3. 培养一支专业的检验队伍,提高检验的准确性和合格率。

五、质量认证1. 申请相关的质量认证,如ISO9001等,证明公司对产品质量具备合格的管理能力。

2. 定期进行质量内审和外审,对公司的质量管理体系进行评估和改进。

3. 在产品包装或质量证明书上标注相关认证标志,提升产品的市场竞争力。

总结:通过产品质量控制、生产过程控制、原材料采购控制、检验流程控制和质量认证等措施,公司能够确保产品质量的稳定和可靠。

产品质量证明书的发放将进一步增强客户对产品的信心,提升公司在市场中的竞争力。

产品质量合格证明书

产品质量合格证明书

产品质量合格证明书尊敬的客户:感谢你对我们公司生产的产品的关注和支持。

为了向您提供一份详细的产品质量合格证明书,我们特此撰写此信函,确保证明您购买的产品具备高质量和符合标准的特点。

首先,我们要郑重地向您保证,我们的产品完全符合相关的质量标准和法规要求。

我们的生产过程严格遵守质量管理体系,并通过ISO9001国际质量管理体系认证,确保生产过程的合规性和稳定性。

我公司生产的产品有着以下优点:1. 高质量材料:我们选择优质材料作为产品原料,确保产品的强度、耐久性和稳定性。

在原材料采购过程中,我们严格审查供应商的资质,并确保所采购的原材料符合国家和行业标准。

2. 先进的生产技术:我们公司拥有一支专业的研发团队,致力于产品技术的创新和改进。

我们不断投资并引进先进的生产设备和工艺,以确保产品的制造过程高效、精确和可控。

3. 严格的质量控制体系:我们公司建立了全面的质量控制体系,并配备了专业的质检团队。

在生产过程中,我们进行多次严格的质量检测和抽样检验,确保产品的每一个环节和每一批次都符合质量标准。

4. 质量保证措施:我们不仅在生产过程中严把质量关,还为您提供售后服务和质量保证。

如果在使用过程中出现任何产品质量问题,我们将积极主动地协助解决,并承担相应责任。

在此,我们诚挚地向您提供我们公司生产的产品质量合格证明书。

我们郑重声明,所提供的产品的质量符合《质量要求标准》,并经过实际检验和确认,产品已经取得了合格证书。

我们知道产品质量对您的信心和满意度非常重要,我们将一如既往地努力提供优质的产品和服务,以满足您的需求和期望。

如果您有任何疑问或需要进一步的信息,请随时与我们联系。

再次感谢您对我们公司的支持和合作!衷心祝愿您的事业蒸蒸日上,生活幸福美满!此致产品质量合格证明书样本如下:----------------------------------------------------------------产品质量合格证明书证明编号:[编号]证明日期:[日期]特此证明,[公司名称]生产的[产品名称]经过严格的质量控制和检测,确保其质量完全符合[国家/行业]相关的质量标准和要求。

产品质量证明书的参考样本-无删减范文

产品质量证明书的参考样本-无删减范文

产品质量证明书的参考样本产品质量证明书的参考样本1. 产品质量证明书本文档是根据国际标准制定的产品质量证明书参考样本。

该证明书旨在确认产品的质量符合所制定的标准要求。

以下是证明书的几个重要部分。

2. 产品信息产品名称:产品的正式名称。

产品型号:产品的型号或规格。

生产厂商:生产或提供该产品的公司名称。

生产日期:产品的生产日期或批次信息。

有效期:产品的使用有效期或保质期。

3. 产品质量认证产品质量标准:产品所遵循的质量标准,包括国际标准号或其他相关认证。

生产工艺:产品的生产工艺流程或相关说明。

生产设备:用于生产该产品的设备列表及相关认证。

原材料:产品所使用的原材料的来源和质量认证。

4. 产品质量测试产品性能测试:对产品进行的各项性能测试结果及符合的标准。

产品可靠性测试:对产品可靠性进行的测试结果及符合的标准。

产品安全性测试:对产品安全性进行的测试结果及符合的标准。

产品环境适应性测试:对产品在不同环境条件下进行的测试结果及符合的标准。

其它测试项目:其他可能适用的与产品质量相关的测试项目及测试结果。

5. 产品质量检验产品外观检验:对产品外观进行的检验结果及符合的标准。

产品尺寸检验:对产品尺寸进行的检验结果及符合的标准。

产品包装检验:对产品包装进行的检验结果及符合的标准。

产品标识检验:对产品标识进行的检验结果及符合的标准。

6. 产品质量控制质量管理体系:生产该产品的公司所实施的质量管理体系,如ISO 9001。

质量控制流程:对产品质量控制流程的简要描述。

质量记录:对产品质量相关记录的保存情况及质量纪录编号。

质量改进措施:对产品质量改进措施的描述和实施情况。

7. 产品质量合格评定质量评定依据:产品质量合格的依据,如标准、规范。

质量评定结果:产品质量的正式评定结果。

质量评定日期:进行产品质量评定的日期。

质量评定机构:进行产品质量评定的机构或部门。

8. 产品质量保证产品质量保证期限:产品质量保证的时间范围。

产品质量保修条款:产品质量保证的具体条款和细则。

镀膜品性能检测报告

镀膜品性能检测报告

样品性能检测报告一、引言真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术,是表面工程技术领域的重要组成部分。

真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜,从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能,达到提高产品质量延长产品寿命、节约能源的作用。

1950年后,真空获得和测量取得的进展推动了真空镀膜技术迅速实现产业化,使薄膜技术获得腾飞。

20世纪70年代各种真空镀膜技术的应用全面实现产业化。

目前真空镀膜技术已在国民经济各个领域得到应用,如航空、航天、电子、信息机械、石油、化工、环保、军事等领域。

它在高技术产业化的发展中展现出了诱人的市场前景,被誉为最具有发展前途的重要技术之一。

本次实验,进一步验证红外膜膜层质量是否达到GJB2485-1995 《光学膜层通用规范》的规定要求。

二、膜系设计用光学薄膜设计软件设计一个25层的规整膜系的结构, 即(HL)2H 2LH (LH)2L (HL)2H 2L H (LH)2,中心波长设在12um,设计曲线如下:指标要求:12um±0.15um>90% 9.5-11um&13-14um<2%三、制备样品工艺参数制备过程中一定按照镀膜工艺要求操作,实验样品镀膜工艺参数如下:四、样品性能检测依据GJB2485-1995 《光学膜层通用规范》的规定,红外膜需要做以下5项实验来验证膜层品质实验。

4.1、光谱光谱满足三项指标符合客户使用要求,膜系不需要修改。

设计曲线与镀膜实测曲线对照表4.2、膜层牢固度、耐摩擦力此项实验来验证能满足客户使用过程中对膜层附着力和耐摩擦力方面的要求,下面是实验项目参数表:图1 图2 图3 图4 图54.3、高低温、盐雾此项实验来验证在各种环境下产品依然能满足客户使用要求。

图6 盐雾实验报告图7 高低温实验报告五、结论质量问题关系到广大消费者的权益,关系到企业的生存与发展。

电镀材料质量保证书

电镀材料质量保证书

电镀材料质量保证书尊敬的客户:您好!感谢您选择我公司的电镀材料产品。

为了确保您的权益,我方在此郑重承诺,我们将为您提供符合国家相关标准和行业规定的优质电镀材料。

以下是我公司对电镀材料产品质量的保证书:一、关于我方经营资格的承诺我方保证向贵公司提供的营业执照、税务登记证、生产许可证等必要证件真实、合法、有效。

我方具备电镀材料生产的专业技术和经验,有能力为您提供高品质的产品和服务。

二、关于我方供应电镀材料的承诺1. 我公司生产的电镀材料均符合国家相关法律法规和行业标准,具有合格的《产品质量检测报告》和产品合格证。

产品在出厂前将进行严格检验,确保质量合格率达到100%。

2. 电镀材料的使用性能和质量指标在贵公司书面确认供应品牌后,我方将保持稳定,不作随意更换。

如有更换,我方会在更换前至少提前一个工作日书面告知贵司。

3. 我公司承诺供应的电镀材料保质期不低于产品标注的保质期(自产品标注的生产日期算起)。

如因我方供应产品质量问题,造成贵公司的产品质量问题或不良影响,我方自愿承担该批货物价款倍的赔偿,并承担由此所造成的所有损失及法律责任。

4. 我公司认可贵公司的货物验收制度和仓库保存规范,并将严格遵守。

对于未通过验收的货物,我方保证在贵公司规定时间内补充合格的货物。

5. 贵公司在使用我方供应的电镀材料过程中,如发现问题,我方技术人员将随时提供技术支持和服务。

属于产品质量问题的,我方保证在24小时内给予明确答复或解决方案。

三、不属于产品质量问题的情形1. 超过保修期;2. 不能提供购买凭证的;3. 未按产品使用说明书的要求使用、维修而造成损坏的(特别注意发生进水、摔坏以及人为的损坏);4. 客户擅自维修、拆卸产品的或者客户委托非本公司指定的维修人员维修、拆卸产品的;5. 使用非正规的劣质通信电缆造成的损坏;6. 由于水灾、火灾、雷击、地震等不可抗拒灾害造成产品发生故障或损坏的;7. 其它非产品自身原因造成的故障或损坏。

产品质量合格证明书

产品质量合格证明书

产品质量合格证明书
生产单位(甲方):
名称:__________
地址:__________
联系人:__________
联系电话:__________
客户(乙方):
名称:__________
地址:__________
联系人:__________
联系电话:__________
鉴于乙方购买了甲方生产的下列产品,并经检测合格,特出具本证明书。

第一条产品信息
1.产品名称:__________
2.型号规格:__________
3.数量:____件
4.生产批号:__________
第二条检测标准
1.国家标准:__________
2.企业标准:__________
第三条检测结果
1.检测日期:____年__月__日
2.检测机构:__________
3.检测结论:合格
第四条证明效力
1.证明产品符合标准
2.用于产品质量保证
第五条其他事项
1.证明书一式两份,双方各持一份
2.未尽事宜,协商解决
第六条证明生效
本证明书自出具之日起生效
甲方(签字):_______________ 日期:____年__月__日乙方(签字):_______________ 日期:____年__月__日。

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真空镀膜产品质量证明书篇一:真空镀膜过程中常见问题分析真空镀膜过程中常见问题分析镀膜过程中常见问题分析真空镀膜面漆常见问题分析面漆常见问题分析真空镀膜底漆常见问题分析底漆常见问题分析机壳底漆常见问题分析机壳UV面漆常见问题分析篇二:真空镀膜实验报告近代物理实验报告真空镀膜实验学院班级姓名学号时间XX年4月20日真空镀膜实验实验报告【摘要】:真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。

物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。

本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜,从而了解真空镀膜的原理和操作。

【关键词】:真空镀膜、蒸发镀膜法【引言】:真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。

物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。

在薄膜沉积技术发展的最初阶段,由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点,包括较高的沉积速度,相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等,因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。

但另一方面,溅射法也具有自己的一些优势,包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制,沉积层对衬底的附着力较好等。

同时,现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材,高钝气体制备技术的发展,这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。

如今,由于气相中各组分能够充分的均匀混合,制备的材料组分均匀,易于掺杂,制备温度低,适合大尺寸薄膜的制备,并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点,不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中,而且为了充分利用这两种方法各自的优点,还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。

【正文】一、实验原理真空镀膜是在真空室中进行的(一般气压低于 1.3×10-2Pa),当需要蒸发的材料(金属或电介质)加热到一定温度时,材料中分子或原子的热振动能量可增大到足以克服表面的束缚能,于是大量分子或原子从液态或直接从固态(如SiO2、ZnS)汽化。

当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时,就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。

以下仅就源加热方式、真空度对膜层质量的影响及蒸发源位置对薄膜均匀性的影响等问题作简要说明。

(1)源加热器(a)(b)为电阻型源加热器,它们由高熔点的金属做成线圈状(称为丝源)或舟状(称为舟源)。

加热源上可承载被蒸发材料。

由于挂在丝源上的被蒸发物质(如铝丝)可形成向各个方面发射的蒸汽流,因此丝源可用为点源,而舟源则可近似围内发射的面源。

对于不同的被蒸材料,可选取由不同材料做成,形状各异的加热器。

其选取原则为:a.加热器所用材料有良好的热稳定性,其化学性质不活泼,在达到蒸发温度时,加热器材料本身的蒸汽压要足够低。

b.加热器材料的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度,加热器要有足够大的热容量。

c.要求线圈装加热器所用材料热能与蒸发物有良好的浸润,有较大的表面张力。

d.被蒸发物与加热器材料的互溶性必须很低,不产生合金。

e.对于不易制成丝状,或被蒸发物与丝状加热器的表面张力较小时,可采用舟状加热器。

日前常用钨丝加热器蒸发铝,用钼舟加热器蒸发银、金、硫化锌、氟化镁等材料,与电阻器配合的关键部件是低压大电流变压器,对不同的蒸发材料及加热器可将电流分配塞置于相应位置,以保证获得合适的功率。

电阻源加热器具有简便、设备成本低等优点,但由于加热器与蒸发物在电阻加热器上的装载量不能太多,因此所蒸膜厚也将受到限制。

图1(c)是一种电子束蒸发源的示意图。

它是利用高电压加速并聚焦的电子束经磁偏转,在真空中直接打到蒸发源表面,使蒸发物表面的局部温度升高并溶化来实现真空沉积的。

电子束可使熔点高达3000℃以上的材料熔化。

电子束蒸发时,蒸发物中心局部熔融并为汽化时,其边缘部分仍处于固体状态,这样就可避免蒸发物与坩埚的反映,保证蒸发物不受沾污。

(2)物质的蒸发速度在一定的温度下,每种液体或固体物质都有特定的平衡蒸气压。

只有当环境中被蒸发物质的分压降低到它们的平衡蒸气压以下时,才可能有物质的净蒸发。

单位源物质表面上物质的净蒸发速率为(详细推导见参考文献2,P4):其中,Γ为单位物质表面的质量蒸发速度,M为分子或原子的相对原子质量,T 是气体的热力学温度,R 为气体常数,NA 为阿伏伽德罗(Avogadro)常数。

由于物质的平衡蒸气压随着温度的上升增加很快,因而对物质蒸发速度影响最大的因素是蒸发源的温度。

(3)真空度对膜层质量的影响。

真空镀膜对真空度的要求是出于以下两方面的考虑:A. 真空度足够高,可以使蒸汽分子以射线状从蒸发源向基体发射。

这样可以使蒸发材料的利用率及沉积速率大大提高。

在正常工作时要求真空室内气体分子的平均自由程比蒸发源到被镀基体的距离大得多。

真空室内残余气体分子的平均自由程可以由下式表示:其中,n 为单位体积内气本分子数,σ为气体分子的有效直径。

此式表明,气体分子平均自由程决定于单位体积内的分子数n,由于n 正比于气体压强P,因此λ与P 成反比,或者说,气体分子自由程与真空度成正比。

一般要求气体分子平均自由程是源到基体距离(h)的2~3倍,因此对于h =20cm的真空镀膜机,要求其真空度为帕至帕。

B. 如果没有足够高度的真空度,真空室内的残余气体分子可能是很可观的。

由空气动力学可知,当气压为1.3×帕时,每平方厘米基体表面,每秒钟内,可有5×个气体分子与其发生碰撞。

由于残余气体中包含各种气体成份,尤其是氧等气体分子容易被基体吸附后改变膜层的结构和成份,因此在真空镀膜时必须保持一足够高的真空度。

(4)蒸发源位置与薄膜的均匀性。

由理论分析可知(可参见参考文献2,P29-P34),当一个点源放在一个半径为r 的球心位置时,则在整个球面上得到的沉积层厚度是均匀的。

实际的蒸发源总有一定线度,不能看成理想的点源,因此球面上的淀积量不可能很均匀,线度越大,均匀性越差。

此外,基体也不可能恰好是半径为r的球面,它们常常是一些平面或有特定曲率半径的曲面,这也影响了镀层的均匀性。

为了使镀层有良好的均匀性,目前常用的方法是使载工件的平面绕图2 所示的oo'轴转动,把一小面源置于距中心为R 的位置上,这样可使均匀性得到改善。

更精良的设计是将工件盘做成既能自转(绕o'轴),又能公转(绕o 轴)的行星盘结构(如图3 所示),这种结构对膜层的均匀性是更为有利的。

二、实验内容动手操作前认真学习讲义及有关资料,熟悉镀膜机和有关仪器的结构及功能、操作程序与注意事项。

(1)准备基底:清洗载玻片,在洁净的载玻片上均匀涂上硅油。

(2)镀膜室的清理与准备。

先向钟罩内充气一段时间,然后升钟罩,装好基片、电极钨丝和铝丝,清理镀膜室(壁上的沉积物可以用丙酮清洗),降下钟罩。

(3)把需要蒸镀的材料银放入真空室中的钼舟中,并在真空室顶部装好基底,关好真空室。

(4)开机械泵,开启复合真空计中的电偶计(注意电离计保持关闭状态)(5)间隔的拉动三通阀,使得储气桶和真空室的真空度底于6.7pa。

(6)打开冷却水,加热油扩散泵越为40分钟。

(在保证4、5随即正常进行的前提下,4、6可以同时进行,以节省时间。

否则必须在5进行后才能进行6。

(7)将三通阀推至死点,开启高真空碟阀。

(8)当热偶计示数小于0.1pa时,开启电离计,转向高真空测量。

篇三:11180131真空镀膜实验报告真空镀膜预习报告摘要:真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。

物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。

本实验中用到的是蒸发镀膜法来进行真空镀膜。

从而了解真空镀膜的原理和操作。

关键词:真空镀膜原子转移气象沉积技术蒸发法引言:真空镀膜也叫物理气相沉积(PVD:physics vaporous deposit),它是利用某种物理过程,如物质的热蒸发或在受到粒子束轰击时物质表面原子的溅射等现象,实现物质从源物质到薄膜的可控的原子转移过程。

物理气相沉积技术中最为基础的两种方法就是蒸发法和溅射法。

在薄膜沉积技术发展的最初阶段,由于蒸发法相对溅射法具有一些明显的优点,包括较高的沉积速度,相对较高的真空度以及由此导致的较高的薄膜质量等,因此蒸发法受到了相对较大程度的重视。

但另一方面,溅射法也具有自己的一些优势,包括在沉积多元合金薄膜时化学成分容易控制,沉积层对衬底的附着力较好等。

同时,现代技术对于合金薄膜材料的需求也促进了各种高速溅射方法以及高钝靶材,高钝气体制备技术的发展,这些都使得溅射法制备的薄膜质量得到了很大的改善。

如今,由于气相中各组分能够充分的均匀混合,制备的材料组分均匀,易于掺杂,制备温度低,适合大尺寸薄膜的制备,并且能够在形状不规则的衬底上生长薄膜等优点,不仅上述两种物理气相沉积方法已经大量应用于各个技术领域之中,而且为了充分利用这两种方法各自的优点,还开发出了许多介于上述两种方法之间的新的薄膜沉积技术。

? 基本原理真空镀膜是在真空室中进行的(一般气压低于1.3×10-2Pa),当需要蒸发的材料(金属或电介质)加热到一定温度时,材料中分子或原子的热振动能量可增大到足以克服表面的束缚能,于是大量分子或原子从液态或直接从固态(如SiO2、ZnS)汽化。

当蒸汽粒子遇到温度较低的工件表面时,就会在被镀工件表面沉积一层薄膜。

以下仅就源加热方式、真空度对膜层质量的影响及蒸发源位置对薄膜均匀性的影响等问题作简要说明。

(a)(b)为电阻型源加热器,它们由高熔点的金属做成线圈状(称为丝源)或舟状(称为舟源)。

加热源上可承载被蒸发材料。

由于挂在丝源上的被蒸发物质(如铝丝)可形成向各个方面发射的蒸汽流,因此丝源可用为点源,而舟源则可近似围内发射的面源。

对于不同的被蒸材料,可选取由不同材料做成,形状各异的加热器。

其选取原则为:a.加热器所用材料有良好的热稳定性,其化学性质不活泼,在达到蒸发温度时,加热器材料本身的蒸汽压要足够低。

b.加热器材料的熔点要高于被蒸发物的蒸发温度,加热器要有足够大的热容量。

c.要求线圈装加热器所用材料热能与蒸发物有良好的浸润,有较大的表面张力。

d.被蒸发物与加热器材料的互溶性必须很低,不产生合金。

e.对于不易制成丝状,或被蒸发物与丝状加热器的表面张力较小时,可采用舟状加热器。

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