气体传感器性能准确快速评价方法研究
功能气体传感器实验方案总结
功能气体传感器实验方案总结近年来，随着科技的快速发展和人们对环境质量的关注度不断加大，气体传感器作为一种重要的检测工具得到了广泛的应用。
功能气体传感器是一类专门用于检测有特定功能的气体的传感器，如一氧化碳传感器、二氧化氮传感器等。
本文将总结一个功能气体传感器实验方案，并探讨其应用前景和优势。
在功能气体传感器实验方案中，首先需要选择合适的气体传感器。
根据实验的需求和目的，选择适合的气体传感器是实验成功的关键，也是确保准确性和可靠性的前提。
一氧化碳传感器和二氧化氮传感器是比较常见的功能气体传感器，它们能够精确地检测空气中的一氧化碳和二氧化氮浓度，具有快速响应、高灵敏度等特点。
其次，在实验中需要搭建一个合适的实验平台。
实验平台的设计应当考虑到传感器的安装、数据采集和处理等方面的需求。
为了准确地检测气体浓度，实验平台需要保持一定的环境条件，并确保传感器与气体充分接触。
同时，实验平台需要配备适当的数据采集装置，以便将传感器读取到的数据转化为可视化的结果。
这样可以方便研究人员对数据进行分析和处理。
接着，在实验过程中，需要注意一系列实验参数的调整和控制。
首先是气体浓度的控制。
根据实验的需求，可以设置不同的浓度级别来检测传感器的响应情况。
同时，可以通过改变空气流速、温度等因素，模拟不同的实际环境条件，以评估传感器的性能和稳定性。
其次，需要注意实验的时间安排。
在实验过程中，研究人员应当合理安排实验时间，确保每次实验之间有足够的间隔时间，以防止前一次实验的残留影响后续实验的结果。
最后，实验中需要对实验结果进行统计和分析。
通过对实验数据的统计和分析，可以了解气体传感器的性能表现，并提出改进的建议。
功能气体传感器具有广泛的应用前景。
首先，它们可以被广泛应用于环境监测领域。
空气污染是一个全球性问题，合理地检测和监测空气中各种有害气体的浓度对于环境治理和人民健康具有重要意义。
通过使用功能气体传感器，可以实时监测空气中的有害气体浓度，及时采取相应的措施来降低环境污染。
气体传感器的灵敏度与响应速度研究
气体传感器的灵敏度与响应速度研究气体传感器是一种用于检测和测量环境中气体浓度的仪器，广泛应用于工业、医疗、环境保护等领域。
其灵敏度和响应速度是评估传感器性能的重要指标。
本文将探讨气体传感器的灵敏度和响应速度的研究进展。
首先，我们来了解一下气体传感器的定义和工作原理。
气体传感器是一种能够感知和检测环境中各种气体浓度的装置。
它通常由感测元件、信号处理电路和显示设备组成。
感测元件是关键组成部分，其根据目标气体的物理或化学性质发生变化，从而产生相应的电信号。
灵敏度是衡量气体传感器感测性能优劣的重要指标。
它反映了传感器对目标气体浓度变化的敏感程度。
常见的灵敏度衡量参数是传感器的响应因子，定义为输出信号变化量与输入气体浓度变化量之比。
灵敏度越高，传感器对气体浓度变化的敏感度越大，其感测性能越好。
传感器的灵敏度与其检测元件的特性密切相关。
目前，常用的气体传感器检测元件有电化学传感器、光学传感器、热导传感器等。
不同类型的传感器具有不同的灵敏度范围和检测能力。
例如，电化学传感器主要用于检测可燃气体和有害气体，其灵敏度较高；而光学传感器则适用于检测光学活性气体，其灵敏度较低。
为了提高传感器的灵敏度，研究人员通过改变传感器的结构和材料来实现。
在传感器结构设计上，可以采用微纳加工技术来制备微小、高灵敏度的传感器。
同时，还可以改变传感器的工作温度、工作电压等条件，来提高传感器的灵敏度。
除了灵敏度，传感器的响应速度也是衡量其性能的重要指标。
响应速度是指传感器从感测气体浓度变化到输出信号变化的时间。
响应速度越快，传感器对气体浓度变化的实时性越好。
传感器的响应速度受到多种因素的影响，如传感器结构、检测元件材料等。
为了提高传感器的响应速度，研究人员通过改进传感器结构和材料来实现。
例如，在电化学传感器中，常常通过改变电极材料的表面形貌来提高传感器的效率。
同时，还可以采用快速响应的信号处理电路，来加快传感器的响应速度。
综上所述，气体传感器的灵敏度和响应速度是评估其性能的重要指标。
气体传感器的工作原理与检测性能研究
气体传感器的工作原理与检测性能研究气体传感器是一种能够检测气体浓度并将其转化为可感知电信号的装置。
它在许多领域中广泛应用，如环境监测、工业安全和医疗诊断等。
本文将探讨气体传感器的工作原理及其检测性能的研究进展。
一、工作原理气体传感器的工作原理基于电化学、光学、声学或热学等原理。
其中，电化学是最为常见和成熟的技术。
传统的电化学气体传感器通常由三个主要组件组成：工作电极、参比电极和电解质。
当目标气体与工作电极上的材料相互作用时，会在电解质中产生电荷转移，并导致电流的变化。
通过测量电流的变化，可以确定目标气体的浓度。
另外，光学气体传感器利用光的吸收、散射或发射等特性来检测气体浓度。
该技术可用于检测一些特定气体，如二氧化碳或氧气等。
通过研究光的传输特性和气体的吸收光谱，可以实现高灵敏度和选择性的气体检测。
声学气体传感器则利用声波在气体中传播的特性。
当目标气体进入传感器时，会改变声波的传播速度或频率，进而导致传感器输出信号的变化。
这种技术通常用于检测气体的浓度、压力和温度等参数。
热学气体传感器以气体热导性的变化为依据。
当目标气体与传感器接触时，会导致传感器的温度发生变化，进而影响传感器的电阻或热导性等特性，从而实现对气体的检测。
二、检测性能研究气体传感器的性能评估主要包括选择性、灵敏度、响应时间和稳定性等指标。
选择性是指传感器对特定气体的响应能力。
在实际应用中，传感器需要准确识别目标气体并抑制其他干扰物质的影响。
研究人员通过合适的材料选择、传感器结构设计和信号处理算法等手段提高传感器的选择性。
灵敏度是指传感器对气体浓度变化的响应程度。
一般来说，灵敏度越高，传感器对气体浓度变化的敏感度越高。
通过调整传感器的工作条件、材料的选择和结构的优化等方法，可以提高传感器的灵敏度。
响应时间是指传感器从接收到气体样品到输出信号稳定的时间。
响应时间越短，传感器的检测效率越高。
研究人员通过优化传感器的结构，改善信号处理算法和提高材料的特性等途径来减小响应时间。
传感器检测数据准确性评价方法
传感器检测数据准确性评价方法一、引言在各种应用领域，传感器被广泛使用，用于检测和测量不同的物理量。
然而，传感器检测数据的准确性对于保证系统性能和可靠性至关重要。
因此，评价传感器检测数据的准确性是非常重要的。
二、准确性指标评价传感器检测数据准确性时，通常使用以下指标：1. 偏差（Bias）：衡量了传感器输出与真实值之间的平均偏移程度。
2. 精度（Precision）：反映了传感器输出数据的离散程度。
精度越高，传感器的输出数据越稳定。
3. 线性度（Linearity）：描述了传感器输出值与输入量之间的线性关系。
线性度越高，传感器的输出与输入值之间的关系越准确。
4. 分辨率（Resolution）：表示传感器能够区分的最小变化量。
分辨率越高，传感器的数据越精细。
1.校准方法：通过与已知精确度的标准或参考传感器进行比较来确定传感器的准确性。
可以使用线性回归等方法进行标定。
2.误差分析方法：通过统计分析传感器输出与实际值之间的差异来评估传感器的准确性。
可以计算平均偏差、标准差等指标。
3.重复性测试方法：通过多次重复测试来评估传感器的准确性。
在相同条件下进行多次测试，比较结果的一致性。
4.精密度测试方法：通过逐步改变测量条件或输入量，观察传感器输出的变化来评估传感器的准确性。
可以测试传感器的线性度和分辨率。
四、案例研究以下是一种使用校准方法评估传感器准确性的案例研究：汽车制造商需要评估车辆的空气质量传感器准确性。
他们选择了一个精确度高的气体浓度测量设备作为参考传感器。
首先，将参考传感器与待评估传感器一起安装在实验车辆上，并使用标定装置调整待评估传感器的输出值，使其尽可能接近参考传感器的输出。
然后，通过不同工况下的测试来比较参考传感器和待评估传感器的输出数据。
使用线性回归等方法，可以计算出待评估传感器的偏差、精度和线性度等指标，从而评估其准确性。
五、总结传感器检测数据的准确性是确保系统性能和可靠性的关键因素。
气体和液体传感器的质量标准及检验方法
气体和液体传感器的质量标准及检验方法气体和液体传感器是一种用于检测和测量气体和液体参数的装置，包括压力、温度、湿度、流量等。
由于涉及到安全和环境问题，质量标准和检验方法对于气体和液体传感器的制造和使用非常重要。
首先，气体和液体传感器的质量标准包括以下几个方面：1. 准确度：气体和液体传感器的准确度是指它们测量结果与真实值之间的差异。
通常以百分比或小数表示，越小表示准确度越高。
2. 灵敏度：气体和液体传感器的灵敏度是指它们对于输入参数变化的响应程度。
高灵敏度的传感器能够更精确地检测参数变化。
3. 稳定性：气体和液体传感器的稳定性是指它们在长时间使用中保持一致的性能表现。
稳定的传感器能够提供可靠的测量结果。
4. 可重复性：气体和液体传感器的可重复性是指在相同条件下，重复测量同一参数时的结果之间的差异。
可重复性越好，传感器的可靠性越高。
5. 抗干扰能力：气体和液体传感器应具有一定的抗干扰能力，即能够在外界干扰的情况下仍然提供准确的测量结果。
其次，气体和液体传感器的质量检验方法主要包括以下几个步骤：1. 外观检查：对传感器的外观进行检查，包括是否有划痕或损坏，标志是否清晰等。
2. 功能性测试：对传感器进行功能性测试，包括检测是否能够正确地测量参数，是否能够响应输入变化等。
3. 校准检验：对传感器进行校准检验，比较测量结果与标准值之间的差异，检查传感器准确度和灵敏度。
4. 稳定性测试：对传感器进行长时间的检测，观察其在连续使用中是否有性能衰退或漂移。
5. 抗干扰能力测试：通过施加外界干扰，如电磁场、震动等，测试传感器的抗干扰能力和可靠性。
6. 可重复性测试：多次重复测量同一参数，比较结果之间的差异，测试传感器的可重复性。
通过以上的质量标准和检验方法，能够有效地评估气体和液体传感器的质量，并确保其准确性、灵敏度和可靠性。
对于制造商来说，质量标准和检验方法是保证产品质量的重要参考；对于用户来说，了解质量标准和检验方法能够选择和使用合适的传感器，并确保测量结果的准确性和可靠性。
气体传感器特性的理论与实验研究
气体传感器特性的理论与实验研究气体传感器是一种能够检测气体浓度或气体质量的设备，广泛应用于化学、环境监测、安全生产等领域。
气体传感器的性能特点直接关系到其应用效果，因此研究气体传感器的特性至关重要。
气体传感器的特性涉及到很多方面，其中包括灵敏度、选择性、响应时间、稳定性、可重复性等关键参数。
通过对这些参数的研究，可以评估气体传感器的性能，并为其改进提供指导。
灵敏度是指气体传感器的响应程度，即测量信号和气体浓度之间的关系。
这个参数在理论和实验研究中都是关键的。
理论模型通常基于材料的物理和化学特性建立，而实验方法包括电学、光学、热学等测量方法。
研究人员利用这些方法进行寻找更高的灵敏度。
选择性是指气体传感器对不同气体的响应程度差异，即其在多种气体中选择检测目标气体的能力。
不同气体具有不同的物理和化学特性，因此气体传感器的选择性也需要在这些方面进行研究。
研究人员可以通过引入特定化学材料、特定结构设计等方式增加气体传感器的选择性。
响应时间是指气体传感器完成响应所需的时间，通常受到气体基质、传感器结构等因素的影响。
实验研究中，响应时间的测量采用各种不同的方法，如电路方法、光谱法、微重量法等。
稳定性是指气体传感器在一定时间范围内对一个特定气体的响应保持恒定的程度。
稳定性是气体传感器实际应用中非常重要的参数，因为在许多应用场合下，气体传感器需要在长时间内维持稳定的性能。
可重复性是指在重复测量同一样品时的一致性程度。
具有优异可重复性的气体传感器能够在重复测量下，保持相同的响应值。
可重复性可以通过标准气体和其他标准测量方法测量，研究人员可以基于这些方法分析可重复性，并提高气体传感器的性能。
总之，气体传感器特性的理论与实验研究是一个持续的进程，需要不断地探索和改进。
研究人员在理论和实验上持续不断的开展工作，有助于推进气体传感器技术的进步，为更广泛的应用场景提供支持。
气体传感器性能测试与优化
气体传感器性能测试与优化气体传感器是一种能够探测、识别并量化特定气体成分的电子设备，广泛应用于工业、环境监测、医疗、食品安全等领域。
然而，由于传感器检测过程中受到多种干扰因素的影响，如温度、湿度、电磁辐射等，因此传感器的性能测试和优化显得尤为重要。
一、气体传感器的性能测试1. 灵敏度测试气体传感器的灵敏度指的是其测量范围内，输入气体浓度单位的变化量与传感器输出的电信号变化量之间的比值。
测量灵敏度可以采用标准气体混合物和可调节电源，通过调节输入气体浓度和传感器的原始电信号进行测试。
灵敏度的测试可以用来评估气体传感器对于特定气体的探测能力，以及在实际应用中的响应能力。
2. 选择性测试气体传感器的选择性指的是其对于不同气体的识别和测量能力。
不同气体分子所具有的特定物理和化学性质可以影响传感器的检测响应，因此选择性测试可以帮助判断传感器在特定气体环境下的应用性能。
3. 响应时间测试响应时间指的是气体传感器从遇到气体到输出电信号的时间。
响应时间的测试可以通过将传感器置于标准气体环境中，并记录下其输出响应的时间，以评估传感器的响应速度和稳定性。
4. 重现性测试重现性指的是在不同时间、环境和温度下，传感器在同等条件下的检测能力。
通过反复测量同一气体浓度下的传感器响应，可以评估其稳定性和重现性。
二、气体传感器的性能优化1. 传感器的校准在使用气体传感器之前，需要先进行校准。
校准的目的是使传感器的输出信号与实际气体浓度之间建立准确的数学关系。
校准的方法通常采用标准气体、零点气体和多点校准等不同方法。
正确的校准可以提高传感器的测量准确度，并且提高传感器的可靠性和稳定性。
2. 温度和湿度的控制气体传感器在检测过程中对于温度和湿度的敏感度较高，因此在使用过程中需要控制好传感器的温度和湿度。
可以采用暖通空调系统、通风排气系统和湿度感应装置等不同的方式对传感器周边环境进行控制，从而提高传感器的检测效果。
3. 物理和化学干扰的排除气体传感器在使用过程中会遇到不同的物理和化学干扰，如振动、电磁波辐射、异物等。
空气质量检测传感器的设计与性能评估
空气质量检测传感器的设计与性能评估1. 引言空气污染已成为全球关注的焦点问题，对人类健康和环境造成了严重的危害。
因此，发展高性能的空气质量检测传感器对于实时监测和控制空气质量具有重要意义。
本文旨在介绍空气质量检测传感器的设计原理和性能评估方法。
2. 传感器的设计原理空气质量检测传感器通常采用半导体气敏材料的电化学机制或光学机制来检测目标气体的浓度。
电化学传感器基于气敏材料与目标气体之间的电化学反应来实现气体浓度的测量，利用敏感材料存在的电导率、电容、电势或电流的变化来反映目标气体的浓度。
光学传感器则利用敏感材料对目标气体的吸收光谱进行探测，通过光谱变化来判断目标气体的浓度。
3. 电化学传感器的设计与性能评估电化学传感器的设计首先需要选择合适的敏感材料，常见的气敏材料包括金属氧化物、半导体和有机高分子等。
选择敏感材料时需要考虑其灵敏度、选择性以及对环境条件的适应性。
其次，设计电极结构以提高传感器的响应速度和稳定性。
传感器电极通常包括工作电极、参比电极和对电极，通过调节电位差来引发气敏材料的电化学反应。
性能评估主要包括灵敏度、选择性、响应速度和寿命等指标的测试，并与国家标准进行对比。
4. 光学传感器的设计与性能评估光学传感器的设计包括光源选择、光路设计和探测器选择等。
其中，光源选择需要考虑光强、波长范围和光电化学灵敏度等因素。
光路设计则需要通过适当的光学滤波器和反射镜来筛选出目标气体的吸收光谱信号。
探测器的选择则涉及到灵敏度、动态范围和响应速度等指标的考虑。
性能评估主要包括灵敏度、选择性、响应速度和精确度等指标的测试，并与国家标准进行对比。
5. 性能评估方法空气质量检测传感器的性能评估需要进行一系列的实验测试。
例如，灵敏度可以通过在控制实验室条件下，以不同浓度的目标气体对传感器进行测试，得到传感器对目标气体的响应曲线，进而计算出灵敏度。
选择性可以通过与其他气体混合时的响应变化来评估。
响应速度可以通过记录传感器的响应时间来获得。
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Journal of Sensor Technology and Application 传感器技术与应用, 2020, 8(3), 80-88 Published Online July 2020 in Hans. /journal/jsta https:///10.12677/jsta.2020.83009
Keywords
Evaluation Device, Micro Test Chamber, Flow Field Simulation, High-Sensitivity, Fast Response
气体传感器性能准确快速评价方法研究
刘未杰*，张晶晶，贾依婷，刘 凝，刘锦华，张艳妮，赵 鹏，宁占武#
关键词
评价装置，微型测试舱，流场模拟，高灵敏，快速响应
Copyright © 2020 by author(s) and Hans Publishers Inc. This work is licensed under the Creative Commons Attribution International License (CC BY 4.0). /licenses/by/4.0/
Research on Accurate and Fast Evaluation Device Using for Gas Sensor Performance
Weijie Liu*, Jingjing Zhang, Yiting Jia, Ning Liu, Jinhua Liu, Yanni Zhang, Peng Zhao, Zhanwu Ning# Beijing Municipal Institute of Labour Protection, Beijing
Received: May 27th, 2020; accepted: Jun. 11th, 2020; published: Jun. 18th, 2020
Abstract
In this paper, an evaluation system using for gas sensor performance has been constructed, which comprised with three parts: a multicomponent dynamic gas distribution unit, a micro test chamber as core and a data analysis unit. The simulations of gas flow states for the internal micro test chamber were employed via the standard k-ε equation (k is the turbulent kinetic energy, ε is the dissipation rate) in ANSYS FLUENT software based on inner chamber structure modeling by SolidWorks software. The effect of flow velocity on three gas sensors performance and the tightness of the micro test chamber were investigated. The response performance of Sensor W and Sensor Z was exhibited via the as-constructed evaluation device by using methanal and toluene as target components. In contrast to the nominal value, Sensor W has obtained more accurate and objective sensing properties, i.e. the lower detection limit (0.1 ppm) with the corresponding sensitivity ((Rg/Ra, 0.926). Sensor Z has been demonstrated excellent sensing response towards methanal and toluene, range from 500 ppb - 10 ppm and 5 ppb - 300 ppb, respectively. Simultaneously, the response and recovery times of Sensor Z for methanal and toluene at 5 ppb and 500 ppb respectively, were accurately measured. As the results, the evaluation system for gas sensor performance as-constructed in this paper has the advantages of stable internal gas flow field, uniform gas concentration distribution and satisfied gas tightness as well as the evaluation capability for ultrasensitive and fast gas sensor.
Open Access
1. 引言
近年来，用于环境检测，特别是 VOCs 的检测中越来越多地用到金属氧化物半导体气体传感器。自 1962 年日本学者 Seiyama 首次报道半导体 ZnO 薄膜电阻变化可判定还原性气体浓度[1]，半导体金属氧化 物一直占据着气体传感器的主流发展方向。经过半个多世纪的发展，半导体气体传感器在敏感材料、元 件制作和集成工艺等方面均有较大提升[2] [3] [4] [5]，气体传感器在环境监测领域有了广泛的应用，然而， 半导体气体传感器的性能评价手段却相对滞后，影响了其在一些低浓度、高危险气体场合的应用[6]。随 着环境检测要求的提高[7]及气体传感器性能的进步，亟需建立一种能够满足高灵敏、快速响应传感器的 性能评价装置。
*第一作者。 #通讯作者。
文章引用: 刘未杰, 张晶晶, 贾依婷, 刘凝, 刘锦华, 张艳妮, 赵鹏, 宁占武. 气体传感器性能准确快速评价方法研究 [J]. 传感器技术与应用, 2020, 8(3): 80-88. DOI: 10.12677/jsta.2020.83009
北京市劳动保护科学研究所，北京 收稿日期：2020年5月27日；录用日期：2020年6月11日；发布日期：2020年6月18日
DOI: 10.12677/jsta.2020.83009
测试系统如图 2 所示，测试气体经由高浓度标准气体与零空气按照一定流量比稀释后进入混合室内， 完全混匀后一定流量的气体经测试舱进气口(A 口)进入腔室内部，扩散至腔室下端传感器敏感材料表面， 与表面吸附氧发生反应，产生响应信号，再由出气口(B 口)排出舱室；传感器信号通过吉时利数字源表 (Keithly 2400)采集并输出，待响应信号稳定后，关闭 A 口进气，同时打开洁净空气(C 口)对舱室进行吹 扫，使传感器响应恢复至初始状态；尾气经由收集瓶收集后排出室外。气体浓度按照下式计算：
2.1. 微型测试舱及测试系统的设计
基于材料对气体吸附释放特性及传热等性能考虑[13]，测试舱主体及传感器安装组件选用特种工程塑 料聚醚醚酮树脂(Polyetherether ketone, PEEK)材料，其长期耐受温度可达 250℃，具有低吸收、低释放和 自润滑等特性[14]，其它结合部件采用不锈钢 304 和聚四氟乙烯材料。如图 1 所示，测试舱外观为长方体 结构，传感器安装组件通过外螺纹与测试舱主体相连；测试舱内腔为圆柱体结构，圆柱两端分别设有进 气口(A 口)和出气口(B 口)，在内腔上端开设吹扫气口(C 口)，底部设有传感器安装组件，内腔直径为 18 mm， 比传感器基座直径略大，内腔容积仅为 31 mL；传感器安装组件位于舱体下端连接口(D)内，上端支撑传 感器基座，基座与凹槽侧壁间嵌有密封圈，下端孔道通过传感器引线并与测试装置和加热装置相连。传 感器安装组件设计了不同尺寸的凹槽及孔道结构(φ19 × 5.5 mm (H)、φ20 × 5.5 mm (H)、φ9.5 × 1.5 mm (H) 等)，满足不同类型气体传感器的测试需求。
DOI: 10.12677/jsta.2020.83009
81
传感器技术与应用
刘未杰 等
积约为 31 mL。建立微型测试舱内腔结构三维实体模型，利用 FLUENT 软件对其内部气体流场模拟分析； 采用压差检漏法考察测试舱的气密性；并用甲醛及甲苯等目标组分对气体传感器性能评价系统进行评价。
2. 实验部分
Figure 1. Micro test chamber cross-section and sensor holder structures 图 1. 微型测试舱剖面图及传感器安装组件结构图
பைடு நூலகம்
Figure 2. Schematic diagram of test system 图 2. 测试系统示意图
刘未杰 等
摘要
本文构建了一款以微型舱为核心的气体传感器性能评价系统，由多组分动态配气单元、微型测试舱和数 据 采 集 分 析 单 元 三 部 分 组 成 ； 利 用 SolidWorks 软 件 对 测 试 舱 内 腔 结 构 建 立 物 理 模 型 ， 并 在 ANSYS FLUENT软件中选择标准k-ε方程(k为湍动能，ε为耗散率)对测试舱壁面处湍流流动和腔室内部气体层流 状态进行模拟，实验研究了气体流速对三款传感器响应性能的影响，并采用压差法考察测试舱气密性。 以甲醛及甲苯作为目标组分考察了Sensor W及Sensor Z的响应性能。与Sensor W标称值相比，用本装置 的检测下限为0.1 ppm，灵敏度(Rg/Ra)为0.926，较其标称值均有所改善，结果更客观准确；在甲醛浓 度500 ppb~10 ppm、甲苯浓度5 ppb~300 ppb范围内，Sensor Z的响应随着浓度增加稳步上升；可准 确测量Sensor Z对甲醛和甲苯的响应时间(T90)分别为11 s和36 s，恢复时间(T10)分别为2 s和9 s。结果 表明：本文构建的气体传感器性能评价系统具有内部流场稳定、浓度分布均匀、气密性好等特点，尤其 适用于高灵敏气体传感器的低浓度响应能力测定及响应恢复时间的评价。