扫描电镜
_扫描电镜与电子探针分析
_扫描电镜与电子探针分析扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）和电子探针分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）是现代材料科学和纳米技术领域中广泛应用的两种重要分析技术。
本文将分别介绍扫描电镜和电子探针分析的原理、仪器结构和应用。
一、扫描电镜（SEM）扫描电镜是一种基于电子束的显微镜，通过聚焦的电子束对样品表面进行扫描，获得高分辨率的图像。
相比传统光学显微镜，SEM具有更高的分辨率和更大的深度聚焦能力。
SEM的工作原理如下：1.电子源：SEM使用热阴极电子枪产生的高速电子束。
电子束由一根细丝产生，经过加热后电子从细丝上发射出来。
2.透镜系统：电子束经过电子透镜系统进行聚焦和调节。
透镜系统包括几个电磁透镜，用于控制电子束的聚焦和扫描。
3.样品台：样品台用于固定样品并扫描表面。
样品通常需要涂覆导电性材料，以便电子束可以通过样品表面。
4.探测器：SEM使用二次电子和背散射电子探测器来检测从样品表面散射的电子。
这些探测器可以转化为图像。
SEM可以提供高分辨率的表面形貌图像，并通过电子束的反射和散射来分析样品的成分、孔隙结构和晶体结构等。
其应用广泛，包括材料科学、纳米技术、电子器件等领域。
二、电子探针分析（EDS）电子探针分析是一种基于X射线的成分分析技术，常与扫描电镜一同使用。
EDS可以对样品的元素成分进行快速准确的定性和定量分析。
其工作原理如下：1.探测器：EDS使用一个固态半导体探测器来测量从样品发射的X射线。
当样品受到电子束轰击时，样品中的元素原子被激发并发射出特定能量的X射线。
2.能谱仪：EDS使用能谱仪来分析探测到的X射线，该仪器能够将X 射线能量转换成电压信号，并进行信号处理和分析。
3.能量分辨率：EDS的精度取决于能谱仪的能量分辨率，分辨器的能量分辨率越高，分析结果越准确。
4.谱库：EDS使用事先建立的元素谱库进行定性和定量分析。
扫描电镜工作原理
扫描电镜工作原理引言概述：扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来观察样品表面形貌和分析成分的高分辨率显微镜。
与传统光学显微镜相比，扫描电镜具有更高的分辨率和放大倍数，能够观察到更细微的细节。
本文将详细介绍扫描电镜的工作原理，包括电子束的产生、样品的准备、信号的检测和图像的生成等方面。
一、电子束的产生1.1 热阴极发射电子热阴极发射电子是扫描电镜中常用的电子源之一。
通过加热金属阴极，使其发射出电子，形成电子束。
常用的金属阴极有钨、铑等，因其熔点高、耐热性好而被广泛应用。
1.2 场发射电子场发射电子是另一种常用的电子源。
在扫描电镜中，通过在导电材料上施加高电压，使其表面形成强电场，从而将电子从导体表面发射出来。
场发射电子具有较高的亮度和稳定性，适用于高分辨率的扫描电镜观测。
1.3 冷阴极发射电子冷阴极发射电子是一种新型的电子源。
与热阴极不同，冷阴极发射电子不需要加热即可发射电子。
常见的冷阴极包括钻石薄膜阴极和碳纳米管阴极。
冷阴极发射电子具有较高的亮度和长寿命，适用于高分辨率和高稳定性要求的扫描电镜。
二、样品的准备2.1 固态样品的处理固态样品在进入扫描电镜之前需要进行一系列的处理。
首先，样品需要被切割成适当的尺寸，并进行抛光以获得平坦的表面。
然后，样品需要被镀上一层导电薄膜，以便电子束能够在样品表面形成有效的信号。
2.2 液态样品的处理液态样品的处理相对较为复杂。
通常，液态样品需要被固化成凝胶或冰冻，以保持其形状和结构。
然后，样品需要被切割成适当的尺寸，并进行抛光和镀膜等处理步骤，以便进行扫描电镜观测。
2.3 生物样品的处理生物样品的处理需要特殊的技术和设备。
首先，生物样品需要被固定，以保持其形状和结构。
然后，样品需要进行脱水、冻干或冰冻等处理步骤，以便进行扫描电镜观测。
此外，为了增强样品的对比度，生物样品通常需要进行染色处理。
三、信号的检测3.1 二次电子信号二次电子信号是扫描电镜中最常用的信号之一。
扫描电镜
扫描电镜，左面为镜筒和样品室，右面室是成像和记录系统，两部分是由同步扫描发生器和信号探测器连接在一起。
其结构由下图所示：扫描电镜成像如同电视机一样，利用电子束扫描功能实现。
同步扫描发生器同时控制镜筒中扫描线圈和显示器扫描线圈，使电子枪发出的电子束与显示器电子束分别在样品和荧光屏一上同步扫描，两者逐点、逐行、逐帧对应。
电子束激发样品每个点的信号被探测器接收，经过放大送到显示器，调制荧光屏对应扫描点的亮度，如果样品每个点发出的信号强度不同，荧光屏上对应点的亮度就有差异，这就是扫描图像。
扫描电镜提供的信息主要来源于电子束与样品的相互作用，即入射电子束与样品相互作用，产生背散射电子，二次电子，特征X射线等信息，背散射电子是入射电子在样品中某个深度区域受到散射，反向出射样品表面形成的，其携带形貌和成分信息，出射范围在作用区1/3的深度，大约l0nm ~l000nm。
入射电子大量电离样品原子核外电子，使其变成自由电子从样品出射，称为二次电子，其能量低，多数小于50eV，从表层小于10nm范围中出射，携带样品形貌特征。
入射电子使原子内壳层的电子电离，出现空位，此刻原子处于激发态，外壳层电子向空位跃迁，并以特征X射线形式释放出多余能量，原子恢复到稳态。
不同元素的原子释放出的能量各异，故称元素的特征X射线，携带元素化学成分信息，在样品中的出射范围约几个um。
特征X射线为元素成分分析信号。
因此扫描电镜操作参数的选择和调整尤为重要。
三、扫描电镜的参数调节扫描电镜的工作参数大致可分为加速电压，探针电流，物镜光阑，以及相消散的调节。
下面我们一一展开，讨论一下这些参数对于获得的电子像的影响。
1.加速电压的选择加速电压是扫描电镜的重要参数，一般来说，仪器提供的加速电压的范围为0.2~30kV，需要根据种类和分析目的进行选择。
选择的依据如下表所示：2.探针电流的选择电子枪发射束流，经过聚光镜调节，会聚成更小的束斑尺寸（Spot Size)入射样品，其对应的束流称为探针电流（Iprobe)，探针电流大，束斑尺寸相应增加。
扫描电镜sem
扫描电镜（SEM）简介扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）是一种利用电子束对样品表面进行扫描的显微镜。
相比传统的光学显微镜，SEM具有更高的分辨率和更大的深度视野，使得它成为材料科学、生命科学和物理科学等领域中常用的研究工具。
SEM通过利用电子多次反射，将样品表面的形貌细节放大数千倍，可以观察到微观结构，比如表面形态、粗糙度、纳米级颗粒等。
SEM通常需要真空环境下操作，因为电子束在大气压下很快会失去能量而无法达到高分辨率。
工作原理SEM的工作原理可以简单地分为以下几步：1.电子发射：SEM中，通过热发射或场发射的方式产生电子束。
这些电子被加速器加速，形成高速的电子流。
电子束的能量通常在10-30 keV之间。
2.样品照射：电子束通过一个聚焦系统照射到样品表面。
电子束与样品原子发生相互作用，从而产生各种现象，比如电子散射、透射和反射。
3.信号检测：样品与电子束发生相互作用后，产生的信号会被探测器捕获。
常见的SEM信号检测器包括二次电子检测器和反射电子检测器。
这些探测器可以测量电子信号的强度和性质。
4.信号处理和图像生成：SEM通过对探测到的信号进行处理和放大，生成图像。
这些图像可以显示出样品表面的微观结构和形貌。
应用领域SEM在许多科学领域中都有广泛的应用。
以下是一些常见的应用领域：材料科学SEM可以用于研究材料的结构和形态。
它可以观察微观缺陷、晶体结构、纳米颗粒等材料细节。
这对于材料工程师来说非常重要，可以帮助他们改进材料的性能和开发新的材料。
生命科学SEM可以用于观察生物样品的微观结构。
比如，它可以观察细胞的形态、细胞器的分布和细胞表面的纹理。
这对于生物学家来说非常重要，可以帮助他们了解生物体的结构和功能。
纳米科学SEM在纳米科学领域中也有广泛的应用。
通过SEM可以对纳米材料进行表面形貌和结构的观察。
它可以显示出纳米结构的细节，帮助科学家研究纳米颗粒的组装、层析和相互作用等现象。
扫描电镜
演讲者： 陈磊 陈映雪 胡磊 贾立颖 赵立山
指导教师： 潘礼庆
1
概述
2
相关原理
3
实验设备及使用方法
4
应用及示例分析
概述
扫描电子显微镜的简称为扫描电镜，英文缩写 为SEM (Scanning Electron Microscope)。 它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电 子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电 子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。
3:电子感应电动势象是半导体器件所特有的，常用来显 示半导体、绝缘体的表面形貌、晶体缺陷、微等离 子体和P－N结
实验设备及应用
扫描电子显微镜主要包括： 电子光学系统 扫描系统 信号检测放大系统 图象显示和记录系统 电源和真空系统等
扫 描 电 镜 成 像 示 意 图
成像示意图
电子枪
其作用是利用阴极与阳极之间的高电压来长生 高能量的电子束。电子显微镜对电子枪的要求 是：能够提供足够数目的电子，发射电子越多， 成象越亮；发射电子的区域要小，电子束越细， 象差越小，分辩本领越好；电子速度要大，动 能越大，成像越亮。
电子束与固体样品作用和产生的信号
1:一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试 样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作 用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信 息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子 等。
2:这些信息与样品表面的几何形状以及化学成份等有很 大的关系。
背散射电子象
形貌衬度 △ 倾角因素：
背散射电子产额 η=Ib/Ip
η随倾角θ增加而增加，但不精确满足正割关系
△ 方向因素： 背散射电子在进入检测器之前方向不
扫描电镜(SEM)讲解
11.3.4 扫描电镜的主要性能 (1)放大倍数
扫描电镜的放大倍数可用表达式: M=AC/AS
式中AC是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在样品 上的扫描振幅。因此，放大倍率的变化是通过改变 电子束在试样表面的扫描幅度AS来实现的。
目前大多数商品扫描电镜放大倍数为20-200000倍， 介于光学显微镜和透射电镜之间。
（3）景深
景深是指透镜对高低不平的试样各部位能同时聚焦成像的 一个能力范围，这个范围用一段距离来表示。 为电子束孔径角。可见，电子束孔径角是控制扫描电子 显微镜景深的主要因素，它取决于末级透镜的光阑直径和 工作距离。角很小（约10-3 rad），所以它的景深很大。 它比一般光学显微镜景深大100-500倍，比TEM景深大10 倍。
特征X射线
背散射电子 它是被固体样品中原子反射回来的一部分入射
电子。又分弹性背散射电子和非弹性背散射电子， 前者是指只受到原子核单次或很少几次大角度弹性 散射后即被反射回来的入射电子，能量没有发生变 化；后者主要是指受样品原子核外电子多次非弹性 散射而反射回来的电子。
背散射电子的产生范围在1000 Å到1 m深，由于背散射 电子的产额随原子序数的增加而增加，所以，利用背散 射电子作为成像信号不仅能分析形貌特征，也可用来显 示原子序数衬度，定性地进行成分分析。
二次电子 是被入射电子轰击出来的样品核外电子，又称为 次级电子。
在样品上方装一个电子检测器来检测不同能量的 电子，结果如下图所示。二次电子的能量比较低， 一般小于50eV；二次电子来自表面50-500 Å的区域, 对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面 的微观形貌。但对原子序数的变化不明显。
扫描电镜的成像原理，和透射电镜大不相同，它不用 什么透镜来进行放大成像，而是象闭路电视系统那样， 逐点逐行扫描成像。
扫描电镜
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收集二次电子时，为了提高收集有效立体角， 常在收集器前端栅网上加上+250V偏压，使离开样 品的二次电子走弯曲轨道，到达收集器。这样就 提高了收集效率，而且，即使是在十分粗糙的表 面上，包括凹坑底部或突起外的背面部分，都能
得到清晰的图像（图4.62）。
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(a) 加偏压前 (b) 加偏压后 图4.62 加偏压前后的二次电子收集情况
系数的和也越大，
但达一定值时保 持定值。
电子在铜中的透射、吸收和背散射系数的关系
17
样品本身要保持电平衡，这些电子信号必须满
足以下关系：
ip=ib+is+ia+it 式中：ip 是入射电子强度； ib 是背散射电子强度； is 是二次电子强度；
ia 是吸收电子强度；
it 是透射电子强度。
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6.3.4 扫描电镜的主要性能 (1)放大倍数 扫描电镜的放大倍数可用表达式：
M = AC / AS
式中AC是荧光屏上图像的边长， AS是电子束在 样品上的扫描振幅。目前大多数商品扫描电镜 放大倍数为20-20000倍，介于光学显微镜和透射 电镜之间。
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(2) 分辨本领
SEM的分辨本领与以下因素有关：
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这些物理信号的强度随样品表面特征而变， 它们分别被相应的收集器接受，经放大器按顺序、 成比例地放大后，送到显像管成像，得到样品表 面特征图像。 供给电子光学系统使电子束偏向的扫描线圈 的电源也是供给阴极射线显像管的扫描线圈的电 源，此电源发出的锯齿波信号同时控制两束电子 束作同步扫描。 因此，样品上电子束的位置与显像管荧光屏 上电子束的位置是一一对应的。
6
2、扫描电镜主要功能： ◆ 表（界）面形貌分析； ◆ 配置各种附件，做表面成分分析及表层晶体 学位向分析等。
扫描电子显微镜(SEM)-介绍-原理-结构-应用
探头
扫描发生器 显像管
视频放大器
光电倍增管
试样
光导管
试样台
扫描电子显微镜主要由以下四个部分组成： 1. 电子光学系统：作用是获得扫描电子束，
作为信号的激发源。 2. 信号收集及显示系统：作用是检测样品在
入射电子作用下产生的物理信号 3. 真空系统：用来在真空柱内产生真空 4. 电源系统：作用是提供扫描电镜各部分所
3.3 背散射电子
背散射（backscattered）电子是指入射电子在样 品中受到原子核的卢瑟福散射后被大角度反射，再 从样品上表面射出来的电子，这部分电子用于成像 就叫背散射成像。 背散射分为两大类：弹性背散射和非弹性背散射。 弹性散射不损失能量，只改变方向。非弹性散射不 仅改变方向，还损失能量。从数量上看，弹性背反 射电子远比非弹性背反射电子所占的份额多。背反 射电子的产生范围在100nm-1mm深度。
d4
光电倍增管
d3:扫描系统ຫໍສະໝຸດ 试样光导管d4:试样室
试样台
2.1.1 电子枪
电子枪：钨丝成V形，灯丝中通以加热电流， 当达到足够温度时(一般操作温度为 2700K),发射电子束。在10-6Torr的真空 下，其寿命平均约40—80小时。
电子束 光阑孔
2.1.2 电磁透镜
电磁透镜：透镜系统中所用的透镜都是缩 小透镜，起缩小光斑的作用。缩小透镜 将电子枪发射的直径为30μm左右的电 子束缩小成几十埃，由两个聚光镜和一 个末透镜完成，三个透镜的总缩小率约 为2000~3000倍
03
SEM工作原理
3 扫描电镜成像的物理信号
入射电子轰击样品产生的物理信号
电子束与样品原子间的相互作用是表 现样品形貌和内部结构信息的唯一途 径。入射电子与样品原子中的电子和 原子核会发生弹性碰撞和非弹性碰撞， 所产生各种电子信号和电磁辐射信号 都带有样品原子的信息，从不同角度 反映出了样品的表面形貌、内部结构、 所含元素成分、化学状态等。
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1.扫描电子显微镜的成像原理：
与透射电镜完全不同，它不用电磁透镜放大成像。
而是以类似电视摄影显像的方式。
利用细聚焦高能电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的。
扫描电子显微镜的特点：
①高分辨率：普通钨灯丝扫描电镜其二次电子像的分辨率达3～4nm；而场发射扫描电镜可达1～2nm。
②高放大倍数：10倍～50万连续可调，原位放大。
③高景深：适合于粗糙表面及断口形貌的显微分析。
④多功能：可与其它分析仪器相组合，能在同一台仪器上进行形貌、微区成分和晶体结构等多种微观组织结构信息的同位分析。
2电子束与固体样品作用
高能入射电子束轰击固体样品，与样品物质中的原子核、核外电子相互作用，而发生散射和吸收。
原子对电子散射：也分弹性散射与非弹性散射。
1)、弹性散射：入射电子与原子核的相互作用。
2). 非弹性散射：
入射电子与原子中核外电子作用。
入射电子能量传给原子而发生变化，并引起原子结构变化，产生各种电子激发或辐射。
3)吸收：入射电子在固体中散射比X 射线强得多，固体对电子的“吸收”强烈。
吸收表现：随着激发次数增多，入射电子动能逐渐减小，引起强度衰减，直到耗尽，最终被固体吸收（束缚）。
电子束与固体样品作用时产生的信号
1)．背散射电子：
指被固体样品中原子核反弹回的一部分入射电子。
含弹性的和非弹性的
①弹性背散射电子：指被样品物质中原子核反弹回来，散射角>90o的部分入射电子，其能量基本无损失，只改变方向。
特点：能量高，能达数千～数万电子伏。
②非弹性背散射电子：入射电子和核外电子相互作用，不仅方向改变、能量有不同程度损失，经多次散射后仍能回表面（散射角> 90o ）的电子。
背散射电子特点：
能量：从数十eV～数千eV很宽。
数量：弹性的远比非弹性的所占份额多。
来源：样品表层几百nm深度。
产额：随原子序数Z增大而增多。
2)．二次电子：
指被入射电子击出，并离开样品表面的样品物质核外电子。
二次电子特点：
①大多（90％）是来自样品原子外层的价电子。
②能量较低(<50eV) ，大多只有几个eV。
一个能量很高的入射电子射入样品，可产生许多二次电子，
③从表层5～10nm深度内发射的，对样品表面形貌十分敏感，因此，能有效地显示样品的表面形貌。
④其产额和原子序数无明显的关系，故不能用来进行成分分析。
3). 吸收电子：
入射电子进入样品后，经多次非弹性散射，能量损失殆尽，最后被样品吸收。
若在样品和地之间接一个高灵敏度电流表，就可测到吸收电子信号。
4.)透射电子：
若样品很薄，就会有一部分入射电子穿过薄样品而成为透射电子。
透射电子强度：是由微区厚度、成分和晶体结构来决定。
透射电子：弹性和非弹性散射（不同能量损失的）。
5)．特征X射线：
当入射电子能量足够高，激发样品原子的内层电子，使原子处能量较高电离或激发态，则外层电子（高能量）将向内层（低能量）跃迁，从而释放出具有特征能量的X射线。
6)．俄歇电子：
若在原子内层电子能级跃迁过程中，释放出来能量并不以X射线形式发射，而用这部分能量把空位层内的另一个电子(或使空位层的外层电子),发射出去这个被电离出来的电子称为俄歇电子。
俄歇电子特点：
①能量具有特征值、能量低约为50～1500 eV范围。
②平均自由程很小(约1nm)，特别适用做表面层成分分析。
在距表面1nm (几个原子层厚度) 内产生的俄歇电子才具备特征能量。
而较深处的俄歇电子，在向表层运动时必会损失能量，使之失去了具有特征能量的特点。
③俄歇电子能谱仪：
根据俄歇电子能量测定试样成分的仪器。
俄歇电子的产额：随原子序数Z 增大而减少，故特别适用于分析轻元素。
3扫描电镜的构造和工作原理
扫描电镜构造:电子光学系统；信号收集处理、图像显示和记录系统；真空系统；电气系统四个基本部分组成
基本工作原理：由电子枪发射电子，在电场下被加速，经电磁透镜聚焦，成为极细的电子束；在扫描线圈作用下，电子束在样品表面扫描，激发出各种物理信号，其强度随样品表面特征而变。
通过检测器检测信号，并经放大，调制图像。
4电子光学系统（镜筒）
电子光学系统：含电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。
1). 电子枪：与TEM相似，其加速电压较低（3～40KV可变）。
在扫描电镜中：电子束直径越小，则成像单元的尺寸越小，相应的分辨率就越高。
普通W灯丝热阴极电子枪：扫描电子束束径约达3nm。
2). 电磁透镜：不作成像放大用，只起聚光镜作用，
功能：把电子束斑逐级聚焦缩小，从50μm缩小到数个纳米的细小斑点，故须用三个聚光镜。
第1、2个聚光镜：强磁透镜，把电子束光斑缩小；
第3个透镜（物镜）：弱磁透镜，具有较长的焦距。
目的：使样品和物镜间有一定的空间，以便装入各种信号探测器。
3.)扫描线圈：
作用：使电子束偏转，在样品表面作有规则的扫动，且电子束在样品上扫描和显像管上扫描应保持严格同步。
扫描有两种方式：
光栅扫描：进行形貌分析；
角光栅扫描：进行电子通道花样结构分析。
4）. 样品室：除放置样品外，还安置各种信号探测器。
功能：应能夹持一定尺寸样品，可作平移、倾斜和转动等运动，以便对每一特定位置进行各种分析。
可带多种附件，如加热、冷却和进行拉伸和疲劳试验等。
5信号的收集和图像显示系统
闪烁计数器：用于检测二次电子、背散射电子信号。
它由闪烁体、光电管、光电倍增器组成。
闪烁计数器工作原理：
当二次电子经加速轰击闪烁体，引起电离；离子和自由电子复合产生可见光；可见光信号通过光导管送入光电倍增器，光信号放大，即又转化成电流信号输出，电流信号经视频放大器放大后就成为调制信号。
闪烁体接收端蒸镀几十nm厚的铝膜，既可作反光层，屏蔽杂散光的干扰，又可作高压电极，并加6～10kV 正高压，以吸引和加速进入栅网的电子，另一端与光导管连接。
1. 当检测二次电子时，栅网加250～500V 正电压，吸引二次电子，可加大有效的检测立体角。
2. 当检测背散射电子时，栅网上加负50v偏压，阻止二次电子进入栅网，并对背反射电子有一定的聚焦作用。
6扫描电镜的特点
1）能直接观察大尺寸试样的原始表面
2）试样在样品室中可动的自由度比较大。
3）观察试样的视场比较大。
4）景深大，图象富立体感。
5）放大倍数的可变范围很宽，且不用经常对焦。
6）在观察厚样品中，它能得到高的分辨率和最真实的形貌。
7）因电子辐射而导致试样的损伤和污染程度很小。
8）能进行动态观察
7影响扫描电镜分辨率的三大因素是：电子束的束斑大小、检测信号类型以及检测部位的原子序数。
扫描电镜的分辨率：是通过测定图像中两个颗粒(或区域)间的最小距离来确定的。
测定的方法：是在已知放大倍数(一般在10万倍)的条件下，把在图像上测到的最小间距除以放大倍数所得数值就是分辨率。
目前、商品扫描电镜的二次电子像的分辨率已优于3nm。
8表面形貌衬度原理及其应用
二次电子信号：主要用于分析样品的表面形貌。
因它只能从样品表面层5～10nm深度范围内被入射电子束激发出来。
二次电子数量和原子序数无明显的关系，但对微区表面的几何形状十分敏感。
9原子序数衬度原理及其应用
背散射电子的信号：
既可进行形貌分析，也可用于成分分析。
(1) 背散射电子形貌衬度特点：
①用于形貌分析时，其分辨率远比二次电子低；
②因其能量高，以直线轨迹逸出表面，对背向检测器的表面，信号无法收集，变成阴影，在
图像上显示出很强的衬度，失去细节和层次，不利于分析，目前均不用于形貌分析。
(2) 背散射电子原子序数衬度原理：
原子序数对背散射电子产额的影响。
对于Z<40，其产额对原子序数(Z)十分敏感。
⏹吸收电子的产额与背散射电子相反。
⏹当样品的原子序数Z↓→背散射电子↓→吸收电子↑，
⏹样品电流像的衬度是与背散射电子互补的。