扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统).

中国电子科技集团公司第四十八研究所M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年6月中国电子科技集团公司第四十八研究所目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定······················2.3电气接线编号规定····················2.4电气转接端口定义····················2.5计算机转接端口定义···················3．故障判别与维修······················3.1温度控制系统·······················3.1.1温控仪上显示oooo····················3.1.2炉子不能升温······················3.1.3面板上的超温指示灯亮··················3.1.4炉温失控························3.1.5面板上的短路指示灯亮··················3.2自动推拉舟系统······················3.2.1不能自动进出舟·····················3.2.2不能自动停舟······················3.3气体流量控制系统····················3.3.1气动阀不能受控打开···················3.3.2触摸屏上无气体流量显示·················3.3.3气体流量总是显示最大值·················3.3.4气体流量显示值波动大··················3.4 H/O合成氧化系统····················3.4.1火不能点燃·······················3.4.2系统误报警·······················I （3）（3）（3）（7）（11）（11）（11）（11）（12）（12）（13）（13）（13）（14）（14）（14）（14）（15）（15）（16）（16）（16）中国电子科技集团公司第四十八研究所1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型 48所）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义1300℃3〞硅片工艺4〞硅片工艺6〞硅片工艺8〞硅片工艺1中国电子科技集团公司第四十八研究所2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：代号ABCEFGHJKLMNPQRSTUVWXYZ 代号意义计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关电容加热器、扩散泵、照明灯熔断器开关电源、直流电源指示灯、报警器温控仪固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机零线质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电流表、电压表、检测器件断路器、空气开关电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关变压器、调压器、电压互感器、电流互感器旋转编码器、变频器、整流器晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管导线、电缆接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座（头可采用XP、座可采用XS）电磁阀、电磁离合器、气动阀滤波器2中国电子科技集团公司第四十八研究所2.2元器件编号规定* * * * *如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * **连接线序号，零线号从001～099 ；其他线号从101～999 。

层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子间的转接线。

如电控柜中上层第35号零线编号为：13035 ；气源柜下层第89号线编号为：41189 ；2.4电气转接端口定义（注：以下的接口定义适用于修改后的WK92及WK93电气图纸）3中国电子科技集团公司第四十八研究所X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀10零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出45急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入10漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线X1104:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4温控Ⅰ输出＋5温控Ⅱ输出＋温控Ⅲ输出＋7温控Ⅳ输出+8温控Ⅴ输出+9温控输出COM10X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气清洗小氮7 8大（干）氧湿（小）氧D/O备用一 D/O备用二9设备异常灯塔指示灯10 11 12工艺灯13热偶短路报警1415出舟音乐提示16净化风机启动D/O备用四 D/O备用五脚号作用17指示灯火线入18电磁阀火线入194中国电子科技集团公司第四十八研究所X1106:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至X1119 D型25芯针）脚号作用脚号1扩散小氮流量检测2大氮流量检测3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测9 10 11 12A.GND、G.GND13OPTO14点火信号作用 A/D备用一（风量检测） FREE（启DIR（方向动电平）电平）X1107:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1120 D型37芯针）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定前限位8后限位大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9急停状态10断水状态11极限保护12炉体开状态13火未燃14火已燃15漏氢16点火温度到17超温18 19 20A.GND、G.GND21222324D/I备用CP（脉冲输（POCL3泄出）漏检测）X1119:（25针D型插头，A/D、D/O信号至计算机）脚号1 2 3 4 5氢气流量检测6清洗小氮流量检测扩散小氮源瓶压力检测8清洗小氮源瓶压力检测作用扩散小氮大氮流量检流量检测测脚号 9 10 作用 A/D备用一（风量检测）脚号 17 作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测11DIR（方向电平）12A.GND、G.GND13OPTO141516181920212223FREE（启动电平）24点火信号X1120:（37针D型插头，D/I、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号1前限位2急停状态3极限保护4火未燃5漏氢6超温89101112131415湿氧流量设定161718 19 20521 22 23 24中国电子科技集团公司第四十八研究所作用脚号作用氢气流量设定清洗小氮流量设定后限位断水状态炉体开状态火已燃点火温度到25D/I备用（POCL3泄漏检测）262728CP29扩散小氮流量设定3031大氮流量设定32脚号作用33干氧流量设定3435A.GND、G.GND3637X1108:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7限位COM910极限保护X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4温控Ⅳ触发信号5温控Ⅴ触发信号6触发信号COM7+15V触发板GND9功率板零线引入101112131415加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13扩散小氮源瓶压力检测14清洗小氮源瓶压力检测15A/D备用一(风量检测)16作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号作用17181920 2122温度到23点火信号24D/I备用（POCL3泄漏检测）6中国电子科技集团公司第四十八研究所脚号作用25断水状态26火已燃2728293031+15V32COMX1111或X4102:（Y2M-14 TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号作用1扩散小氮电磁阀2大氮电磁阀3干（大）氧电磁阀4湿（小）氧电磁阀5氢气电磁阀6清洗小氮电磁阀7火未燃报警8漏氢报警10D/O备用线111121314气源柜火线入X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮78干（大）氧湿（小）氧或气帘氮常开阀10零线X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：修改后与扩散小氮共用） X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号6 4 27 3 57中国电子科技集团公司第四十八研究所作用流量设定COM流量检测COM＋15V－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15VP4101-P4107:（20芯扁平插头，UNIT 质量流量计）脚号作用A流量设定2COM3流量检测B和CCOM4＋15VF－15V（注：以下接口定义的适用于修改前的WK80及WK49等其它图号的电气图纸）X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）脚号1 2V相指示灯火线3W相指示灯火线4净化台控制火线入5接触器线圈火线6照明灯火线7散热风扇火线8出舟提示线圈火线作用 U相指示灯火线脚号 9 作用常开阀零线X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）脚号作用脚号作用脚号作用1上电开关火线入2上电开关火线出3加热开控制线出456急停开关控制线入7急停开关控制线出8加热关控制线入9消声开关报警线入漏氢指示灯火线11火未燃指示灯火线12超温指示灯火线13工艺指示灯火线14短路指示灯火线15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17加热关控制线出18前面板工作火线19前面板工作零线8中国电子科技集团公司第四十八研究所X1104:（Y2M-7TJ/ZK或Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）脚号作用脚号作用1后面板工作火线2后面板工作零线3报警输出4左温控输出＋5中温控输出＋6右温控输出＋7温控输出COM8左温控外热偶＋9左温控外热偶－10中温控外热偶＋中温控外热偶－1213右温控外热偶＋14右温控外热偶－X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气6清洗小氮7冷阱开8湿氧开大（干）氧湿（小）氧9扩散小氮后阀10湿（小）氧后阀清洗小氮后阀12工艺灯13热偶短路报警14散热风扇15出舟音乐提示16净化风机启动17指示灯火线入18电磁阀火线入19净化台火线入20 21 22 23 24X1106:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至X1119和X1120）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2大氮流量设定3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大（干）氧湿（小）氧流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测12清洗小氮流量检测13火已燃14点火温度到15火未燃16漏氢作用大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 18 作用点火信号A.GND、G.GND19前限位20后限位21CP（脉冲输出）22DIR（方向电平）23FREE（启动电平）24OPTOX1119:（25针D型插头，A/D、D/A信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1扩散小氮流量设定23大氮流量设定45大（干）氧流量设定67A.GND8扩散小氮流量检测9大氮流量检测10 11 12氢气流量检测13清洗小氮流量检测141516大（干）氧湿（小）氧流量检测流量检测17A.GND18湿（小）氧流量设定1920氢气流量设定921A.GND22清洗小氮流量设定2324中国电子科技集团公司第四十八研究所X1120:（25针D型插头，D/I、D/O信号至计算机）脚号作用脚号作用脚号作用1 2 3FREE（启动电平）4G.GND5OPTO6点火温度到7火已燃8火未燃点火信号 DIR（方向电平）9漏氢10G.GND1113141516171819前限位20后限位21222325CP（脉冲输出）X1108:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）脚号作用脚号作用1步进电机A+2步进电机A－3步进电机B+4步进电机B-5前限位6后限位7 8限位COM 编码器A9编码器B10+15V11COM极限保护1314X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板X3102）脚号作用脚号作用脚号作用1温控Ⅰ触发信号2温控Ⅱ触发信号3温控Ⅲ触发信号4触发信号COM5+15V6触发板GND7功率板零线引入8温控Ⅰ外热偶＋9温控Ⅰ外热偶－10温控Ⅱ外热偶＋11温控Ⅱ外热偶－+24V13温控Ⅲ外热偶＋14温控Ⅲ外热偶－15加热开指示灯火线16加热关指示灯火线17接触器线圈火线18自锁开关触点出线19控制电源火线入X1110或X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）脚号作用脚号1扩散小氮流量设定2 3 4 5氢气流量设定6清洗小氮流量设定7扩散小氮流量检测8大氮流量检测大氮干（大）氧湿（小）氧流量设定流量设定流量设定9 10 11氢气流量检测清洗小氮流量检测13+24V或+5V备用14扩散小氮15大氮16干（大）氧作用干（大）氧湿（小）氧流量检测流量检测脚号 17 1819 20 21 22 23 2410中国电子科技集团公司第四十八研究所作用湿（小）氧氢气清洗小氮湿氧加热冷阱开温度到（氩气流量检测）点火信号扩散小氮（模拟地）后阀（备用氮）脚号25 26 27 28 29清洗小氮后阀（氩气）30气源柜火线入31+15V32COM作用湿（小）氧后阀火已燃火未燃报漏氢气（备用氮警(备用氮（氩气流流量检测）流量设定) 量设定）X4102或X4116:（Y2M-14或19TJ/ZK，气源柜转接板至电源盒）脚号作用脚号作用1火未燃23火已燃45COM6COM7+15V8-15V9温度到1011 12 13氢气阀：J141516点火信号氢气阀：KX4103:（25芯D型孔头，电源盒内至氢氧合成保护板）脚号作用脚号1 2 3 4COM5COM6COM7＋15V8－15V检测热电火已燃：e 火焰探头：偶：入－＋9 10 11 14 15火线：l24氢气阀：k25作用温度到：n 检测热电点火信号：火未燃：m 偶：入＋ a氢气阀：jX4112:（XS16-3芯，至氢气报警器）脚号作用1火线2零线3漏氢气X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）脚号作用1扩散小氮2大氮3 4 5氢气或氮氢混合气6清洗小氮7扩散小氮后阀或备用氮8清洗小氮后阀或氩气干（大）氧湿（小）氧或气帘氮脚号作用9常开阀10零线X4117:（Y2M-10TJ/ZK，电源盒至氢氧合成点火控制部件）脚号作用1检测热偶－2检测热偶＋3火焰检测探头＋4火焰检测探头－5温控输出＋6温控输出－7控制热偶＋8控制热偶－11中国电子科技集团公司第四十八研究所X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）脚号作用1流量设定2COM3流量检测4COM5＋15V6－15V7X4105:至扩散小氮质量流量计 X4106:至大氮质量流量计 X4107:至大（干）氧质量流量计 X4108:至湿（小）氧质量流量计 X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计X4110:至清洗小氮质量流量计（注：后来有与扩散小氮共用的） X4115:至备用氮气质量流量计 X4119:至氩气质量流量计 X4113:冷阱电源插座（～220V）P4101-P4107:（9芯D型插头，STEC 质量流量计）脚号作用6流量设定4COM2流量检测7COM3＋15V5－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，BROOKS 质量流量计）脚号作用8流量设定1COM2流量检测10和9COM5＋15V6－15VP4101-P4107:（15芯D型插头，七星华创质量流量计）脚号作用4流量设定3COM7流量检测6和8COM15＋15V11和12－15V12中国电子科技集团公司第四十八研究所2.5计算机转接端口定义（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和37针D型插头组合的情况）PCL－812PG：CN1（Analog Input）地址备注控制位 A/D 0 A.GND A/D 1 A.GND A/D 2 A.GND A/D 3 A.GND A/D 4 A.GND A/D 5 A.GND A/D 6 A.GND A/D 7 A.GND A/D 8 A.GND A/D 9I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19出入线X1119（25）1 14 2 15 3 16 4 17 5 18 6 19 7 20 8 21 9 22 10功能控制含义扩散小氮流量检测模拟地大氮流量检测模拟地干氧流量检测模拟地湿氧流量检测模拟地氢气流量检测模拟地清洗小氮流量检测模拟地扩散小氮源瓶压力检测模拟地清洗小氮源瓶压力检测模拟地 A/D备用一模拟地 A/D备用二PCL－812PG：CN3（Digital Output）地址备注控制位 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.GND +5VI/O脚 14 15 16 17 18 191 2 3 4 5 6出入线X1119（25）23 11 24 12 25 13功能控制含义推舟启动电平FREE 推舟方向电平DIR 点火信号 D.GND D.GND OPTOPCL－812PG：CN4（Digital Input）地址控制位 D/I 4 D/I 5 D/I 6I/O脚 5 6 75 6 7出入线功能X1120（37）控制含义 1 推舟前限位开关 20 推舟后限位开关 2 急停按钮状态13中国电子科技集团公司第四十八研究所备注D/I 7 D/I 8 D/I 9 D/I 10 D/I 11 D/I 12 D/I 13 D/I 14 D/I 15 D.GND D.GND +5V +12V 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 208 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 2021 3 22 4 23 5 24 6 25 7 26 8 27断水状态推舟极限保护开关炉体加热状态火未燃信号火已燃信号漏氢状态检测点火温度到信号超温D/I备用二 D.GND D.GND +5V +12VPCL－812PG：CN5（Counter）地址备注控制位 NoCTR0 OUT NoI/O脚 9 10 119 10 11出入线功能X1120（37）控制含义 9 28 推舟脉冲 10PCL－726：CN1（Digital Output）地址备注控制位 D/O 0 D/O 1 D/O 2 D/O 3 D/O 4 D/O 5 D/O 6 D/O 7 D/O 8 D/O 9 D/O 10D/O 11 D/O 12 D/O 13 D/O 14 D/O 15 D.GND D.DNG +5V +12VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20出入线功能控制含义扩散小氮电磁阀大氮电磁阀干氧电磁阀湿氧电磁阀氢气电磁阀清洗小氮电磁阀D/O备用一 D/O备用二设备异常指示灯 D/O备用四 D/O备用五工艺指示灯短路指示灯 D/O备用三出舟音乐提示净化风机 D.GND D.DNG +5V +12V14中国电子科技集团公司第四十八研究所PCL－726：CN3（D/A Output）地址备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线 X1113 X1120（37）5 29 6 11 7 30 8 12 9 31 10 13 11 32 12 14 13 33功能控制含义扩散小氮流量设置模拟地大氮流量设置干氧流量设置PCL－726：CN4（D/A Output）地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6# VI/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1120（37）1 15 2 34 3 16 4 35 5 17 6 36 7 18 8 37 9 19功能控制含义湿氧流量设置模拟地氢气流量设置清洗小氮流量设置（注：以下的接口定义适用于工控机后为25针和25针D型插头组合的情况）PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN1出入线功能地址控制位 I/O脚X1112-I X1112-O 控制含义Base+13 DO0 1 1 1 扩散小N2阀 Base+13 DO1 2 2 2 大N2阀 Base+13 DO2 3 3 3 干（大）O2阀 Base+13 DO3 4 4 4 湿（小）O2阀 Base+13 DO4 5 5 5 H2阀Base+13 DO5 6 6 6 清洗小N2阀 Base+13 DO6 7 7 7 冷阱开 Base+13 DO7 8 8 8 湿氧开 Base+12 DO8 9 9 9 扩散小N2后阀 Base+12 DO9 10 10 10 湿（小）O2后阀Base+12 DO10 11 11 11 清洗小N2后阀 Base+12 DO11 12 12 12 工艺指示灯15中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+12 Base+12 Base+12 Base+12备注DO12 DO13 DO14 DO15 D．GND D．GND +5V +12V13 14 15 16 17 18 19 2013 14 15 16 17 18 19 2013 热偶短路报警 14 散热风扇 15 出舟音乐提示 16 净化风机启动 17 18 19 20使用20芯扁平电缆连接到固态继电器板PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN3地址 Base+0，1Base+2，3Base+4，5备注控制位 D/A 1# V D/A 1# I D/A 1# R D/A 1# A D/A 2# V D/A 2# I D/A 2# R D/A 2# A D/A 3# VI/O脚 5 6 7 8 9 10 11 12 13出入线功能 X1113 X1119（25）控制含义 5 1 扩散小N2流量设置 6 14 7 2 8 15 9 3 大N2流量设置 10 16 11 4 12 17 模拟地 13 5 干（大）O2流量设置X1119共有9根线连接PCL-726:CN3PCL-726 6通道D/A板基址:2C0H CN4地址 Base+6，7Base+8，9Base+10，11 备注控制位 D/A 4# V D/A 4# I D/A 4# R D/A 4# A D/A 5# V D/A 5# I D/A 5# R D/A 5# A D/A 6#I/O脚 1 2 3 4 5 6 7 8 9出入线 X1114 X1119（25）1 18 2 6 3 19 4 7 5 20 6 7 8 9 22功能控制含义湿（小）O2流量设置模拟地 H2流量设置清洗小N2流量设置（详见注一）X1119共有5根线连接PCL-726:CN4PCL-812PG 12通道A/D板基址:220H CN1地址 Base+4，5Base+4，5控制位 A/D 0# A．GND A/D 1# A．GNDI/O脚 1 2 3 2出入线 X1115 X1119（25）1 8 2 21 3 9 ―――――22功能控制含义扩散小N2流量检测模拟地大N2流量检测连接清洗小N2流量设置（详见注一）16中国电子科技集团公司第四十八研究所Base+4，5 A/D 2# 5 5 10 干（大）O2流量检测A．GND 2 2 23Base+4，5 A/D 3# 7 7 11 湿（小）O2流量检测A．GND 2 2 24Base+4，5 A/D 4# 9 9 12 H2流量检测A．GND 2 2 25Base+4，5 A/D 5# 11 11 13 清洗小N2流量检测备注 X1119共有11根线连接PCL-812PG:CN1注一：清洗小N2流量设置的引出线为X1119的22脚，连接时先制作一根15芯的扁平电缆与X1119的18、6、19、7、20这五个脚构成一个20芯电缆连接至PCL-726:CN4,然后剥出PCL-726:CN4的第9脚。