内层制程试车作业管理规范

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试车管理制度

试车管理制度

试车管理制度试车管理制度1为确保公司路试作业(包括转序)平安,预防道路交通事故的发生,保障职工生命平安和削减国家财产损失,规范路试工的平安作业行为,特制定本规定。

一、适用范围本规定适用于对公司范围内路试作业的平安管理。

本规定所称路试作业,包括进行30公里道路试验以及底盘和整车产品在新老厂区之间的转序,进行这类作业的车辆统称为路试车辆,进行这类作业的车辆驾驶人员统称为路试工。

二、部门职责1、各分厂负责对本单位路试作业进行日常平安管理,保证路试车辆驾驶文明、规范。

2、能源装备部负责配备可拆卸后视镜和专用的平头车身锁紧机构平安销。

由使用单位提出申请,由能源装备部组织自制或外购并进行登记建帐以及日常管理。

3、运输公司负责对各分厂路试作业的日常平安监督管理,并负责对路试工进行岗前、岗中实际操作培训、考试,为分厂办理路试作业临时牌照。

4、人力资源部负责公司内路试工岗前、岗中的`理论学问培训、考试,依据各分厂实际按需配备路试人员。

5、生产管理部负责对公司内路试作业平安的综合监督管理。

三、路试工上岗条件1、必需有两年以上厂外驾驶的工作阅历,并持有交管部门颁发的《机动车辆驾驶证》有效证件。

上岗前必需经过公司主管部门专业培训和考试,考试合格后由生产管理部签发十通公司机动车辆驾驶员《上岗证》方可上岗。

2、身体必需健康,精神良好,有病或处于疲惫状态时不允许上岗。

四、行车前平安检查及预备事项路试工在车辆行驶前必需进行以下检查和预备事项:1、待路试车辆驾驶室两侧必需安装可拆卸的后视镜。

2、对待路试车辆有关行驶平安的部件(位)进行初步检查,如制动、转向、灯光、倒车报警器、离合、喇叭、仪表功能等,发觉有明显故障时应转入调试,不得使有明显故障的车辆强行上路。

例如:转向垂臂、横直拉杆等转向运动零件不得有裂纹、变形,发动机运转及停车时有漏油、漏水、漏电、漏气现象。

3、变速换挡敏捷、轻巧,自锁、互锁牢靠,变速杆无变形。

4、对于平头车身底盘或整车,必需插好驾驶室锁紧机构的平安销。

内层制程试车作业管理规范

内层制程试车作业管理规范

内层制程试车作业规范一、目的---------------------------------------------------------------1二、说明---------------------------------------------------------------3三、设备点检项目----------------------------------------------------4四、测试项目----------------------------------------------------------5一、目的测试新进设备品质和制程能力,为现场量产做准备二、说明内层试车计画包含伍个主要设备,清单如下:(1)裁板机(2)前处理线(3)压膜机(4)曝光机(5)後处理制程试车计画由相关制程负责PE编制,交付工程部、制造部及品保部会签,会同相关制程的各部负责人共同配合执行。

测试板与小量产规定(1) 测试板数量: 20-100PNL ,尺寸:接近设备最大设计尺寸,板厚:无特殊要求时40-60mil.(2) 小量产数量 3-10 lot(150PNL/lot)三设备点检项目四测试项目测试方法1.内层前处理水破实验的测试方法:取39 mil 1/1 20"×24"基板走过前处理线後,浸入水中然後拿起,将板子倾斜45,让水沿着板子流下,观察水膜破裂时间,并记录数据.前处理微蚀量测试方法:1将板厚39mi l 15cm×15cm裸铜基板作为测试板,将其用水洗净,置於烤箱内以120℃烘烤15分钟.2烘烤後取出基板并冷却3分钟,称重至小数点以下四位,记录为W1.3将测试板与生产板一起走完微蚀槽,注意不可与量产板重叠.4微蚀完毕後将基板取出水洗,然後置於烤箱内以120℃烘烤15分钟,并冷却3分钟,称重至小数点以下四位,记录为W2..5 Etch count=( W1-W2) ×92900/(2××A)单位:u"W1、W2单位:克 A:测试板面积 A的计算:当规格为10cm×10cm 时,A为1002.内层压膜制程干膜对准度测试目的: 测试压膜机压膜对准能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”裸铜基板检验工具: 量尺检验标准: 干膜距板边2±1mm测试方法: 取测试用基板走过压膜线後,测试干膜与板边间距板出温度测试目的:测试压膜机压膜的温度控制能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”裸铜基板检验工具:红外线测温器检验标准: 60±5℃测试方法: 取测试用基板走过压膜线时过压膜线15cm处量测基板表面左中右三点温度3.内层曝光制程曝光能量测试目的: 测试灯管的能量是否达到要求及干膜的最佳曝光能量范围测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 21格曝表,测试底片检验标准: ±格测试方法:1准备好测试板,进行内层前处理作业2准备"内层干膜,并架到压膜机上,确认压膜机的条件无误後将前处理完毕後的测试板进行压膜作业3准备一的透明底片,以遮光胶带固定於曝光台面上,再将曝光格数底片固定於透明底片上,固定时须注意曝光格数底片的药液面必须接触测试板的干膜。

试车管理制度

试车管理制度

试车管理制度第一章总则第一条为规范公司内部试车行为,维护车辆安全和保障试车人员的生命安全,特制定本制度。

第二条本制度适用于公司内部所有试车场地的试车活动。

第三条试车活动应当遵守相关法律法规,确保试车过程安全,保护车辆财产不受损害。

第四条试车人员应具备相应的驾驶技能和驾驶证件,严格遵守交通规则。

第五条试车活动应当在指定的试车场地进行,禁止在非指定场地进行试车。

第六条试车活动需提前申请,报备相关信息,并在指定时间内进行试车活动。

第七条试车活动结束后,应当及时整理车辆,清理场地,保持环境整洁。

第八条试车活动中如有意外事件发生,应及时报告上级主管部门,并做好相关记录工作。

第二章试车人员管理第九条公司应当对试车人员进行专业培训,确保其具备必要的试车技能和安全意识。

第十条试车人员在试车活动中应当佩戴安全帽、安全带等安全装备,并遵守交通规则。

第十一条试车人员应当自觉遵守公司规定的试车制度,不得擅自更改试车计划或试车路线。

第十二条试车人员在试车活动中发现车辆异常情况时,应当及时报告相关人员进行处理。

第十三条试车人员需定期接受公司的安全培训和考核,保持安全意识和技能水平。

第三章车辆管理第十四条公司应当定期对试车车辆进行检查和维护,确保车辆处于良好状态。

第十五条试车车辆需配备完善的安全装备,如灭火器、安全锤、车载医药箱等。

第十六条试车车辆需定期进行保险和年检等相关手续,确保车辆合法上路行驶。

第十七条试车车辆在试车活动中出现故障或事故时,应及时通知相关部门进行修理或处理。

第十八条试车车辆应当定期更换机油、轮胎等易损件,确保车辆正常运行。

第四章试车场地管理第十九条试车场地应当设置指示牌、警示标志等安全设施,确保试车活动安全进行。

第二十条试车场地应当定期进行清理和维护,确保场地整洁有序。

第二十一条试车场地应当配备必要的检测设备和工具,确保试车活动顺利进行。

第二十二条试车场地在试车活动结束后应当及时清理、整理,保持环境卫生。

试车相关检查及安全管理要求

试车相关检查及安全管理要求

管理制度参考范本试车相关检查及安全管理要求aI时'间H 卜/ / 1 / 4二)试车前的准备1、准备好所需的工具和材料,如各种扳手、测振仪、手锤、转速表、温度表、电流表、电压表、油枪、清洗材料、润滑油和试车中各种记录表格;2、搞好试车现场清理工作,保证设备四周及车间环境卫生良好、整洁;3、检查设备内腔,不许有施工中遗留下的东西,如钢筋、砖头、水泥块、木板、扳手、螺栓和棉纱等物,特别黑暗部位和不易检查部位要认真检查、试验、整定,确认性能良好,符合设计要求,才能合闸运转;4、重要和重大设备(如窑、立磨等)要检查混凝土基础沉降情况,做好沉降观测点记录;5、检查设备地脚螺栓,联接螺栓和键销等紧固件是否有松动现象;6、检查各润滑油注油情况,确认油位达到油标,油品执行润滑卡片要求,确认所有干脂润滑补脂满足设备安全运转要求;7、检查供水、供气管道,清除管内杂物,试车前应先进行现场清理工作;8、检查设备工艺代码是否标识结束;9、设备单机试车之前,应预先对电气系统进行性能试验和确认。

三)试车注意事项1、有润滑系统和冷却系统的设备,应先确认油路系统是否经过酸洗处理,重要设备的润滑油是否达到清洁要求。

试车时应先启动润滑油泵和打开水阀,使油量和水压达到正常后,才能试机;2、大型重要电动机必须经过单独空载试机、抱闸、控制器及限位开关必须试验合格后才能带动机械设备试机;3、设备检查后,电机启动前必须盘动传动部件数圈,确认无卡、碰后才能启动;4、设备启动时应先作点动,确认电机转向与工艺要求一致,才能正式开机;(高压电机不允许点动)5、有辅传的设备,应先用辅传启动,设备运转数圈后,再正式开机;6、特别注意明确标明转动方向的减速机、电机等设备严禁反转。

四)试机过程中的一般检查内容1、传动轴承温升、各润滑站供油、冷却水供水、设备振动按设备说明书要求进行检查;2、检查管路有无跑、冒、滴、漏现象;3、检查设备有无卡碰、异音、各部件在运转中有无移动和松动现象;4、检查电气设备的各种仪表是否灵活准确,电压、电流值与额定值是否相符,及峰值电流时间;5、检查各种限位开关、离合器、保护装置是否动作正常;6、使用压缩空气的部位,通气前应断开用气点,对管路进行清灰处理。

试车管理制度模板

试车管理制度模板

试车管理制度模板一、目的为确保试车工作的安全性、有效性和合规性,预防事故发生,提高试车效率,特制定本管理制度。

二、适用范围本制度适用于公司内所有新购或大修后的设备、车辆及其他需要进行试运行的机械设施。

三、试车前准备1. 检查设备是否具备试车条件,包括但不限于设备完整性、安全防护装置齐全有效等。

2. 确保所有技术文件、操作手册和试车程序已准备就绪。

3. 组织操作人员进行试车前的安全培训和技术培训。

4. 准备必要的安全防护用品和急救设施。

四、试车流程1. 试车申请:由使用部门提出试车申请,经管理部门审批。

2. 试车准备:按照试车前准备事项进行检查和确认。

3. 试车实施:由经过培训的操作人员按照试车程序进行操作。

4. 试车记录:详细记录试车过程中的各项参数和发现的问题。

5. 试车验收:试车结束后,由管理部门组织验收,并出具试车报告。

五、安全措施1. 设立试车区域,确保非相关人员不得进入。

2. 试车过程中,操作人员必须穿戴规定的劳动保护用品。

3. 试车现场应配备足够的消防器材和急救设备。

4. 试车前应进行安全教育,确保所有参与人员了解安全规程。

六、事故处理1. 试车过程中如发生异常情况,应立即停止试车,迅速撤离人员,并启动应急预案。

2. 对事故原因进行调查分析,并采取相应措施防止类似事件再次发生。

3. 所有事故无论大小,都应记录在案,并及时上报管理部门。

七、试车后处理1. 试车成功后,设备应进行必要的清洁和保养,确保其处于最佳状态。

2. 试车报告应详细记录试车结果,并由相关负责人签字确认。

3. 试车不合格的设备,应按照相关规定进行返修或报废处理。

八、附则1. 本制度自发布之日起生效,由管理部门负责解释。

2. 对本制度的修改和补充,应经过管理部门审议通过。

3. 本制度应定期进行评审和更新,以适应生产和管理的需要。

九、记录与存档1. 所有试车相关的记录应按照公司档案管理规定进行存档。

2. 试车记录应至少保存至设备报废或转让。

试车过程 工艺管理制度

试车过程 工艺管理制度

试车过程工艺管理制度一、试车准备工作1. 安排好试车人员:试车人员需要具备相关的技术知识和丰富的试车经验,能够熟练操作试车设备和仪器以及正确判断产品的测试结果。

2. 准备好试车设备和工具:确保试车设备、工具和仪器的完好无损,可以正常使用。

同时要做好试车设备的校准和调试工作,保证测试的准确性。

3. 确认试车方案:根据产品的技术要求和试车要求,制定详细的试车方案,包括测试项目、测试方法、试车时长等内容。

4. 检查试车环境:试车环境应保持干净整洁、通风良好,确保试车设备和仪器的正常运行。

5. 确保试车安全:在试车过程中,要严格遵守安全操作规程,保证试车人员的安全和试车设备的完好。

二、试车过程1. 进行功能测试:首先对产品的功能进行测试,包括启动、停止、调速等操作,确保产品的基本功能正常。

2. 进行性能测试:根据产品的技术要求,进行性能测试,包括输出功率、效率、稳定性等指标的测试,确保产品的性能符合规定的要求。

3. 进行耐久性测试:根据产品的使用场景和预期寿命,进行耐久性测试,包括连续运行、高负荷运行等测试,确保产品的耐久性和可靠性。

4. 进行环境适应性测试:根据产品的使用环境和工作条件,进行环境适应性测试,包括湿热、寒冷、振动等测试,确保产品在各种环境下都能正常工作。

5. 进行安全性测试:根据产品的安全标准,进行安全性测试,包括电气安全、机械安全等测试,确保产品使用过程中不会对人体造成危害。

三、试车结束工作1. 汇总试车数据:将试车过程中得到的数据进行整理和汇总,包括测试结果、问题记录、故障分析等内容。

2. 分析试车结果:对试车结果进行分析,找出可能存在的问题和改进措施,及时对产品进行调整和改进。

3. 编制试车报告:根据试车结果和分析,编制试车报告,包括试车过程、问题分析、改进建议等内容,向有关部门和客户汇报。

4. 反馈试车结果:将试车结果反馈给相关部门,包括生产部门、研发部门、质量部门等,与他们共同探讨问题的原因和解决方案。

试车相关检查及安全管理要求(2篇)

试车相关检查及安全管理要求(2篇)

试车相关检查及安全管理要求(二)试车前的准备1、准备好所需的工具和材料,如各种扳手、测振仪、手锤、转速表、温度表、电流表、电压表、油枪、清洗材料、润滑油和试车中各种记录表格;2、搞好试车现场清理工作,保证设备四周及车间环境卫生良好、整洁;3、检查设备内腔,不许有施工中遗留下的东西,如钢筋、砖头、水泥块、木板、扳手、螺栓和棉纱等物,特别黑暗部位和不易检查部位要认真检查、试验、整定,确认性能良好,符合设计要求,才能合闸运转;4、重要和重大设备(如窑、立磨等)要检查混凝土基础沉降情况,做好沉降观测点记录;5、检查设备地脚螺栓,联接螺栓和键销等紧固件是否有松动现象;6、检查各润滑油注油情况,确认油位达到油标,油品执行润滑卡片要求,确认所有干脂润滑补脂满足设备安全运转要求;7、检查供水、供气管道,清除管内杂物,试车前应先进行现场清理工作;8、检查设备工艺代码是否标识结束;9、设备单机试车之前,应预先对电气系统进行性能试验和确认。

(三)试车注意事项1、有润滑系统和冷却系统的设备,应先确认油路系统是否经过酸洗处理,重要设备的润滑油是否达到清洁要求。

试车时应先启动润滑油泵和打开水阀,使油量和水压达到正常后,才能试机;2、大型重要电动机必须经过单独空载试机、抱闸、控制器及限位开关必须试验合格后才能带动机械设备试机;3、设备检查后,电机启动前必须盘动传动部件数圈,确认无卡、碰后才能启动;4、设备启动时应先作点动,确认电机转向与工艺要求一致,才能正式开机;(高压电机不允许点动)5、有辅传的设备,应先用辅传启动,设备运转数圈后,再正式开机;6、特别注意明确标明转动方向的减速机、电机等设备严禁反转。

(四)试机过程中的一般检查内容1、传动轴承温升、各润滑站供油、冷却水供水、设备振动按设备说明书要求进行检查;2、检查管路有无跑、冒、滴、漏现象;3、检查设备有无卡碰、异音、各部件在运转中有无移动和松动现象;4、检查电气设备的各种仪表是否灵活准确,电压、电流值与额定值是否相符,及峰值电流时间;5、检查各种限位开关、离合器、保护装置是否动作正常;6、使用压缩空气的部位,通气前应断开用气点,对管路进行清灰处理。

试车作业制度

试车作业制度

选煤厂试车作业管理制度为保证正常的安全生产工作,防止设备在正式集控联合启车前出现异常情况影响正常的生产组织工作,特制订本试车管理制度。

1.试车作业主要分为检修后试车作业、生产开机前试车作业两类。

1.1检修后试车作业:为保证检修设备的正常运转,检修完成后,试车作业由检修项目负责人同当班生产班班长共同组织,岗位司机具体操作。

1.2生产开机前试车作业:为保证正常的集控联合开车生产,在正常开车生产前,各生产系统单机设备由岗位司机和班长指定人员具体实施单机试车。

2.检修后的试车作业2.1检修后,检修项目负责人联系当班生产班班长进行设备验收;2.2当班生产班班长验收合格后,协同本岗位司机巡查设备,确保设备状态正常,所有人员撤离检修现场,同时检查相关设备及设备内部有无未撤离人员或其他杂物;2.3运输设备试车时,班长沿运输设备查看至机尾并发出二短一长点铃信号,接到信号后岗位司机在检修项目负责人的监护下发出一短一长2次点铃信号,班长在机尾发出一短一长2次回铃,方可试车。

2.4岗位司机进行试车操作,试车应为点动开车,检修项目负责人和当班班长确认设备无异常后,再进行一次试车操作(运输设备必须重新进行点铃操作),设备需运转20分钟,确保设备运转正常后停止设备,将转换开关打至集控位,并汇报调度室检修试车正常。

2.5若发现设备运转异常,检修项目负责人继续进行设备检查、维护,如需再次检修,需按照相关规定及制度进行。

同时岗位司机汇报调度室设备异常情况。

3.生产开机前试车作业3.1日常停产检修或大检修后,未进行检修的设备在调度室的安排下,岗位司机进行生产开机前的试车工作;3.2岗位司机首先巡查设备,确保设备状态正常,同时检查相关设备及设备内部有无人员或其他杂物;3.3运输设备试车时,岗位司机汇报当班班长,由班长指定人员到达机尾并发出二短一长点铃信号,通知机头人员可以试车。

岗位司机在机头发出一短一长2次点铃信号,等待机尾回铃,回铃为一短一长2次回铃。

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内层制程试车作业管理规范Corporation standardization office #QS8QHH-HHGX8Q8-GNHHJ8内层制程试车作业规范一、目的---------------------------------------------------------------1二、说明---------------------------------------------------------------3三、设备点检项目----------------------------------------------------4四、测试项目----------------------------------------------------------5一、目的测试新进设备品质和制程能力,为现场量产做准备二、说明内层试车计画包含伍个主要设备,清单如下:(1)裁板机(2)前处理线(3)压膜机(4)曝光机(5)後处理制程试车计画由相关制程负责PE编制,交付工程部、制造部及品保部会签,会同相关制程的各部负责人共同配合执行。

测试板与小量产规定(1) 测试板数量: 20-100PNL ,尺寸:接近设备最大设计尺寸,板厚:无特殊要求时40-60mil.(2) 小量产数量 3-10 lot(150PNL/lot)三设备点检项目四测试项目测试方法1.内层前处理水破实验的测试方法:取39 mil 1/1 20"×24"基板走过前处理线後,浸入水中然後拿起,将板前处理微蚀量测试方法:1将板厚39mil 15cm×15cm裸铜基板作为测试板,将其用水洗净,置於烤箱内以120℃烘烤15分钟.2烘烤後取出基板并冷却3分钟,称重至小数点以下四位,记录为W1.3将测试板与生产板一起走完微蚀槽,注意不可与量产板重叠.4微蚀完毕後将基板取出水洗,然後置於烤箱内以120℃烘烤15分钟,并冷却3分钟,称重至小数点以下四位,记录为W2..5 Etch count=( W1-W2) ×92900/(2××A)单位:u"W1、W2单位:克 A:测试板面积 A的计算:当规格为10cm×10cm时,A为1002.内层压膜制程干膜对准度测试目的: 测试压膜机压膜对准能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”裸铜基板检验工具: 量尺检验标准: 干膜距板边2±1mm测试方法: 取测试用基板走过压膜线後,测试干膜与板边间距板出温度测试目的:测试压膜机压膜的温度控制能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”裸铜基板检验工具:红外线测温器检验标准: 60±5℃测试方法: 取测试用基板走过压膜线时过压膜线15cm处量测基板表面左中右三点温度3.内层曝光制程曝光能量测试目的: 测试灯管的能量是否达到要求及干膜的最佳曝光能量范围测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 21格曝表,测试底片检验标准: ±格测试方法:1准备好测试板,进行内层前处理作业2准备"内层干膜,并架到压膜机上,确认压膜机的条件无误後将前处理完毕後的测试板进行压膜作业3准备一的透明底片,以遮光胶带固定於曝光台面上,再将曝光格数底片固定於透明底片上,固定时须注意曝光格数底片的药液面必须接触测试板的干膜。

4将压膜完毕的测试板放於架好的曝格表的曝光机中,确认曝光机条件无误,曝光完毕後将测试板静置15分钟以上5确认内层显影段操作条件及显影液是否正常後将曝光并静置完毕的测试板进行显影作业,在水洗後将测试板取出6观察显影後的测试板,其显示格数即为受测曝光机於制作测试板的实际曝光格数CCD对位精准度测试目的: 测试曝光机对位能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 金相显微镜检验标准: 偏差在1mil以内测试方法: 将测试板依内层流程走完DES线後,选取一面含有PAD,另一面有对应的空心圆的区域切下做成切片,把PAD恰好磨去一半时量测其圆心与其对应空心圆圆心的距离,即为测出的CCD对准度4.内层DES制程显影点测试目的:测试显影线显影效果是否正常测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具:量尺,秒表检验标准: 50%±5%,测试速度5.0M/MIN测试方法:1准备基板10PNL,做前处理、压膜後待用2将测试板放入显影段,测试板放置时须紧密连靠,此时记录第一片板子经过显影槽的时间,以米尺量测显影槽的长度,推算出实际速度与设定速度是否符合3第一片板子出显影段时,立即将显影液喷压关闭,待走完显影段的水洗後,将板子取出并按放板的顺序依序排列在显影槽出板处4依测试板的显影程度,於开始有显影不净处做记录,以米尺量测并除以显影槽的全长,计算出显影点。

5显影点计算方式:[1-(显影乾净的有效长度/显影槽有效长度)]×100%6显影点未达标准时,检视显影槽的喷嘴、喷压及速度,若有异常则调整至标准值。

氯化铜测试测试目的: 测试DES线显影、去膜是否乾净测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具:氯化铜,秒表检验标准: 无亮点铜面存在测试方法:1准备欲确认的测试板,将其浸泡於氯化铜溶液槽中,浸泡5sec後取出,并立即以水洗将板面残留氯化铜溶液冲净2观察测试板的板面情形,是否氧化的亮点残筒存在,此即为观察有无scum残留的氯化铜测试解析度/附着力测试目的: 测试内层曝光显影能达到的解析与附着能力测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 测试底片,50倍高脚目镜检验标准: 75μm /75μm测试方法:1确认制程参数条件无误後再进行测试2线距判断方式:测试板制作完成後进行量测,将有短路的区块标出,找出短路之处後以100倍高脚镜判断其短路原因3线宽的判断方式:线路不变形的最小线宽蚀刻点测试目的: 测试蚀刻段蚀刻效果是否正常测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具:量尺,秒表检验标准: 70%±5%,测试速度5.0M/MIN测试方法:1准备基板、依现场条件做至前处理完毕後待用2将测试板依次放入蚀刻段,并记录第一PNL从进入到出来的时间,算出实际的速度以便与设定速度作比较3当第一PNL测试板出蚀刻段时立即关闭喷压,待走完水洗後,将板子取出并按放板的顺序依序排列在蚀刻段出板处4依测试板的蚀刻程式,观察开始有蚀刻不净处,并量出长度,再除以蚀刻段的全长,计算出蚀刻点。

5蚀刻点计算方式:[1-(蚀刻乾净的有效长度/蚀刻段的有效长度)]×100%6蚀刻点未达标准时,检视蚀刻槽的喷嘴、喷压、速度与药液,若有异常则调整至标准值。

蚀刻均匀性测试目的: 测试蚀刻段蚀刻是否均匀测试材料: 39mil 2/2 20”×24”测试板检验工具: MRX量测仪,PP纸检验标准:10%↓,测试速度5.0M/MIN测试方法:1依内层板流程至前处理(微蚀槽不开),把基板表面均分成25个区域,以MRX量测仪量测每一区域的铜厚,并计算其平均值为A3内层後处理蚀刻段共有3槽,测试其蚀刻均匀性时需分3 次1)测试第一槽时,将2、3槽关闭2)测试2、3槽时方式同上,须关闭其余2槽4蚀刻完毕後(水洗完毕)把PP垫盖上,以MRX量测每PP上每一空格处蚀刻後的残铜厚度,并计算其平均值为B5计算其蚀刻均匀性U%,计算公式如下:U% =[R/2(A-B)]×100% 其中R值为同一面咬蚀量的最大值与最小值的差异6未达标准,在准备新的测试板上重复上述步骤,直至均匀性达到13%以下为止蚀刻因数测试目的: 测试蚀刻段蚀刻的侧蚀情况测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 测试底片检验标准: 3↑测试方法:1确认制程参数条件无误後再进行测试2把板子走完DES线後做切片,量测线路上下线宽,厚度,并量测底片设计之线宽计算蚀刻因数,上喷下喷都需量测 EF=H/[(A-B)/2]3若有未达标,则进行分析(可能原因:喷嘴,喷压,角度,药液等)并进行调整去膜点测试目的: 测试显影线去膜效果是否正常测试材料: 39mil 1/1 20”×24”测试板检验工具: 量尺,秒表检验标准: 40%±5%,测试速度5.2M/MIN测试方法:1准备基板10PNL,做前处理、压膜,用透明底片对其进行曝光静置15分钟後待用2将测试板放入去膜段,测试板放置时须紧密连靠,此时记录第一片板子经过去膜槽的时间,以米尺量测去膜槽的长度,推算出实际速度与设定速度是否符合3第一片板子出去膜段时,立即将去膜液喷压,传动关闭,打开去膜槽的上盖板,观察去膜情况4依测试板的去膜程度,於开始有去膜不净处做记录,以米尺量测并除以去膜槽的全长,计算出去膜点。

测试完毕後,打开喷压,传动,将测试板取出5去膜点计算方式:[1-(去膜乾净的有效长度/去膜槽有效长度)]×100%6去膜点未达标准时,检视去膜槽的喷嘴、喷压及速度,若有异常则调整至标准值。

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