高真空泵浦简介
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•TMP的構造及特長
・回転体はタービン翼とネジ <1>轉子： 部からなる複合型。 <2>葉片間距與寬度比 ・取付け方向は全方位自由 <3>葉片與轉動盤面之角度 な、５軸制御形磁気軸受を <4>壓縮級的數目 採用。
ROTOR為一體成型
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•PUMP的排氣原理(1)
例：Ar 平均速度： 390m/s(15℃)
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•DP的原理
利用高分子量高速运动之蒸气分 子，经由碰撞把动 量转移给待抽气体，赋予被抽气体单一方面的动量， 并将之排往较高压力之区域。由帮浦底部蒸发的油蒸 气往上流动，在每一级的环状喷嘴处以超声速速度 (Supersonic Speed)向下喷射，蒸气流离开喷嘴后， 略为散开，形如伞状。由帮浦上方填空室扩散而至之 气体分于被油蒸气碰撞后，往下移动至较高之压力区 域以达到压缩作用，亦即抽气效果，油蒸气最后到达 冷卸之帮浦机体内部并被凝结(Condensed)，且往下 流回帮浦油槽。单一级喷嘴内油蒸气及被抽气体分子 的运动。通常扩散帮浦有3至4个压缩级，待抽气体由 最顶端一级逐级被压缩，以至最后出前级帮浦(机械帮 浦)抽除。
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•cryopump的点检
① 冷冻机运行是否平稳。 ② 马达旋转是否为顺时针方向。 ③ 温度、真空度是否正常。 ④ 泵体外侧是否有冷凝水存在, 否 则, 需进行再生。 ⑤ H2蒸汽压温度计在室温状态(即 暴露在大气中) 的值是否在4.7～5.7K 间。否则, 温度计可能有问题。
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24th March. 2010
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項目
1. 高真空定义以及高真空泵浦分类
2. Turbo Pump的介紹以及使用上的注意事項
3. DP的介紹以及使用上的注意事項
4. 低温泵浦介紹以及使用上的注意事項
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高真空泵浦分类
1.高真空定义 压力在1×10 -3 到1×15 -6 毫米汞柱范围内的真空
2.高真空分类 1、分子泵 2、扩散泵 3、低温泵
ROTOR 翼 STATOR 翼 ROTORの周速度 250 ～ 400 m/s.
依據ROTOR的旋轉運動,給予氣體分子朝特 定方向(排氣口端)運動的能量
•PUMP的排氣原理(2)
粘滯流及分子流
λ：平均自由徑
粘滯流：
藉由氣體分子間反覆地相互碰撞推擠而 移動｡
分子流：
藉由氣體分子反覆地向管壁衝撞及 反射而移動之｡
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岛津分子泵使用注意事项
当遇到意外断电时，分子泵会发生报警（POWER FAILURE），此时分 子泵会自发电以维持内部旋转体保持悬浮状态，同时减速运行 （BRAKE），在减速到一定转速时，自发电停止，旋转体掉落（TOUGH DOWN），由保护轴承支撑继续旋转减速直至完全停止。在分子泵旋转 体掉到保护轴承上时，分子泵会发出比较大的声音，这种情况是正常的。 遇到意外断电时，请设法尽快恢复供电，如能在5分钟之内恢复供电，则 不会发生TOUGH DOWN，旋转体会恢复悬浮状态，重新启动也可以进行。
ターボ分子ポンプは､分子流れのこ の特性を利用して排気します｡
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•磁浮控制原理(1)
依SENSOR電壓的變動來控制供給磁石的電流,使磁浮體保持在中心位 置.
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•感應型SENSOR(2)
旋轉體的位置若有變動,線圈會感應而隨之變動.此變動是指 電能轉換成動能.
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•磁浮控制單元(3)
電磁石 変位 SENSOR
分子泵运转之前请确认分子泵安装稳妥，电缆线正常连接并锁紧
分子泵在通电后及正常运转时内部旋转体是由电磁力支撑悬浮的，请 尽量不要碰撞泵体、控制器和缆线 当换靶或做设备保养需要停止分子泵时，请先给出停机指令 （STOP），待分子泵减速结束，ROTATION指示灯熄灭（液晶显示 屏上显示STOP及转速显示为0%），确认分子泵已经完全停止，才可 以关掉电源。如需要拆下缆线，在如前述正常停止分子泵并关掉对应 的控制器电源后，才可以拆下与分子泵对应的缆线。分子泵在正常运 转时绝对不能拔下电缆插头 当需要对腔体恢复大气时，务必等分子泵完全停止时再进行放气
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•Trouble shooting(1)-Action
請先確認controller 面板上的 alarm No. ↓ 參照使用說明書確認{可能的原因} 及{處理方法} ↓ 依據處理方法將trouble原因去除
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岛津分子泵使用注意事项
请相关人员仔细阅读并充分理解岛津分子泵及其控制器的操作说明书
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•cryopump的结构及特性
利用低温表面冷凝 气体的真空泵，又 称冷凝泵。低温泵 是获得清洁真空的 极限压力最低、抽 气速率最大的真空 泵
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•cryopump的原理
驱动He气通过压缩机的压缩后,以高压形态供给冷冻 机,将蓄冷器和气缸的室温侧连在一起,借助切换阀接在He气 压缩机的高压与低压侧。此外,再将蓄冷器和气缸切换到低 温侧,气缸内有一个活塞连杆,借助曲柄连杆机构上下移动。 为使G-M循环冷冻机更小型化紧凑化,在活塞杆内采用了蓄 冷器构造 用活塞密封被隔气缸内的压缩气体, 通过活塞的上下移动,使 里面的被隔气体膨胀,就可使其吸收外部的热量。如果,从外 部传入的热量较少或者根本没有, 处于断热状态,气体本身就 会降温。这种吸收外部热量下降自身温度的过程,从能量守 恒的角度来分析,正好与活塞对外做的功相等。这就是制冷 的基本原理。
当发生人为误操作导致断电时，请及时恢复供电，需要分子泵继续运转时， 请按RESET按钮（按第一下，报警蜂鸣器消音，按第二下，报警复位， 报警指示灯熄灭），之后给出启动（START）指令。
分子泵正常运转时，请尽量避免在泵体及控制器附近进行会产生比较大的 震动、噪音和磁场的作业，例如冲击钻作业等
每日检点分子泵及控制器的运行状况，如听分子泵声音，查看控制器LCD 的显示信息或监视软件上的运转参数，检查真空度和冷却水状况。
ROTOR(SHAFT)
根據SENSOR檢測出旋轉體位置的訊號,透過磁石,對SHAFT的 另一端做吸引的動作,使磁浮對象浮到中心位置.
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•五軸控制,全方位安裝
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•Rotor,Stator及其他零件間的空隙
因Rotor與T/D Bearing的間 隙為最小.藉此可防止Rotor 或Stator與其他零件相互接 觸.
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1.cable 要確實安裝插入
Pump,controller及cable間有互換性｡ 在做更換時,請務必確認cable connector有確實安裝好.
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2.請在規定的容許壓力下使用.
process gas
MF C
吸気口圧力 : 67 Pa* – 2003LM
process chamber
200 Pa* – 403LM
venting gas (inert gas) less than 1500SCCM
throttle valve main valve bypath valve
排気口圧力: 270 Pa* - 2003LM 400Pa* - 403LM
purge gas(inert gas) 20～30SCCM
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•cryopump的再生
1.1 再生时间 ① 根据运转周期, 定期进行再生。 ② 制冷能力降低时(温度达不到20K 以下; 真空度差), 进行再生。 1.2 再生种类 ① 通常再生: 3～8h。 ② 急速再生: 当泵内含有毒性、腐蚀性、可燃性气体以及大量的O2、 水时,泵停止后,进行短时间再生。 1.3 急速再生的实施 ① 关闭高阀, 将加热N2或室温N2气由Purge Gas口导入泵腔, 被稀释 的毒性气体就会通过排气阀放出。这时, 冷板的温度若达不到77K以上, 泵 室的压力就上不去, 气体也就无法释放出来, 而又会被凝缩在冷头上。 用N 2 进行冲洗时, 最好采用专用的放气管道来排出N2气。不得已要 从安全阀释放时, 由于易产生真空泄露, 所以, 有必要对安全阀进行清洗。 ② 用加热毯进行加热。但要注意加热时, 温度不能超过70℃。否则, 会 损坏冷凝泵。
TMP
Dry pump
venting gas (inert gas) less than 1500SCCM
fore valve
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3.其他的使用注意事項
如有以下的狀況發生時會導致pump故障,故請避免之. a)避免抽含有Ga(镓) Gas的氣體｡（如有此需求,請與SMZ連絡） b)避免抽固態異物 c)避免堆積多量之反應生成物 d)避免給予強大的外部振動(許容最大値 : 0.1G/50Hz ) e)避免於強大的磁場中運轉 (許容最大値 : 半径方向3mT 軸方向 15mT) f)避免放射線干擾 (許容最大値 : 5000rads) g)避免Plasma侵入 h)避免使用非規定範圍的電壓,Purge流量,壓力,冷却水量等. i)避免反覆地大氣突入
•cryopump的故障查找
4.1 真空不良可能产生的原因。 ① 真空安全阀泄露。 ② 冷板安装不正确、劣化、再生不良。 ③ 前级泵抽气时间过长, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。 ④ 制冷温度达不到20K以下: a1冷冻机制冷能力劣化; b1压缩机压缩 能力降低(很少发生) ;c1He气压力过低; d1He 气充填压力过高。 ⑤ 若仍然不行,则可能是冷冻机的相位角有偏差。这时,需按照以下 步骤重新进行调整(参照图4): a1首先, 使活塞连杆处于顶部死区Ê 的位置 (偏心轮最高点) ; b1然后, 把偏心轮逆时针方向旋转30°(É 的位置) ,使低 压阀闭合,高压阀处于闭合/开启临界状态。此时, 臂式阀杆处于悬空状态, 即, 没有接触阀芯。用手伸进视镜窗孔中转动二个大轴承, 应感到很轻; c1若仍然感到很重, 则可拧掉二侧的堵头, 通过调整臂式阀杆的调整螺钉 来加以修正。使低压阀闭合, 高压阀处于闭合ö开启临界状态(靠近高压管 的一侧为高压阀。即, 第二个臂杆)。
泵浦知识及选用程序
3、转速：
泵的转速是指泵轴每分 钟回转数，用n表示，单位 是r/min。
4、功率和效率：
泵的输出功率又称有效功率，指泵单 位时间内实际传给液体的能量，用Pe表示:
Pe=ρgQH≈（Pd W
Pd P
---- 泵的排出压力
---- 泵的吸入压力
-P
）Q s
泵的输入功率也称轴功率 ，是指泵轴所接受的功率，用P 表示：输出功率和输入功率之 比称为泵的效率：
二、泵的正常工作条件：
1、泵正常吸入条件： 泵必须能够形成足够低的吸入压力，其值由吸入条件 所决定，但泵吸入口处的吸入真空度不得大于泵的允许吸 上真空度，以确保泵内最低吸入压力不低于所排送液体在 该温度的饱和蒸汽压力PV，否则液体就会产生气穴现象，使 泵不能正常工作。主要影响因素有：吸入液面压力、吸高 、吸入管阻力及液体的温度等。 2、泵正常排出的条件： 泵必须能产生够高的排出压力，其大小取决于排出条 件，全容积式泵的排出压力不得超出额定排出压力，否则 可能造成原动机过载，甚至泵的密封或部件损坏。主要因 素有：排出液面压力、排出高度和排出管阻力等。
2、工作噪音太大：
（1）液体噪音，是由于漏入空气或产生气穴现象而引 起，后者可见前条（4）~（7）项。 （2）机械噪音，可能是泵与泵动机对中不良，滚动轴 承损坏或松动，安全阀跳动，齿轮磨损严重，而啮合不 良，泵轴弯曲或因加工、安装不良引起泵内机械摩擦等 原因。
超高真空工作原理
超高真空工作原理超高真空是指在约10^-6 Pa以下的极低气压下进行工作的一种状态。
在超高真空条件下，气体分子数非常稀少，气体压强几乎可以忽略不计，因此可以排除气体分子对实验、设备或工艺产生的影响，从而实现一些特殊的研究或应用。
超高真空工作原理主要包括两个方面的内容：真空的获得和维持、以及真空环境下的物理与化学性质。
一、真空的获得和维持在超高真空条件下，空气中的气压要远低于常压状态。
真空技术通常采用以下几种方式来实现超高真空获得和维持。
1. 抽气装置与泵浦技术真空系统中常使用抽气装置和泵浦技术来实现气体的抽除，从而降低气压。
常见的抽气装置包括机械泵、分子泵、离心泵等。
机械泵通过机械方式抽出大部分气体，分子泵则利用高速分子碰撞将气体分子抽出，离心泵则通过离心力将气体分子抽走。
这些泵浦技术的结合使用可以有效降低气压，实现真空。
2. 清洁和封闭系统超高真空要求系统的密封性非常好，以防止气体的泄漏。
因此，在真空系统设计和使用过程中，要注重材料的选择和处理，以及对系统的清洁和封闭工作的重视。
采用合适的材料可以防止气体穿透，并且经过良好的清洁和密封处理，可以减少气体泄露的可能性。
3. 辅助技术超高真空环境下，还需要一些辅助技术来维持真空的状态。
例如，加热技术可以通过加热材料驱除吸附在材料表面的气体分子；冷却技术可以将气体分子凝结或冷却到低温状态，进一步降低气压。
此外，还有灌注技术、气体慢泄技术等可以实现维持超高真空状态的辅助方法。
二、超高真空工况下物理与化学性质超高真空环境下，气体分子的数量非常稀少，因此气体分子间的相互作用相对较小，有许多特殊的物理和化学性质。
1. 到达平衡状态的时间延长在超高真空条件下，气体分子间的碰撞次数减少，相应的平衡状态的达到时间相对较长。
这使得部分实验需要更长的时间来进行，一些研究也因此变得更加复杂，需要更加耐心的探索和实验。
2. 电子运动的特殊性在超高真空环境下，电子受到气体分子的碰撞相对减少，其自由程增大，因此电子的运动更稳定、更顺畅。
真空Pump简介
什么叫真空帮浦
• 凡能將某一指定腔體(Chamber)內之氣體 抽除,並減低其氣體分子數目,已達到某種 真空狀態之機件均稱為真空幫浦。
泵浦排氣方向
泵 浦
低壓端 氣體流動方向 高壓端
0.001 Atm
1 Atm
PUMP 分类（结构原理）
Vacuum Pump
排氣式Pump
吸附式Pump
Q&A
3,沿軸向排氣,氣流路徑短,沉積問 題較小
缺點
1,需串聯多級以達高 壓縮比 2,需多個溫度控制器,防顆粒沉積及 幫浦過熱 3,噪音大.震動大 1,需串聯多級以達高壓縮比 2,維修技術層面較高 3,具突然分段結構,有沉積卡死危險 4,噪音大.震動大 1,轉子形狀複雜,加工製造困難 2, 間隙小,對溫度控制要求高
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1
10-3
10-7
真空機械幫浦
波義耳定律 : P1V1=P2V2 當溫度固定時,體積由V1變為V2,壓力亦從原來之P1變為P2, 由此可知壓力與體積間的改變是存在著一種反比例關係
進氣:利用抽氣空間容積膨脹吸氣 傳輸:以密封隔絕運動機構傳輸氣體 壓縮:利用抽氣空間容積縮小,使氣體壓力增大 排氣:將壓縮氣體排出幫浦本體
螺旋式泵浦
渦卷式泵浦
為日本Iwata製造之 迴轉式真空Pump， 僅適用於小排氣量， 無任何污染及水氣 之場合使用。
各型乾式幫浦優缺點比較
魯式 幫浦
爪式 幫浦
優點
1,加工製造精度普通 2,維修技術層面普通
1,單級壓縮比大,可用較少級數 2,加工製造精度普通
螺旋式 幫浦
1,轉子構造簡單
2,單級即可達高壓縮比
正排氣Pump
動力式Pump
各种真空泵的工作原理
各种真空泵的工作原理真空泵是一种用于将容器内的气体或蒸汽抽出，从而产生真空的设备。
它在许多工业领域中广泛应用，如化学工业、电子工业、医疗设备等。
不同类型的真空泵有不同的工作原理，下面将介绍几种常见的真空泵及其工作原理。
1. 旋片泵（Rotary Vane Pump）旋片泵是一种常见的机械真空泵，它通过旋转的叶片在泵腔内产生真空。
工作原理如下：泵腔内的叶片与泵腔壁之间形成密封腔，当泵腔旋转时，气体被吸入密封腔，然后被压缩和排出泵腔。
这样循环往复，不断抽出气体，从而产生真空。
2. 涡旋泵（Turbomolecular Pump）涡旋泵是一种高速旋转的分子泵，它通过分子的撞击和反弹来抽取气体。
工作原理如下：涡旋泵内部有多个高速旋转的叶轮，当气体进入泵腔时，叶轮的旋转会使气体分子发生高速运动，从而撞击泵腔壁上的另一侧叶轮。
这种撞击和反弹的过程将气体分子推向泵腔的出口，从而将气体抽出。
3. 根式泵（Roots Pump）根式泵是一种容积式泵，它通过两个旋转的叶轮之间的体积变化来抽取气体。
工作原理如下：根式泵由两个相互啮合的叶轮组成，当叶轮旋转时，它们之间的容积会不断变化。
在吸气阶段，容积增大，气体被吸入；在压缩阶段，容积减小，气体被压缩并排出泵腔。
通过这种循环，气体被连续抽出，从而形成真空。
4. 离心泵（Centrifugal Pump）离心泵是一种利用离心力将气体抽出的泵。
工作原理如下：离心泵内部有一个高速旋转的叶轮，当气体进入泵腔时，叶轮的旋转会产生离心力，将气体推向泵腔的出口。
这样，气体被连续抽出，从而形成真空。
以上是几种常见的真空泵及其工作原理。
不同类型的真空泵适用于不同的应用场景，选择合适的真空泵可以提高工作效率和产品质量。
在实际应用中，还需要考虑泵的抽气速度、抽气量、最终真空度等参数，以及泵的维护和保养等因素。
通过合理选择和使用真空泵，可以满足各种工业领域的真空需求。
Turbo Pump基础知识
油蒸气返流
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操作涡轮分子泵注意事项(一)
能在前级泵工作时（前级管接 通）和真空室处于真空状态时将涡轮 分子泵停掉，否则将会使油蒸气迅速 从前级管返到泵的清洁端 分子泵系统在停机充干燥气体前，一 定要先将分子泵却水关闭，且要从 泵的高真空端充气。决能从泵的前 级管进充气
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操作涡轮分子泵注意事项(二)
选择系统前级泵的大小时，应使涡轮 分子泵的前级保持在分子状态下 能让涡轮分子泵在低于额定工作转 速下运 分子泵入口应装设防护网，以避免异 物进入泵内损坏泵转子和定子叶片
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常见故障及排除方法(一)
故障 原因 排除方法
1、重新选配合适的 前级泵 2、查处并消除漏处 3、对泵体进行烘烤 除气，烘烤温度不 应高于150℃
1、前级泵不匹配， 抽气量不足 2、系统漏气 极限真空度低 3、泵体出气
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常见故障及排除方法(二)
故障 原因 排除方法
1、泵在磁场中高速 1、避免泵在磁场中 运转，产生涡流导 运转，如必须在磁 场中运转最好使用 致叶片发热变形 运行中泵体及 隔磁材料，使其磁 转子发热，涡 场磁通密度小于30T 轮叶片变形 2、检查水冷或风冷 2、冷却系统漏气 系统，使之正常工 作
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常见故障及排除方法(三)
故障 原因 排除方法
1、装换保护网 1、泵口保护网损 坏，使泵内进入碎 涡轮叶片损坏 屑杂质 2、运转中泵口突然 2、设置自动保护装 置，在突发事件中 暴露大气 能自动切断电源
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常见故障及排除方法(四)
故障 原因 排除方法
泵浦知识
2、叶轮式泵：靠叶轮带动液体高速旋转而使流过叶轮的液 叶轮式泵： 体的压力能和动能增加。（离心泵、 。（离心泵 体的压力能和动能增加。（离心泵、轴流泵 和旋涡泵） 和旋涡泵） 3、扩散泵： 靠工作流体产生的高速射流引射需排送的流体， 扩散泵： 靠工作流体产生的高速射流引射需排送的流体， 通过动量交换使其能量增加。 通过动量交换使其能量增加。
泵浦知识
主讲: 鲍光耀 主讲:
:创造革新 创造革新
:追求完美 追求完美
:团结合作 团结合作
:远见卓识 远见卓识
编者：鲍光耀
泵浦知识
内容简介
1、泵浦的定义与发展史 2、泵浦工作原理与保养要点 3、泵浦选型的原则与步骤
:创造革新 创造革新
:追求完美 追求完美
:团结合作 团结合作
:远见卓识 远见卓识
编者：鲍光耀
按结构可分为单级泵和多级泵 按输送液体的性质可分为水泵、 按输送液体的性质可分为水泵、油泵和泥浆泵等
:创造革新 创造革新 :追求完美 追求完美 :团结合作 团结合作 :远见卓识 远见卓识
编者：鲍光耀
泵浦知识
1、容积泵： 容积泵： 靠工作部件运动造成工作容积周期性地增大 和缩小而吸排液体，靠挤压使液体压力增加。 和缩小而吸排液体，靠挤压使液体压力增加。 按运动方式分为往复泵和回转泵 回转泵） （按运动方式分为往复泵和回转泵）
:追求完美 追求完美
:团结合作 团结合作
:远见卓识 远见卓识
编者：鲍光耀
泵浦知识
一、外齿轮泵的工作原理
齿轮的齿顶的两端面分别被泵体和前后端盖 所包围，由于相啮合的轮齿A 分隔， 所包围，由于相啮合的轮齿A、B、C分隔，吸入 和与4排出腔5隔离。 腔4和与4排出腔5隔离。当齿轮按图示方向回转 渐退出啮合， 时，齿C渐退出啮合，其所占据的齿间的容积逐 渐增大，压力相对降低， 渐增大 ， 压力相对降低 ， 于是液体在吸入液面 上的压力作用下，经吸入管从吸入口4 上的压力作用下，经吸入管从吸入口4流入该齿 间。 随着齿轮的回转， 随着齿轮的回转 ， 一个个吸满液体的齿间转 过吸入腔，沿泵壳内壁转到排出腔， 过吸入腔 ， 沿泵壳内壁转到排出腔 ， 当它们渐 次重新进入啮合时， 次重新进入啮合时 ， 充满齿间的液体即被转齿 不断挤出，并从排出口连续排出， 不断挤出 ， 并从排出口连续排出 ， 由于齿轮始 终紧密啮合， 终紧密啮合 ， 而泵体内壁与各齿顶以及端盖与 齿轮端面的间隙都很小。 齿轮端面的间隙都很小 。 故排出腔中压力较高 的液体不会大量漏回压力较低的吸入腔。 的液体不会大量漏回压力较低的吸入腔。 :创造革新 :追求完美 :团结合作 :远见卓识 创造革新 追求完美 团结合作 远见卓识
超高真空技术-气体捕集泵
四、影响钛升华泵抽速的因素
主要由升华速率决定。若吸气面足够大，在 一定压强范围内，升华速率高，则泵的抽速 大。当然膜沉积速率与排气量要相称，否则 第一层钛膜吸气尚未饱和，第二层又覆盖上 去，即使升华率高，抽速也增大不了多少。 为了维持恒定的抽速，减少钛的消耗，需要 对升华速率进行调节。当真空度高时要把升 华速率降低。吸气面也是决定泵性能的重要 因素之一。吸气面越大，泵的抽速越大。但 泵口流导限制了泵的抽速。对室温下空气， 泵口最大流导是11.7L／cm2·s。
分子筛用量(g)；当 n>17 时，用(1)式计算抽速S，当
n<17 用(2)式计算S，系数K按表1选取。
n 2 4 6 8 10 14 17 K 1.75 2.85 3.35 3.65 3.75 3.99 4.0
四、分子筛吸附泵 在系统中的位置和作用
1）做主泵
2）做中介泵：吸附阱
真 空 室
主 泵
分 子 筛
机械泵
作用：防止油蒸汽进入真空室
3）做预抽泵：
把某一容器从大气压抽到一定真空度
概述：
钛升华泵
过渡族金属和难熔金属：钛（Ti）、锆 （Zr）、钽（Ta）、铌（Nb）、钼 （Mo）、钨（W）、钍（Th）、钙 （Ca）、钡（Ba）等在一定的温度范围
内对活性气体有很好的吸附和吸收功能
Ti： 化学性质稳定，不易燃烧爆炸、 易于加工、蒸发、价格便宜
超高真空技术
合肥工业大学 机械与汽车工程学院真空教研室
干蜀毅
气体捕集式真空泵
气体捕集式真空泵是一种 使气体分子被吸附或凝结 在泵内表面上的真空泵
气体传输泵：有来有去 气体捕集泵：有来无去
气体捕集泵种类
1.吸附泵，它是依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的 物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。例如分子筛吸附 泵。
各种真空泵的详细介绍
各种真空泵的详细介绍真空泵是一种用于将物体内的气体抽出，形成真空环境的装置。
根据不同的工作原理和应用场景，真空泵可以分为很多不同类型。
下面将详细介绍几种常见的真空泵。
1.机械泵机械泵是真空系统中常见的一种泵，它通过机械运动将气体抽出。
机械泵的工作原理主要分为离心力泵和吸收泵两种类型。
离心力泵通过高速旋转的叶片产生离心力，将气体抽出。
吸收泵则利用内部连续排列的叶片，使气体在叶片间连续收缩和膨胀，从而抽出气体。
机械泵广泛应用于实验室、工业和医疗设备等领域。
2.分子泵分子泵是一种工作在高真空范围内的泵，主要用于抽出稀薄气体。
分子泵通过分子碰撞的方式，将气体分子引导到泵的出口，达到抽出气体的目的。
分子泵通常具有高抽气速率和低抽气压力的特点，适用于高真空要求的场合，如半导体制造、光学仪器等。
3.鼓风泵鼓风泵也称为根式泵，是一种广泛使用的真空泵。
它通过齿轮传动和内部腔体的吸入和排出，实现气体的抽出。
鼓风泵具有结构简单、体积小、噪音低的特点，适用于实验室、化工、食品等行业。
鼓风泵还可以与其他真空泵配合使用，提高系统的抽气速率和抽气效果。
4.旋片泵旋片泵是一种离心泵的变种，利用旋转的叶轮来抽出气体。
它通过离心力将气体推向泵的出口，并通过连接管道排出系统。
旋片泵通常用于高真空抽气系统，如电子显微镜、质谱仪和光谱仪等。
旋片泵具有体积小、噪音低、维护方便等特点。
5.涡轮分子泵涡轮分子泵是一种利用离心力和分子阻尼的真空泵。
它由一个高速旋转的涡轮和静止的固定轮组成，通过旋转涡轮来抽出气体。
涡轮分子泵主要用于高真空要求的场合，如核磁共振仪、电子束物理仪器等。
涡轮分子泵具有高抽气速率、高真空和低振动噪音的特点。
以上所述的只是一些常见的真空泵类型，实际上还有其他类型的真空泵，如液环泵、吸附泵、离心泵等。
每种真空泵都有自己的工作原理和应用场景，选择合适的泵对于实现高效的真空系统至关重要。
培训系列之7(杨乃恒)：高真空与超高真空获得设备
Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China
泵的实际抽速小于理论抽速，并与入口压
强有关。泵口在一个有限的工作压强范围 内工作，超过此范围抽速减少到零。目前 还没有一种泵能从大气压到超高真空的整 个压强范围内工作。如工作在高真空区域 内就称作高真空获得设备，或工作在超高 真空区域的就称超高真空获得设备。由于 工作压强范围不同就出现了各种不同的真 空获得设备。
Vacuum and Fluid Engineering Research Center of Northeastern University, China
普通型扩散泵与机械泵组成的机组可使 系统压强降到10-5Pa，即达到高真空状态。 改进型扩散泵与机械泵组成的机组，可使 系统压强降低到10-8Pa，即超高真空状态。 这说明一种泵有可能既是高真空获得设备， 又是超高真空获得设备。现代的离子泵、 升华泵、吸附泵和低温泵等，能使很大的 被抽系统抽到超高真空状态，且可以满足 不同气体种类的要求。 涡轮分子泵与机械泵的组合，既能获得高 真空也能非常迅速地抽到10-8Pa的超高真 空。 本节课介绍各种高真空泵和超高真空 泵的性能和使用规则
p2 exp( uL D) p1
1
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式中下标1为被抽气体，2为抽气流体。由
此可知，较轻的气体压缩比是很低的。
M1 M 2 0.5 1 2 2 3 D ( RT ) ( ) 1/2 8(2 ) M 1M 2 2
一般真空之区分范围
CHENG SHIU UNIVERSITYCHENG SHIU UNIVERSITYP.1Vacuum Technology一般真空之区分范围：1粗真空rough vacuum：1 atm 1 torr。
2中??真空medium vacuum：1 torr 10-3torr。
3高真空high vacuum：10-3torr 10-7torr。
4超高真空ultra-high vacuum：10-7torr以下。
真空帮浦vacuum pump之作用：排气式将低气压处之气体排送至高气压处，??只应用一个pump抽气，通常将系统内之气体直接排出到系统外面的大气中，??应用??阶段抽气即应用??种??同之pump抽真空，则气体自系统内较低压处被一pump送至较高压处后，再由另一pump抽送到大气中，后者称为前段帮浦fore pump或backing pump，亦称为粗??帮浦rough pump，前者则称为高真空帮浦。
CHENG SHIU UNIVERSITYCHENG SHIU UNIVERSITYP.2薄膜??积之真空系统图：1.??低污染2.缩短基板往返时间经由控制器Mass Flow Controller MFC控制喉阀节??阀??低制程污染??低pump污染前段管??真空计排气高真空帮浦前段帮浦??毒罐CHENG SHIU UNIVERSITYCHENG SHIU UNIVERSITYP.3Pump selection:1. Process vacuum level.2. The properties of the vapors to be handled.3. The pump operate well at the desired process pressure.4. The cost depend on pumping speed liter/s.真空帮浦依其处??被抽气体之方式，可分为??大??：1. 排气式：将真空装置内的气体输送到较高压??的外部而排出。