显示器件设计制作实验报告
液晶显示器实训实验报告

一、实验目的1. 理解液晶显示器(LCD)的基本工作原理和组成结构。
2. 掌握液晶显示器驱动电路的设计与调试方法。
3. 熟悉液晶显示器的接口技术及其与单片机的连接方式。
4. 通过实验验证液晶显示器的显示功能,并实现简单图形和文字的显示。
二、实验原理液晶显示器(LCD)是一种利用液晶材料的光学各向异性来实现图像显示的设备。
它主要由液晶层、偏光片、电极阵列、驱动电路等部分组成。
液晶分子在电场作用下会改变其排列方向,从而改变通过液晶层的光的偏振状态,实现图像的显示。
三、实验器材1. 液晶显示器模块(如12864 LCD模块)2. 单片机开发板(如STC89C52单片机)3. 电源模块4. 连接线5. 实验平台(如面包板)四、实验内容1. 液晶显示器模块的识别与检测首先,对所购买的液晶显示器模块进行外观检查,确保无损坏。
然后,根据模块说明书,连接电源和单片机开发板,进行初步的检测。
2. 液晶显示器驱动电路的设计与调试根据液晶显示器模块的技术参数,设计驱动电路。
主要包括以下部分:- 电源电路:将单片机提供的电压转换为液晶显示器所需的电压。
- 驱动电路:负责控制液晶显示器模块的行、列电极,实现图像的显示。
- 接口电路:将单片机的信号与液晶显示器的控制信号进行连接。
在设计电路时,需要注意以下几点:- 电源电压要稳定,避免对液晶显示器模块造成损害。
- 驱动电路的驱动能力要足够,确保液晶显示器模块能够正常显示。
- 接口电路的信号传输要可靠,避免信号干扰。
设计完成后,进行电路调试,确保电路正常工作。
3. 液晶显示器的控制程序编写根据液晶显示器模块的控制指令,编写控制程序。
主要包括以下部分:- 初始化程序:设置液晶显示器的显示模式、对比度等参数。
- 显示程序:实现文字、图形的显示。
- 清屏程序:清除液晶显示器上的显示内容。
在编写程序时,需要注意以下几点:- 控制指令要正确,避免对液晶显示器模块造成损害。
- 程序要简洁,易于调试和维护。
显示器件制作实验报告

显示器件设计制作实验报告一、实验目的通过实验,了解SED的制作原理和大致工艺流程,掌握加工工艺中的一部分简单操作,加深对显示器制作工艺的认识。
二、实验原理SED基本原理是由电子撞击荧光材料发光。
SED将涂有荧光材料的玻璃板与铺有大量微型电子发射器的玻璃底板平行摆放,而其中的微型电子发射器就是像素。
SED显示技术不需要电子束扫描,它和PDP、LCD一样,都是“寻址显示器”。
SED电子发射源的两级分别连接在驱动电路的扫描极和信号极,当扫描极和信号极同时接通时,发射源发射电子,阳极加速电子,轰击荧光屏完成显示任务。
SED的优点如下:1)由电子撞击荧光粉发光,属于自发光器件,不存在液晶显示的可视角不够和响应时间过长的问题。
2)发光完全可控,不存在液晶显示的背光泄漏或等离子显示的预放电问题,黑色表现力大大提高。
3)发光效率可达5lm/W,使其耗电量只有同规格的等离子和液晶显示器的一半。
4)由于采用与普通电视显像管同样的高压荧光粉,可以达到优于PDP和LCD的色彩饱和度及锐利的图像。
5)器件基本上是平面结构,可以完全采用印刷工艺生产,使生产成本可以做到大大低于PDP 和LCD。
三、SED制作流程1、玻璃清洗与退火处理1)检查玻璃是否平整光滑,选择合适的玻璃,并在板上的一面右下角刻上自己的学号。
2)将用于制作阴极板的玻璃基片在洗涤液(洗衣粉浸泡液即可)浸泡大约20分钟。
3)戴橡胶手套用海绵仔细清洗,直至洗去玻璃基片表面所有污渍。
4)用清水将玻璃基片上的清洗液冲干净,再用去离子水冲洗玻璃基片,直至玻璃表面水完全铺开。
5)检查玻璃基片表面是否有残留污渍,若无则进入下一步,否则返回上一步。
6)用高压气枪吹去玻璃基片表面的水。
7)将干净的玻璃基片放入烘箱,在100摄氏度下烘30分钟后取出放入洁净有盖搪瓷方盘中备用。
8)退火工艺是将洗好的玻璃板放入烧成炉中进行,退火温度为600摄氏度,时间为十分钟。
问题发现及思考分析:检验玻璃是否平整的简便方法:在玻璃板上滴一滴水,观察其形状,若成圆形,证明其平整度好,反之则不然。
led数码显示实验报告

led数码显示实验报告
LED数码显示实验报告
实验目的:
通过本次实验,我们旨在探究LED数码显示器的工作原理及其在电子设备中的应用。
通过实际操作,加深对LED数码显示技术的理解,提高实验者对数字电路的设计和测试能力。
实验器材:
1. LED数码显示器
2. 电源
3. 逻辑开关
4. 电阻
5. 万用表
6. 连接线
实验步骤:
1. 将LED数码显示器连接到电源上,观察LED显示器的工作状态。
2. 使用逻辑开关控制LED数码显示器的显示内容,观察LED数码显示器的显示变化。
3. 通过改变电阻的阻值,调节LED数码显示器的亮度,观察LED数码显示器的亮度变化。
4. 使用万用表测量LED数码显示器的电压和电流,记录测量结果。
实验结果:
通过实验观察和测量,我们得出以下结论:
1. LED数码显示器能够根据输入的逻辑信号进行数字显示,显示内容可通过逻辑开关控制。
2. 通过改变电阻的阻值,可以调节LED数码显示器的亮度,但应注意不要超过LED数码显示器的最大工作电压和电流。
3. LED数码显示器的工作电压和电流与其显示状态有关,需要根据具体情况进行测量和计算。
实验结论:
LED数码显示器是一种常见的数字显示设备,具有低功耗、高亮度、长寿命等优点,广泛应用于数字电子设备中。
通过本次实验,我们深入了解了LED数码显示器的工作原理和特性,为今后的电子设计和测试工作奠定了基础。
同时,我们也加深了对数字电路和电子元器件的理解,提高了实验者的实践能力和动手能力。
希望通过本次实验,能够为大家对LED数码显示技术有更深入的了解和应用提供帮助。
按键显示电路实验报告(3篇)

第1篇一、实验目的1. 熟悉按键电路的基本原理和设计方法。
2. 掌握按键电路的搭建和调试方法。
3. 了解按键电路在实际应用中的重要性。
4. 提高动手实践能力和电路分析能力。
二、实验原理按键显示电路是一种将按键输入转换为数字信号,并通过显示设备进行显示的电路。
本实验主要涉及以下原理:1. 按键原理:按键通过机械触点实现电路的通断,当按键被按下时,电路接通,产生一个低电平信号;当按键释放时,电路断开,产生一个高电平信号。
2. 译码电路:将按键输入的信号转换为相应的数字信号,以便后续处理。
3. 显示电路:将数字信号转换为可视化的信息,如LED灯、数码管等。
三、实验器材1. 电路板2. 按键3. 电阻4. LED灯5. 数码管6. 电源7. 基本工具四、实验步骤1. 按键电路搭建(1)根据电路原理图,在电路板上焊接按键、电阻、LED灯等元器件。
(2)连接电源,确保电路板供电正常。
2. 译码电路搭建(1)根据电路原理图,在电路板上焊接译码电路所需的元器件。
(2)连接译码电路与按键电路,确保信号传输正常。
3. 显示电路搭建(1)根据电路原理图,在电路板上焊接显示电路所需的元器件。
(2)连接显示电路与译码电路,确保信号传输正常。
4. 电路调试(1)检查电路连接是否正确,确保无短路、断路等问题。
(2)按下按键,观察LED灯或数码管显示是否正常。
(3)根据需要调整电路参数,如电阻阻值、电源电压等,以达到最佳显示效果。
五、实验结果与分析1. 实验结果通过实验,成功搭建了一个按键显示电路,按下按键后,LED灯或数码管能够正确显示数字信号。
2. 结果分析(1)按键电路能够正常工作,实现电路通断。
(2)译码电路能够将按键输入转换为相应的数字信号。
(3)显示电路能够将数字信号转换为可视化的信息。
六、实验总结1. 通过本次实验,掌握了按键电路的基本原理和设计方法。
2. 提高了动手实践能力和电路分析能力。
3. 了解了按键电路在实际应用中的重要性。
led显示实验报告

led显示实验报告LED显示实验报告引言:LED(Light Emitting Diode)即发光二极管,是一种能够将电能转化为光能的半导体器件。
由于其低功耗、长寿命和高亮度等优点,LED在各个领域得到广泛应用。
本实验旨在探究LED显示的原理和应用,并通过实验验证LED的工作特性。
一、LED的工作原理LED的工作原理基于半导体材料的光电效应。
当电流通过半导体材料时,电子与空穴结合,释放出能量。
这些能量以光的形式辐射出来,形成可见光。
LED 的发光颜色取决于半导体材料的能带结构,不同的材料会发出不同波长的光。
二、LED的结构和组成LED由多个组件构成,包括P型半导体、N型半导体和发光材料。
P型半导体富含正电荷,N型半导体富含负电荷。
当P型和N型半导体通过电极连接时,形成PN结。
发光材料位于PN结的中心位置,当电流通过PN结时,发光材料受到激发,发出光线。
三、LED的实验装置本实验所用的实验装置包括电源、电阻、LED和万用表。
电源提供电流,电阻用于限制电流的大小,万用表用于测量电流和电压。
四、实验步骤1. 将电源的正极与LED的长脚连接,负极与电阻连接,再将电阻的另一端与LED的短脚连接。
2. 打开电源,调节电阻的阻值,观察LED的亮度变化。
3. 使用万用表测量电流和电压的数值,记录下来。
4. 更换LED的颜色,重复步骤2和3。
五、实验结果与分析通过实验,我们观察到LED的亮度随电流的增大而增大,但当电流过大时,LED会烧坏。
这是因为LED的亮度与电流成正比,但LED的工作电流有一个上限。
当电流超过这个上限时,LED无法散热,导致烧毁。
因此,在实际应用中,需要根据LED的参数选择合适的电流值。
此外,我们还发现LED的亮度与电压无直接关系,LED的工作电压是一个固定值。
当电压低于工作电压时,LED无法正常发光;当电压高于工作电压时,电流会剧增,导致LED烧毁。
因此,合理控制电压的大小也是保证LED正常工作的重要因素。
数码显示控制实验报告(3篇)

第1篇一、实验目的1. 熟悉数码显示模块的结构和工作原理;2. 掌握51单片机控制数码显示模块的方法;3. 学会使用移位寄存器实现数码显示的动态扫描;4. 提高单片机编程能力和实践操作能力。
二、实验原理数码显示模块是一种常见的显示器件,主要由7段LED组成,可以显示0-9的数字以及部分英文字符。
51单片机通过控制数码显示模块的段选和位选,实现数字的显示。
移位寄存器是一种常用的数字电路,具有数据串行输入、并行输出的特点。
在本实验中,使用移位寄存器74HC595实现数码显示的动态扫描。
三、实验仪器与材料1. 51单片机实验板;2. 数码显示模块;3. 移位寄存器74HC595;4. 电阻、电容等电子元件;5. 电路连接线;6. 编译软件Keil uVision;7. 仿真软件Proteus。
四、实验步骤1. 电路连接(1)将51单片机的P1口与数码显示模块的段选端相连;(2)将74HC595的串行输入端Q(引脚14)与单片机的P0口相连;(3)将74HC595的时钟端CLK(引脚11)与单片机的P3.0口相连;(4)将74HC595的锁存端LR(引脚12)与单片机的P3.1口相连;(5)将数码显示模块的位选端与74HC595的并行输出端相连。
2. 编写程序(1)初始化51单片机的P1口为输出模式,P3.0口为输出模式,P3.1口为输出模式;(2)编写数码显示模块的段码数据表;(3)编写74HC595的移位和锁存控制函数;(4)编写数码显示模块的动态扫描函数;(5)编写主函数,实现数码显示模块的循环显示。
3. 编译程序使用Keil uVision编译软件将编写的程序编译成hex文件。
4. 仿真实验使用Proteus仿真软件进行实验,观察数码显示模块的显示效果。
五、实验结果与分析1. 编译程序后,将hex文件下载到51单片机实验板上;2. 使用Proteus仿真软件进行实验,观察数码显示模块的显示效果;3. 通过实验验证,数码显示模块可以正常显示0-9的数字以及部分英文字符;4. 通过实验,掌握了51单片机控制数码显示模块的方法,学会了使用移位寄存器实现数码显示的动态扫描。
数码显示实验报告

一、实验目的1. 熟悉数码管的结构和工作原理。
2. 掌握数码管与单片机的连接方法。
3. 学习使用动态扫描显示技术实现多位数码管的显示。
4. 培养动手能力和编程能力。
二、实验原理数码管是一种常用的显示器件,由多个发光二极管组成,通过控制发光二极管的亮与灭来显示数字、字母或符号。
本实验采用共阴极数码管,当对应的段码为低电平时,该段发光。
三、实验设备1. 单片机实验箱一台2. 共阴数码管8位3. 电阻若干4. 连接线若干5. 编译器(如Keil uVision)6. 仿真软件(如Proteus)四、实验内容1. 实验电路搭建根据实验原理图,连接单片机、数码管、电阻等元件。
具体连接方法如下:(1)将单片机的P0口与数码管的段码相连。
(2)将单片机的P1口与数码管的位选相连。
(3)将数码管的公共阴极与地相连。
(4)将电阻分别串联在数码管的段码和位选上,用于限流。
2. 编写程序(1)初始化单片机IO口,将P0口设置为输出模式,P1口设置为输出模式。
(2)编写数码管显示函数,根据输入的数字,计算对应的段码,并输出到P0口。
(3)编写动态扫描显示函数,按照一定的时间间隔依次显示各个数码管。
3. 编译程序使用Keil uVision编译器将编写的程序编译成hex文件。
4. 仿真实验使用Proteus软件进行仿真实验,观察数码管显示效果。
五、实验步骤1. 搭建实验电路。
2. 编写程序,实现数码管显示功能。
3. 编译程序,生成hex文件。
4. 在Proteus软件中导入hex文件,进行仿真实验。
5. 观察数码管显示效果,分析实验结果。
六、实验结果与分析1. 实验结果通过仿真实验,数码管能够按照程序的要求显示数字、字母或符号。
2. 实验分析(1)数码管显示原理:数码管通过控制发光二极管的亮与灭来显示数字、字母或符号。
当对应的段码为低电平时,该段发光。
(2)动态扫描显示原理:动态扫描显示是通过依次点亮各个数码管,使多位数码管同时显示。
数字显示器实验报告

一、实验目的1. 了解数字显示器的基本原理和分类。
2. 掌握数字显示器的设计方法和应用。
3. 学会使用数码管和LCD显示器进行数字显示。
4. 提高动手实践能力和问题解决能力。
二、实验内容1. 数码管显示实验2. LCD显示器显示实验三、实验原理1. 数码管显示原理:数码管是一种半导体发光器件,由若干个发光二极管(LED)组成,每个LED代表一个数码管的笔画。
通过控制LED的亮灭,可以显示不同的数字和字符。
2. LCD显示器显示原理:LCD显示器是一种液晶显示器,通过液晶分子的旋转控制光的透过与阻挡,实现图像的显示。
LCD显示器主要由液晶面板、背光源、偏振片、驱动电路等组成。
四、实验步骤1. 数码管显示实验(1)搭建电路:将数码管与AT89C51单片机连接,连接方式包括共阴极和共阳极两种。
(2)编写程序:使用C语言编写程序,实现数码管显示数字和字符。
(3)调试程序:使用Keil软件对程序进行编译和调试,观察数码管显示效果。
2. LCD显示器显示实验(1)搭建电路:将LCD显示器与AT89C51单片机连接,连接方式包括并行和串行两种。
(2)编写程序:使用C语言编写程序,实现LCD显示器显示数字和字符。
(3)调试程序:使用Keil软件对程序进行编译和调试,观察LCD显示器显示效果。
五、实验结果与分析1. 数码管显示实验结果:通过编写程序,数码管能够显示数字和字符,实现了实验目的。
2. LCD显示器显示实验结果:通过编写程序,LCD显示器能够显示数字和字符,实现了实验目的。
3. 分析:(1)数码管显示实验:在实验过程中,发现数码管的共阴极和共阳极连接方式不同,需要根据实际连接方式编写程序。
此外,为了提高显示效果,需要对数码管进行动态扫描显示。
(2)LCD显示器显示实验:在实验过程中,发现LCD显示器的并行和串行连接方式不同,需要根据实际连接方式编写程序。
此外,为了提高显示效果,需要对LCD显示器进行初始化和设置显示模式。
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,显示器件设计制作实验报告)一、实验目的通过只做表面传到电子发射源的实验过程,了解平板显示器件核心部件的工作原理及制作方法,熟悉磁控溅射镀膜、光刻、丝网印刷、真空系统中电子发射测试等在显示器件中的应用。
二、实验任务…通过学习实践平板显示器件的制作过程,结合所学知识,深刻认识场致电子发生的机理和应用,了解平板显示技术。
1、学习、了解表面传导电子发射源的原理以及真空器件的制作;2、学习、了解平板显示器件对玻璃基板的要求,玻璃清洗和退火的工艺过程;3、学习、了解磁控溅射原理和方法,学习光刻法制作薄膜电极;4、学习、了解到店默默材料的选择和导电薄膜的制备方法;5、学习、了解丝网印刷原理,学习阳极荧光板的制作;学习、了解在真空系统中进行电子发射源的测试以及性能评价方法。
三、实验原理1、SED工作原理与发展`SED表面传导电子发射显示器是FED的一种,其成像效果媲美CRT,却比CRT更加轻薄、时尚、方便。
虽然都是电子撞击荧光物质发光,但CRT与SED有着显著的差别,CRT是利用偏转磁场,扫面电子枪发射出来的电子,按信号使电子一次轰击红、绿、蓝三色荧光物质,起到发光的效果。
SED是利用微信电子发生器轰击荧光板发光,无需扫面磁场的帮助,,每个微型电子发生器就像是像素点,只要矩阵选址。
2、SED的结构SED是一个真空器件,依次为,上下两块玻璃以及四周的特殊玻璃封接组成;上班玻璃是发光部分,在其上一依次制备有滤色膜、黑矩阵、荧光粉和面板电极,滤色膜分别对应三种荧光粉,用以提高色纯度、黑矩阵将3种荧光粉按像素分割以避免干扰,荧光粉间隔沉积。
上面还要镀上一层铝膜作为阳极。
SED下板是电子发射源,在阳极作用下,隧道效应电子向阳极运动,进而轰击荧光物质,达到发光的效果。
3、SED电子发射机理SED的简单物理模型,他表示孤岛之间的电场分布和电子发射情况。
电子从一个孤岛发射到下一个孤岛,实现了表面传导。
如果在阳极板上施加电压,股道至简通过真空传导电子中的一部分将会在阳极电压的作用下到达阳极。
&目前关于SED电子发射机理有两种理论模型解释:1)电子多重散射模型:电子最传下风湿,会同时薄膜发生碰撞,结果导致一部分电子进入薄膜,成为博膜表面电流,另一部分电子被散射进入SED内部空间。
散射出去电子有两种运动轨迹:重新进入薄膜,再次循环发生散射;或者在垂直电场起作用,在电场作用下轰击阳极。
2)电子惯性离心模型:电子在电场中运动时,由于运动轨迹不是垂直的,会受到惯性离心力的作用李的作用更容易脱离西风,到达阳极。
4、溅射镀膜:溅射镀膜是借助高能粒子攻击所产生的动量交换,把镀膜材料的原子从固体表面撞出并发射出来出来,放在靶前面的的基材料截溅射出来的原子流,后者凝聚成镀膜。
主要分为:1)直流溅射;2)射频溅射;3)磁控溅射;4)反应溅射5、光刻加工工艺<光刻加工艺是一种图形复印和腐蚀相结合的表面微细加工工艺。
先用光照的方法,将光刻掩模上的图形景区地印制在涂有感光胶的薄膜表面,然后李勇敢硬件的选择保护作用薄膜进行选择性腐蚀,从而刻出图形,主要流程:1)衬底准备;2)涂胶;3)前烘;4)曝光;5)显影;6)坚膜;7)刻蚀;(8)去胶光刻主要分为正性光刻和负性光刻,正性把掩膜板的图形复制到硅片上,负性与正性光刻相反,本实验采用正性光刻。
6、透明导电膜的制作透明导电膜具有透明和导电双重功能,主要分为:金属膜、氧化物膜、多层复合膜和高分子膜等,其中氧化物膜占主要位置。
氧化物薄膜的制备原理主要分为两种替位掺杂和制造氧空位,主要研究为掺锡的氧化锢或氧化锢锡薄膜,简称ITO薄膜。
它是一种重掺杂、高简并n星半导体,迄今带宽度介于~之间买最大载流子浓度为1021cm-3,具有低电阻率、高透射率、红外高反射比、良好的化学稳定性、玻璃基体结合牢固、抗擦伤及其半导体特性的有点,广泛应用于太阳能电池、显示器、气敏元件、透明电极、抗静电涂层等领域。
7、 ITO制备方法主要有:磁控溅射、化学气相沉积、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积等,其中磁控溅射音可以春却控制工艺参数成为首选,本实验利用印刷荧光材质来制作SED阳极板。
8、丝网印刷技术!丝网印刷技术是厚膜技术中最重要的成膜技术,虽然厚膜成膜方面已经出现了等离子体喷涂、光刻、印贴工艺和直接描绘技术,但丝网印刷仍然是目前最常用、最基本的成膜方法。
丝网印刷是将丝织物、合成纤维织物或金属丝网绷在网框上,采用手工刻漆膜或光化学制版的方法制作丝网印版。
也可以利用感光材料通过照相制版的方法制作丝网印版(使丝网印版上图文部分的丝网孔为通孔,而非图文部分的丝网孔被堵住)。
印刷时通过刮板的挤压,使油墨通过图文部分的网孔转移到承印物上,形成与原稿一样的图文。
丝网印刷设备简单,操作方便,印刷、制版简单且成本低廉,适应性强。
丝网印刷一般分为接触式和非接触式印刷两种。
厚膜电路制造厂商一般采用非接触式印刷。
影响丝网印刷质量的工艺变量有很多种,如:浆料(油墨):必须要有良好的透过性能,应当流动性大粘度低转移到承印物之后的干燥性能及附着性能好。
变量包括颗粒细度、颗粒分散程度、粘度、流动性、附着性能、干燥/固化速度。
丝网:印刷的基础,选择好的丝网,才能提高印品的精度和质量。
变量包括材料、丝径大小、丝网目数等。
模板:模板是形成非图像区域的成分。
决定图像载体即印版的质量及其耐用性。
刮墨板(刮刀):使丝网印版与承印物接触,协助控制浆料在承印物上的附着量。
变量有刮墨板的硬度、刃口锐度、角度、运行速度、压力。
]覆墨板(擦板):在图文区均匀的填充浆料。
覆墨板的动作往往与刮墨板的动作互逆。
变量有覆墨板刃口锐度、角度、运行速度、压力。
承印物:变量有表面纹理(光滑度)、表面多孔性、厚度均匀性、静电作用、表面张力等。
印刷/干燥:网距、印刷台面平整度、平行度、定位方法及精度、印刷幅面、固化温度、固化时间等。
本实验采用网距3mm ,并采用具有图像识别功能的CCD 光学视觉对位系统。
环境:环境变量有空气中的污染物、环境温度、环境湿度等。
9、真空技术真空科学与技术研究对象是称之为“真空”的特殊物理环境。
真空技术是使现代工业和尖端科学技术蓬勃发展的一种基础技术。
真空绝不是没有物质的空间。
指气体压力低于1个大气压(或气体分子密度小于约19105.2 1-cm )的稀薄气体状态或指定空间。
通常将真空度划分为几个区域:粗真空、低真空、高真空、超高真空、极高真空。
不同真空状态不仅意味着“量”的变化,也意味着“质”的变化。
真空是用排出或捕获分子的方法、使容器中的气相分子数目减少来获得的。
抽气可由真空泵、阱和消气剂来完成。
真空抽气的原理和方法有:1) ?2) 通过输运方法将气体分子由一方转移到另一方,最后被排出泵外。
所用原理:(a )气体的压缩和膨胀;(b )粘滞效应产生的曳引力;(c )扩散效应产生的曳引力;(d )分子曳引力;(e )离子在电磁场中的运动。
3)通过捕获方法吸掉气体分子,使之暂时或永久留在泵内。
所用原理有:(a)电离效应;(b)物理化学吸着。
获得真空后需要一个量具来量度系统内绝对压力的大小,称之为真空计或真空规。
目前真空规的种类很多,每一种只能测量一定范围内的真空度,大体可分为三类:①力学型:直接测量物理量所得,量程在760-1torr,属于绝对真空计;②热导型:热传导随压强的升高而减小的特性;③电离型:离子流随压强的升高而增大。
②③两类均与气体的种类有关,其读数是气体种类的函数。
本次试验中,共三处用到真空设备:磁控溅射镀膜,电子发射性能测试和器件封装。
四、实验材料仪器1.实验材料:玻璃基板、ITO玻璃、氢氧化钠、硫酸高铈、光刻胶、酒精(无水乙醇)、硝酸、PSG-P1荧光浆料等。
2.>KW-4A 3.实验仪器:有盖搪瓷方盘、烧杯、玻璃搅拌棒、托盘天平、型旋转甩胶机、LC-233型控温烘箱、W-SP-4860A型紫外曝光机、ACS-4000-C4型多功能磁控溅射仪、金相显微镜、丝网印刷设备、HGL-650型传送带干燥炉、N6705电源分析仪、高压电源、真空实验装置等。
五、实验内容1、实验准备:学习完成平板玻璃的清洗与退火处理2、器件电极制作:学习磁控溅射,光刻原理和应用,完成器件电极的制作3、导电薄膜制作:学习导电薄膜材料的选择和导电薄膜的制备方法,完成导电薄膜的制作4、阳极荧光板的制作:了解丝网印刷原理,学习阳极荧光板的制作5、电子发射性能测试:正确使用真空测试系统,完成电子发射的电形成工艺、激活工艺及测试工艺。
对测试的数据进行分析讨论6、器件封接:学习阴极板和阳极板的封接,了解封接原理和过程(观察实验)《六、实验过程1、玻璃清洗与退火检查玻璃及刻字将用于制作阴阳极板的玻璃基片在洗涤中浸泡20分钟带上橡胶手套用海绵仔细清洗3-5分钟,直到洗去玻璃基片表面污渍用清水将玻璃基片上的清洗液冲洗干净,然后用压缩空气吹干玻璃基片表面水渍对着灯光观察玻璃基片表面是否有残留污渍,若没有就进入下一步,否则返回上一步用去离子水冲洗玻璃基片一遍,然后用压缩空气吹干玻璃基片表面水渍》将洗净的玻璃基片放入烘箱,在100摄氏度下烘烤30分钟后取出放入洁净的有盖搪瓷方盘中备用退火工艺是将洗好的玻璃板放入烧成炉中进行,退火温度600摄氏度,10分钟至此玻璃清洗与退火工序完成。
玻璃基片未彻底清洗干净,在其上镀金属膜厚会出现各种状况,如薄膜出现针孔,脱落等。
退火是为了消除制品的内应力或控制结晶过程,将制品加热到合适的温度并保持一定时间然后慢慢冷却的操作。
保证了玻璃基片在之后的镀膜过程中不会变形或者裂纹。
因此本次实验操作所有的工艺都在玻璃基片进行,玻璃基片的清洗与退火是实验成功的基础,重要性不容忽视。
2、器件电极制作(镀膜)采用磁控溅射镀膜法在玻璃基片上镀金属膜作为器件电极材料我们采用磁控溅射镀膜设备是ACS-4000-C4型多功能磁控溅射仪。
它是一台先进的磁控溅射镀膜设备,主要由准备室和溅射室构成,准备室较小,溅射室保持高正空环境,节省了换片时抽真空的时间。
系统采用微机控制,它拥有两个独立的射频电源,一组直流电源。
将准备好的玻璃基片放在镀膜托盘上,一次可以放两片,镀膜面朝下。
用托盘叉将托盘放入准备室,然后戴上手套调整托盘位置,使卡口对齐。
关闭准备室舱门,开始给准备室抽真空。
当准备室内的真空度达到高真空时,开启准备室与溅射室传送通道,按线控制器上的open按钮将准备室内的镀膜托盘传送至溅射室,手动摇动手柄将镀膜盘向上抓起。
将传送装置送回准备室,按下close 按钮关闭连接通道。
摇动手柄将镀膜盘降下,准备磁控溅射镀膜。
载入磁控溅射镀膜参数程序,开始镀膜。
第一组镀膜参数为快速加热基片到140摄氏度;然后慢速加热基片到150摄氏度;氩气气氛下预溅射靶材20秒,氩气气氛下磁控溅射铜600秒;氩气气氛下磁控溅射镀镍240秒。