表面粗糙度的检测
粗糙度检测方法及评定【干货技巧】
以下为表面粗糙度的评定及测量方法：一、表面粗糙度的概念表面粗糙度是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。
其两波峰或两波谷之间的距离（波距）很小（在1mm以下），它属于微观几何形状误差。
具体指微小峰谷Z高低程度和间距S状况。
一般按S分：S＜1mm 为表面粗糙度；1≤S≤10mm为波纹度；S＞10mm为f 形状。
•二、VDI3400、Ra、Rmax对照表国家标准规定常用三个指标来评定表面粗糙度（单位为μm）：轮廓的平均算术偏差Ra、不平度平均高度Rz和最大高度Ry。
在实际生产中多用Ra指标。
轮廓的最大微观高度偏差Ry在日本等国常用Rmax符号来表示，欧美常用VDI指标。
下面为VDI3400、Ra、Rmax 对照表。
三、表面粗糙度形成因素表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的，例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动、电加工的放电凹坑等。
由于加工方法和工件材料的不同，被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。
四、表面粗糙度对零件的影响主要表现影响耐磨性。
表面越粗糙，配合表面间的有效接触面积越小，压强越大，摩擦阻力越大，磨损就越快。
影响配合的稳定性。
对间隙配合来说，表面越粗糙，就越易磨损，使工作过程中间隙逐渐增大；对过盈配合来说，由于装配时将微观凸峰挤平，减小了实际有效过盈，降低了连接强度。
影响疲劳强度。
粗糙零件的表面存在较大的波谷，它们像尖角缺口和裂纹一样，对应力集中很敏感，从而影响零件的疲劳强度。
影响耐腐蚀性。
粗糙的零件表面，易使腐蚀性气体或液体通过表面的微观凹谷渗入到金属内层，造成表面腐蚀。
影响密封性。
粗糙的表面之间无法严密地贴合，气体或液体通过接触面间的缝隙渗漏。
影响接触刚度。
接触刚度是零件结合面在外力作用下，抵抗接触变形的能力。
机器的刚度在很大程度上取决于各零件之间的接触刚度。
影响测量精度。
零件被测表面和测量工具测量面的表面粗糙度都会直接影响测量的精度，尤其是在精密测量时。
粗糙度的检测方法
粗糙度的检测方法
粗糙度的检测方法：
① 根据被测表面材质形状选择合适之检测仪器如表面粗糙度仪比较样块等；
② 清洗待测工件表面去除油污灰尘防止杂质影响测量精度；
③ 将工件固定在专用夹具上调整位置使其与测量探头平行并保持一定压力接触；
④ 设定仪器参数如测量长度取样长度滤波条件等并预热至稳定状态；
⑤ 启动测量程序使探头沿设定路径扫描记录表面高低变化信息；
⑥ 测量完毕后仪器自动计算Ra Rz Rp等粗糙度参数并显示结果；
⑦ 对于复杂曲面或难以接触之部位可采用光学非接触式测量方法如激光共聚焦显微镜；
⑧使用比较样块时需先用标准块校准并选择与待测表面相似粗糙度等级；
⑨ 在样块上选取代表区域与待测表面进行比对观察两者纹理差异估计粗糙度值；
⑩ 对于要求极高精度之场合还需采用原子力显微镜扫描隧道显微镜等高端设备；
⑪ 完成测量后及时记录数据并根据标准评价表面质量是否符
合要求；
⑫ 根据测量结果分析加工工艺合理性并为后续改进提供参考依据。
混凝土表面粗糙度检测标准
混凝土表面粗糙度检测标准混凝土表面粗糙度检测标准一、前言混凝土表面的粗糙度是指混凝土表面的凹凸不平程度。
混凝土表面的粗糙度对于混凝土结构的使用寿命和安全性有着非常重要的影响。
因此，在混凝土结构施工过程中，必须对混凝土表面的粗糙度进行检测。
本文旨在介绍混凝土表面粗糙度检测标准，以便工程师和施工人员了解混凝土表面粗糙度检测的标准和方法。
二、检测方法混凝土表面粗糙度的检测方法主要有以下几种：1. 直接观测法直接观测法是指通过肉眼观察混凝土表面的凹凸不平程度来判断混凝土表面的粗糙度。
这种方法简单易行，但是由于人的主观因素，结果可能存在误差。
2. 用手触摸法用手触摸法是指用手触摸混凝土表面的凹凸不平程度来判断混凝土表面的粗糙度。
这种方法可以检测出较小的凹凸不平，但是由于受个人感觉和手感的影响，结果也可能存在误差。
3. 用粗糙度计测量法用粗糙度计测量法是指使用粗糙度计来测量混凝土表面的粗糙度。
这种方法可以测量出更加准确的混凝土表面粗糙度，并且结果不受主观因素的影响。
但是，由于设备价格较高，不是所有的工程项目都能够采用这种方法。
三、检测标准混凝土表面粗糙度的检测标准主要有以下几个方面：1. 表面粗糙度等级混凝土表面粗糙度等级是指混凝土表面的凹凸不平程度的大小。
根据混凝土表面粗糙度等级的不同，可以分为以下几种：（1）一级表面粗糙度：混凝土表面非常平整，几乎没有任何凹凸不平。
（2）二级表面粗糙度：混凝土表面有一定的凹凸不平，但是可以用手触摸时不感到明显的凹凸。
（3）三级表面粗糙度：混凝土表面有明显的凹凸不平，但是还不会对混凝土结构的使用和安全产生影响。
（4）四级表面粗糙度：混凝土表面的凹凸不平非常明显，会对混凝土结构的使用和安全产生较大的影响。
2. 检测标准混凝土表面粗糙度的检测标准主要有以下几个方面：（1）一级表面粗糙度：混凝土表面的平整度应该在3mm以内，混凝土表面的高低差应该在1mm以内。
（2）二级表面粗糙度：混凝土表面的平整度应该在5mm以内，混凝土表面的高低差应该在2mm以内。
第三章--表面粗糙度及检测
第二节 表面粗糙度评估参数值旳 选择
评估参数值旳选择
总原则：在满足功能要求旳前提下，尽量选择较大旳表 粗糙度参数值，以减小加工难度，降低成本。
选择措施：类比法。 一般原则： （1）同一零件上工作表面比非工作表面粗糙度参数值小。 （2）摩擦表面比非摩擦表面旳粗糙度参数值小，滚动摩擦 表面比滑动摩擦表面旳粗糙度参数值小。 （3）承受交变载荷旳表面及易引起应力集中旳部分（如圆 角，沟槽）粗糙度参数值应小些。
t
p
p
l
100%
1 l
n i 1
bi
100%
S、Sm和tp称为间距参数，值越小，轮廓表面越细密，密 封性愈好。
13
第一节 表面粗糙度旳评估
❖评估参数旳数值
原则要求：当Ra为0.025～6.3μm或Rz为0.100 ～25μm范围时，应优先 选用Ra参数。 Ra ＜0.025μm， Ra ＞6.3μm时，用光学仪器测量比较适 合，因而应选用Rz 。
个最大旳轮廓谷深平均值之和：
5
5
y pi yvi
Rz i1
i 1
5
Rz
(h2
h4
h10 ) (h1 5
h3
h9 )
Rz值越大，表面越粗糙。
10
第一节 表面粗糙度旳评估
（3）轮廓最大高度Ry 在取样长度内，轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间旳距离。
Ra、Rz和Ry称为表面粗糙度旳高度参数。
11
要求：国标推荐， ln=5l；对均匀性好旳表面，可选ln＜5l；对均匀 性较差旳表面，可选ln＞ 5l。
5
第一节 表面粗糙度旳评估
取样长度、评估长度和轮廓中线
6
Hale Waihona Puke 第一节 表面粗糙度旳评估（3）中线 中线是指用以评估表面粗糙度参数旳一条基准线。
表面粗糙度的检测方法
表面粗糙度的检测方法
表面粗糙度的检测是通过测量表面的微观形状和轮廓来评估表面质量的过程。
有多种方法可以用于表面粗糙度的检测，其中一些常见的方法包括：
表面轮廓仪（Surface Profilometer）：表面轮廓仪是一种用于测量物体表面轮廓的设备。
它通过沿表面滑动或扫描，利用探测器检测高度变化，并生成相应的高度剖面图。
通过分析这些剖面图，可以得出表面的粗糙度参数。
激光干涉仪（Laser Interferometer）：激光干涉仪利用激光光束的干涉效应来测量表面的高度变化。
这种方法对于高精度的表面粗糙度测量很有效，可以提供亚微米级别的分辨率。
原子力显微镜（Atomic Force Microscope，AFM）：AFM是一种在原子尺度上测量表面形状和粗糙度的工具。
它使用微小的探针扫描样品表面，通过探测器的运动来生成高分辨率的表面图像。
表面粗糙度仪（Surface Roughness Tester）：这是一种专门用于测量表面粗糙度的便携式仪器。
通常采用钻头或球形探头，测量表面在垂直方向的高低变化，并输出相应的粗糙度参数，如Ra、Rz等。
光学显微镜：在一些情况下，使用光学显微镜可以对表面进行观察和评估。
虽然其分辨率较低，但对于一些较大尺度的粗糙度评估仍然有效。
在选择适当的检测方法时，需要考虑表面的特性、粗糙度范围和检测精度的要求。
根据具体的应用场景，可以选择最合适的工具和技术。
11实验四：表面粗糙度的检测
三、表面粗糙度的测量
常用方法：比较法、光切法、干涉法、感触法、印模法 1、比较法 将被测零件表面和粗糙度样板进行比较。目测或手摸判断，也可借助放大镜 等工具。使用简单，适用于车间生产检验。
2、光切法 利用光切原理来测量表面粗糙度。其工作原理是光源经光阑狭缝产生光带投射 到被测零件表面形成一个光切面，在其反射光的方向有一套显微镜装置，将光切 面处的微观几何形状放大，显示在分划板上。目镜所观察到的是被测表面的放大 图象。 常用仪器是双管显微镜，该仪器适用于测量车、铣、刨等加工的零件平面和外 圆表面。测量范围0.5～50μm。
2、粗糙度比较块——比较法
将被测表面与粗糙度标准样板相比较，通过视觉、触感或其它方法进行比较后， 对被测表面的粗糙度作出评定的方法。粗糙度标准样板如图所示。
3、双管显微镜
双管显微镜能检测1-80μm 的表面粗糙度的Rz值。双管显 微镜的外形如图所示。它有： 1-光源；2-立柱；3-锁紧螺钉； 4-微调手轮；5-横臂；6-升降 螺母； 7-底座；8-纵向千分尺 9-工作台固紧螺钉；10-横向 千分尺；11-工作台；12-物镜 组；13-手柄；14-壳体；15测微鼓轮；16-目镜；17-照相 机安装孔等部分组成。
作业：按之前分组，完成实验及实验报告 。
为了测量和计算方便，测微目镜中十字线的移动方向（图5a）和被测量光带边 缘宽度h1ˊ成45°斜角（图5b），故目镜测微器刻度套筒上的读数值h1″与不平 度高度的关系为： h1″= h1ˊ/cos45°= N h/ cos245° 所以 h″= h1″cos245°/ N= h1″/2 N 式中，1/2 N =C，C为刻度套筒的分度值或称为换算系数，它与投射角α、目镜测 微器的结构和物镜放大倍数有关。
如图为光切原理，被测表面为P1、P2阶梯表面，当一平行光束从45°方 向投射到阶梯表面上时，就被折成S1和S2两段。从垂直于光束的方向上就可 在显微镜内看到S1和S2两段光带的放大图像。同样，S1和S2之间距离h也被 放大。通过测量和计算，可求得被测表面的不平度高度 h。
表面粗糙度量测方法
表面粗糙度是对工件质量进行评估的重要指标之一，对于其在使用过程中的配合质量、运动精度以及耐磨损性等都有着不容忽视的影响，因此，想要保证工件的加工质量，就必须采取有效措施，降低表面粗糙度。
表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的，例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。
由于加工方法和工件材料的不同，被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。
表面粗糙度与机械零件的配合性质、耐磨性、疲劳强度、接触刚度、振动和噪声等有密切关系，对机械产品的使用寿命和可靠性有重要影响。
一般标注采用Ra。
表面粗糙度测量方法一、接触式测量方法接触式测量方法指的是，在测量设备中的探测位置会直接与表面接触，可以帮助人们获取被测表面的信息。
但是这种测量方式不适用于刚性强度偏高、容易发生磨损的表面。
1、比较测量方法在车间普遍应用的测量方法是比较法。
比较法指的是将对比粗糙度样板与被测表面进行比较，测量人员直接用手的触摸来确定表面的粗糙度，或者通过肉眼观察，也可以使用放大镜、比较显微镜来对比。
通常情况下，当粗糙度评定参数值偏高时，可以运用比较法，但是很可能造成很大的误差。
2、印模法印模法指的是采用一些塑性材料当做块状印模，然后将其与被测表面互相贴合，再取下时，印模上会出现表面的具体轮廓，测量人员可以开始测量印模的表面，这种方式可以获取部件的表面粗糙度。
一些规模大的零件内表面测量工作无法通过设备来完成，可以使用印模法来实现。
然而印模法也存在一定缺陷，它的准确性不强，而且操作过程很复杂。
3、触针法触针法的另一种名称是针描法。
这种方法是在被测表面上放置一根很尖的触针，测量过程中需要垂直放置，使触针做横向移动。
根据被测表面的轮廓，触针会自行做垂直起伏运动。
把触针所做的位移活动利用电路转变为电信号后，可以将其方法，分析与计算后就可以获取表面粗糙度的指数。
触针法主要包括感应式、压电式以及电感式等几种方法。
表面处理粗糙度检验
表面处理粗糙度检验表面处理粗糙度检验表面处理粗糙度检验（Surface roughness inspection）是一项重要的制造质量控制措施，用于衡量工件表面的粗糙度。
它可以帮助制造商确保产品达到预期的质量标准，并满足客户的需求。
下面是一份关于如何进行表面处理粗糙度检验的逐步思考过程。
1. 确定检验标准：首先，需要明确产品的设计要求和相关标准。
这些标准包括表面粗糙度的最大允许值以及检验方法。
2. 选择适当的检测工具：根据产品的尺寸和形状，选择合适的粗糙度检测仪器。
常见的检测工具包括表面粗糙度计、光学仪器和电子显微镜等。
3. 准备测试样品：从生产线中抽取一些产品样品作为检验样本。
确保样本的数量足够代表整个批次的产品。
4. 清洁待测表面：在进行粗糙度检验之前，必须确保待测表面清洁无杂质。
使用适当的清洁剂和工具，彻底清洁样品表面。
5. 校准检测仪器：准备测试前，及时校准检测仪器。
校准过程可以通过使用校准样品来进行，以确保仪器的准确性和可靠性。
6. 进行测试：将样品放置在检测设备上，按照仪器的使用说明进行测试。
通常，需要将仪器探头放置在待测表面上，并记录所得的粗糙度数值。
7. 分析测试结果：将测试结果与产品设计要求和标准进行比较。
如果检测结果符合标准，说明产品表面粗糙度在可接受范围内。
否则，需要查找原因并采取相应的纠正措施。
8. 记录和跟踪结果：对每次的粗糙度检验结果进行记录，并建立一个跟踪系统，以便将来的参考和分析。
这有助于制造商了解产品质量的变化趋势，并采取适当的质量改进措施。
9. 进行必要的调整：根据检验结果和记录的数据，制造商可以评估并调整生产流程以改善产品表面质量。
10. 持续改进：表面处理粗糙度检验是一个持续的过程，制造商应该不断关注产品质量，并根据市场需求和技术发展来更新和改进检验方法。
总之，表面处理粗糙度检验是制造业中至关重要的质量控制步骤。
通过遵循以上逐步思考过程，制造商可以确保产品表面质量符合设计要求，提高产品的市场竞争力。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
课题三表面粗糙度的检测
表面粗糙度的检测方法主要有比较法、针触法、光切法、光波干涉法。
1．比较法
用比较法检验表面粗糙度是生产车间常用的方法。
它是将被测表面与粗糙度样块进行比较来评定表面粗糙度。
如图3-1所示。
比较法可用目测直接判断或借助于放大镜、显微镜比较或凭触觉、来判断表面粗糙度。
缺点是精度较差，只能作定性分析比较。
图3-1表面粗糙度比较样板
2．针触法
针触法是通过针尖感触被测表面微观不平度的截面轮廓的方法，它实际是一种接触式电量方法。
所用测量仪器为轮廓仪，它可以测定Ra为0.025～5um。
该方法测量范围广，速度可靠、操作简便并易于实现自动测量和微机数据处理。
但被测表面易被触针划伤。
如图3-2所示。
图3-2针触法测量原理图
3．光切法
光切法就是利用“光切原理”来测量被测零件表面的粗糙度，采用仪器是光切显微镜又称双管显微镜。
该仪器适宜测量车、铣、刨或其它类似的方法加工的金属零件的平面或外圆表面。
光切法通常用于测量
Ra=0.5～80µm的表面。
4．光波干涉法
干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度。
干涉显微镜测量的范围一般为0.03～1µm。
也可作Rz、Ry参数评定。
本课题结合课堂讲授的典型零件的标注，分析并检测表面粗糙度，根据国家标准评定表面粗糙度。
选用方法为光切法和光波干涉法。
实验3-1 用光切显微镜检测表面粗糙度
一、实验目的
1．了解用光切显微镜测量表面粗糙度的原理和方法
2．正确理解表面粗糙度的评定参数，加深对微观不平度十点高度Rz的理解
二、测量原理及仪器说明
双管显微镜又撑光切显微镜，它是利用被测表面能反射光的特性，根据“光切法原理”制成的光学仪器，
R=0.8-80um的表面粗糙度。
其测量范围取决于选用的物镜的放大倍数，一般用于测量
Z
图3-3光切显微镜
1—底座；2—立柱；3—升降螺母；4—微调手轮；5—支臂；6—支臂锁紧螺钉；7—工作台；8—物镜组；9—物镜锁紧机构；10—遮光板手轮；11—壳体；12—目镜测微器；13—目镜
仪器外型如图3-3所示，它由底座6，支柱5，横臂2，测微目镜13，可换物镜8及工作台7等部分组成。
仪器备有四种不同倍数（7X、14X、30X、60X）物镜组，被测表面粗糙度大小（估测）来选择相应倍数的物镜组（见表3-1）。
表3-1 双管显微镜测量参数
测量范围um
物镜倍数总放大倍数视场直径mm 系数E
（um/格）
7X 60X 2.7 1.28 15～50
14X 120X 1.3 0.63 5～15
30X 260X 0.6 0.29 1.5～5
60X 520X 0.3 0.16 0.8～1.5
测量原理如图3-4所示，被测表面为P1-P2阶梯表面，当一平行光束从45度方向投射到阶梯表面时，即
被折成S 1和S 2两段，从垂直于光束的方向上就可以在显微镜内看到S 1和S 2两段光带的放大像S 1'S 2'，同时距离h 也被放大为h1'。
通过测量和计算，可求得被测表面的不平度高度h 。
这种方法类似在零件表面斜切一刀，然后观察其剖面的轮廓形状，因此称为光切法。
图3-4光切显微镜的测量原理图
1—光源；2—聚光镜；3—狭缝；4—物镜；5—分划板；6—目镜测微器
由于投射角及目镜千分尺结构和物镜放大倍数的关系在目镜千分尺鼓办上读出的数值i a （单位：mm ）并不等于实际工件高度i h ，而需要通过换算。
)(102m a h i i μ⨯E ⨯=
式中：__i h 第i 个实际高度
___i a 第i 个峰（谷）的千分尺鼓轮值（mm ）
E —换算系数（见表3-1）
根据的z R 定义，在取样长度内，从平行于轮廓中线任一条刻线到轮廓五个最高点（峰）和五个最低点（谷）之间的平均距离。
5
()()
973110842h h h h h h h h Rz +++-+++=
实际测量时，不必测一个i a ，就换算一个i h ，在一个取样长度内可按下进行一次换算。
)(105
)
()(297531108642m a a a a a a a a a a Rz μ⨯E ⨯++++-++++=
三、实验步骤
1. 根据被测表面的粗糙度要求，按表中数据选择一对合适的物镜并分别安装在两镜管的下端，选择合适
的取样长度。
2. 将光源插头插接变压器并通电源。
3. 擦净被测工件并置于工作台上，使加工痕迹与工作台纵向移动方向垂直。
4. 放松支臂固紧螺丝9，旋转螺母10，使支臂慢下降（注意：下降时，切勿使物镜碰击工作台工作表面），
直到工件表面上出现一绿色光带后锁紧螺丝9，转动工作台，使光带方向与加工痕迹垂直。
5. 调节器支架微动手轮6进行细调焦，配合调整目镜4，直到场中央出现最清晰窄亮带。
6. 进行测量，松开目镜紧固螺丝，转动目镜千分尺，使目镜中的十字线的水平线在取样长度内平行于光
带后清晰边缘，此线即定为平行于轮廓中线析任一直线，在取样长度内找出5个高峰点和5个最低谷点，并使水平线与之相切，如图3-5所示，分别记下目镜分划板和鼓轮的读数101~a a 。
根据公式计算z R 值。
7. 取 3 n L ， 测出3个z R 值，取平均值作为测量结果。
图3-5读数目镜示意图
四、思考题
1．双管显微镜除测量z R 外，是否可测量Ry 、Ra 。
2．圆柱型轴类零件在双管显微镜上能测量吗？如何测？孔类零件呢？球型零件呢？
3．为什么加工痕迹要调节与光轴垂直？而且与工作台纵向移动垂直？两个不垂直对测量结果有影响吗？
一、实验目的
1．了解用光波干涉测量表面粗糙度的原理和方法
2．熟练干涉显微镜的使用主法
3．加深对微观不平度十点高度Rz 和轮廓最大高度Ry 的理解
二、测量原理及仪器说明
1. 仪器的结构
干涉显微镜用于测量微观不平度十点高度z R 值和轮廓最大高度y R 值，z R 测量范围为0.8～0.03m μ。
它是利用光波干涉原理，将具有微观不平度的被测表面与标准光学镜面相比较，用光波波长为基准来测量工件表面粗糙度，其外形结构如图3-6所示。
图3-6干涉显微镜外形
1—目镜千分尺；1a —刻度筒 ；1b —螺钉 ；2—圆工作台 ；2a —移动圆台的滚花环 ；2b —转动圆台的滚花环 ；2c —升降圆台的滚花环；3—参考镜部件；4—光源；4a —调节螺钉；5—照相机；6—转遮光板手轮；7、8、9、14—干涉带调节手轮；10—目视或照相的转换手轮；11—光阑调节手轮；12—滤光片手柄；13—固紧照相机的螺钉
2. 测量原理
干涉显微镜的光学系统见图3-7。
从光源1发出的光束，经过分光镜9分为两束光。
一束透过分光镜9、补偿板10，射向被测工件表面，由工件反射后经原路返回至分光镜9，射向观察目镜20。
另一束光通过分光镜9反射到标准参考镜13，由标准参考镜13反射并透过分光镜9，也射向观察目镜20。
这两束光线间存在光程差，相遇时，产生光波干涉，形成明暗相间的干涉里条纹。
若工件表面为理想平面，则干涉条纹为等距离平行直线；若工件表面存在着微观不平度，通过目镜将看到如图3-8的弯曲干涉条纹。
测出干涉条纹的弯曲度i h ∆和间隔宽度i b （由光波干涉原理可知，b 对应于半波长
2λ）。
通过下式可计算出波峰至波谷的实际高度i Y 为
2
λ⨯∆=i i i b h Y
式中 λ---光波波长。
自然光（白光），λ=0.66m μ；绿光（单色光），λ=0.509m μ；红光（单色光），λ=0.644m μ。
图3-7干涉显微镜光学系统
1—光源；2，4，8—聚光镜；3—滤光片；5—折射镜；6—视场光阑；7—孔径光阑；9—分光镜；10补偿板；11—物镜；12—被测表面；13—标准参考镜；14—物镜组；15—遮光板；16—可调反光镜；17—折射镜；18—照相物镜；19—照相底片；20—目镜
三、 测量步骤
1．用汽油洗净工件，放在工作台上，使被测面对着物镜，接通电源。
2．将挡板调节手柄旋至箭头向上，遮住射向参考反镜的光线。
3．移动滤光片手柄4，选取单光，记下波长数值，将光圈5开到最大。
4．缓慢转动微调旋扭13，使整个干涉系统上下移动，对被测表面调焦，直到从目镜11中观察到清晰的被测表面的加工痕迹。
5．转动挡板手柄9使肖头处水平位置，此时从目镜可看到干涉条纹。
见图3-8。
图3-8干涉条纹。