准分子激光器故障原因分析
激光设备常见故障及处理方法
激光设备常见故障及处理方法激光设备是一种高精密度的设备，由于复杂的工作原理和结构，也容易出现故障。
以下是激光设备常见故障及处理方法：1.激光器无法启动或无法保持输出功率稳定可能原因：-激光泵浦光源故障：检查泵浦光源是否正常运行，是否需要更换或维修。
-激光器冷却系统问题：检查冷却系统是否正常运行，是否需要清洁或更换冷却液。
-激光器光谱镜片故障：检查光谱镜片是否清洁，是否需要更换。
-激光器谐振腔问题：检查谐振腔是否需要调整或维修。
处理方法：-根据具体原因进行相应的维修或更换工作。
-定期检查和维护激光设备，预防潜在问题的发生。
2.激光束质量变差或出现故障可能原因：-激光器激光束调制问题：检查激光器的调制系统是否正常工作。
-光学元件污染或损坏：检查镜片和透镜是否干净，是否需要清洁或更换。
-激光器输出光路对准问题：检查激光器输出光路是否正确调整。
处理方法：-清洁或更换污损或损坏的光学元件。
-调整激光器输出光路，确保正常工作。
3.激光器频率漂移或不稳定可能原因：-激光器锁模系统故障：检查锁模系统是否正常运行。
-温度漂移：检查激光器周围温度是否稳定，是否需要调整。
处理方法：-维修或更换激光器锁模系统。
-确保激光器周围温度稳定，也可以通过外部温控系统进行调整。
4.激光器功率过低或过高可能原因：-激光器光源问题：检查光源是否正常工作，是否需要更换。
-激光器调制和放大系统问题：检查调制和放大系统是否正常运行。
处理方法：-更换光源或进行维修。
-进一步检查和维修激光器调制和放大系统。
5.激光器电源故障可能原因：-电源供电问题：检查供电电压是否稳定，是否需要修复或更换供电线路。
处理方法：-检查供电线路的电压和电流，并根据需要修复或更换。
以上是激光设备常见故障及处理方法的概述，具体处理方法应根据不同激光设备的具体情况来调整和执行。
在处理时，一定要注意安全，并在必要的情况下寻求专业人士的帮助。
ESRIS准分子激光治疗仪工作原理及故障维修
反射 镜校 正光 斑位 置 ，位 置 调整完 毕 ，拆 下 准直 （ ）清 洁第 二 反 射 镜 后 ，将 它 安 装 在 相 应 位 ４
工具 。
置 ，使 用 准直工 具 ，调整 第二 反射镜 ，校 正光 斑位 置 ，清洁其 余 的聚焦 透镜 镜片 ，清 洁完毕 后将 它们
１ 光 路工 作原理
次将一 反射 镜 ，高斯 镜 ，聚焦 透 镜 ，光 斑 整 形 孔 ， 第二反 射镜 ，聚焦透镜 ，光斑 整形 透镜 ，拆 下 来 。 （ ）使 用无 水 酒 精 和 擦 镜 纸 ，清 洁 第 一 反 射 ３ 镜 ，高斯镜 ，聚 焦透 镜 ，光 斑整 形孔 后 ，按顺 序将 它们装 好 。使用 准 直 工 具 （ 随设 备 附 带 ） 调 整 第
２ １ 故 障 现 象 ：能量 测 试 完成 后 做 漂移 定 标 发 现 ．
激 光能量 光 斑 变 形 且 无 法 与显 微 镜 红 外 线 定 位 重 合。
故 障分析 ：考 虑是设 备 光路长 时 间未做 除尘 或
分 比数值始终偏高 Ｈ Ｖ达到６ ％ ，多次更换氮气也 ９ 无法将数值 降低 ，不能得 到手术所需 的最佳 能量
［ 摘 要］ 本文 系统分析 了西门子 Ｐ Ｌ Ｄ Ｒ Ｓ０ Ｏ Ｙ Ｏ Ｏ １０型 ｘ线机的工作原 理和基本组成部 分，总结 了三例 ｘ
线机 的使 用 维修 经验 ，进 一 步 说 明 了 ｘ 线机 选择 的 工 作模 式 受控 于 微 处理 器 输 出的 控 制 信 号 。 包括 选 择 管 电 流 、 管 电 压 、 毫安 秒 的 大小 ，透视 、 照 相 、 点 片等 曝 光 工作 过 程 。
４ ９
C02激光器常见故障的检修
医用C02激光器常见故障的检修目前，各医院使用的C02激光器多为国产机，这些激光器虽然功率、型号各不相同，但在电路结构原理上是基本相同的,都是以断水保护电路、电压调节电路、倍压整流电路、过流保护电路、过压保护电路、He-Ne激光跟迹电路共6个基本单元所组成。
因此C02激光器所发生的故障及检修方法都带有共性，只要掌握了一种机型的电路结构原理及维修方法，即可用于其它型号的C02激光器故障的维修。
这里以YYTGlA型30W C022激光器的电路维修为例作较全面介绍，供参考。
1 电路工作原理1.1 电源启动与断水保护电路当电源开关接通后，水泵启动，冷却水经压力开关至C02激光管进行循环，并在C02激光管进水端的管路上产生一定的压力，这个压力使压力开关闭合，BG导通，继电器J5工作，J5-1常开触点闭合。
踩下脚开关K2，电源继电器J1工作，L1-1、J1-2常开触点闭合，电源启动使调压器B1通电工作。
1.2 电压调节电路(激光功率调节) C02激光器除便携式机外一般都是用调压器来调节激光器工作电压。
B1为调压器，输出电压接于高压变压器B2，调节输出电压即可，以控制激光功率的大小。
1.3 倍压整流电路由变压器B2次级线圈，倍压整流二极管D1、D2、D3，储能电容C1、C2、C3，及泄放电阻R1构成。
当接通电源后，调节调压器B1、可使B2变压器次级升压至7500V，经倍压整流后，在B点得到≥28kV的倍压电压，此电压经限流电阻R2-R9触发C02激光管启辉。
由于C3容量较小，C3两端电压(触发电压)随着激光管启辉而消失。
激光管启辉后，由A点二倍压经D3、R2-R9向激光管持续供电，维持激光管的正常工作。
1.4 过流保护电路此电路由继电器J2、二极管D4、可调电位器W1及滤波电容E1构成。
调节W1可改变过流保护值。
因某种原因使激光管回路电流超过保护值时，继电器J2吸合，J2-1常开触点闭合，使继电器J4工作，J4-2闭合并自锁，J4-1常闭触点断开，使继电器J1断电，J2-1、J1-2复位切断调压器电源，激光器停止工作，实现了过流保护。
激光机常见故障以及解决方法
激光机常见故障以及解决方法激光机是一种常见的工业加工设备，由于其高功率、高频率的作业特点，经常会遇到各种故障。
以下是激光机常见的故障以及解决方法：故障一：激光输出功率不稳激光输出功率不稳是激光机工作中常见的问题，这可能是由于激光机内部温度误差过大、激光管老化等原因导致。
解决方法：1.在激光机工作之前应该充分的预热。
2.检查激光机光学系统是否存在损坏，有需要调整的地方及时调整。
3.检查激光管是否工作正常，如果出现问题需要及时更换。
故障二：激光束快速移动，反应速度慢当激光机工作时，如果出现激光束快速移动的情况，同时反应速度缓慢，那么就存在故障。
这可能是由于激光机光路系统设计不严谨、激光器的排气技术不合理等原因导致。
解决方法：1.检查激光机光路系统是否存在设计问题，有需要调整的地方及时调整。
2.检查激光器的排气技术是否合理，如果发现有问题可以更换排气技术。
3.对激光器进行清洗和维护，定期清洗激光器的内部，同时进行维护。
故障三：激光束大小不均匀激光束大小不均匀是激光机常见的故障之一，很多时候这种故障是由于激光机的镜头没有正确定位造成的。
解决方法：1.检查激光机的镜头是否被移位，如果移位则需要重新调整。
2.检查激光机的光路系统是否存在设计问题，如果设计不严谨需要及时更换。
3.检查激光机的棱镜是否受损，如果受损需要及时更换棱镜。
故障四：激光束不稳，无法保持一直运行当激光机工作时，可能会出现激光束不稳定的情况，这可能是由于激光机内部存在泄漏、镜头移位等原因导致。
解决方法：1.检查激光机内部是否存在泄漏，如果存在泄漏则需要及时维修。
2.检查激光机的镜头是否移位，如果移位则需要重新调整。
3.检查激光机的光学系统是否存在损坏，有需要调整的地方及时调整。
总结：对于激光机常见的故障，我们需要及时进行维修和保养，同时需要注意加强激光机的日常使用管理，这样才能更好的保持激光机的正常运行。
激光设备常见故障及维修方法
故障现象分析方法处理方法1、工作时无激光1.首先查看激光管本身是否发光(在出光口测试)，如激光管发光查镜片是否损坏,光路是否偏移.2.激光管出光口无光,查水循环是否正常,(看出水管水流是否顺畅),如无水流或水流不畅清洁水泵,理顺疏通水管3.水循环正常,看激光电源指示灯是否亮,电源风扇是否转动,如不转动激光电源坏,更换激光电源4.按激光电源点射键,如无光激光管坏，更换激光管5.如短接水保护信号线仍无光主板故障,更换2、开机无动作1.机器液晶块或日光灯管是否有显示或亮,如无查供电系统或主电源保险丝2.如有显示,查看主板参数,如参数不对写入正确参数3.参数无误,仍无动作,主板或驱动器故障3、清扫变浅1.查工作光强与速度,水温,如速度过快,光强过小,水温过高加大光强,降低速度,更换循环水,2.看勾边深度是否正常,如正常,增加图形分辨率或扫描间隔3.勾边还是很浅,或时深时浅,镜片是否脏或损坏,光路有无偏移4.电流表示数正常,但深度仍不够激光管老化,更换激光管4、机器时而有光,时而无光1.查镜片是否过脏或有无损坏,光路有无严重偏移,清洁或更换镜片,调正光路2.镜片光路正常,查水循环是否正常,如水时断时续清洁或更换水泵,疏通水管3.水循环正常,可能为水保护故障,更换水保护4.如问题依旧,主板,激光电源,激光管均可能导致这一现象,交替更换以上配件,查找原因5、图形输出后尺寸不对1,检查机器皮带是否有异常或破损更换皮带2.看运动分辨率是否正确重新计算运动分辨率6、机器复位不正常1.复位时方向正确,但到了顶点,小车与横梁不能停下来(新机先查看主板参数,如正确)主板或限位器故障,更换2.横梁复位正常,激光头复位不动,可能为张紧轮卡死或电机轴断，参数有错更换张紧轮或小电机，修改参数3.刻章机出现不复位时,要注意12芯数据线和小板是否有接触不良或开路重新插接或更换数据线和小板7、机器中途停刻,漏刻,乱刻1.检查机器接地状况,测量地线是否达标(对地电阻不应大于5欧姆)改造地线,达到相关标准2.查电脑有没有设置屏幕保护或节电模式(如系统休眠或关闭硬盘)针对低速高速主板取消上述各项设置,改为"从不" 3.查看原始图形是否有错误,如图形有交叉,未闭合,缺笔画等改正图形中的错误4.如做其它图形无此问题,只是某一个图形出现这样的问题图形数据处理错误,重新做效果图5.问题仍然存在可能为电脑USB口,雕刻机主板问题8、勾边不闭合1.测量横梁是否平行,正常情况下,左右偏差不大于2MM调整横梁平行度,减小误差2.查激光头皮带与横梁皮带松紧度是否适宜,两侧皮带张调整皮带松紧程度,两侧不要相差紧程度是否相同太多3.开机状态下,用手推拉激光头及横梁,上下轻轻搬动激光头,看是否有机械间隙,如有加紧电机或传动轴同步轮,更换滑块9、清扫或勾边错位1.任何图形,速度过快均会引起错位降低工作速度2.在输出软件中放大原始图形,查看图形本身有无错位现象改正原始图形中的错误3.试做另一块样版,看是否只有某图形有问题,如其图没有图形数据错误,重新制作效果图4.查看同步带是否过松,横梁两侧皮带是否张紧程度相同调整同步带松紧度5.电机与传动轴同步轮是否有间隙紧固同步轮6.检查横梁是否平行,横梁支座与小车滑块是否有磨损现象调整横梁平行度,更换支座或滑块7.主板或驱动器故障更换主板或驱动器10、清扫或勾边有锯齿1.速度过快降低速度2.如用BMP位图格式输出,查看图形分辨率在图形尺寸无误的前提下,尽量加大分辨率3.小车与横梁同步带是否过松或过紧调整同步带张紧程度4.检查X向张紧轮,是否因磨损出现间隙更换张紧轮5.停机状态下,查看激光头或滑块有无间隙更换滑块或紧固激光头6.查看四片激光镜片处有无破损或松动,特别是激光头上方反光镜与聚焦镜是否安装牢固紧固有松动的镜片,或更换破损的镜片11、端口打不开(或连续发送机器不动)1.检查接地状况,地线安装是否达到相关标准(静电干扰将影响数据通讯)改造地线,达到相关标准2.查USB数据数各接口是否出现松动,接触不良等现象处理接头或更换数据线.B驱动程序是否正确安装重新安装USB驱动程序4.神绘软件中输出端口是否与电脑中生成的串口一致修改神绘软件中串口设置5.激光电源的高压接头端或激光电源有问题重新连接或更换激光电源6电脑USB接口是否有问题,可以用其他USB设备测试换USB口或用另外电脑试机7.机器主板问题更换主板12、清扫效果不好,勾边线条很粗1.检查焦距是否正确,特别是清洗镜片或更换新镜片后(此处注意聚焦镜是有方向性的)调整正确的焦距值2.查看四片镜片有无破损或过脏现象(镜片破损或过脏,会使激光散射)更换或清洗镜片3.检查激光管出光口光斑质量,若出现两点或光点不圆,空心等现象,为激光管支承点、方向是否合适、激光管本身调整支承、转动方向、更换激光管13、激光头头出光口有火花1.如用在橡胶版行业,胶版有杂质,易出现此现象,应无影响无需处理,建议客户选用优质胶版2.查看激光头上的气管,是否有较强的气流喷出,因气管路径较长,易打折,堵塞或磨破清洁或更换气管3.检查气泵本身是否有故障,如气泵出气量小或不工作更换气泵14、循环水升温很快1.激光工作光强过大在保证切割深度的前提下,尽量减小光强2.连续不间断工作时间过长要求客户每过4个小时,停机半小时3.检查冷却水出水管回流是否正常,水流是否顺畅,机内乳理顺水管,使水流顺畅胶管是否打折4.检查水泵或进出水管是否过脏,水保护是否有无堵塞现象清洁水泵及水管,更换水保护5.查看潜水泵出水量及水压是否正常,如出水很小更换水泵或冷水机15、冷水机报警（普通机型无冷水机）1.先要保证用户供电系统正常,电压偏低易引起冷水机报警保证电压正常,必要可选用稳压器2.看冷水机内水量够不够,水量过少会报警加满纯净水3.水管是否堵塞或打折,水保护是否有堵塞,均会引起报警清洁或理顺水管及水保护4.水温是否过高,水温超过限定值,会引起报警,常换水,或停机半小时再开机雕刻5.查冷水机内水泵是否出水正常,无水或水流很小,更换冷水机16、开机无显示及按键无动作1.重新开机看横梁与小车复位是否正常,如无动作,按故障"2"的提示进行处理,2.开机复位正常,按动机器面板上的方向键及功能键,看是否正常,如按键一切正常液晶显示块坏,更换3.如按键不正常,方向键无动作,面板损坏更换面板17、电流不稳或不受控制1.主板或接线板有问题更换主板或接线板2.激光电源有问题更换激光电源18、开机激光头或横梁抖动现象1.先查看主板参数中,"复位检测极性"是否正确按正确参数写入雕刻机2.关机后用手移动小车与横梁,如阻力明显,查看左侧张紧轮,小车滑块清洁导轨,滑块,更换张紧轮3.查看同步带与激光头吹风管有无卡住,横梁是否偏移严重,调整横梁及皮带,理顺吹气管4.检查电机及驱动器是否有故障,更换电机或驱动器5.如问题仍然存在,可能为主板故障更换主板19、开机连续发光1.先查看主板参数中,激光器类型是否正确激光器类型要设为"国产管"2.检查机器地线是否接好给机器连接好地线3.激光电源故障更换激光电源4.主板故障更换主板20、工作时高压打火1.先确定高压打火的位置,如是激光管与激光电源高压接处,看接头是否放置正确或者高压支座下面潮湿将接头卡在绝缘支架上或用风筒吹干受潮部分2.查看高压接头是否对接牢固,有无虚连现象保证接点无虚连,对接牢固3.如打火在激光电源内部更换激光电源4.激光管高压端打火或更换激光电源后仍打火更换激光管。
激光器主机故障排查
4、使用万用表调至欧姆档测量蓝色标注线路通 断。光耦上端是DC5V，下端是DC24V，通过上 端送电测量下端有无DC24V输出来判断光耦是否 损坏
3、万用表打至直流电压档，红色表笔接导 线，黑色表笔接导线外侧金属圈，电脑操作 界面手动打标看电压表电压是否变为DC5V， 变为5V为正常
触点是否氧化，网线是否损坏
b、把激光能量调至20%；
3 打标卡未输出5V电压
检查打标卡的输出电压是否为DC5V
c、按照目录4.1.1图示方法判断是否是 激光器故障,激光器故障按处理措施5处
4
打标卡输出电压未能通过光耦把 检查打标卡——光耦——D型端子15，16脚— 理
DC24V送给激光器
—激光器之间的接线是否断路，光耦是否失效
微型电脑 光电耦合器
端子排
D型端子
激光器24脚
3 激光器网页版设置
激光器网页版与激光器通过IP连接，IP号见操作面板参数设置。设置完成后显示效果应如下图所示
禁用
4 激光器常见故障
故障类型 序号
可能原因
处理措施
处理步骤
激光器不出光
激光器一直出光 激光器不上电 激光器内部上电
异常
检查后段激光电脑防火墙，关闭防火墙；
1 上位机通讯信号异常；
检查上位机信号
a、关闭激光使能；
2
检查打标卡未5V电压是否异常 检查打标卡输出端口电压是否不受控制，长给 b、激光出射头下方放置铝板；
（不受控制，长给DC5V）
DC5V
c、把激光能量调至20%；
3 线路异常
按照目录2.3中15，16管脚接线图排查线路 d、按照目录4.2图示处理
激光打印机故障分析报告大(全)
硒鼓故障分析大全激光打印机的电路设计相当完善，它采用了多级的保护措施和顺序开关电路，故障率很低。
所以当打印机出现故障时，要先排除其他操作不当和介质不适合的问题，不要急于拆解打印机，要先关闭总电源开关，等打印机温度降下来后重新开机，以观察故障是否清除，如果故障现象依旧再进行检修。
因为激光打印机很多的故障属于临时性错误而造成的，所以这么做是借助于重新启动打印机的自检测功能，来恢复顺序错误故障。
1询问:弄清打印机的购买时间、打印工作量的大小、经常使用什么样的打印介质等等。
根据操作人员提供的信息，作出基本的判断和合理的解释2观察:首先观察打印机的使用环境、打印介质是否符合标准，必要时打开机盖观察有无部件松动、损坏，查看机器内部的污染情况是否严重。
凡是能观察到的部位都进行检查，并用手配合触摸部件有无松动、温度过高或烧焦现象。
如果是打印样稿出现问题，可通过观察打印样张，分析判断故障原因，然后合上机盖接通电源，观察面板指示灯的状态，看打印机能否顺利通过自检，“准备就绪”指示灯是否正常。
如果面板“错误灯”亮及闪烁，或机内有异味散发出来，应立即关闭电源进行一步检查检测,利用仪表进行测量,要根据不同机型的技术指标，测量各检测点的电阻、电压、电流的数值，判断引起故障的原因。
激光打印机电路的结构比较复杂，大多采用脉冲、光电、时序电路，测量时有一定的难度.但激光打印机主控制电路很少发生故障，一般故障大多发生在电源电路、温控元件和光电感应器及机械传动装置等部位。
维修时应针对故障发生的部位.维修方法1、分割法激光打印机集激光、电子、光学、机械于一体的设备，通过分析故障现象，可以采取“分割”的手段进行故障的判断与维修。
首先，分析引起故障发生的原因是在哪一部分，如果是发生在光学或机械部分，就可以排除其他部分，集中精力于故障发生的部分。
这就是所谓的分割法2、面板法面板法是一种比较直观的方法，它是利用打印机面板指示灯的状态，或显示窗中显示出的代码信息，采取相应的方法排除故障。
激光打标机常见故障问题及调节方法
激光打标机常见故障问题及调节方法常见问题：1.激光打标机使用一段时间以后，激光器激光输出功率下降的原因：①激光谐振腔是否变化：微调前后谐振腔镜片，使输出光斑最好；②全反及输出膜片是否有污损现象；③激光打标机激光棒表面由于温差形成结露现象；2.激光打标机激光输出功率正常，但激光光束不能起到标刻作用：①光路系统调整是否准确；②声光开关是否能够起到开关作用；3．激光打标机不能达到预期的打标深度的原因：①激光输出功率是否达到要求；②声光开关关断功率是否满足要求；③光路调整是否准确；④工件表面是否在焦平面上；光路调节方法：1.按正常开机顺序开机，注意必须将冷水机打开，并等待冷水机实时温度与设定温度一致时才能进行下一步操作。
2.拆卸激光打标机防护罩，注意不能擦碰；按正常关机方法关闭激光器和Q开关电源。
3.用调光倍频片或白纸观察此时红光输出及反馈情况，以红光指示器屏有最圆最亮光斑为宜。
若红光光斑有多个，依次调节红光指示器至扩束镜各调节螺母，至达到要求为止。
4.打开激光电源，调节电流至14~15A范围，最好不要超过15A 为宜，用调光倍频片在激光器前观察激光输出是否为最圆最亮光斑。
5.将倍频片放置在扩束镜后观察有无激光输出。
若无，缓慢调节各调节螺母，按顺序依次调节至有最亮最圆光斑为止。
6.将电流缓慢下调，观察倍频片光斑强弱，依次调节调节螺母至光斑最圆最亮。
7.重复第6步操作，至少4~6次，得到最圆最亮光斑，此时电流应为10A以下为宜，最好不要超过12A。
8.将倍频片放置在工作台上，此时工作台应为焦点位置（大概距离为22~22.5cm），观察激光光斑强弱，也可稍微加大电流微调调节螺母，至得到最强光斑为止。
注意此步骤为微调。
9.打开Q开关，进行试刻，（试刻参数为正常打标参数即可）若光强达到要求，调节到此完毕。
10.安装防护罩。
打标机日常操作及维护要点：1.打标机打标参数，电流不能超过20A，以免激光灼伤各个镜片。
2.打标机工作前必须将冷水机打开并等待冷水机实时温度与设定温度一致，相差不能超过0.5℃。
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准分子激光器的波长
准分子激光器具有工作波长短、脉宽窄、单脉冲能量高及峰值
功率高等特点，作为紫外辐射光源已在工业、医学和科研领域得到
了及其广泛的应用。 目前最常用的准分子激光器的输出波长有： 308nm XeCl 准分子激光器 248nm KrF 准分子激光器 193nm ArF 准分子激光器
2017年10月光学仪器中心 - 51准分子
Байду номын сангаас
影响激光器能量输出的因素 （故障多发可能性分析）
1、主放电电极和预电离电极在高重频下（数百赫兹），需要连续放电，各电极 在放电过程中会有少量的金属分子离析，进而造成激光腔内及激光腔镜尘埃的污 染，影响激光的输出能量。要得到额定的能量输出，就要提高注入能量（输入电 压），电压的提高必然加速电极的损伤，最终导致电极间产生丝状放电，能量急 剧下降。 2、由于工作气体不纯、配比失调、循环风机不能正常工作、激光腔有泄漏（少 量），造成气压和电压不匹配，使气体寿命下降。造成能量输出不稳定。 3、放电回路接触不良、电容老化使电容容量下降、氢闸流管老化或损坏，都能 产生能量下降或激光器不能正常工作。 准分子激光器结构复杂，精度要求高，因此对设计制造和维修都有严格的操作 程序和要求，维修人员需具有多年的装配和维修经验才能胜任。目前，市场上的 准分子激光器主要是国外进口产品，维修工程师程序化操作、模块化检测，主要 的维修手段是更换模块甚至返回原厂（激光腔体问题），致使维修费用昂贵。
什么是准分子激光
准分子激光是一种气体激光, 它的工作气体是由常态下化学性质稳定的惰性气 体原子如He 、 Ne 、Ar 、Kr 、Xe 和化学性质较活泼的卤素原子如F 、Cl 、Br 等组 成。一般情况下,惰性气体原子是不会和别的原子形成分子的, 但是如果把它们和卤 素元素混合,再以放电的形式加以激励,就 能成为激发态的分子,当激发态的分子跃迁 回基态时,立刻分解、还原成本来的特性,同时释放出光子, 经谐振腔共振放大后, 发 射出高能量的紫外光激光。这种处于激发态的分子寿命极短, 只有10ns , 故 称为 “准分子”( Excimer)。
准分子激光器的原理 多发故障可能性分析
2017年10月光学仪器中心 - 51准分子
什么是准分子
自1960年美国在实验室用红宝石晶体获得了激光输出后，激光器件和技术 得到了突飞猛进的发展。由固体激光器发展到气体、液体、化学及自由电子激光 器等。准分子激光器是气体激光器的一种，工作介质为准分子气体，工作气体常 态下为原子，在激发态能够 暂时结合成不稳定的分子叫做受激准分子，简称准分子。
准分子激光器的特点
准分子激光器是一种横向激励高气压、高电压快速放电泵浦的激光器，要得到很 陡的窄脉冲，放电回路中要选用快速开关，常用的是氢闸流管。主放电通过阴极 电极和阳极电极间实现均匀放电，常用的电极有儒可夫斯基电极和江氏电极面型 等。 为了获得均匀放电和降低着火电压，采用了双放电技术。在阳极和阴极之间靠近 阴极附近加入了第三根电极（预电离电极），在主放电之前，预电离电极和主放 电的阴极间先加上高压，使它们之间发生电晕放电或针式阵列预电离放电，在阴 极附近形成均匀的电离层，然后再在阴极和阳极间加上高电压并发生辉光放电。 为得到特定波长的激光输出，需要充入不同的惰性气体外，还有充入一定比例的 卤素气体。如KrF、ArF激光器要充入氟化物气体，XeCl激光器要充入氯化氢气体， 它们都有腐蚀和毒害作用（在工作气体中含量较低约0.2%）。为提高频率并获得 较大的粒子反转数和较大的增益，工作气体需要高速流动，因此在激光腔内安装 了横流循环风机。使激光器在高重复频率下也能获得稳定的能量输出。