扫描隧道显微镜
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扫描隧道显微镜STM
5)可在真空、大气、常温等不同环境下工作，样品甚 至可浸在水和其他溶液中 不需要特别的制样技术并且 探测过程对样品无损伤．这些特点特别适用于研究生 物样品和在不同实验条件下对样品表面的评价，例如 对于多相催化机理、超一身地创、电化学反应过程中 电极表面变化的监测等。
液体中观察原子图象 下图所示的是在电解液中得到的硫酸根离子吸附在铜单晶(111)表面的
2) 可实时得到实空间中样品表面的三维图像，可用 于具有周期性或不具备周期性的表面结构的研究，这 种可实时观察的性能可用于表面扩散等动态过程的研 究．
3) 可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是对 体相或整个表面的平均性质，因而可直接观察到表面 缺陷。表面重构、表面吸附体的形态和位置，以及由 吸附体引起的表面重构等．
式中，I表示隧道电流，Ф表示有效局部功函数，d表示样品 与针尖间的距离，m为电子质量，h为普朗克常数。 在典型条件下，Ф近似为4eV，k=10 nm-1 如果d减小0.1 nm，隧道电流I将增加一个数量级
隧穿电流和金属间距成指数关系,由此在距离比较 远的时候,几乎不存在隧穿电流,而距离靠近时,电流 增长极快 ，隧道电流强度对针尖与样品表面之间距 非常敏感。
我们把三个分别代表X，Y，Z方向的压电陶瓷块组成三 角架的形状。通过控制X，Y方向伸缩达到驱动探针在样品 表面扫描的目的；通过控制 Z 方向压电陶瓷的伸缩达到控 制探针与样品之间距离的目的。
常用的压电材料是钛酸锆酸铅[Pb(Ti,Zr)O3](简称PZT)， 它是一种多晶陶瓷材料。由于掺杂含量的改变，将得到不同 性质的PZT材料。可以使1mV~1000V的电压信号转换成十 几分之一纳米到几微米的位移。
隧道探针一般采用直径小于1mm的细金属丝， 如钨丝、铂-铱丝等，被观测样品应具有一定的导电 性才可以产生隧道电流。
液体中观察原子图象 下图所示的是在电解液中得到的硫酸根离子吸附在铜单晶(111)表面的
2) 可实时得到实空间中样品表面的三维图像，可用 于具有周期性或不具备周期性的表面结构的研究，这 种可实时观察的性能可用于表面扩散等动态过程的研 究．
3) 可以观察单个原子层的局部表面结构，而不是对 体相或整个表面的平均性质，因而可直接观察到表面 缺陷。表面重构、表面吸附体的形态和位置，以及由 吸附体引起的表面重构等．
式中，I表示隧道电流，Ф表示有效局部功函数，d表示样品 与针尖间的距离，m为电子质量，h为普朗克常数。 在典型条件下，Ф近似为4eV，k=10 nm-1 如果d减小0.1 nm，隧道电流I将增加一个数量级
隧穿电流和金属间距成指数关系,由此在距离比较 远的时候,几乎不存在隧穿电流,而距离靠近时,电流 增长极快 ，隧道电流强度对针尖与样品表面之间距 非常敏感。
我们把三个分别代表X，Y，Z方向的压电陶瓷块组成三 角架的形状。通过控制X，Y方向伸缩达到驱动探针在样品 表面扫描的目的；通过控制 Z 方向压电陶瓷的伸缩达到控 制探针与样品之间距离的目的。
常用的压电材料是钛酸锆酸铅[Pb(Ti,Zr)O3](简称PZT)， 它是一种多晶陶瓷材料。由于掺杂含量的改变，将得到不同 性质的PZT材料。可以使1mV~1000V的电压信号转换成十 几分之一纳米到几微米的位移。
隧道探针一般采用直径小于1mm的细金属丝， 如钨丝、铂-铱丝等，被观测样品应具有一定的导电 性才可以产生隧道电流。
扫描隧道显微镜原理与制备技术介绍
扫描隧道显微镜原理与制备技术介绍扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscope，STM）是一种基于量子隧道效应的高分辨率显微镜，用于观察固体表面的原子及分子结构。
本文将详细介绍扫描隧道显微镜的原理和制备技术。
扫描隧道显微镜通过利用尖端和样品表面之间的量子隧道效应，实现对表面形貌和电子结构的观察。
其原理可以简单描述为：在一个真空中，尖端电极和样品表面之间加上一个微小的直流电压，当尖端和样品非常接近时（约 1 nm），由于量子隧道效应的存在，电子会从尖端隧道穿过真空障垒，进入样品表面或从样品表面进入尖端。
通过测量电流的强度和偏置电压的变化，就可以对表面的电子结构和拓扑形貌进行分析和显微观察。
扫描隧道显微镜的制备技术涉及到多个方面，包括尖端制备、样品制备和探测系统的搭建。
首先，尖端制备是制备扫描隧道显微镜不可或缺的一步。
常用的方法有机械断裂法和电化学腐蚀法。
机械断裂法是将一根金属丝折断，使其末端形成尖端结构，常用的金属有铂铱合金。
电化学腐蚀法则是通过在电解液中腐蚀尖端材料来制备尖端。
这两种方法制备出的尖端直径一般为1-10纳米，且需要在真空条件下进行。
其次，样品的制备也是扫描隧道显微镜研究中的重要步骤。
制备样品需要考虑到其几何形状和电导特性。
通常，我们可以使用化学气相沉积、物理气相沉积、溅射沉积等方法制备样品。
这些方法可以制备出晶体、薄膜和纳米颗粒等不同形式的样品。
最后，搭建扫描隧道显微镜的探测系统是整个研究的核心。
探测系统主要包括扫描器、样品台和信号采集与处理系统。
扫描器用于控制尖端在样品表面的位置，实现对样品进行扫描。
样品台则用于固定样品并提供电流给样品。
信号采集与处理系统用于测量和处理电流信号，并通过计算机进行数据的可视化和分析。
总结起来，扫描隧道显微镜的原理是基于量子隧道效应，利用电流强度和偏置电压的变化来观察固体表面的原子和分子结构。
其制备技术包括尖端制备、样品制备和探测系统搭建。
扫描隧道显微镜STM
单分子化学反应已经成为现实
单原子、单分子操纵在化学上一个极具诱惑力的潜在应用是可能实现 “选键化学”──对分子内的化学键进行选择性的加工。虽然这是一个 极具挑战性的目标，但现在已有一些激动人心的演示性的结果。在康奈 尔大学Lee和Ho的实验中，STM被用来控制单个的CO分子与Ag(110)表 面的单个Fe原子在13K的温度下成键，形成FeCO和Fe(CO)2分子。同 时，他们还通过利用STM研究C-O键的伸缩振动特性等方法来确认和研 究产物分子。他们发现CO以一定的倾角与Fe-Ag(110)系统成键(即CO分 子倾斜地立在Fe原子上)，这被看成是Fe原子局域电子性质的体现。
5
2.STM的原理
图是STM的基本原理 图，其主要构成有：顶部 直径约为50—100nm的极 细金属针尖(通常是金属钨 制的针尖)，用于三维扫描 的三个相互垂直的压电陶 瓷(Px，Py，Pz)，以及用 于扫描和电流反馈的控制 器(Controller)等。
6
2.STM的原理
扫描隧道显微镜的基本 原理是将原子线度的极细 探针和被研究物质的表面 作为两个电极，当样品与 针尖的距离非常接近 (通常 小于1nm) 时，在外加电场 的作用下，电子会穿过两 个电极之间的势垒流向另 一电极。
16
溶液中固/液界面的原子和分子化学反应示意图
4.STM的工作环境
溶液条件
17
图是有机分子苯在Rh(111)—3x3(铑)表面 上的单层吸附结果。实验时，在0.01M(摩 尔)的HF(氢氟酸)溶液里含有0.25mM (毫 摩尔)浓度的有机分子苯。
图是另一种有机分子卟啉在I-Au(111)(碘-金) 表面上的单层吸附结果。实验时，在0.1M 的HClO4(高氯酸)溶液里含有0.57uM(微摩 尔)浓度的有机分子卟啉。
单原子、单分子操纵在化学上一个极具诱惑力的潜在应用是可能实现 “选键化学”──对分子内的化学键进行选择性的加工。虽然这是一个 极具挑战性的目标，但现在已有一些激动人心的演示性的结果。在康奈 尔大学Lee和Ho的实验中，STM被用来控制单个的CO分子与Ag(110)表 面的单个Fe原子在13K的温度下成键，形成FeCO和Fe(CO)2分子。同 时，他们还通过利用STM研究C-O键的伸缩振动特性等方法来确认和研 究产物分子。他们发现CO以一定的倾角与Fe-Ag(110)系统成键(即CO分 子倾斜地立在Fe原子上)，这被看成是Fe原子局域电子性质的体现。
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2.STM的原理
图是STM的基本原理 图，其主要构成有：顶部 直径约为50—100nm的极 细金属针尖(通常是金属钨 制的针尖)，用于三维扫描 的三个相互垂直的压电陶 瓷(Px，Py，Pz)，以及用 于扫描和电流反馈的控制 器(Controller)等。
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2.STM的原理
扫描隧道显微镜的基本 原理是将原子线度的极细 探针和被研究物质的表面 作为两个电极，当样品与 针尖的距离非常接近 (通常 小于1nm) 时，在外加电场 的作用下，电子会穿过两 个电极之间的势垒流向另 一电极。
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溶液中固/液界面的原子和分子化学反应示意图
4.STM的工作环境
溶液条件
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图是有机分子苯在Rh(111)—3x3(铑)表面 上的单层吸附结果。实验时，在0.01M(摩 尔)的HF(氢氟酸)溶液里含有0.25mM (毫 摩尔)浓度的有机分子苯。
图是另一种有机分子卟啉在I-Au(111)(碘-金) 表面上的单层吸附结果。实验时，在0.1M 的HClO4(高氯酸)溶液里含有0.57uM(微摩 尔)浓度的有机分子卟啉。
扫描隧道显微镜(STM)
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图9-4
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图9-5
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二、原子力显微镜的微悬臂及其变形的检测 方法
（一）微悬臂（力传感器） （二）微悬臂变形的检测方法
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（一）微悬臂（力传感器）
原子力显微镜所研究的力其数值很小。要实现力的高灵敏度测量，首 先要求力的感知件——微悬臂对微小力的变化具有足够高的灵敏度。
（1）弹性系数k值应在10 -2～10 2 N/m范围。极低的弹性系数 可满足极其灵敏地检测出零点几个nN
品表面之间的作用力，一般针尖曲率半径为30 nm
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（二）微悬臂变形的检测方法
原子力显微镜的图像是通过扫描时测量微悬臂受力后弯曲形变的程度 获得的，并利用Hooke定律来确定操作时的样品与针尖的作用力。
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三、原子力显微镜的成像模式
（一）接触成像模式 （二）非接触成像模式 （三）轻敲成像模式
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一、扫描隧道显微镜的基本原理
与光学显微镜和电子显微镜不同，STM不采用任何光学或电子透镜 成像，而是当尖锐金属探针在样品表面扫描时，利用针尖〖CD*2〗 样品间纳米间隙的量子隧道效应引起隧道电流与间隙大小呈指数关系， 获得原子级样品表面形貌特征图像，其基本原理如图9-1所示。
顶部有一直径约50～100 nm的极细金属探针（通常是金属钨制作 的针尖），功能是在其与样品互相作用时，可根据样品性质的不同 （如表面原子的几何结构和电子结构）产生变化的隧道电流。在扫描 隧道显微镜工作时，针尖与样品表面距离一般约为0.3～1.0 nm， 此时针尖和样品之间的电子云互相重叠。当在它们之间施加一偏压时， 电子就因量子隧道效应由针尖（或样品）转移到样品（或针尖）；金 属探针安置在三个相互垂直的压电陶瓷〖WTBX〗（P x、P y、 P z）架上，当在压电陶瓷器件上施加一定电压时，由于压电陶瓷 器件产生变形，便可驱动针尖在样品表面实现三维扫描；控制器是用 STM
图9-4
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二、原子力显微镜的微悬臂及其变形的检测 方法
（一）微悬臂（力传感器） （二）微悬臂变形的检测方法
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（一）微悬臂（力传感器）
原子力显微镜所研究的力其数值很小。要实现力的高灵敏度测量，首 先要求力的感知件——微悬臂对微小力的变化具有足够高的灵敏度。
（1）弹性系数k值应在10 -2～10 2 N/m范围。极低的弹性系数 可满足极其灵敏地检测出零点几个nN
品表面之间的作用力，一般针尖曲率半径为30 nm
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（二）微悬臂变形的检测方法
原子力显微镜的图像是通过扫描时测量微悬臂受力后弯曲形变的程度 获得的，并利用Hooke定律来确定操作时的样品与针尖的作用力。
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三、原子力显微镜的成像模式
（一）接触成像模式 （二）非接触成像模式 （三）轻敲成像模式
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一、扫描隧道显微镜的基本原理
与光学显微镜和电子显微镜不同，STM不采用任何光学或电子透镜 成像，而是当尖锐金属探针在样品表面扫描时，利用针尖〖CD*2〗 样品间纳米间隙的量子隧道效应引起隧道电流与间隙大小呈指数关系， 获得原子级样品表面形貌特征图像，其基本原理如图9-1所示。
顶部有一直径约50～100 nm的极细金属探针（通常是金属钨制作 的针尖），功能是在其与样品互相作用时，可根据样品性质的不同 （如表面原子的几何结构和电子结构）产生变化的隧道电流。在扫描 隧道显微镜工作时，针尖与样品表面距离一般约为0.3～1.0 nm， 此时针尖和样品之间的电子云互相重叠。当在它们之间施加一偏压时， 电子就因量子隧道效应由针尖（或样品）转移到样品（或针尖）；金 属探针安置在三个相互垂直的压电陶瓷〖WTBX〗（P x、P y、 P z）架上，当在压电陶瓷器件上施加一定电压时，由于压电陶瓷 器件产生变形，便可驱动针尖在样品表面实现三维扫描；控制器是用 STM
扫描隧道显微镜
一、STM结构及工作原理
一、STM结构及工作原理
3、工作模式
根据针尖和样品的相对运动方式不同，工作模式分为恒电流
模式和恒高模式。
一、STM结构及工作原理
恒高模式是在扫描过程中切断反馈回路保持针尖的高度不变，
记录隧道电流的大小值。
恒高模式适于观察表面起伏较小的样品，一般不能用于观察
表面起伏大于1 nm的样品。在恒高模式下，STM可进行快速扫描，
测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显
微装置。
那么什么是隧道效应？根据量子力学原理，由于粒子存在波
动性，当一个粒子处在一个势垒之中时，粒子越过势垒出现在另
一边的几率不为零， 这种现象称为隧道效应。
一、STM结构及工作原理
由于隧道效应，金属中电子不完全局
限于金属表面之内，电子云密度并不在表
通过针尖与样品间的电学和力学作用，可以进行样品表面的
原子操纵或纳米加工，构造所需的纳米结构。
二、STM特点
配合扫描隧道谱STS(Scanning Tunneling Spectroscopy)可以得到
有关表面局域电子结构的信息。
二、STM特点
STM技术局限性：
不能探测深层结构信息。
扫描范围小。
无氧化层覆盖。
一、STM结构及工作原理
一、STM结构及工作原理
电化学腐蚀法 机械成型法 制备方法 聚焦离子束铣削法 电子束诱导化学气相沉积法 场致蒸发法
一、STM结构及工作原理
电化学腐蚀法
多用钨丝作针尖，所得到针尖直径可
小于100Ȧ。
以不锈钢或铂为阴极，以钨丝为阳极，
安装在一个高度可调节测微仪上，两极
流，便可获得隧道电流随偏压(I-Vb或dI/dVb-Vb)变化曲线 ，即扫
扫描隧道显微镜
样品
隧道电流 i A
探针
U
d
B
样品
隧道电流 i A
探针
U
d
B
i Ue A d A — 常量
— 样品表面平均势
垒高度（~ eV）
。 d ~ 1nm（ 10A ）
d 变 i 变，反映表面情况
d 变 ~ 0.1nm i 变几十倍，非常灵 敏。竖直分辨本领可达约10 2 nm
横向分辨本领与探针、样品材料及 绝缘物有关，在真空中可达 0. 2 nm。
技术关键：
1. 消震：多级弹簧，底部铜盘涡流阻尼。 2. 探针尖加工：电化学腐蚀，强电场去污，
针尖只有1~2个原子！ 3. 驱动和到位：利用压电效应的逆效应 —
电致伸缩，一步步扫描，扫描一步 0.04nm，扫描1(m)2 约0.7s。
4. 反馈：保持 i 不变 d 不变（不撞坏针尖）
显示器
1991年2月IBM的 “原子书法”小组又 创造出“分子绘画” 艺术 — “CO 小人”
图中每个白团是单个 CO分子竖在铂片表面 上的图象，上端为氧 原子 CO分子的间距： 0.5 nm “分子人”身 高：5 nm堪称世界上 最小的“小人图”
48个Fe原子形成“量子围栏”，围 栏中的电子形成驻波。 Fe原子间距： 0.95 nm，圆圈平均半径：7.13 nm
压电 控制
加电压 反馈传感器
隧道 电流
参考信号
扫描隧道显微镜示意图
中国科学院化学研究所研制的CST图象
用原子操纵写出的“100”和“中国”
1991年恩格勒等用STM在镍单晶表面逐个移动 氙原子，拼成了字母IBM，每个字母长5纳米
扫描隧道显微镜（STM）
（Scanning Tunneling Microscopy）
扫描隧道电子显微镜
应用与展望
• 扫描隧道电子显微镜的出现为人类认识和改造微观世界提供了 一个极其重要的新型工具。随着实验技术的不断完善,STM 将在 单原子操纵和纳米技术等诸多研究领域中得到越来越广泛的应 用。STM和 SEM 的结合在纳米技术中的应用必将极大地促进纳 米技术不断发展。可预言,在未来科学的发展中,STM 和 SEM 的
STM的工作模式
• 尽管扫描隧道电子显微镜的构型各不相同, 但都包括有下 述三个主要部分：驱动探针相对于导电试样表面作三维运动的 机械系统(镜体)，用于控制和监视探针与试样之间距离的电子 系统和把测得的数据转换成图像的显示系统。它有两种工作方 式：恒流模式、恒高模式。
STM的工作模式
恒电流模式
• 利用一套电子反馈线路控制隧道电流，使 其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖 在样品表面扫描，即是使针尖沿 x、y 两个 方向作二维运动。由于要控制隧道电流不 变,针尖与样品表面之间的局域高度也会保 持不变，因而针尖就会随着样品表面的高 低起伏而作相同的起伏运动，高度的信息 也就由此反映出来。这就是说，扫描隧道 电子显微镜得到了样品表面的三维立体信 息。这种工作方式获取图像信息全面，显 微图象质量高，应用广泛。
?3扫描隧道显微镜可在真空常压空气甚至溶液中探测物质的结构它的优点是三态固态液态和气态物质均可进行观察而普通电镜只能观察制作好的固体标本由于没有高能电子束对表面没有破坏作用如辐射热损伤等所以能对生理状态下生物大分子和活细胞膜表面的结构进行研究样品不会受到损伤而保持完好
扫描隧道电子显微镜
SCANNING TUNNELING MICROSCOP 简 称 STM 发明者 格尔德· 宾宁
隧道针尖
三维扫描控制器
减震系统
电子学控制系统
扫描隧道显微镜ppt
扫描隧道显微镜的工作模式
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恒高模式
在ห้องสมุดไป่ตู้模式下，针尖在固定的高度位置进行扫描 ，适用于表面高度变化较大的样品。
恒力模式
在此模式下，针尖根据表面形貌调整自身高度 ，以保持恒定的力，适用于表面高度变化较小 的样品。
交流模式
在此模式下，针尖与样品之间存在小幅度的振 动，以实现更精确的表面形貌扫描。
01
扫描隧道显微镜（STM）是一种基于量子力学隧道效应的测量技术，它能够直 接探测样品表面的原子结构，具有极高的分辨率和灵敏度。
02
STM技术自1981年被发明以来，已经广泛应用于物理、化学、生物学等各个领 域，成为研究物质表面结构和电子态的重要工具。
03
在过去的几十年中，STM技术不断发展和完善，不仅在实验上取得了许多重要 的成果，如原子操纵、单分子检测等，同时也促进了理论计算和模拟方法的发 展。
扫描隧道显微镜的应用范围
材料科学
用于研究材料表面的微观结构和物理性质，如表 面重构、吸附和脱附等。
生物学
用于研究生物分子和细胞膜的表面结构和功能， 如DNA和蛋白质的微观结构等。
环境科学
用于研究表面污染和环境变化对材料表面的影响 。
03
扫描隧道显微镜的优缺点
扫描隧道显微镜的优点
原子级分辨率
扫描隧道显微镜具有原子级的分辨 率，能够观察和解析材料表面的原 子结构。
分子构造研究
STM可以用于研究分子尺度的构造 和化学键信息，为理解分子性质提 供基础数据。
在生物领域的应用
细胞结构研究
STM可以用于观察细胞表面的结构、分子分布等，为生物医学 研究提供新的视角。
病毒构造研究
STM可以用于解析病毒的原子级别结构，为疫苗研发等提供关 键信息。
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STM工作原理
隧道效应
扫描隧道显微镜（STM）的基本
原理是利用量子理论中的隧道效
应。
"... I think I can safely say that nobody understands Quantum Mechanics"
Richard P. Feynman
In classical physics e flows are not possible without a
STM应用
扫描探针显微镜在光盘、磁盘的表面结构分析中 也获得了广泛的应用。
此外，扫描探针显微镜还可以用于修整材料缺陷， 改变材料特性，或是修整电子器件，从而使材料 和电子器件的特性达到最佳化。 美国能源部实验室的科学家卡兹墨斯基借助于原 子加工显微镜在材料表面掺杂后，N型材变成了P 型材料
STM应用
原子操纵 扫描探针显微镜所提供的单个原子、分子的操纵手段还可 能导致原子级的计算机开关器件的诞生。 相当方便面地移走材料表面的某一种原子和搬来另一种原 子，从而形成一种新材料。这一切在数分种内就可以完成。 这种显微镜最激动人心的用途就是用于制造"原子尺寸"的 计算机和毫微芯片。
合成橡胶缓冲垫
金属板
橡胶垫
弹簧悬挂
STM的应用微电子学研究
微电子器件的制造过程中
能在不接触表面的情况下绘制出电子元件 表面图象，不论这些元件的组成成份如何， 这对监督和改进亚微米集成电路的工艺具 有突出的作用。
具有不损伤器件的特点以及高的空间分辨 率
STM应用
基于扫描探针显微镜的纳米加工技术，包括了一种纳米刻蚀技术 （Nanolithgraphy）。
direct connection by a wire between two surfaces On an atomic scale a quantum mechanical particle behaves in its wave function. There is a finite probability that an electron will “jump” from one surface to the other of lower potential.
STM扫描模式—恒流模式
y
z
VT , I r
反馈回路
x
S
(a)
恒电流模式 Vz (Vx ,Vy ) z( x, y)
初始的隧道电流设为一恒定值，当样品表面凸起时，针尖就 会向后退，以保持隧道电流的值不变；反之，当样品表面凹 进时，反馈系统将使得针尖向前移动。计算机记录了针尖上 下移动的轨迹，合成起来，就可给出样品表面的三维形貌。
STM tip: atomically sharp needle and terminates in a single atom
Pure metals (W, Au) Alloys (Pt-Rh, Pt-Ir) Chemically modified conductor (W/S, Pt-Rh/S, W/C…) cut followed by electrochemical etching
米的位移。
+x电极
电子学控制系统
STM头部
压电陶 瓷扫描 管
控制箱
XY
PC 机
控制
A / D多 功能卡
自动 控制
前放
Z
针尖偏压
步进马达
马达驱动
TIL
STM技术中主要问题之一：针尖的制备
针尖的大小、形状和化学同一 性不仅影响着图象的分辨率和
图象的形状，而且也影响着测
定的电子态。如果针尖的最尖 端只有一个稳定的原子而不是 有多重针尖，那么隧道电流就 会很稳定，而且能够获得原子
STM仪器的基本构成
支 架
针尖驱动机构 针尖 样品
电子学系统
计算机 减震系统 图4 STM基本构成
三维扫描控制器
y z电极
使用压电陶瓷材料作为 x 、 y、z扫描控制器件，它们 能以简单的方式将 1mV100V 的电压信号转换成 十几分之一纳米到几微
x
+y电极 -y电极 -x电极 (背面）
STM扫描模式—恒高模式
y
x
(b) 恒高度模式
ln I (Vx ,Vy ) z( x, y)
保持水平高度不变，由于隧道电流随距离有着明显的变化， 只要记录电流变化的曲线，就可以给出高度的变化。
（ 1 ）ＳＴＭ实验装置是用压电陶瓷扫描单元来控制针尖在
样品表面Ｘ、Ｙ和垂直于表面的Ｚ方向作三维运动，从而实 现对样品表面形貌的测量。 （ 2 ）恒高度和恒电流分别适用于对平坦表面和起伏较大表 面的测量。 （ 3 ）应当指出，ＳＴＭ图象所反映的不是精确的样品表面 原子的实际位置，而是原子实际位置与表面电子局域态密度
级分辨率的图象。
The second tip shown above is recessed by about two atoms and thus carries about a million times less current. That is why we want such a fine tip. If we can get a single atom at the tip, the vast majority of the current will run through it and thus give us atomic resolution.
将原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，
当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），在外加 电场的作用下，电子会穿过两个电极之间的势垒流向另一电 极。产生的电流叫隧道电流。
隧道电流是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间距离 a
和平均功函数Φ有关。
I Vb exp( A a)
扫描隧道显微镜 (Scanning Tunneling Microscope)
由单个原子构成 的“IBM”字样
前
言
人类文明的发展过程实际上就是人类认识世界、改造世
界和利用世界的史诗。也可以说，人类的一切知识都来自于
其周围的客观世界。古代先贤也讲：格物致知。物者，即客 观世界也。 观察是人类认识世界的第一步，然后才是思考， 总结和归纳。 人类对客观世界认识的程度（广度和深度）极大地依赖
NOTE
(1) A STM does not measure nuclear position
directly. Rather it measures the electron density
clouds on the surface of the sample.
(2) In some cases, the electron clouds represent the atom locations pretty well, but not always.
G. Binnig
H.Rohrer
The STM is an electron microscope that uses a single atom tip to attain atomic resolution.
Binnig also invented the Atomic Force Microscope (AFM) at Stanford University in 1986.
的综合结果。
（4）从前式可知，在Vb和 I 保持不变的扫描过程中，如果
功函数随样品表面的位置而异，也同样会引起探针与样品表 面间距 S 的变化，因而也引起控制针尖高度的电压Vz的变化。 如样品表面原子种类不同，或样品表面吸附有原子、分子时， 由于不同种类的原子或分子团等具有不同的电子态密度和功
函数，此时扫描隧道显微镜 (STM) 给出的等电子态密度轮廓
Preparation of tips: cut by a wire cutter and used as is
Electrochemical etching of tungsten tips. A tungsten wire, typically 0.25 mm in diameter, is vertically inserted in a solution of 2M NaOH. A counter electrode, usually a piece of platinum or stainless steel, is kept at a negative potential relative to the tungsten wire. The etching takes a few minutes. When the neck of the wire near the interface becomes thin enough, the weight of the wire in electrolyte fractures the neck. The lower half of the wire drops off.
不再对应于样品表面原子的起伏，而是表面原子起伏与不同 原子和各自态密度组合后的综合效果。扫描隧道显微镜 (STM)不能区分这两个因素
Basic Set-up
the sample you want to study a sharp tip mounted on a piezoelectric crystal tube to be placed in very close proximity to the sample a mechanism to control the location of the tip in the x-y plane parallel to the sample surface a feedback loop to control the height of the tip above the sample (the z-axis)