半导体测试技术第三章资料
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第三章扫描探针表征
(Scan Probe Characterization)
扫描探针显微镜系列
Scan Probe Microscope（SPM）•扫描隧道显微镜
Scanning Tunneling Microscopy (STM)•原子力显微镜
Atomic Force Microscopy (AFM) •磁力显微镜
Magnetic Force Microscopy (MFM)•…………
§1.扫描隧道显微镜
Scanning Tunneling Microscopy (STM) z原理
z操作
z应用
亨利克.罗雷尔Heinrich Rohrer 杰德.宾尼Gerd Binning
1982年于IBM实验室发明了首台STM 1986年获得了诺贝尔物理学奖
STM发明历史