防静电检测要求规范
防静电设施的检测、施工及维护要求

Signature Approval and Revision History1. 目的:为了使公司内的防静电设施能按标准要求施工;定期检测及及时维修特制定本规则。
2. 范围:本规则适用于所有防静电设施。
包括防静电接地系统;防静电地面或地垫;工作台及工作椅;工作服及工作帽;工位器具及物流系统;腕(脚跟)带系统电阻及环境等。
本规则适用于所有从事防静电设施的施工、维护、检测的人员3. 定义:3.1 系统接地电阻:在防静电接地系统中,接地电阻的总和。
3.2 测试点:测试时,所选定放置测试电极(或表笔)的部位。
3.3 表面电阻:在试样的某一表面上两电极间所加电压与经过一定时间后流过两电极间的电流之商。
3.4 体积电阻:在试样的相对两表面上放置的两电极间所加直流电压与流过两个电极之间的稳态电流之商。
4. 内容:4.1防静电设施检测4.1.1接地系统的检测按图一所示。
使用接地电阻测量仪测试防静电地极的接地电阻。
图一防静电地极接地电阻测试测试步骤:a)将被测地极用导线接于仪器端子E;b)在相同直线方向20m、40m潮湿土地处,分别插入电位探测针及电流探测针,各接于仪器端子P、C;c)设置“倍率盘”倍数;d)自缓至快摇动仪器手柄,达到120r/min,调整“测量标度盘”,指针指于零位时,读数乘以倍率标度,即为接地电阻值;e)按测试步骤c,d反复测试3~5次,取平均值。
4.1.2防静电地垫,地面的检测按图二a所示,测试表面电阻按图二b所示,测试体积电阻图二材料表面电阻和体积电阻测试4.1.3工作台,工作椅工作台随机选定测试点,每个工作台不得少于3点。
按图二a所示,测试工作台面表面电阻。
按图三所示,测试工作台面对腕带插孔电阻。
按图四所示,测试工作台面对地系统电阻。
图三工作台面对腕带插孔电阻测试图四工作台面对地系统电阻测试工作椅随机选定测试点,每个工作台不得少于5点。
按图五所示,测试椅面对脚轮的电阻。
按图六所示,测试椅面与靠背间电阻。
电子公司防静电接地系统检测规范

电子公司防静电接地系统检测规范修订日期修订单号修订内容摘要页次版次修订审核批准2011/03/30 / 系统文件新制定 2 A/0 / / /更多免费资料下载请进:好好学习社区批准:审核:编制:电子公司防静电接地系统检测规范一、目的确认防静电接地系统处于良好接地状态,避免静电危害。
二、检测仪表1.HAKKO 498型防静电手腕带测试器2.ZC-8型接地电阻表(量程为0.1-100Ω)3.ZC11D-3型绝缘电阻表(量程为1-2000 MΩ)三、检测项目(一)有绳防静电手腕带:1.检测内容:有绳防静电手腕带的鳄鱼夹到腕带金属部分之间的电阻值是否正常;腕带金属部分与人体皮肤间是否良好接触。
2.步骤:将测试器后部联线的金属夹与腕带的鳄鱼夹相夹,手拿腕带的绝缘部分,用腕带金属部分按住测试器的A位(圆形金属体。
如图一),如果测试器绿(GOOD)表示正常,如果红灯亮(LOW、HIGH)表示异常;戴好防静电手腕带,另一端的鳄鱼夹夹在测试器后部的联线上,戴腕带的手按住测试器的A位,如果绿灯亮表明合格。
3.检测频度:每周一次(二)防静电脚束带:1.步骤:将脚束黑色胶带的一端放在人脚袜套里面,保持与皮肤良好接触,将测试器后部联线的金属夹夹在脚束橡胶底面,手按住测试器的A位,绿灯亮表示正常,红灯亮表示异常。
2.检测频度:每周一次(三)无绳防静电手腕带:1.步骤:戴好防静电手腕带,将测试器后部联线的金属夹夹在无绳手腕带的静电释放螺钉上,戴腕带的手按住测试器的A位,绿灯亮表示正常,红灯亮表示异常。
2.检测频度:每周一次(四)总接地点电阻的测量如图二所示,沿被测接地极(总接地点)E'使电位探测针P'和电流探测针C'依直线彼此相距20米,且电位探测针插于总接地点和电流探测针之间。
1.仪表的C2、P2两端相连并联到E',用导线将P'、C'联于仪表相应的端钮。
3.将仪表水平放置,看检流计指针是否指在中心线上,否则可用调零器调零。
防静电材料检验规范

防静电材料检验规范1.目的:本文件旨在规定防静电材料来料控制技术规范,为材料在来料送样以及批量来料抽样检验提供可靠技术支持。
2.适用范围:本范围只适用于防静电材料来料检验。
3.职责:3.1由工程部设备组对防静电材料样品以及来料进行抽检;3.2如规范有更新,ESD技术小组对规范进行更新后给到设备组。
4.检验规范:4.1抽样频率:每一次批量来料,随机抽取5PCS样品进行ESD检测;当样品小于5PCS时,要进行全检;如果有1PCS不合格,判定为此批来料NG。
4.2工衣检验规范:4.2.1测试环境:温度:25+/-5 0C;湿度:45+/-5%。
4.2.2测试工具:兆欧表1套,静电压测试仪1台,棉布一块。
4.2.3测试指标:测试包括两个指标:表面电阻(105---109欧姆)和表面摩擦带电(小于等于150V)。
只要其中一项不合格,则判定为此样品NG。
4.2.4测试方法:a.表面电阻测试。
把工衣平摊在绝缘台面(比如:办公桌),扣上所有扣子,衣服不要有折叠;把已经连接完毕重锤式兆欧表的两个重锤分别放置在工衣的:左胸-----右胸;左胸-----右袖;左袖------右胸;左袖-------右袖。
测试工衣的阻抗范围为:105---109欧姆,如果有其中一项不过判定为NG。
b.表面摩擦带电测试。
把工衣平摊在办公桌上,分别在:左、右胸,左、右袖上,使用棉布单方向摩擦(建议方向向下,每秒2次,共摩擦20次),摩擦完毕后马上把静电压测试仪探头靠近被摩擦位置表面(摩擦表面离探头距离大约为2厘米),然后顺着摩擦方向来回移动,观察静电压测试仪的电压读数。
工衣的摩擦带电范围为小于等于150V,大于150V判定为NG。
4.3工鞋检验规范:4.3.1测试环境:温度:25+/-5 0C;湿度:45+/-5%。
4.3.2测试工具:兆欧表1套,静电压测试仪1台,棉布一块,金属板一块(长20厘米宽5厘米)。
4.3.3测试指标:测试共包括3个指标:表面电阻(0.75×106Ω~100×106Ω)、体电阻(0.5×106Ω~50×106Ω)、表面摩擦带电(<150V)。
防静电安全检测管理制度

一、目的为保障公司生产、工作环境的安全,防止静电事故的发生,确保员工的生命财产安全,特制定本制度。
二、适用范围本制度适用于公司所有涉及防静电作业的部门、岗位及员工。
三、防静电安全检测要求1. 防静电检测应由专业人员进行,检测设备应定期校验,确保检测数据的准确性。
2. 检测人员应具备相应的专业知识和技能,经培训合格后,方可上岗作业。
3. 检测工作应在作业现场进行,检测范围包括但不限于以下部位:(1)防静电地板、防静电工作台、防静电椅等防静电设备;(2)防静电手套、防静电服、防静电鞋等个人防护用品;(3)防静电接地线、接地端子等接地设施;(4)生产设备、工具、仪器等易产生静电的物品;(5)作业场所的空气湿度、温度等环境因素。
4. 检测内容包括:(1)防静电设备的接地电阻、表面电阻等参数;(2)个人防护用品的防静电性能;(3)接地设施的接地电阻、接地效果;(4)生产设备、工具、仪器的防静电性能;(5)作业场所的空气湿度、温度等环境因素。
5. 检测周期:(1)防静电设备:每季度检测一次;(2)个人防护用品:每半年检测一次;(3)接地设施:每年检测一次;(4)生产设备、工具、仪器:每年检测一次;(5)作业场所环境因素:每半年检测一次。
四、检测记录1. 检测人员应认真填写检测记录,记录内容包括检测时间、检测部位、检测项目、检测数据、检测结果等。
2. 检测记录应妥善保存,以便查阅和追溯。
五、检测结果处理1. 对检测不合格的设备、用品、设施等,应及时进行整改,确保其符合防静电要求。
2. 对检测不合格的作业场所,应采取措施改善环境,确保符合防静电要求。
3. 对检测不合格的员工,应进行培训,提高其防静电意识。
六、奖惩1. 对认真履行检测职责,发现并整改安全隐患的员工,给予表扬和奖励。
2. 对未按规定进行检测、检测数据造假、整改措施不力的员工,给予通报批评或相应处罚。
七、附则1. 本制度由公司安全管理部门负责解释。
2. 本制度自发布之日起实施。
防静电设施及用品量测作业规范

文件名称防静电设施及用品量测作业规范生效日期2022/04/22方检测报告同等有效。
5.5防静电地面检测5.5.1新铺设静电地面验收5.5.1.1测试点选取防静电地面工程地板每500平方米至少选择5个测试点,测试点一般选择人员走动较多及易磨损区域的地板。
5.5.1.2点对点电阻测试:将重锤表面电阻测试仪的两个重锤电极分别置于地板上,间距100cm测量阻值,1×104≤R<1×109Ω为合格。
(图1)5.5.1.3接地电阻测试:使用重锤表面电阻测试仪将一测量电极使用插头或鳄鱼夹连接到接地线,另一电极连接重锤电极置于地板测量点测试阻值,1×104≤R<1×109Ω为合格。
(图2)图1 图25.5.2使用中防静电地面检测方法同5.5.1.3测试对地电阻值,选取点每500平方米至少选择5个测试点,面积不足也要选5个点,测试点一般选择人员走动较多及易磨损区域的地板,量测值1×104≤R<1×109Ω为合格。
5.6防静电鞋5.6.1来料检测5.6.1.1鞋底电阻检测:准备一只袜子并填充,使用铜箔缠绕袜子一圈,袜子放入鞋中,将鞋置于金属导电板上,导电板下方须铺设大于自身的绝缘板,然后将一端电极连接金属夹夹于铜箔,另一电极使用鳄鱼夹夹在金属导电板上,最后鞋子上方放置一只电极,施加一定重量,保证袜底铜箔与鞋底紧贴,在环境12%±3%RH,23±2℃的ESD低湿环境测试箱放置72H后,使用重锤表面电阻测试仪检测:阻值1×105≤R<1×108Ω为合格(图3)。
5.6.1.2把样品放置于环境50%±5%RH,23±2℃存放72H,同5.6.1.1方法检测,阻值1×105≤R<1×108Ω为合格。
5.6.2在使用品检测进入车间所有人员,每日必须通过带有人体综合阻值测试仪的ESD翼闸量测静电鞋阻值,满足翼闸阻值范围:0.75MΩ≤R<100MΩ方可正常通行.(图4)文件名称防静电设施及用品量测作业规范生效日期2022/04/22图3 图45.7鞋-地板系统测试5.7.1鞋-地板系统电阻测试:使用重锤表面电阻测试仪将一测量电极使用插头或鳄鱼夹连接到接地线,另一电极由一着合格防静电鞋人员手持,阻值1×104≤R<1×109Ω为合格。
ESD防静电检验规范A2

KT-SCD-G-001 A1ESD防静电检验规范发行日期6. 检测6.1 静电手环测试方法:6.1.1测试仪器:静电手环测试仪6.1.2测试方法:黄灯、红灯亮NG 绿灯亮OK图1-1 静电手环测试示意图6.1.2.1来料检验时按照MIL-STD-105E特殊检查水平S-1抽样基准进行抽样测试。
6.1.2.2必须将腕带扣反面金属接触到手腕时,才能进行测试。
6.1.2.3测试时,腕带扣住一只手,另一端香蕉头插入测试器上的测试端子。
6.1.2.4测试者用手指按下导通器上金属键,看导通器上灯号显示,如图1-1:①绿灯GOOD亮-OK,且BUZZER长鸣。
②黄灯LOW、红灯HIGH亮-失败,BUZZER无声(需更换腕带或腕带线再测试)。
6.1.2.5且于测试中增加摆动手腕的动作,以确认是否有接触不良。
6.1.2.6测试中若发生有两个灯号同时亮时(绿、黄灯亮或绿、红灯亮),应更换新品或其他良品腕带(腕带或腕带线)再测。
(a)若灯号显示正常,则确认腕带部份不良应更换。
(b)若灯号依然显示两个灯亮,或者时好时坏,判定可能测试器为不良品,应立即通知组长处理,将该测试器重新校验或送修。
6.1.2.7测试结果记录于《防静电手环/静电鞋测试记录表》。
制定部门品质部3编写/日期2审核/日期1增加测试内容2019.05.06批准/日期修订次数修订日期审核日期ESD防静电检验规范发行日期6.2 静电鞋测试方法:6.2.1测试仪器:双脚人体综合静电测试仪6.2.2测试方法:图1-2 测试示意图6.2.2.1来料检验时按照MIL-STD-105E特殊检查水平S-1抽样基准进行抽样测试6.2.2.2作业员需标准着装(静电帽、静电衣、静电鞋、静电手环等)后,站立于人体综合测试仪上(如图1-2)。
说明:头发压入防静电帽中;静电衣袖子不允许挽起;穿静电鞋时,光脚或穿纯棉袜,保证导通性。
如果工作岗位要戴防静电手套或者手指套的,也需穿戴完整。
防静电检测工作制度

防静电检测工作制度一、目的为了确保防静电装置的安全运行,预防静电事故的发生,提高库区的安全防护能力,制定本制度。
本制度明确了防静电检测的范围、内容、方法和要求,以确保检测工作的全面、准确、及时完成。
二、检测范围1. 检测对象:物资仓储车间库区内的防雷防静电点、网、带等设施。
2. 检测内容:包括接地电阻、防静电装置性能、防雷装置性能等。
三、检测周期1. 防静电检测工作应每半年进行一次。
2. 在特殊天气、使用情况发生变化或发现设备异常时,应立即进行检测。
四、检测方法1. 采用专业的防静电检测仪器进行检测。
2. 按照《防雷防静电装置安全检测作业方案》相关技术要求进行检测。
3. 检测过程中,应逐个对接地装置连接进行排查,检查接地连接线螺丝加线是否牢固可靠,是否锈蚀松动,检测接地电阻是否在规定范围。
五、检测要求1. 检测人员应具备专业知识,熟悉检测设备的使用方法。
2. 检测工作应在晴天、无雷雨天气进行,确保检测数据的准确性。
3. 检测过程中,检测人员应做好安全防护措施,确保人身安全。
4. 检测数据应真实、准确、完整地记录,并报送相关部门。
5. 对于不符合要求的接地连接线,应立即更换,确保接地系统的可靠性。
六、检测结果处理1. 检测合格的防静电设施设备应继续使用,并更换新的检测合格标识。
2. 对于检测不合格的设施设备,应立即停用,并采取措施进行整改。
3. 整改完成后,重新进行检测,直至达到合格标准。
七、检测工作监督1. 车间设备员应积极配合检测工作,并对检测点台账进行对照梳理。
2. 车间领导应对检测工作进行全程监护,确保检测工作的全面受控。
八、总结防静电检测工作是确保库区安全的重要环节,本制度的实施旨在加强防静电检测工作的管理,提高检测工作的质量和效率,确保库区防静电设施的安全运行,为我国物资仓储事业提供有力保障。
防静电手腕带检测规范

防静电手腕带检测规范1目的保证防静电手腕带有效工作。
2范围所有防静电手环3参考文件阻抗测试仪操作指导书4程序4.1检测环境温度:15℃~30℃湿度:30% ~70%4.2检测设备静电测量仪(型号:41201-19250)4.3检验方法4.3.1将手环带在手上,手环内的铁片紧贴皮肤。
4.3.2将静电手环插头插至静电环测试器插口中.4.3.3脚踏于地板上.4.3.4按下静电测试按钮.4.4判别方法(信号灯显示)A.FAIL HI (红):阻抗值太高,容易聚集静电.B.PASS (绿) :阻抗值未超过规格C.FAIL LO (红) :阻抗值太低,仪器可能有故障.4.5静电失效可能原因与后续处理方法:4.6记录测量结果。
4.7检验值范围<3.5x107Ω4.8检测频率4.8.1新购:IQC针对每批次来料包数抽样检验5%,4.8.2日常检验:工作前检测4.8.3抽样检验:每周抽样检验20个。
(生产线员工使用中的)静电手环、工鞋测试记录月/年部门班次姓名日期审核人手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋123456789101112131415161718192021222324252627282930备注:1.合格打“√”,不合格打“×”,休息打“O ”,不需测试打“/”2.每班指派专人进行审核。
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防静电检测规目录1、目的: (4)2、适用围: (4)3、定义 (4)4、职责 (4)5、程序 (4)6、相关文件和记录 (14)7、附录 (14)5、程序5.1测试方法:5.1.1测试环境:环境温度23±5℃,相对湿度40%~70%。
5.1.2测试仪器使用方法5.1.2.1静电场测试仪(TREK520)静电场测试仪是感应式的,该仪器表面有2个按键:“POWER”、“RANGE/ZERO”、“HOLD”,按“POWER” 键开机/关机。
该仪器有两个量程:0~2KV、0~20KV,可通过按“RANGE/ZERO”键进行切换。
当显示3位小数时,量程围为0~2KV;当显示2位小数时,量程围为0~20KV。
每次测试时都应进行读数清零工作,方法为:将sensor对准一个已知的电压为0V的导体上,按“RANGE/ZERO”键至少3秒钟。
为保证测试值的准确性,测试时人体必须戴静电环或穿防静电鞋。
测试前,先将待测物放置在绝缘的物体上(如干燥的硬纸板),手持干燥并干净的棉布以每分钟120次的速度,施加适当的压力(2~4千克力),单向摩擦待测物表面20次,然后用仪器测量电压(senor距离被测物表面的距离为2.54CM及两个红灯重合在一起),将显示的读数乘以1000即得实际的电压值,例如读数为“.018”,则实际电压为18V。
5.1.2.2 表面电阻测试仪(ACL-385)ACL-385为简易表面电阻测试仪,该仪器两个测试电极间距根据标准不变,测试时将被测物放于绝缘的平面上,表面电阻测试仪平置在材料表面上,手指施加适当压力(2~4KG)于测试按钮上,使测试电极与材料表面接触良好,指示灯发亮档即为读数。
如果被测材料为软性材料,可施加4~6kg的压力进行测试。
5.1.2.3 接地电阻测试仪(EMI-20780)EMI-20780 可以测试点对点电阻(RTT), 接地电阻(RTG)、体积电阻,和表面电阻率, 配套两点测试电极可测量微小物体表面电阻.测试围为: 1x 103Ω - 1012Ω;测试电压为: 10V或100V+/-5%;测试精度为: +/-10%;测试时间为15秒;测试时:把2条连接线分别插入测试表上端的“A”插口, 注意白色连接线和黑色连接线的插头不同, 不要插错. 然后连接线另一端分别插入点对点重锤电极;按下“D”测试按键15秒, 这时LCD屏幕按顺序显示如下:●华氏温度●摄氏温度●相对湿度●电阻值●所采用的测试电压电阻测试结果由“B”显示屏和“C”冥数LED 指示灯共同显示, 例如电阻值为175,000,000Ω, 显示如下:1.75显示在“B”显示屏上, 同时“C”LED指示灯的8会亮,表示测试结果为: 1.75 x108Ω。
如果LCD显示屏显示“1____”, 说明超过该仪器测试围。
测试电压为10V或100V, 按下“F”键, 采用10V电压测试, 如果不按下“F”键, 仪器会根据不同测试材料自动选择测试电压. 阻值在105Ω以下时采用10V测试电压, 阻值在106Ω以上时采用100V测试电压5.1.2.4人体综合电阻测试(腕带测试、鞋测试)测试步骤:1. 员工进入车间前应首先确认静电手腕佩戴正确,静电鞋鞋底干净,穿戴正确。
左右两脚分别踏上静电测试仪的左右两个金属脚踏板,然后将防静电手腕插入静电测试仪面板的手环插口。
2. 扫描工卡后,电脑会显示你的身份资料,同时仪器的LCD面板提示“请您按下测试键”。
手指按下测试键,(确保手指与按钮金属键的完全接触)开始测试,3 秒后仪器将测试完毕。
3. 如果受测对象合格,仪器“嘟”长响一声,同时仪器的LCD面板显示“通过”,如果测试不合格,仪器“嘟嘟嘟嘟…”短响8声,同时仪器的LCD 面板显示“不通过”。
不通过时可连续测试4次,若还是不合格,员工立即到IPQA处更换。
4. IPQA应维持测试秩序并监督每位员工的测试过程。
5.1.2.5接地桩电阻测试仪(ZC29B型号)1.沿被测接地极E’使电位探棒P’和电流探棒C’依直线彼此相距20米,且电位探棒P’系在E’和C’之间。
2.E端钮接5m导线,P端钮接20m导线,C端钮接40m导线。
3.将仪表放置水平后检查检流计是否指零,否则可将零位调正器调节零位。
4.将“位率标度”置于最大倍率慢慢转动发动的摇把,同时旋动电位器刻度盘,使检流计指针指“0”。
5.当检流计的指针接近平衡时,加快发电机摇柄转速,使其达到每分钟150转。
再转支电位器刻度盘,使检流计平衡,此时刻度盘的读数乘以倍率档即为被测接地电阻数值。
6.当刻度盘读数小于1时应将倍率开关置于较小倍率,重新调整刻度盘以得正确读数。
7.当测量小于1欧的接地电阻时,应将2个E端的联结片打开,分别用导线联接到被测接地体上,以消除测量时联接导线电阻的附加误差,操作步骤同上。
8.当检流计的灵敏度过高时,可将二根探棒插入土壤中浅一些,当检流计灵敏度过低时,可沿探棒注水使其湿润。
5.1.2.6 离子风机测试仪(3M-718 /3M-718A)1、打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“+”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应大于“+1000V”。
2、在离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
3、打开测试仪(718)电源,将测试仪(718)金属板一端与静电产生仪(718A)金属端相连接,同时按下静电产生仪“-”按钮和测试仪“HOLD”键,测试仪显静电值应小于“-1000V”。
4、离子风机下不超过30cm处水平移动静电测试仪3秒钟(金属板向上),再看测试仪显示值应大于-40V小于+40V。
5、在检测表中记录显示值,注明检测日期,调节后的值。
注意:要求平衡电压为-40≤平衡电压≤40V5.1.2.7 手腕监视器电容测试仪(SAML1800):测试时,开关旋转至“1801 FALL”档,SALM1801S-I的LED变成红色,蜂鸣器发出报警声响;旋转开关至“1801 PASS”档,SALM1801S-I的LED变成绿灯,蜂鸣器停止发出报警声响。
此为合格。
5.2 测试项目5.2.1静电接地极电阻测试每半年使用ZC29B进行一次测试,要求静电接地极对地电阻小于1Ω,将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.2设备、仪器接地电阻测试每月由ESD专员或指定人员用万用表测试设备仪器接地电阻一次(新建工位或工位调整后要立即测试)测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
1. 设备仪器接地电阻:设备仪器外壳与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。
测试频率:每月。
2. 电烙铁:对使用中的电烙铁进行接地电阻测试,要求烙铁头与静电接地线之间的阻抗要小于10Ω。
测试频率:每天。
5.2.3 静电接地线接地电阻:每半年由厂务或指定人员对静电接地线的接地电阻进行检测。
要求每条线都要测。
测试方法:在每条静电接地线上任意找一个点,将万用表的一端连在这个点上,另一端插在电源地线孔里。
要求电阻值小于10Ω。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.4防静电工服PE工程师或指定人员,每季度对员工的工衣用EMI-20780测试仪进行测试,要求表面电阻1×105Ω≤R S< 1×109Ω (上衣做点对点、袖对袖、片对片测试,裤子做裤脚对裤脚、点对点测试),“每次全检,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
如检测到不合格的情况,在此防静电服的胸口处盖上“此防静电服不合格”章,并通知该员工经理让其当天之到库房更换。
IPQA监督有无不合格静电服流入产线。
5.2.5防静电工作台PE工程师或指定人员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次,要求表面电阻在1×105~1×109欧姆和接地电阻在1×106~1×109欧姆。
每块工作台面测试3个点,将测试结果平均值记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.6地板由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试表面电阻一次,要求地板的表面电阻在1*105~1*109Ω之间。
每100平米地面测5个点(对于面积小于100平方米的独立区域如:IQC、RD实验室、来料仓,每个区域要测5个点)。
测试时两个电极距离为0.6米~1米,测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
同时由厂务或指定人员每半年测试地板的接地电阻一次,接地电阻在1*105-1*109Ω之间。
测试方法:将EMI-20780的一个电极放在地板上,另一端插入电源地线插孔里。
每100平米测试1个点。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7物流器具(如:周转箱、周转车、货架)5.2.7.1由ESD专员负责每半年使用TREK520和EMI-20780测试仪测试一次,要求摩擦电压小于100V,周转箱表面电阻:1×103Ω- 1×109Ω,每次每种器具抽检,每1条线抽检10Pcs,如果有1Pcs不合格则全检。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.7.2 由ESD专员负责每季度使用EMI-20780测试仪测试一次,要求周转车,货架表面电阻小于1×109Ω,接地电阻在1×103Ω- 1×109Ω之间。
测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
5.2.8腕带、工鞋性能检测操作类员工每日进入车间前要进行手环、工鞋测试,测试结果由电脑自动保存,产线专门人员进行存档管理;在车间办公的职员,每日上班进入车间前要进行工鞋测试,对于有可能接触产品的职员(如生产主管、工艺、设备、质控人员)每日上班也必须使用人体综合电阻测试仪,测试记录由电脑自动保存。
如有测试不合格者需立即到IPQA处更换。
测试合格后方能进入产线。
腕带系统电阻:800KΩ—10MΩ;工鞋系统电阻:100KΩ--35MΩ。
5.2.9静电场检测由ESD专员负责每季度使用静电场测试仪(TREK520)对车间各工位的静电场强进行一次测试,并将测试结果记录在《ESD点检记录表格》中。
测试要求:距工作台30CM围,静电值要小于+/- 100 V5.2.10 离子风机测试由ESD专员负责每季度使用 3M-718与3M-718A对车间的离子风机性能进行测试,测试容包括“平衡电压”、“消电时间”,并将结果记录在《ESD点检记录表格》中测试要求:测试仪器距离离子风扇正前方30厘米;合格标准:1000V降到100V的消电时间小于3秒,平衡电压绝对值小于40V。
注:CPM要分别在正、负两种充电状态下测试5.2.11防静电工作椅子由ESD专员负责每月使用EMI-20780测试仪测试一次,要求表面电阻和接地电阻都在1×105-1×109欧姆之间,。