精密测试技术大作业1

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精密光学测量实验报告(3篇)

精密光学测量实验报告(3篇)

第1篇一、实验目的1. 了解精密光学测量的基本原理和方法。

2. 掌握精密光学仪器(如激光干涉仪、迈克耳孙干涉仪等)的使用方法和调节技巧。

3. 通过实验,掌握光学元件(如透镜、反射镜等)的焦距、曲率半径等参数的测量方法。

4. 培养实验操作能力和数据处理能力。

二、实验原理精密光学测量是利用光学原理和方法对光学元件和系统进行测量的一种技术。

本实验主要涉及以下原理:1. 光的干涉原理:干涉现象是光波相遇时,相互叠加而形成的一种现象。

干涉条纹的形成是干涉原理在精密测量中的应用,通过观察干涉条纹的变化,可以精确测量光学元件的参数。

2. 光的衍射原理:衍射现象是光波遇到障碍物或通过狭缝时,偏离直线传播而形成的一种现象。

本实验中,利用光的衍射原理,可以测量透镜的焦距。

3. 光的折射原理:光在两种介质之间传播时,由于介质的折射率不同,光的传播方向会发生改变。

本实验中,利用光的折射原理,可以测量透镜的曲率半径。

三、实验仪器1. 激光干涉仪:用于测量光学元件的焦距、曲率半径等参数。

2. 迈克耳孙干涉仪:用于测量光的波长。

3. 平行光管:用于产生平行光束,用于透镜焦距的测量。

4. 牛顿环装置:用于测量透镜的曲率半径。

5. 读数显微镜:用于观察干涉条纹,测量参数。

四、实验步骤1. 激光干涉仪测量透镜焦距:(1)调节激光干涉仪,使激光束聚焦于透镜上。

(2)观察干涉条纹,记录干涉条纹的位置。

(3)移动透镜,使干涉条纹发生移动,记录移动距离。

(4)根据干涉条纹移动距离,计算透镜焦距。

2. 迈克耳孙干涉仪测量光的波长:(1)调节迈克耳孙干涉仪,使干涉条纹清晰可见。

(2)观察干涉条纹,记录条纹间距。

(3)改变光源,使干涉条纹发生移动,记录移动距离。

(4)根据干涉条纹移动距离,计算光的波长。

3. 平行光管测量透镜焦距:(1)调节平行光管,使光束聚焦于透镜上。

(2)观察干涉条纹,记录干涉条纹的位置。

(3)移动透镜,使干涉条纹发生移动,记录移动距离。

《公差配合与技术测量》06+项目六 精密测量技术在检测中的应用+练习题及答案要点

《公差配合与技术测量》06+项目六  精密测量技术在检测中的应用+练习题及答案要点

项目六精密测量技术在检测中的应用练习题及答案要点一、填空题1.配合是指基本尺寸相同的,相互结合的孔和轴的公差带的关系。

2.三维测头即是三维测量的传感器,它可在三个方向上感受瞄准信号和微小位移,以实现瞄准与测微两种功能。

3.按输出的信号分,有用于发信号的触发式测头和用于扫描的瞄准式测头、测微式测头。

4.非接触式测量是测量器具的传感器与被测零件的表面不直接接触的测量方法。

5.激光跟踪仪是一种基于激光和自动控制技术的高精度三维测量系统,是一种便携式三坐标测量机,主要用于大尺寸空间坐标测量领域。

6.按互换的程度不同,零部件的互换性可分为完全互换和不完全互换。

7.测量机软件具有统计分析、误差补偿和网络通信等功能。

8.允许零件几何参数的变动量称为(公差)。

二、判断题1.移动桥式三坐标结构主要特点是结构简单、紧凑、刚度好,上下料有比较大的空间,运动速度快,精度高。

(√)2.配合的选用方法有计算法、实验法、类比法。

(√)3.实际尺寸就是真实的尺寸,简称真值。

( × )4.量块按等使用时,量块的工件尺寸既包含制造误差,也包含检定量块的测量误差。

( × )5.同一公差等级的孔和轴的标准公差数值一定相等。

( × )6.φ10f6、φ10f7和φ10f8的上偏差是相等的,只是它们的下偏差各不相同。

( √ )7.8.最大实体尺寸是孔和轴的最大极限尺寸的总称( × )9.实际尺寸相等的两个零件的作用尺寸也相等。

( × )10.当通规和止规都能通过被测零件,该零件即是合格品。

( × )11.当测头与工件发生较严重的碰撞后,应该重新校正所有测头。

( √ )12.接触式扫描测头又称为开关测头,是使用最多的一种测头。

( × )三、单项选择题1.用内径千分表测量孔的直径属于( A )。

A. 直接测量和相对测量B. 间接测量和相对测量C. 直接测量和绝对测量2.要测量箱体上两孔的孔心距,应采用的测量方法是( B )A.直接测量B.间接测量C.相对测量3.滚动轴承内圈与轴颈的配合比光滑孔与轴的同名配合要( A )A.紧B.松C.一样松紧4.使用三坐标测量机测量零件,在测量过程中零件发生移动,以下说法不正确的是( D ) 。

测试技术课大作业ma

测试技术课大作业ma

测试技术课大作业—压气机失速信号分析实验台简介及测量布置图1 大尺寸低速轴流压气机实验台表1 实验台基本参数(a) 叶顶弦向测压孔(b) 叶顶周向测压孔图2 压气机失速测量布置压气机特性图3所示的特性线上有4个稳定工况点,Φ=0.65为大流量工况,Φ=0.58为设计工况,Φ=0.46中间工况以及Φ=0.37近失速工况。

从近失速点节流,在5s 内,压气机进入完全失速状态。

图3 压气机特性实验数据给出2个转速下测量的实验数据,data1和data2。

学号最后一位为奇数的同学,分析第一组数据data1;偶数的分析data2文件夹下数据。

每个文件夹下包括3段压力信号。

信号1:058001A.dat近设计点工况。

采样率12K,采样时间5S。

058001A.dat数据包括3列,分别为压气机叶顶前缘上游,50%弦长以及尾缘下游3个位置的机匣壁面静压(电压值信号),对应着图2(a)所示的S2,S7和S14测点。

信号2:tostall037001.dat在近失速点,快速关闭节流阀,逼迫压气机由近失速状态进入完全失速。

采样率、采样时间等相关说明与058001A.dat相同。

信号3:037001stalling.dat完全失速状态。

采样率10K,采样时间5S。

037001stalling.dat文件包括3列信号,由转子前缘附近叶顶周向布置的3个测量孔测得,如图2(b)所示,分别为p1,p2和p3。

这里p1与p2之间夹角为90度,p2与p3夹角为85.05度。

作业要求:重点分析信号2。

分析压气机由近失速进入完全失速状态的特性。

信号3,计算出失速团参数。

信号1作为信号2和3的参照。

信号分析方法不限,可采用滤波,FFT,窗口FFT,倒谱,自相关,互相关,相干,小波,小波包以及小波滤波等。

精密检测技术实验指导书1

精密检测技术实验指导书1

《精密测量技术》实验指导书田朝平编机械学院测控系实验守则一、实验基本要求1.实验前,必须认真预习实验指导书及教材中的有关内容,熟悉仪器、设备及相关测量器具的工作原则和初步了解操作要求。

没有预习实验指导书的学生不得进入实验室。

2.实验中对各种数据应会处理,并考虑如何书写实验报告;实验中出现的误差或其它情况应进行分析说明。

二、实验须知1.学生应在规定的时间进入实验室。

进入实验室后,注意保持实验室清洁和安静。

2.需要接电源的仪器,需经教师同意后,方可接上电源。

要小心操作,用力适当。

3.如发现仪器有故障时,不得擅自拆修,应立即报告指导老师。

4.学生应积极动手操作,并独立完成实验和实验报告。

5.实验完毕后,将计量器具和被测工件整理好,并认真填写实验数据查后,方可离开实验室。

6.在规定的时间内未能完成实验者,须经实验室领导同意,或延长实验时间或另行安排补做时间。

目录一长度基准的测量实验一、用接触式干涉仪测量量块实验二、比长仪测量线纹尺二孔、轴测量实验三、工具显微镜上用灵敏杠杆测量孔实验四、光学比较仪测量轴三形状误差的测量实验五、用圆度仪测量零件的圆度误差实验六、用合像水平仪测量平板平面度误差四齿轮参数测量实验七、用单基圆盘齿形误差测量仪测量齿轮的齿形误差一长度基准的测量实验一、用接触式干涉仪测量量块一、实验目的1、掌握相对法检定量块的方法;2、熟悉接触式干涉仪的工作原理和使用方法;3、掌握量块中心长度的测量的方法。

二、实验设备接触式干涉仪、标准量块(二等量块)、被检量块(三等量块)及附件三、仪器概述(1)结构原理立式接触干涉仪是由干涉管、支架及可换的测量工作台组成如图1-1所示。

干涉管是仪器的主要部分,它由测量柱1、干涉箱2和观察管3组成。

在测量柱端部的测杆上可以装测帽4及测杆提升器5,通过目镜8右边的小手轮6的转动,可使分划板作横向移动,扳动扳手7可使目镜绕一轴线摆动,以便观察到全部刻度尺。

借助专用扳手转动干涉箱上带。

精密仪器作业1

精密仪器作业1

精密仪器摘要现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科,涉及广泛的学科领域,它的发展需要众多相关学科的支持。

在现代工业制造技术和科学研究中,测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。

关键词:精密测量、精密化、集成化、智能化AbstractModern precision measurement technology is a set of optics, electronics, sensors, image, manufacturing and computer technology as an integrated cross-disciplinary, involving a wide range of subject areas, and its development needs the support of a number of related disciplines. , Measuring instruments with precision, integration, intelligence, the development trend of modern industrial manufacturing technology and scientific research.Keywords:precision measurement、Precision, integrated, intelligent一、国内外现状一、国内产业概况目前,我国仪器仪表行业处于高速发展中,进出口逆差比较大,在整个机电行业内属于改制和转制进展比较快的行业,相当数量的国有企业已经转为民营,三资企业也非常活跃,国外许多著名的仪器仪表跨国公司都在我国投资或者扩大生产。

我国仪器仪表行业还应关注以下情况:首先,中国是发展中国家,仪器仪表行业与发达国家相比有10~15年的差距。

测试技术大作业

测试技术大作业
passbandedgefrequencystopbandedgefrequencysamplingfrequency1000hzitsminimumpassbandattenuationminimumstopbandattenuation由于归一化频率应小于1而采样频率为1000hz同时阻带截止频率应小于通带截止频率所以将通带截止频率改为了100hz
figure(3) N=12; m=0:N/2; Wm=2*pi*m./N; Ad=[Wm<=0.4*pi]; Hd=Ad.*exp(-j*0.5*N*Wm); Hd=[Hd conj(fliplr(Hd(2:N/2)))]; h=real(ifft(Hd)); w=linspace(0,pi,1000); H=freqz(h,[1],w); plot(w/pi,20*log10(abs(H))); title('12 点频率采样'); figure(4) w1=boxcar(N+1); b1=fir1(N,0.4,w1); freqz(b1,1) title('12 点矩阵窗');
《测试技术与数据处理》 大作业——SZ1405048 王洛
3、Determine a FIR lowpass filter with N=21 by rectangular and Hamming window using MATLAB. The passband edge frequency is 0.25π. 解: —MATLAB 程序: figure(1) w1=boxcar(22); b1=fir1(21,0.25,w1); freqz(b1,1) title('21 点矩阵窗'); figure(2) w2=hamming(22); b2=fir1(21,0.25,w2); freqz(b2,1) title('21 点 Hamming 窗'); —实验结果:

测试技术与仪器大作业-传感器综合运用

测试技术与仪器大作业-传感器综合运用

测试技术与仪器大作业题目:传感器综合运用班号:学号:姓名:日期:一、 题目要求如图所示的工件,根据图中所示测量要求,选用适合的传感器,设计相应的测量方案。

4)如图所示工件,在生产线的30°滑道上自上而下滑落,要求在滑动过程中检测工件厚度,并且计数。

图中4mm 尺寸公差带为10μm 。

二、 设计步骤1) 选择传感器系列。

由于是在滑动过程中检测工件的厚度,并且工件厚度较小,仅4mm ,且精度较高。

因此,采用磁电传感器检测工件厚度。

由于是在滑动过程中计数,计数时间短,所以选择灵敏度高的光敏电阻来计数。

2) 精度分析工件公差带为10μm ,测量精度应小于2μm 。

因此选择高频反射式涡流厚度传感器检测工件厚度,其测量精度为1μm 。

三、 测量方法1) 厚度测量方法为了克服带材不够平整或运行过程中上下波动的影响,在带材的上、下两侧对称地设置了两个特性完全相同的涡流传感器1S 和2S 。

1S 和2S 与被测带材表面之间的距离分别为1x 和2x 。

若带材厚度不变,则被测带材上、下表面之间的距离总有12C x x +=的关系存在。

两传感器的输出电压之和为02U ,数值不变。

如果被测带材厚度改变量为δ∆,则两传感器与带材之间的距离也改变一个δ∆,两传感器输出电压此时为02U U ±∆。

U ∆经放大器放大后,通过指示仪表即可指示出带材的厚度变化值。

带材厚度给定值与偏差指示值的代数和就是被测带材的厚度。

3) 工件计数如上图所示,1R 为光敏电阻,2R 为定值电阻。

当有工件经过时,挡住射向1R 的光线时,2R 的电阻值就增大,计数器就计数一次,从而得到工件数目。

精密测试技术试题

精密测试技术试题

1,光耦合器的主要优点是:信号单向传输,输入端与输出端完全实现了电气隔离隔离,输出信号对输入端无影响,抗干扰能力强,工作稳定,无触点,使用寿命长,传输效率高。

光耦合器现已广泛用于电气绝缘、电平转换、级间耦合、驱动电路、开关电路、斩波器、多谐振荡器、信号隔离、级间隔离、脉冲放大电路、数字仪表、远距离信号传输、脉冲放大、固态继电器(SSR)、仪器仪表、通信设备及微机接口中。

2,磁栅传感器,光栅传感器,感应同步器3,鉴别原信号的极性和幅值大小,相敏检波电路是具有鉴别调制信号相位和选频能力的检波电路。

4,静态特性:灵敏度,线性度,回程误差,稳定性,零点漂移动态特性:一阶系统:()11+⋅=ssHτ()11+=τωωjH二阶系统:5, 1 四倍频电路设计原理光栅传感器输出两路相位相差为90°的方波信号A和B.如图l所示,用A,B两相信号的脉冲数表示光栅走过的位移量,标志光栅分正向与反向移动.四倍频后的信号,经计数器计数后转化为相对位置.计数过程一般有两种实现方法:一是由微处理器内部定时计数器实现计数;二是由可逆计数器实现对正反向脉冲的计数.光栅信号A,B有以下关系.①当光栅正向移动时,光栅输出的A相信号的相位超前B相90°,则在一个周期内,两相信号共有4次相对变化:00→10→11→01→00.这样,如果每发生一次变化,可逆计数器便实现一次加计数,一个周期内共可实现4次加计数,从而实现正转状态的四倍频计数.②当光栅反向移动时,光栅输出的A相信号的相位滞后于B相信号90°,则一个周期内两相信号也有4次相对变化:00→01→11→10→00.同理,如果每发生一次变化,可逆计数器便实现一次减计数,在一个周期内,共可实现4次减计数,就实现了反转状态的四倍频计数.③当线路受到干扰或出现故障时,可能出现其他状态转换过程,此时计数器不进行计数操作.综合上述分析,可以作出处理模块状态转换图(见图2),其中“+”、“-”分别表示计数器加/减1,“0”表示计数器不动作.2 传统模拟细分电路传统的倍频计数电路如图3所示,它由光栅信号检测电路,辨向细分电路,位置计数电路3部分组成.光栅信号检测电路由光敏三极管和比较器LM339组成.来自光栅的莫尔条纹照射到光敏三极管Ta和Tb上,它们输出的电信号加到LM339的2个比较器的正输入端上,从LM339输出电压信号Ua,Ub整形后送到辨向电路中.芯片7495的数据输入端Dl接收Ua,D0接收Ub,接收脉冲由单片机的ALE端提供.然后信号经过与门Y1,Y2和或门E1,E2,E3组成的电路后,送到由2片74193串联组成的8位计数器.单片机通过P1口接收74193输出的8位数据,从而得到光栅的位置.采用上述设计方案,往往需要增加较多的可编程计数器,电路元器件众多、结构复杂、功耗增加、稳定性下降.3 基于CPLD实现的光栅四细分、辨向电路及计数器的设计采用CPLD实现光栅传感器信号的处理示意图如图4所示,即将图3中3个部分的模拟逻辑电路全部集成在一片CPLD 芯片中,实现高集成化.由于工作现场的干扰信号使得光栅尺输出波形失真,所以将脉冲信号通过40106施密特触发器及RC滤波整形后再送入CPLD,由CPLD对脉冲信号计数和判向,并将数据送入内部寄存器.CPLD芯片选用ALTERA公司的MAX7000系列产品EPM7128S,该芯片具有高阻抗、电可擦、在系统编程等特点,可用门单元为2 500个,管脚间最大延迟为5μs工作电压为+5 V.仿真平台采用ALTERA公司的QUARTUSⅡ进行开发设计.3.2 四细分与辨向电路四细分与辨向模块逻辑电路如图5所示,采用10MB晶振产生全局时钟CLK,假设信号A超前于B时代表指示光栅朝某一方向移动,A滞后于B时表示光栅的反方向移动.A,B信号分别经第一级D触发器后变为A',B'信号,再经过第二级D触发器后变为A″,B″信号.D触发器对信号进行整形,消除了输入信号中的尖脉冲影响,在后续倍频电路中不再使用原始信号A,B,因而提高了系统的抗干扰性能.在四倍频辨向电路中,采用组合时序逻辑器件对A'A″,B'B″信号进行逻辑组合得到两路输出脉冲:当A超前于B时,ADD为加计数脉冲,MIMUS保持高电平;反之,当A滞后于B时,ADD保持高电平,MINUS为减计数脉冲.对比图5和图2可以看出,新型设计方法使用的器件数较传统方法大大减少,所以模块功耗显著降低.系统布线在芯片内部实现,抗干扰性强.由于采用的是可编程逻辑器件,对于系统的修改和升级只需要修改相关的程序语句即可,不用重新设计硬件电路和制作印刷电路板,使得系统的升级和维护的便捷性大大提高.4 四倍频细分电路模块的仿真根据图2所示的状态转换图,利用硬件描述语言Verilog HDL描述该电路功能,编程思想为将A,B某一时刻的信号值的状态合并为状态的判断标志state,并放入寄存器prestate.当A,B任一状态发生变化时,state值即发生改变,将此时的state值与上一时刻的prestate进行比较,则能根据A,B两个脉冲的状态相对变化确定计数值db的加减,得出计数器输出值的加减标志.仿真结果如图6所示.当信号A上跳沿超前于B时,计数值db进行正向计数;当A上跳沿滞后于B时,计数值db 进行反向计数.即db将细分、辨向、计数集于一身,较好地实现了光栅细分功能.比较图3和图5可以看出,用FPGA设计信号处理模块,设计过程和电路结构更加简洁.另外,在应用中需注意FPGA 时钟周期应小于光栅信号脉冲的1/4. 1、工资就像大姨妈:一个月一次,一周左右就没了。

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上世纪90年代以来,如何以最短的时间开发出高质量、高性能价格比、容易被用户接受的新产品已成为市场竞争的焦点。

有人预测,当前制造技术的发展目标是:强化具有自主创新技术的产品开发能力和制造能力,增强企业间的合作能力,缩短产品上市时间,提高产品质量和生产效率,进而提高企业对市场需求的应变能力和综合竞争能力。

因此先进制造技术的发展日新月异,继计算机集成制造技术之后,又出现了并行工程、精益制造、智能制造、敏捷制造、快速原形制造等。

如美国在90年代实现了“三个三”,即产品生命周期三年;试制周期三个月;设计周期三周。

未来制造业发展的主要趋势是向精密化、柔性化、智能化、集成化、全球化、网络化、虚拟化的方向发展。

精密测试技术就要适应这种发展,它在机械学科中的作用是:为先进制造业服务,担负起质量技术保证的重任。

首先要以提高产品质量和要达到的最重要的目标为基本出发点,要将精密测试贯穿产品制造的整个过程。

其次精密测试技术要有利于生产效率的提高,至少不能妨碍生产速度,因此检测方法要能适应快速发展的生产要求,不能单纯为了检测而检测,更不能因为检测的要求而影响生产的效益。

从更积极的角度出发,应该是由于精密测试技术的正确服务和保证促进了生产能力的提高。

根据先进制造技术发展的要求,精密测试技术本着其自身的发展规律,不断拓展着新的测量原理、测试方法和测试信息处理技术,就机械学科而言,预计将向以下几个方面发展。

1.零废品生产中的测量控制
在机械制造业中,质量保证的理想目标是实行生产的零废品制造,在实现这个目标的过程中,精密测试技术的作用和重要意义是不言而喻的。

零部件的加工质量、整机的装配质量都与加工设备、测试设备以及测试信息的分析处理有关,因此实现零废品生产,从精密测试的角度出发,应考虑以下几个方面的问题:
(1)在加工工件前,事先检测机床。

如何快速准确地对加工设备进行校检,获得机床的精度状况,这对大幅度减少返工,甚至排除返工是非常有益的。

当然这里包括检测设备的研究,国外已在这方面做了研究开发。

(2) 生产过程中对工件进行在线测量或其它形式的100%检测,这就需要研究适合于动态或准动态的测试设备,甚至能集成到加工设备中的特殊测试设备,做到进行实时测试。

根据测试结果不断修改工艺参数,对加工设备进行补充调整或反馈控制。

从精度理论方面也相应要研究动态精度理论,包括动态精度的评述等。

(3) 应研究如何充分利用测量信息来实现零废品生产。

通过对100%在线测量数据的充分利用,从中分析加工和测量过程中误差分布的动态特性,同时根据加工误差的动态特性和传感器的精度损失特性以及产品质量要求和公差规定,给出零废品制造的基本理论模型。

充分利用人工神经网络、遗传算法等现代数学方法进行准确的加工质量预测,做到质量超前控制。

2.视觉测试技术
非接触测试技术有很多,特别值得一提的是视觉测试技术。

现代视觉理论和技术的发展,不仅在于模拟人眼所完成的功能,更重要的是它能完成人眼所不能胜任的工作,所以视觉测试技术作为当今最新技术,在电子、光学和计算机等技术不断成熟和完善的基础上得到了突飞猛进的发展。

视觉测试技术是建立在计算机视觉研究基础上的一门新兴测试技术,它和计算机视觉研究的视觉模式识别、视觉理解等内容不同,视觉测试技术重点研究物体的几何尺寸及物体的位置测量,如轿车白车身三维尺寸的测量,模具等三维型面的快速测量,大型工件同轴度测量,BGA芯片焊点共面性测量等。

它可以广泛用于在线测量、逆向工程等主动、实时测量过程等。

视觉测试技术在国外发展很快,早在80年代美国国家标准局就预计,工程检测任务的90%将由视觉测试系统来完成。

从目前来看,美国已有100多家公司跻身于视觉测试系统的经营市场,可见视觉测试系统确实很有前途。

在1999年10月的北京国际机床博览会上已见到国外利用视觉检测技术研
制的仪器,如流动式光学三坐标测量机、高速高精度数字化扫描系统和非接触式光学三坐标测量机等先进仪器。

3.测量方式上向多样化发展
(1)多传感融合技术在制造现场中的应用
多传感器融合是解决测量过程中的测量信息获取的方法,它可以提高测量信息的准确性。

由于多传感器是以不同的方法或从不同的角度获取信息,因此可以通过它们之间的信息融合去伪存真,提高测量精度。

(2)积木式、组合式测量方法
白车身三维尺寸测试系统就属于这类测量方法,也可称它是柔性很好的专用坐标测量机,关键在于系统的建立。

(3)便携式测量仪器
如便携式光纤干涉测量仪,便携式大量程三维测量系统等,往往都是用于解决现场大尺寸的测量问题。

(4)虚拟仪器
虚拟仪器是虚拟现实技术在精密测试领域的应用,国内已有深入的研究:一种是将多种数字化的测试仪器虚拟成一台以计算机为硬件支撑的数字式智能化测试仪器;另一种是研究虚拟制造中的虚拟测量,如虚拟量块、虚拟坐标测量机等。

(5)智能机构
智能机构属于结构检测与故障诊断,是融合智能技术、传感技术、信息技术、仿生技术、材料科学等的一门交叉学科,使监测的概念过渡到在线、动态、主动的实时监测与控制。

4.测量尺度上继续向两个极端发展
所谓两个极端是指相对于现在测量尺寸的大尺寸和小尺寸。

对通常尺寸的测量可采用多种测试方法。

而近年来,由于国民经济的快速发展和迫切需要,使得在很多方面的生产和工程中,测试的要求超过了我们所能测试的范围。

如飞机外形的
测量、大型机械关键部件的测量、高层建筑电梯导轨的准直测量、油罐车的现场校准等,均要求能进行大尺寸测量;微电子技术、生物技术的快速发展,探索物质微观世界的需求,测量精度的不断提高,又要求进行微米、纳米测试。

(1)大尺寸的测量方法
如工程大地测量方法是一种新的测量方法,它是指将大地测量的某些原理和方法移植和改进到机械工程的测量中。

另外,还有其它一些测量大尺寸的方法,如激光跟踪干涉三维尺寸测量系统。

(2)纳米测试技术
从生产制造的趋势来看,每十年要求容许误差降低1/3,因此要求测量具有越来越高的精度,并可溯源到国际标准(ISO)。

当然,纳米测量也各种各样,有光干涉测量仪、量子干涉仪、电容测微仪、X射线干涉仪、频率跟踪式法珀标准具、扫描电子显微镜(SEM)、分子测量机M3(Molecular Measuring Machine)、扫描隧道显微镜(STM)及原子力显微镜等。

5.实现各种溯源的要求
(1)自标定、自校准
高精度的测量要求高精度的溯源,很多情况下难以找到满足精度要求的仪器,其重要的原因是溯源制约着测量精度的发展,在某些情况下则可利用测量仪器的自标定和虚拟测量方法解决溯源问题。

(2)现场直接标定
越来越多的测量仪器现在要求直接标定,而且很多还是三维的空间标定,因此发展现场标定技术和仪器是这些标定的关键。

(3)纳米溯源
纳米测试的溯源也是一重要问题。

国外已经报道美国NST、德国PTB、日本NRLM研究发现硅(2 2 0)晶体的晶面间距尺寸在恒温下具有很好的稳定性,可以用来建立纳米溯源基准。

来源:互联网。

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