防静电腕带测试仪的使用及校准
静电手环测试仪作业指导书
【工程概要】监视手腕带是否戴好，监测静电手环是否损坏【目的】保护电子产品免受静电损坏，提升产品良率及品质质量的可靠性【静电及危害】1.物体表面带正电荷，另一个物体表面带负电荷，存在于两个物体间的静电电荷叫静电2.两个物体接触时会产生静电放电，发生迅移的电荷转移，就会电坏产品【测试前准备】测试器、静电环、圆珠笔【静电环结构】导电松紧带、活动按扣、弹簧软线、保护电阻及夹头【测试步骤】1.戴静电环（图一）(图二)（图三）要求:戴在左手手腕位置并且静电环的腕带应拉紧，以保证金属部分要求与皮肤充分接触!以便于良好导电.备注：1.静电环金属部分要与手心方向的手腕上的皮肤充分接触；(图三)2.静电手环不可松松垮垮，不可隔着静电服。
（图一）（图二）2.连接静电环（图三）左手持静电环金属夹右手持静电测试仪金属夹连接好OK!以便于静电环与静电测试仪导通.3.测试静电环准备（图四）方法:将戴好静环的左手贴合静电环测试仪感应区!4.测试静电环（图五）方法:做好第三步工作之后手压下测试仪感应区.绿灯亮(GOOD)为正常并且伴有响声;红灯亮(HIGH)为不正常属开路状态;红灯亮(LOW)为不正常属短路状态.5.测试O K,签名（图六）方法:在显示绿灯亮,表示静电环完全OK,在签名册上找自己的姓名位置打:√.错误戴法错误戴法正确戴法图一图二图三图四图四图五图六【注意事项】1.有限接地手腕，使用时腕带与皮肤必须接触，并且确保接地线是否接地2.夹头必须夹住地线除皮金属上3.定时测量，必须带正确，不能隔着衣服4.测量时路灯必须亮起为O K【备注】1.静电环如果出现异常情况,须第一时间知会拉长更换。
2. 测试仪引线必须放置在指定位置。
3. 测试时不能粗暴作业,须轻拿轻放。
4. 未做静电测试上班者处以5元/次罚款。
5. 损坏仪器者照价赔偿。
6. 静电环的作用是与接地地线相接让人体多于静电电荷通过电阻进行静电放电。
静电手环测试操作指导书
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（ISO9001-2015/ISO45001-2018）
一、有线静电手环检测：
如图1所示将有线静电手环的接地线上的夹子与系统接地线上的夹子夹在一起，静电手环佩戴在手腕上，手腕带上的铁片必须紧贴着皮肤，然后将手掌平放按在手腕带测试仪上，此时看测试仪上的指示灯，如下：
（1）若“GOOD ”灯亮，且听到声音讯号，表示静电手环为合格。
（2）若“LOW ”灯亮，静电手环到地线的电阻阻值小于750K Ω,表示静电手环为不合格。
（3）若“HIGH"灯亮，检查静电手环的铁片是否是紧贴在手腕上否则静电手环接地线断，表示静电手环为不合格。
防静电手腕带接地状态测试操作规程
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一、概述： 人体身上的接地设施，比如接地手腕带，是将人体身上产生的电荷消耗掉的最主要的方法， 基于上诉原因，对于接地手腕带质量以及员工佩戴是否合理都需要进行测试。 二、规格： 1、系统接地良好阻值范围：750KΩ-10MΩ 2、电源：9V 3、精度：±10% 4、外形尺寸：117mm（L）×80mm（W）×40mm（H） 一、目的 规范防静电手腕带接地状态检测操作，确保防静电手腕带接地良好。 二、范围 公司生产部门的全部防静电手腕带。 三、测试使用工具 QUICK498 手腕带测试仪 四、操作步骤 1、打开防静电手腕带测试仪的电池后盖，放入9V电池。 2、插入香蕉夹以便测试仪连接到地线夹。 3、戴上防静电手腕带，手腕带须紧贴着手腕。 4、将手腕带连接到地线上。 5、按下仪器正面的测试钮，观察发光二极管显示灯亮和听声音讯号 （1）若绿色“GOOD”灯亮，且听到声音讯号，则防静电手腕带接地系统安全。 （2）若红色“LOW”灯亮，需检查手腕带与地线的电阻，是否小于750KΩ，这样会对人体安 全有影响。 （3）若红色“HIGH”灯亮，请检查手腕带是否在手腕上戴紧，再检查手腕带与地线的导线 是否断裂。 五、注意事项 1、防静电手腕带须紧贴着手腕。 2、手腕带与地线连接良好。 3、如果经过50000次操作后，声音讯号明显变低，或指示灯亮度明显变暗时，请更换电池。
编制
审核
批准Biblioteka
静电手环测试仪校验规程
静电手环测试仪校验规程1、目的规范静电手环测试仪之校准程序,确保其于使用期间能维持其精密度和准确度,以保证产品之测试质量。
2、适用范围本公司各种型号之静电手环测试仪均适用之。
3、权责3.1品质部QE：静电手环测试仪之校准，仪器异常之处理。
4、定义校准：在规定条件下，为确定测量仪器或测量系统所指示的量值，或实物量具或参考物质所代表的量值，与对应的由校准所复现的量值之间关系的一组操作。
测量准确度：测量结果与被测量真值之间的一致程度。
相对标准偏差：标准偏差与平均值的比值。
5、内容5.1按所需校准点准备750KΩ±10%;1MΩ±10%;2MΩ±10%之电阻各1只,利用标准数字电表确认其规格。
检查待测静电手环测试仪之外观，应无影响其准确性的损伤。
5.2选取阻值为750KΩ的电阻,一端用插在静电手环测试仪之香蕉插座上的导线夹子端夹住,一端可用拇指按压在“PUSH BOTTOM”上面,此时静电手环测试仪之“L0”灯要亮。
5.3选取阻值为1MΩ的电阻,参照5.2之方法进行量测,此时静电手环测试仪之“PASS”/“GOOD”指示灯要亮。
5.4 选取阻值为2MΩ的电阻,参照5.2之方法进行量测,此时静电手环测试仪之“HI”灯要亮。
5.5校准完成后,作好相应记录.如有超差,即行依说明书调整其电位器,并重新校准。
5.6 其它类型的静电测试仪可根据其量程选定适当的校准点，参照以上方法校准。
5.7校准合格者贴上合格标签；部分功能不合格且仍可使用者贴限用标签, 并注明限用范围；严重不合格者贴禁用标签,视情况提出异常报告并作追踪处理。
做好有关记录。
6、校准周期校准周期为一年。
7、参考文件JJF 1071国家计量校准规范编写规则JJF 1001 通用计量术语及定义GBT/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定8、记录表格《测试设备校验记录表》。
静电手环检测仪校正说明书
8．1应于静电手环检测仪适当位置贴上校正标签。
8．2校正结果如为暂停使用，应于静电手环检测仪上贴标签并通知使用单位知晓。
8．3校正结果应填写于校正记录表内。
8．4送修完成之静电手环检测仪应再实施校正，确定允收后才可发放使用。
9．0附件
仪器校验记录表（QR-091A）。
静电手环检测仪校正说明书
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日期
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SOP-QR-069
AO
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首次发行
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1．0目的
对静电手环检测仪内部校准，确保其准确度和适用性保持完好。
2．0适用范围
适用于静电手环检测仪的内部核准。
3．4．0参考文件
原厂商提供之产品使用说明。
5．0校正标准件与辅助工具
外校高、低电阻箱。
6．0校验步骤
6．1检查静电手环检测仪测量接触面、接入口是否平整、干净、无污渍、锈迹。
6．2检查静电手环检测仪电源、指示灯、“蜂鸣声”是否正常。
6．3使用标准电阻检验，在手环连接孔与仪器的手指按钮之间接入不同大小的电阻，看能否正常亮指示灯与发出“蜂鸣声”。
6．4各指示灯亮标准：“LOW”红灯亮表示电阻<800KΩ；“GOOD”绿灯亮表示电阻≤800KΩ，且≤9MΩ；“NIGH”红灯亮表示电阻>9MΩ。如果电阻值在额定范围且向对应指示灯点亮则表示校验OK。
6. 5如电阻值在额定范围且向对应指示灯不能点亮则校验NG，需送外维修。
7．0校准周期
外校一年一次，内校每半年一次。
防静电手腕带检测规范
防静电手腕带检测规范1目的保证防静电手腕带有效工作。
2范围所有防静电手环3参考文件阻抗测试仪操作指导书4程序4.1检测环境温度：15℃~30℃湿度：30% ~70%4.2检测设备静电测量仪(型号：41201-19250)4.3检验方法4.3.1将手环带在手上，手环内的铁片紧贴皮肤。
4.3.2将静电手环插头插至静电环测试器插口中.4.3.3脚踏于地板上.4.3.4按下静电测试按钮.4.4判别方法（信号灯显示）A．FAIL HI (红):阻抗值太高,容易聚集静电.B．PASS (绿) :阻抗值未超过规格C．FAIL LO (红) :阻抗值太低,仪器可能有故障.4.5静电失效可能原因与后续处理方法：4.6记录测量结果。
4.7检验值范围<3.5x107Ω4.8检测频率4.8.1新购：IQC针对每批次来料包数抽样检验5%，4.8.2日常检验：工作前检测4.8.3抽样检验：每周抽样检验20个。
（生产线员工使用中的）静电手环、工鞋测试记录月／年部门班次姓名日期审核人手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋手环工鞋123456789101112131415161718192021222324252627282930备注：1.合格打“√”，不合格打“×”，休息打“O ”，不需测试打“/”2.每班指派专人进行审核。
静电环测试操作指引
静电环测试仪操作指引编制日期审核日期批准日期修订记录日期修订状态修改内容申请修改人审核批准1目的规范静电手环检测方法，确保公司使用的防静电设施满足ESD性能要求。
2范围使用所有静电环测试仪的操作方法。
3权责3.1作业员戴上静电环作业之前，需在指定的静电环测试仪上测试合格后方可上线作业。
3.2IPQC必需确保每个作业员佩戴静电环是有释放静电功能的，若静电环测试NG立即要求更换。
4名词定义4.1静电环测试仪器；测试静电手环是否合格或不合格种仪器。
4.2有线静电手环:为防止人体接触敏感组件而造成静电破坏,佩带于手(脚)上的防静电物品,并用一根导线连接接到大地。
5作业内容5.1仪器安装；5.1.1打开仪器后面的电池盒，装入9V电池，盖好外壳。
5.1.2将测试线插入仪器插孔中，用手按下金属圆盘检查是否安装好，若安装好指示灯亮（HIGH）。
5.2测试方法；5.2.1固定测试5.2.1.1在确保静电手环测试仪通电情况下，先佩戴好静电环，手腕带内金属片须贴紧着手皮肤，再将静电手环的鳄鱼夹与测试仪的连接线相连，最后按下测试仪上的金属按钮2~3秒，待指示灯稳定后再判定。
（如图1，2）图1图25.2.2移动测试（工作时的测试方法）5.2.2.1在确保静电手环测试仪通电情况下，且在工作期间测试，先将静电环测试仪夹于静电接地在线或静电手环的鳄鱼夹上，再通知被测试人员按下测试仪上的金属按钮2~3秒，待指示灯稳定后再判定。
（如图3）图35.3测试判定；5.3.1当测试仪上的绿色“PASS或GOOD”灯亮，且听到蜂鸣器“滴”的声音序号时，表示静电环合格；当红色“LOW或HIGH”灯亮，在确定静电手环与仪器连接好的情况下说明该静电手环已不合格要及时更换静电环，并重新测试直到更换测试合格为止，最后将测试结果记录于《静电环检查记录表》内。
5.4静电环测试仪功能确认；5.4.1静电手环功能确认5.4.1.1用一个合格的静电环样本按标准测试方法确认，若绿色PASS或GOOD灯亮表示此仪器功能正常；若红色LOW/HIGH灯亮表示此仪器功能部正常，需停止使用并处理。
静电手环测试仪内部校准作业规范
温度：23度+/-5度；湿度：60％+/-10％
6.标准器件：
ZX84A型直流电阻器
7.辅助器件：
无
8.内容﹕
8.1将直流电阻器平放在校准工作台上，直流电阻器的接地端用地线接地；
8.2将静电手环测试仪的接地线接到直流电阻器的“R”中的A端，再将A另一端接在静电手环测试仪的金属球面上；再用测试线的一端按“R”中的B端，另一端去按触金属球面；
静电手环测试仪内部校准作业规范
版本
更改类型
生效日期
更改内容
会签部门：
品质：工程：
采购：业务：
研发：DCC：
生产：PMC：
行政：财务：
制作：
审核：
批准：
1.目的﹕
确保校准的准确性，使校准作业规范化，程序化，特制定此规范；
2.范围﹕
制程中所有静电手环测试仪均属之
3.责任部门﹕
生技课
4.相关部门：
检测设备使用部门
8.6改变电阻器的阻值并按下静电手环测试仪的金属球面使HIGH灯亮，GOOD灯熄，此时电阻器所示的阻值为HIGH灯的最小电阻，记下此时的电阻值R3；
8.7将以上的三组数据（R1、R2、R3）按《内校检测设备精度要求》上面所规定的的标准去判断被校的静电手环测试仪是否合格；
8.8如果所测结果在《内校检测设备精度要求》所规定的范围内，即为合格，在被校的静电手环测试仪上贴《合格证》；如果所测结果大部分在所规定的范围内，而有一小部分超过标准，结合实际的情况还可以用，这样的情况可定为准用，在被校的静电手环测试仪上贴《准用证》，并要求使有部门了解准用的内容，如果所测结果严重超去，则判断为不合格，在被校的静电手环测试
8.3直流电阻器的100R、1K、10M扭到“0”位，然后选择100K及1K檔的阻值；
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防静电腕带测试仪的使用及校准
摘要：对静电的产生和静电在微电子行业中的危害及危害的预防做了简单的介绍。
说明了防静电腕带和防静电腕带测试仪的使用方法和技术要求，并对防静电
腕带测试仪的校准方法进行了简单的探讨。
关键词：静电防静电腕带防静电腕带测试仪校准方法
1引言
随着微电子行业的蓬勃发展，微电子制造业越来越重视生产过程中的静电防护。
佩戴防
静电腕带是防护静电的有效措施之一。
为了保证防静电腕带的正常使用，大多数企业都配置
了防静电腕带测试仪，但是相关规程一直未能发布，在这里，对防静电腕带测试仪的使用和
校准过程中的一些问题，进行探讨。
2 静电的产生和危害
当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷如电子转移到另一个物体
使其带正电，而另一个体得到一些剩余电子的物体而带负电。
若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积累使物体带上静电。
所以物体与其它物体接触后分离就会带上静电。
通常在
从一个物体上剥离一张塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起电，在日常生活中脱衣服产
生的静电也是“接触分离”起电。
另一种常见的起电是感应起电。
当带电物体接近不带电物体
时会在不带电的导体的两端分别感应出负电和正电。
静电的危害很多，它的第一种危害来源于带电体的互相作用。
在飞机机体与空气、水气、灰尘等微粒摩擦时会使飞机带电，如果不采取措施，将会严重干扰飞机无线电设备的正常工作，使飞机变成聋子和瞎子。
在化工行业，由于静电吸引尘埃，会使产品达不到标准的纯度
等等。
静电的第二大危害，是有可能因静电火花点燃某些易燃物体而发生爆炸。
在北方干燥
季节，我们会和金属物品发出火花和“叭叭”的响声，这对人体基本无害，但在手术台上，除
电火花会引起麻醉剂的爆炸，伤害医生和病人；在煤矿，则会引起瓦斯爆炸，会导致工人死伤，矿井报废。
另外，静电对现代高精密度、高灵敏度的电子设备有严重影响，在微电子制
造行业，静电严重妨碍电子器件的正常工作甚至损坏某些部件，严重妨碍生产的正常秩序。
3 静电危害的预防
在电子工业中对静电危害的预防主要有两个基本原则：抑制静电荷的积聚和消除已经产
生的静电荷。
防静电腕带是操作人员在接触电子元器件时最重要的防静电产品，通过接地通路，可以将人体所带的静电荷安全地泻放掉。
它由防静电松紧带、活动按扣、弹簧软线，保
护电阻及插头或夹头组成。
松紧带的内层用防静电纱线甚至铜质纤维网编织，外层用普通纱
线编织。
防静电腕带具有更高的实时性，防静电效果也可靠得多。
4 防静电腕带测试仪的使用和技术要求
防静电腕带测试仪可以有效监视手腕带是否戴好，检测手腕带是否损坏、太松或断线仪
器静电手环测试仪将会报警提示，从而保证了人体的静电经过手腕带释放到大地的可靠性。
防静电腕带测试仪大多使用直流供电，一般具有“low”、“high”和“pass或good”等三个指
示灯，仪器正面有较大面积的金属电极板，另外一起顶端有接地插孔。
在使用时，使用者正确佩戴防静电腕带，将腕带的接地插头接人接地插孔，然后又使用
者按住防静电腕带测试仪的金属电极板，3～5秒之后，防静电腕带测试仪指示灯稳定。
此时，可以根据指示灯判定所使用腕带是否正常。
防静电腕带测试仪根据制造厂不同，技术指标略有不同。
一般而言：
当被测电阻R0>10MΩ时，“high ”指示灯亮，并伴有蜂鸣；
当被测电阻800kΩ<R0<10MΩ，或者750kΩ<R0<10MΩ时，“pass”或“good”指示灯亮；
当被测电阻R0<800kΩ或R0<750kΩ时，“low”指示灯亮，并伴有蜂鸣。
造成不同制造厂对于测试下限存在分歧的主要原因在于各制造厂所引用的标准不同。
在《 SJ/Tl0694—2006电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范》中，对腕带穿戴状态下的
电阻明确规定应该为(7.5×105～1×107) Ω。
而《 ANSI ESD S1.1 2006》(美国国家标准协会静电
放电标准)中规定防静电腕带电阻应该为lmegohm±20％，即(8×105～1.2×105) Ω，而腕带穿戴状态下的电阻不大于10megohm。
不论是7.5×105Ω还是8×105Ω，其目的都是出于人身安全的考虑。
如果仅从防静电的角
度考虑，人体的对地电阻越小越好，但考虑到安全因素，人体必须具有一定的对地电阻，万
一金属设备或装置与工频电源短接，该电阻能够限制流过操作者身体的电流，因此通常防静
电腕带内表面到接地导线之间要具有一定阻值。
两国的标准虽然不一样，但是都可以达到保
护人员的目的。
5 防静电腕带测试仪的校准
防静电腕带测试仪目前虽然广泛使用与个行业，但是国家目前并没有相应的检定规程或
校准规范。
所以，这里以498型防静电腕带测试仪为例，仅对其校准方法进行一些探索和讨论。
5.1 校准的环境条件
首先防静电腕带测试仪送检之后首先应在实验室中静置8小时以上，使其工作状态和环
境保持一致，环境温度20℃～25℃，环境湿度40％～ 60％。
5.2 校准所使用的设备
校准防静电腕带测试仪应使用连续可调电阻箱。
且该电阻箱必须经法定计量技术机构检
定合格，并在有效期内。
电阻箱的阻值范围要涵盖防静电腕带测试仪的测量范围，电阻箱的
测量不确定度应优于被测防静电腕带测试仪不确定度(或最大允许误差)的三分之一～五分之一，稳定性和分辨力应优于被测防静电腕带测试仪的五分之一。
5.3 校准步骤
(1)在校准防静电腕带测试仪时，应首先检查送检仪器外观是否正常，铭牌是否完全，设
备编号是否清晰可辨。
(2)进行初步试验。
使用一个可以保证接触良好，面积足够大的电极A与被测防静电腕带测试仪的金属电极
板完全接触。
将电极A另一端连接被测防静电腕带测试仪的接地插孔，使被测仪器短路，按
下被测仪器的金属电极板，观察被测仪器“low”指示灯和蜂鸣器是否正常工作。
将电极A与被测仪器的接地插孔断开，使被测仪器处于开路状态，按下被测仪器的金属
电极板，观察被测仪器“high”指示灯和蜂鸣器是否正常工作。
将电极A与被测仪器的接地插孔之间串联人标准电阻箱，使电阻箱置于5MΩ位置，按
下被测仪器的金属电极板，观察被测仪器的“pass”或“good”指示灯是否工作正常，蜂鸣器是
否未被激发，处于正常状态。
若以上三项测试均正常，则继续进行示值误差校准，若不正常则退检。
(3)示值误差校准
将电极A与被测防静电腕带测试仪的金属电极板完全接触，将电极A与被测仪器的接地
插孔之间串联人标准电阻箱，使电阻箱置于最小电阻位置。
按下被测仪器的金属电极板，此
时被测仪器的“low”指示灯亮并伴有蜂鸣。
由小到大调整电阻箱阻值，直到“low”指示灯灭，
蜂鸣器停止工作，并“pass”或“good”指示灯亮。
记录下此时电阻值。
若在调整电阻箱过程中，“low”指示灯闪烁，或者蜂鸣器声音逐渐减小，则在出现以上状况时立即停止调整电阻箱阻值，并记录下该阻值。
该阻值为下限区间极限阻值。
继续调整电阻箱，直到“low”指示灯完全熄灭，蜂鸣器停止工作并“pass”或“good”指示灯
亮完全亮起，记录下此时电阻值。
该阻值为工作正常区间下限值。
继续由小到大调整电阻箱阻值，直到“pass”或“good”指示灯熄灭或闪烁，或蜂鸣器响起，或“high”指示灯闪烁，记录下此时电阻值，该阻值为工作正常区间上限值。
继续调整电阻箱，直到“pass”或“good”指示灯熄灭且“high”指示灯完全亮起，蜂鸣器工作。
记录下此时电阻值。
该阻值为上限区间极限阻值。
松开被测防静电腕带测试仪金属电极板。
重复以上步骤3～6次，将多次测试的结果取
平均值作为测量结果。
5.4结果的处理
若工作正常区间处于《SJ／T 10694—2006电子产品制造与应用系统防静电检测通用规范》中所规定的(7.5×l05～1×107)Ω范围以内，则该防静电腕带测试仪处于正常状态，若超出范围，则处于非正常状态。
6 结语
防静电腕带测试仪是微电子制造业产品生产、运输、储藏过程中不可或缺的重要辅助设备，希望随着对该设备的不断了解和计量检定人员对该项目的不断探索和讨论，国家早日发
布相应的检定规程或校准规范，指导我们的实际工作。