功能薄膜材料与技术
功能性聚酯薄膜简介演示
降低碳排放
使用功能性聚酯薄膜可以 减少纸质包装的使用，从 而降低运输过程中的碳排 放。
可持续发展策略与实践
制定可持续发展计划
明确可持续发展的目标和行动计划，确保功能性聚酯薄膜的生产 和使用符合环保要求。
推广环保理念
加强环保宣传和教育，提高员工和社会公众的环保意识。
合作与交流
与其他企业和组织开展合作与交流，共同推动功能性聚酯薄膜行业 的可持续发展。
功能性聚酯薄膜简介演示
汇报人： 2024-01-07
目录
• 功能性聚酯薄膜的定义与特性 • 功能性聚酯薄膜的制造工艺 • 功能性聚酯薄膜的市场现状与
趋势 • 功能性聚酯薄膜的未来研究方
向与技术发展 • 功能性聚酯薄膜的环保与可持
续发展
01
功能性聚酯薄膜的定义与特性
定义
01
功能性聚酯薄膜是一种由聚酯材 料制成的薄膜，通过特定的加工 技术赋予其多种功能性。
废弃物回收
对生产过程中产生的废弃 物进行分类回收和处理， 减少对环境的污染。
绿色原材料
优先选择环保、可再生的 原材料，降低对自然资源 的消耗。
使用过程中的环保性能
可回收利用
功能性聚酯薄膜在使用后 可以回收再利用，降低对 自然资源的依赖。
减少浪费
通过合理的包装设计和优 化物流环节，减少不必要 的浪费和损失。
国家政策支持力度加大，为功 能性聚酯薄膜企业的发展提供 了有力保障。
04
功能性聚酯薄膜的未来研究方 向与技术发展
研究方向
高性能聚酯材料
研究开发具有高强度、高模量、高耐 热性等优异性能的聚酯材料，以满足 高端领域的应用需求。
功能性聚酯薄膜制备技术
研究聚酯薄膜的表面改性、微纳结构 制备、多层复合等技术，以提高薄膜 的功能性和应用范围。
薄膜材料的特点及其制备技术
薄膜材料的特点及其制备技术薄膜材料的特点及其制备技术厚度小于1微米的膜材料，称为薄膜材料。
下面是店铺给大家整理的薄膜材料的特点及其制备技术，希望能帮到大家!薄膜材料的特点与制备技术工业上有两大类塑料薄膜(厚度在0.005mm～0.250mm)生产方法——压延法和挤出法，其中挤出法中又分为挤出吹塑、挤出拉伸和挤出流延。
目前最广泛使用的生产工艺有挤出吹塑、挤出拉伸和挤出流延，尤其是聚烯烃薄膜，而压延法主要用于一些聚氯乙烯薄膜的生产。
在挤出吹塑、挤出拉伸和挤出流延中，由于挤出吹塑设备的整体制造技术的不断提高以及相对于拉伸和流延设备而言低得多的，本应用在不断增多。
不过在生产高质量的各种双向拉伸薄膜中仍然广泛使用挤出拉伸设备。
随着食品、蔬菜、水果等对塑料薄膜包装的要求越来越高以及农地膜、棚膜的高性能要求和工业薄膜的应用不断增加、计算机和自动化技术的应用，塑料薄膜设备生产商一直在不断创新，提高薄膜的生产质量。
薄膜材料的简介当固体或液体的一维线性尺度远远小于其他二维时，我们将这样的固体或液体称为膜。
通常，膜可分为两类，一类是厚度大于1微米的膜，称为厚膜;另一类则是厚度小于1微米的膜，称为薄膜。
半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用。
一个很为人们熟知的表面技术的应用是家用的镜子：为了形成反射表面在镜子的背面常常镀上一层金属，镀银操作广泛应用于镜子的制作，而低于一个纳米的极薄的镀层常常用来制作双面镜。
当光学用薄膜材料(例如减反射膜消反射膜等)由数个不同厚度不同反射率的薄层复合而成时，他们的光学性能可以得到加强。
相似结构的由不同金属薄层组成的周期性排列的薄膜会形成所谓的超晶格结构。
在超晶格结构中，电子的运动被限制在二维空间中而不能在三维空间中运动于是产生了量子阱效应。
薄膜技术有很广泛的应用。
长久以来的研究已经将铁磁薄膜用于计算机存储设备，医药品，制造薄膜电池，染料敏化太阳能电池等。
陶瓷薄膜也有很广泛的应用。
由于陶瓷材料相对的高硬度使这类薄膜可以用于保护衬底免受腐蚀氧化以及磨损的危害。
功能薄膜材料
功能薄膜材料功能薄膜材料是一类具有特殊功能和性能的薄膜材料，广泛应用于电子、光学、医疗、能源等领域。
它们具有优异的光学、电子、磁性、机械、化学等性能，可以实现多种功能，满足不同领域的需求。
功能薄膜材料的研究和应用对于推动科技创新和产业发展具有重要意义。
首先，功能薄膜材料在电子领域具有重要应用。
例如，氧化铟锡(ITO)薄膜广泛应用于液晶显示器、触摸屏等电子产品中，具有优异的导电性和透明性；氧化锌(ZnO)薄膜具有优异的半导体性能，可用于光电器件和传感器中；有机薄膜晶体管(OTFT)是一种新型的柔性电子器件，可实现可弯曲、可卷曲的电子产品。
这些功能薄膜材料的应用，推动了电子产品的不断创新和发展。
其次，功能薄膜材料在光学领域也发挥着重要作用。
例如，光学膜具有反射、透射、吸收等特殊光学性能，可用于激光器、光学镜片、光学滤波器等光学器件中；光学薄膜还可用于制备光学薄膜滤光片、偏振片、分光镜等光学元件，广泛应用于光学仪器、激光设备、光学通信等领域。
这些功能薄膜材料的应用，提高了光学器件的性能和功能。
此外，功能薄膜材料在医疗和生物领域也有重要应用。
例如，生物相容性薄膜可用于医用植入材料、药物缓释系统等医疗器械中，具有良好的生物相容性和药物控释性能；生物传感器薄膜可用于检测生物分子、细胞等生物样品，具有高灵敏度和快速响应特性。
这些功能薄膜材料的应用，促进了医疗器械和生物技术的发展。
最后，功能薄膜材料在能源领域也具有重要意义。
例如，太阳能电池中的光伏薄膜可将太阳能转换为电能，具有高效、轻薄、柔性等特点；锂离子电池中的隔膜薄膜可实现电解质的隔离和离子传输，影响电池的安全性和循环寿命。
这些功能薄膜材料的应用，推动了新能源技术的发展和应用。
综上所述，功能薄膜材料具有多种特殊功能和性能，在电子、光学、医疗、能源等领域具有重要应用。
随着科学技术的不断进步和创新，功能薄膜材料的研究和应用将会更加广泛，为人类社会的发展和进步做出更大的贡献。
新型功能薄膜材料的研究与应用
新型功能薄膜材料的研究与应用当我们提到薄膜材料时，很多人可能会想到塑料袋或者保鲜膜，这些常见的薄膜材料在日常生活中具有广泛的应用。
然而，随着科技的进步，新型功能薄膜材料的研究与应用正在不断涌现，为各个领域带来了新的可能性。
一种广泛应用于电子产品和太阳能电池等领域的新型功能薄膜材料是透明导电薄膜。
传统的导电材料如金属，虽然导电性好，但是不透明，无法应用于透明电子产品中。
而透明导电薄膜则具有优异的导电性能和透明性，使得其在新型显示器、触摸屏等领域得到了广泛应用。
以柔性显示器为例，透明导电薄膜可以作为电极材料，使得显示器可以具备弯曲，可折叠的特性，更加符合人们对于便携式电子产品的需求。
此外，新型功能薄膜材料还应用于能源领域。
随着对可再生能源利用的追求，太阳能电池成为了一种重要的能源转换设备。
而透明导电薄膜的应用使得太阳能电池不再受限于面积和材料选择。
传统的太阳能电池需要使用银等材料作为电极，而透明导电薄膜可以取代银作为电极材料，不仅能够提高太阳能电池的光吸收效率，还能够减少材料成本和环境污染。
除了透明导电薄膜之外，还有其他一些新型功能薄膜材料在科技领域得到了广泛应用。
石墨烯是目前研究最热门的材料之一，它是由碳原子按照二维晶格排列形成的单层薄膜。
石墨烯具有极高的导电性和热导性，同时也具备优异的机械性能和化学稳定性。
这使得石墨烯在电子器件、传感器、储能装置等领域具有广泛的应用前景。
此外，具有光学功能的薄膜材料也受到了科学家们的关注。
光学薄膜是一种能够改变光的传播性质的材料。
通过调整薄膜的厚度和折射率，可以实现对光的反射、透射和吸收的控制，进而实现各种光学器件的设计和制备。
光学薄膜在激光加工、光学传感、显示技术等领域具有广泛应用，为光学领域的发展提供了新的思路。
综上所述，新型功能薄膜材料的研究与应用给各个领域带来了新的可能性。
透明导电薄膜在电子产品和能源领域发挥着重要作用，石墨烯等材料也成为了科研热点。
光学薄膜则为光学领域的发展提供了新的思路。
《薄膜材料与技术》复习资料总结
《薄膜材料与技术》复习资料总结【讲义总结】1.真空区域的划分：①粗真空(1x105~1x102Pa)。
在粗真空下，气态空间近似为大气状态，分子以热运动为主，分子间碰撞十分频繁；②低真空(1x102~1x10-1)。
低真空时气体分子的流动逐渐从黏滞流状态向分子流状态过度，此时气体分子间碰撞次数与分子跟器壁间碰撞次数差不多；③高真空(1x10-1~1x10-6)。
当达到高真空时，气体分子的流动已经成为分子流状态，以气体分子与容器壁间的碰撞为主，且碰撞次数大大减小，蒸发材料的粒子沿直线飞行；④超高真空(＜1x10-6)。
达到超高真空时，气体分子数目更少，几乎不存在分子间碰撞，分子与器壁的碰撞机会更少。
2.获得真空的主要设备：旋片式机械真空泵，油扩散泵，复合分子泵，分子筛吸附泵，钛生化泵，溅射离子泵和低温泵等，其中前三种属于气体传输泵，后四种属于气体捕获泵，全为无油类真空泵。
3.输运式真空泵分为机械式气体输运泵和气流式气体输运泵。
4.极限压强：指使用标准容器做负载时，真空泵按规定的条件正常工作一段时间后，真空度不再变化而趋于稳定时的最低压强。
5.凡是利用机械运动来获得真空的泵称为机械泵，属于有油类真空泵。
6.旋片式真空泵泵体主要由锭子、转子、旋片、进气管和排气管等组成。
7.真空测量：指用特定的仪器和装置，对某一特定空间内的真空度进行测定。
这种仪器或装置称为真空计。
按测量原理分为绝对真空计和相对真空计。
8.物理气相沉积：是利用某种物理过程实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移过程。
特点：①需要使用固态或熔融态的物质作为沉积过程的源物质；②源物质通过物理过程转变为气相，且在气相中与衬底表面不发生化学反应；③需要相对较低的气体压力环境，这样其他气体分子对于气相分子的散射作用较小，气相分子的运动路径近似直线；④气相分子在衬底上的沉积几率接近100%。
在物理气相沉积技术中最基本的两种方法是蒸发法和溅射法。
9.蒸发沉积薄膜纯度取决于：①蒸发源物质的纯度；②加热装置、坩埚等可能造成的污染；③真空系统中的残留气体。
薄膜材料及其制备技术
课程设计实验课程名称电子功能材料制备技术实验项目名称薄膜材料及薄膜技术专业班级学生姓名学号指导教师薄膜材料及薄膜技术薄膜技术发展至今已有200年的历史。
在19世纪可以说一直是处于探索和预研阶段。
经过一代代探索者的艰辛研究，时至今日大量具有各种不同功能的薄膜得到了广泛的应用，薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位，各种材料的薄膜化已经成为一种普遍趋势。
其中包括纳米薄膜、量子线、量子点等低维材料，高K值和低K值介质薄膜材料，大规模集成电路用Cu布线材料，巨磁电阻、厐磁电阻等磁致电阻薄膜材料，大禁带宽度的“硬电子学”半导体薄膜材料，发蓝光的光电半导体材料，高透明性低电阻率的透明导电材料，以金刚石薄膜为代表的各类超硬薄膜材料等。
这些新型薄膜材料的出现，为探索材料在纳米尺度内的新现象、新规律，开发材料的新特性、新功能，提高超大规模集成电路的集成度，提高信息存储记录密度，扩大半导体材料的应用范围，提高电子元器件的可靠性，提高材料的耐磨抗蚀性等，提供了物质基础。
以至于将薄膜材料及薄膜技术看成21世纪科学与技术领域的重要发展方向之一。
一、薄膜材料的发展在科学发展日新月异的今天，大量具有各种不同功能的薄膜得到了广泛的应用，薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位。
自然届中大地、海洋与大气之间存在表面，一切有形的实体都为表面所包裹，这是宏观表面。
生物体还存在许多肉眼看不见的微观表面，如细胞膜和生物膜。
生物体生命现象的重要过程就是在这些表面上进行的。
细胞膜是由两层两亲分子--脂双层膜构成，它好似栅栏，将一些分子拦在细胞内，小分子如氧气、二氧化碳等，可以毫不费力从膜中穿过。
膜脂双层分子层中间还夹杂着蛋白质，有的像船，可以载分子，有的像泵，可以把分子泵到膜外。
细胞膜具有选择性，不同的离子须走不同的通道才行，比如有K＋通道、Cl－通道等等。
细胞膜的这些结构和功能带来了生命，带来了神奇。
二、薄膜材料的分类目前，对薄膜材料的研究正在向多种类、高性能、新工艺等方面发展，其基础研究也在向分子层次、原子层次、纳米尺度、介观结构等方向深入，新型薄膜材料的应用范围正在不断扩大。
薄膜材料制备原理、技术及应用
薄膜材料制备原理、技术及应用薄膜材料是在基材上形成的一层薄膜状的材料，通常厚度在几纳米到几十微米之间。
它具有重量轻、柔韧性好、透明度高等特点，广泛应用于电子、光学、能源、医疗等领域。
薄膜材料制备的原理主要涉及物理蒸发、溅射、化学气相沉积等方法。
其中，物理蒸发是指将所需材料制成块状或颗粒状，利用高温或电子束加热，使材料从固态直接转变为蒸汽态，并在基材上沉积形成薄膜。
溅射是将材料制成靶材，用惰性气体或者稀释气体作为工作气体，在高电压的作用下进行放电，将靶材表面的原子或分子溅射到基材上形成薄膜。
化学气相沉积是指在一定条件下，将气态前体分子引入反应室，通过化学反应沉积到基材上，形成薄膜。
薄膜材料制备技术不仅包括上述原理所述的基本制备方法，还涉及到不同材料、薄膜厚度、表面质量等方面的特定要求。
例如，为了提高薄膜的品质和厚度均匀性，可采用多台蒸发源同时蒸发的方法，或者通过旋涂、喷涂等方法使得所需薄膜材料均匀地覆盖在基材上。
此外，为了实现特定功能，还可以通过控制制备条件、改变材料组成等手段来改变薄膜的特性。
薄膜材料具有多种应用领域。
在电子领域，薄膜材料可以用于制作集成电路的介质层、金属电极与基板之间的隔离层等。
在光学领域，薄膜材料可以用于制作光学滤波器、反射镜、透明导电膜等。
在能源领域，薄膜材料在太阳能电池、锂离子电池等器件中扮演重要角色。
在医疗领域，薄膜材料可以用于制作人工器官、医用伽马射线屏蔽材料等。
此外，薄膜材料还应用于防腐蚀涂料、食品包装、气体分离等领域。
虽然薄膜材料制备技术已经相对成熟，但是其制备过程中仍然存在一些挑战。
例如，薄膜厚度均匀性、结晶性能、粘附性能等方面的要求十分严格，制备过程中需要控制温度、压力、物质流动等多个参数的影响，以确保薄膜的质量。
此外，部分薄膜材料的制备成本相对较高，制约了其在大规模应用中的推广。
总的来说，薄膜材料制备原理、技术及其应用具有重要的实际意义。
通过不断改进制备技术，提高薄膜材料的制备效率和质量，将有助于推动薄膜材料在各个领域的更广泛应用。
薄膜材料与薄膜技术
薄膜材料与薄膜技术薄膜材料是一种在工业和科学领域中广泛应用的材料，其厚度通常在纳米至微米级别。
薄膜技术则是制备、处理和应用薄膜材料的技术，涉及物理、化学、材料科学等多个领域。
薄膜材料的研究和应用已经深入到电子、光学、能源、生物医学等各个领域，成为现代科技发展的重要组成部分。
一、薄膜材料的分类根据材料的性质和制备方法，薄膜材料可以分为多种类型。
常见的薄膜材料包括金属薄膜、半导体薄膜、聚合物薄膜等。
金属薄膜通常具有良好的导电性和热导性，常用于电子器件的制备；半导体薄膜则是制备光电器件的重要材料；而聚合物薄膜则具有良好的柔韧性和可塑性，被广泛应用于包装材料、传感器等领域。
二、薄膜技术的发展随着科学技术的不断进步，薄膜技术也在不断发展。
目前，常见的薄膜制备技术包括物理气相沉积、化学气相沉积、溅射、溶液法等。
这些技术各有特点，可以制备不同性质的薄膜材料，满足不同领域的需求。
同时，随着纳米技术的发展，越来越多的纳米薄膜材料被制备出来，开拓了新的应用领域。
三、薄膜材料的应用薄膜材料在电子、光学、能源、生物医学等领域都有着重要的应用。
在电子领域，薄膜材料被广泛应用于集成电路、平板显示器、太阳能电池等器件中，发挥着重要作用；在光学领域，薄膜材料被用于制备光学薄膜、反射镜等光学器件；在能源领域，薄膜太阳能电池、燃料电池等也在逐渐成为发展的热点；在生物医学领域，生物传感器、药物传递系统等也离不开薄膜材料的支持。
四、薄膜技术的未来发展随着科技的不断进步，薄膜技术也在不断创新。
未来，随着人工智能、大数据、物联网等新兴技术的发展，薄膜材料的应用领域将会更加广泛，薄膜技术也将迎来新的发展机遇。
同时，随着环境保护意识的增强，绿色环保的薄膜材料和技术也将得到更多关注和应用。
薄膜材料与薄膜技术作为现代科技的重要组成部分，对于推动科技进步、促进产业发展、改善人类生活质量都起着重要作用。
我们期待着薄膜材料与薄膜技术在未来能够取得更大的突破和发展，为人类社会的发展作出更大的贡献。
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5
真空技术基础
真空的基本知识 真空的获得 真空的测量
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6
真空度的单位
自然真空：宇宙空间所存在的真空； 人为真空：用真空泵抽调容器中的气体
所获得的真空。
几种压强单位的换算关系
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7
真空区域的划分
粗真空：1×105～ 1×102 Pa。 低真空： 1×102～ 1×10－1 Pa。 高真空： 1×10－1 ～ 1×10－6 Pa。 超高真空：< 1×10－6 Pa。
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8
气体的吸附和脱附
气体在固体表面 的吸附
物理吸附 化学吸附
无选择性 分子作用 低温有效 选择性强
相互作用强
高温有效
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9
真空泵的分类
常用真空泵 的分类
气体传输泵
气体捕获泵
机械泵 扩散泵 分子泵 钛升华泵
溅射离子泵
低温冷凝泵
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10
真空的获得
几种常用真空泵的工作压强范围
5.化合反应-化合物制备
Ga(CH ) (气) + AsH (气)
32
3
GaAs(固) + 3CH (气) 4
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23
化学气相沉积的优缺点
化学气相沉积是制备各种各样薄膜材料的一种重要和普遍使用的技术，利用这一技术可以在各种基片上制备元素及化合 物薄膜。其优点是：
可以准确控制薄膜的组分及掺杂水平使其组分具有理想化学配比； 可在复杂形状的基片上沉积成膜； 由于许多反应可在大气压下进行，系统不需要昂贵的真空设备； 高沉积温度会大幅度改善晶体的完整性； 可以利用某些材料在熔点或蒸发时分解的特点而得到其他方法无法得到的材料； 沉积过程可以在大尺寸基片或多基片上进行。
2
2
Si (固) + 4HCl (气)
3.氧化反应-制备氧化物
SiH (气) + O (气)
4
2
SiO (固) + 2H (气)
2
2
4.氮化或碳化反应-制备氮化物和碳化物
3SiH (气) + 4NH (气)
3TiCl4 (气) + CH 3(气)
4
4
Si N (固) + 12H (气) TiC3(固4) + 4HCl(气2)
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21
化学气相沉积反应器基本类型
四种基本类型
常压反应器:大流量,大尺度 低压反应器:小流量,适当尺度 热壁反应器:整个反应器加热 冷壁反应器:只加热基片
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22
化学气相沉积中的基本化学反应
1.热分解反应
SiH (气) 4
Si (固) + 2H (气) 2
2.还原反应
SiCl (气) + 2H (气)
电离真空计结构示意图
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17
薄膜制备的化学方法
热生长 化学气相沉积 电镀 化学镀 阳极反应沉积法 LB技术
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18
热生长的基本概念
热生长技术:在充气条件下,通过加热基片的方式, 利用氧化,氮化,碳化等化学反应在基片表面制备 薄膜的一种技术.
主要应用在金属和半导体氧化物薄膜的制备.
喷涂
电镀 物理气相沉积技术
化学气相沉积技术
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3
薄膜材料的表征
薄膜材料的表征
结构 物性
组份 晶体结构 电子结构 光学性质
电学性质 力,热,磁,生物等性质
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4
主要内容
真空技术基础 薄膜制备的化学方法 薄膜制备的物理方法 薄膜的形成与生长 薄膜表征 薄膜材料
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薄膜材料与薄膜技术
王成新
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1
薄膜材料的简单分类
薄膜材料
涂层或厚膜 (>1um)
薄膜(<1um)
材料保护涂层
材料装饰涂层 光电子学薄膜 微电子学薄膜 其它功能薄膜
(力,热,磁,生物等)
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2
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
薄膜材料的制备技术
薄膜材料的制备技术
机械或化学方法 (涂层)
真空技术(薄膜)
电化学方法(薄膜)
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11
旋片式机械真空泵
旋片泵结构示意图
旋片泵工作原理图
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12
其他两种真空泵
分子泵结构示意图
低温泵结构示意图
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13
真空的测量
真空测量
绝对真空计 相对真空计
U型压力计
压缩式真空计 放电真空计 热传导真空计 电离真空计
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14
电阻真空计
规管中的加热灯丝是电阻温度系数较大的钨丝或铂丝， 热丝电阻连接惠斯顿电桥，并作为电桥的一个臂，低压强 下加热时，灯丝所产生的热量Q可表示为：Q=Q +Q ,式中 Q 是灯丝辐射的热量，与灯丝温度有关；Q2是气1 体分2 子碰
其缺点是：
化学反应需要高温； 反应气体会与基片或设备发生化学反应； 在化学气相沉积中所使用的设备可能较为复杂，且有许多变量需要控制。
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24
化学气相沉积制备的薄膜材料
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25
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化学气相沉积制备非晶BN薄膜
Nakamura使用的沉积条件为： B H 气压 2×10－5 N1H0 气1压4 2.7×10－3～0.11Pa NH3 / B H 1:40 基片3 温度10 14300～1150℃ 沉积时间 30～300min 使用的基片 Ta、Si和SiO
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19
热生长
George等人使用这个试验 装置，在空气和超热水蒸汽下 通过对Bi膜的氧化制备了 Bi O 膜。
23
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20
化学气相沉积的基本原理
化学气相沉积: 通过气相化学反应的方式将 反应物沉积在基片表面的一 种薄膜制备技术.
三个基本过程
反应物的输运过程 化学反应及沉积过程 去除反应副产物过程
常见气体或蒸气的修正系数
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16
电离真空计
电离产生的正离子I＋与发射电子流I 、气体的压
强之间的关系为：
e
I＋＝k I P,其中k为比例常数，存在范围是4 ～40之 间。 e
普通型电离真空计的测量范围是1.33×10－1 ～
1.33×10－5Pa,无论高于还是低于此测量极限都会使
电子流I＋和气体的压强之间失去线型关系。
撞1灯丝而带走的热量，大小与气体的压强有关。电阻真空 计的测量范围大致是105 ～ 10-2Pa。
电阻真空计结构示意图
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15
热偶真空计
右图装置为热偶真空计示意图。其规管主要由加热 灯丝C与D和用来测量热丝温度的热电偶A与B组成。测量 时，热偶规管接入被测真空系统，热丝通以恒定的电流， 灯丝所产生的热量Q有一部分将在灯丝与热偶丝之间传导 散去。当气体压强降低时，热电偶节点处的温度将随热丝 温度的升高而增大，同样，热电偶冷端的温差电动势也增 大。热偶真空计的测量范围大致是102 ～ 10－1Pa。