试谈半导体铜线工艺流程图

⏹

⏹

半导体铜线工艺流程

时间:2010-09-03 剩余:0天浏览: 37 次收藏该信息

一、铜线键合工艺

A、铜线工艺对框架的特殊要求-------铜线对框架的的要求主要有以下几点：

1、框架表面光滑，镀层良好；

2、管脚共面性良好，不允许有扭曲、翘曲等不良现象

管脚粗糙和共面性差的框架拉力无法保证且容易出现翘丝和切线造成的烧球不良，压焊过程中容易断丝及出现tail too

short ；

B、保护气体----安装的时候保证E-torch上表面和right nozzle

的下表面在同一个平面上．才能保证烧球的时候，氧化保护良好．同时气嘴在可能的情况下尽量靠近劈刀，以

保证气体最大围的保护

C、劈刀的选用——同金线相比较，铜线选用劈刀差别不是很大，但还是有一定的差异：

1、铜线劈刀T 太小2nd容易切断，造成拉力不够或不均匀

2、铜线劈刀CD不能太大，也不能太小，不然容易出现不粘等现象

3、铜线劈刀H与金线劈刀无太大区别（H比铜丝直径大8µm即可，太小容易从颈部拉断）

4、铜线劈刀CA太小线弧颈部容易拉断，太大易造成线弧不均匀；

5、铜线劈刀FA选用一般要求8度以下（4-8度）

6、铜线劈刀OR选用小异

D压焊夹具的选用

铜线产品对压焊夹具的选用要求非常严格，首先夹具制作材料要选用得当，同时夹具表面要光滑，要保证载体和管脚无松动要，否则将直接影响产品键合过程中烧球不良、断线、翘丝等一系列焊线问题。

二、铜线的特性及要求

切实可行的金焊线替代产品。

细铜焊线（<1.3mil）

铜焊线，机械、电气性质优异，适用于多种高端、微间距器件，引线数量更高、焊垫尺寸更小。

铜焊线（1.3-4mil）

铜焊线，不仅具有铜焊线显著的成本优势，而且降低了铜焊点中的金属间生长速度，这样就为大功率分立封装带来了超一流的可靠性。

铜焊线的成本优势

由于铜的成本相对较低，因此人们更愿意以铜作为替代连接材料。对于1mil焊线，成本最高可降低75%*，2mil可达90%*，具体则取决于市场状况。

铜焊线的优异性能

铜线的导热导电性能显著优于金线和铝线，因此能够以更细的焊线直径达到更好的散热性能及更高的额定功率。与金相比，铜的机械性质更强，这样在模压和封闭过程中可以得到优异的球颈强度和较高的弧线稳

铜焊线的优点（与金焊线相比）

材料成本低 • 降低单位封装成本，提高

竞争优势

导电性好

金焊线4.55 10 E7/ Ohm m

铜焊线5.88 10 E7 / Ohm m • 在微间距

封装中可以采用更细的焊线

• 微间距应用性能优异（焊垫尺寸较小）

• 提高功率调节器件（TO220、TO92、DPAK等等）

的电流容量和性能

导热性好

金31.1 kW/m2 K

铜39.5kW/m2 K • 传热效率更高

机械性质高 • 抗拉强度更大、延伸特性

更好

• 模压中具有优异的球颈强度和较高的弧线稳定

性

金属间（IMC）生长速度慢 • 提高机械稳

定性、降低电阻增加量

• IMC生长较为温和，从而提高了键合强度

降低金属间生长速度，提高可靠性

与金线焊点相比，铜线焊点中的金属间生长速度显著减小。这就

降低了电阻、减小了产热，并最终提高了焊接可靠性和器件性能。由于铜线中的金属间生长

速度、电阻和产热均低于金线，故而电阻随时间的增加量和老化速度同时得到减小。

铜线在焊接后能够形成比金线更稳定、刚性更好的弧形

能够适应更长的弧度（最长弧度7mm）

铜焊线典型尺寸及标准机械规格

直径 um 20 25 28

30 38 50 65 75

密耳 0.8 1.0 1.1

1.2 1.5

2.0 2.5

3.0

延伸率（%） 8-16 8-16 10-20 10-20 10-20 15-25 15-25

15-30

断裂荷载（g） 5-10 8-15 10-20 12-22 20-30 40-55 60-80

80-120

铜焊线的包装与存放

铜具有较强的亲氧性，因此必须对铜焊线进行保护以延长其保存

期。为此各卷铜焊线均采用吸塑包装，并在塑料袋单独密封

除了以上优点为，铜线还有以下特性：

1.铜线易氧化，原则上拆封的铜线48小时用完。

2.铜线硬度高，容易产生弹坑、不粘、断丝、、烧球不良

三、铜线和金线在键合工艺参数的区别

1.EG-60 铜线压焊工艺参数与金线相比较最大的变化是加大了

contact

force，以增加产品的可焊性，为了减小弹坑风险，一般情况下

1mil以下铜线采用LOW-Power模式，而1.2mil以上一般采用High-power模式

Set up machine

 Set up machine(改为铜线方式)

 F16(2009) 1090ABBB bond sequence

[normal

(gold wire)->copper

 F16 Tail control (减少tail too short 报

警)

 F16 1090ABB40

 Menu 1 12-16

 Menu 9 20

 Menu A 8

 F15 bond process control(减少 NSOP NSOL)

 F15 (2002)10803

 Menu 0 比gold wire 要大一些

 Menu 3 0

 Menu 4 比bond force 稍小

Set up machine

 Search high ( 减少 NSOP & tail too short)

 Gold wire : 8-12

 copper wire : 10-15

 EFO parameter

 Wire size (mil) 0.8 1.0

1.5

2.0

 Current (mA) 5000-7000

12000-15000

 time (us) 500-800

1200-1800

Set up machine

 BQM set up

 Wire size (mil) 0.8-1.2

1.5-

2.0

 Rise time 1-2

2-3

 Power level low

high

 Power control const-p

const- p

 Speed set

 F15 比gold wire 稍低. 512-640 384-512