氦气检漏作业指导书B版本
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
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1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
氦气检漏操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦气检漏操作规程旨在规范氦气检漏操作过程，确保操作人员的人身安全和设备的安全运行。
本规程适用于氦气检漏设备的操作，包括设备检查、操作流程、注意事项等。
二、操作前准备1. 操作人员应接受专业培训，熟悉氦气检漏设备的使用方法和安全操作规程。
2. 检查设备是否正常工作，包括氦气供应和排放系统、压力传感器、磁力传感器等。
3. 检查设备附件是否齐全，如有损坏或缺失，及时更换。
4. 检查个人防护装备，如手套、护目镜、防护服等，确保符合安全要求。
三、操作流程1. 打开氦气检漏设备，确保设备处于正常工作状态。
2. 根据被检设备的要求，调整设备的工作参数，如检测灵敏度、流量等。
3. 将被检设备与氦气检漏设备连接，确保连接牢固。
4. 启动氦气检漏设备，观察检测结果显示，如有泄漏，设备会发出警报。
5. 根据检测结果，确定泄漏点位置，并采取相应措施进行处理。
6. 检测完成后，关闭氦气检漏设备，拆卸被检设备。
四、注意事项1. 操作过程中，严禁吸烟、使用明火或产生火花的设备。
2. 当检测到氦气泄漏时，应立即停止使用设备，并将设备从潜在的危险区域移出。
3. 氦气泄漏应迅速报告给相关人员，并采取措施控制泄漏，如关闭氦气供应阀门、通风等。
4. 在操作设备期间，不得擅自更改设备的工作参数或拆解设备。
5. 定期检查设备的工作状态，定期清洁设备，并按照设备使用说明书中的要求保养设备。
6. 在设备故障或异常情况下，应立即停止使用设备，并联系专业技术人员进行维修。
7. 禁止将设备用于非指定的用途，以免损坏设备或造成人员伤害。
五、操作后处理1. 检漏完成后，拆卸被检设备，清理现场。
2. 对设备进行清洁和保养，确保设备处于良好状态。
3. 记录操作过程中的相关信息，如检测时间、泄漏点位置、处理措施等。
4. 将设备归位，关闭电源，确保安全。
本规程为氦气检漏操作的基本要求，具体操作规范应根据厂家提供的使用说明和相关安全规程来执行。
操作人员应严格遵守本规程，确保操作安全、高效。
氦质谱检漏规程 - 副本
1、目的：为了确保产品符合技术要求，特制定检验文件指导现场进行检漏工作。
2、范围：车2.1适用于公司所有真空产品的检漏作业。
3、引用标准：3.1 QJ 3123-2000 氦质谱真空检漏方法3.2 QJ 2861-96 氦质谱检漏最小可检漏率检验方法3.3 JHFM.00-YG 核安全级真空阀门项目出厂验收测试大纲3.4 JHFM.00-SG002 核安全级真空阀门项目功能性试验大纲3.5 LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0 核安全级真空气氛阀技术规格书3.6GB/T15823-2009 氦泄露检测方法4、定义：4.1真空检漏技术：就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。
在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
4.2漏率：漏率的大小需进行校准后方能确定。
一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。
检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。
对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。
如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。
这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。
如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。
4.3漏孔：漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。
容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。
漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。
漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。
氦气泄漏紧急应变作业指导书
氦气泄漏紧急应变作业指导书一、目的：防止氦气储存使用中发生泄漏，以便及时进行处置，避免灾害及重大泄漏发生。
二、范围：氦气室三、要求：1、氦气室应配备报警及点检装备（如：氧气检测仪、肥皂液等）；2、氦气室应每日进行系统点检，参见《保全定期点检表》、《氦气室点检表》；3、点检时，依《氦气点检要领书》进行，并点检氧气检测仪是否处于工作状态。
四、异常处置（氦气泄漏发生或氧气检测仪报警时，迅速打开卷帘门及安全通道，氧气检测仪报警停止后方可进行以下动作）：1、当氦气阀门、连接管道发生破裂、压力表、调节阀、氦气瓶本身阀门泄漏时①阀门泄漏：应立即关闭该侧的总阀门，迅速打开另一侧的总阀门，保持正常生产；②连接管道泄漏：迅速关闭该侧总阀，打开另一侧总阀，并联系设备课进行管道维修；③压力表漏气：迅速关闭该侧总阀，打开另一侧总阀，联系设备课进行压力表维修更换；④调节阀漏气：迅速关闭该侧氦气总阀，打开另一侧总阀，联络设备课进行维修；⑤ 氦气瓶阀门漏气：如点检发现氦气瓶阀漏气时，立即关闭此氦气瓶阀，当不能确定哪瓶漏应迅速关闭此组的所有氦气瓶阀门，撤离，并联系厂家进行气瓶维修更换；⑥ 氦气室，如发生气瓶爆裂应立即停止作业，迅速撤离现场，通知主管及附近人员进行疏散，见 《压力容器设备爆炸紧急应变作业指导书》。
2、当氦气发生泄漏时，按以下流程处置：五、 预防措施：1、 做好氦气瓶进货时的气瓶安全校验记录及氦气储存使用日常点检工作；2、 为氦气室配备氧气检测仪及点检用具；3、 作业者应变意识加强，作业指导书教育实施；4、一旦发现潜在异常时及时进行处理与联络；5、警卫巡逻时，听到氧气检测仪报警，及时联络生产课，按异常处置做出应急对策。
六、重大泄漏后处置：生产课主管要求作业者将事情经过、原因、处理状况、结果、预防措施等详细记录于《环境问题处理单》并汇至安卫室存档。
七、相关文件：《压力容器设备爆炸紧急应变作业指导书》《氦气点检要领书》《保全定期点检表》《氦气室点检表》《环境问题处理单》八、紧急联络电话：设备课电话设备课担当电话生产课担当电话制造部经理电话安卫室电话警卫室电话。
氦质谱检漏仪作业指导书
一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。
2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。
（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。
（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。
3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。
（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。
（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。
（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。
4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。
（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。
（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。
二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。
氦检漏报告标准格式
氦检漏报告标准格式一、报告概述1.1 项目名称：（填写项目或设备的具体名称）1.2 检漏目的：（说明进行氦检漏的原因和目的）1.3 检漏日期：（填写检漏操作实施的具体日期）1.4 检漏地点：（填写检漏操作实施的具体地点）二、检漏设备及参数设置2.1 检漏设备型号：（填写使用的氦检漏设备的具体型号）2.2 氦检漏仪器编号：（填写所使用的氦检漏仪器的编号）2.3 氦气流量：（填写本次检漏操作中氦气的流量设置）2.4 检漏压力：（填写本次检漏操作中的检漏压力设置）三、检测样品信息3.1 样品名称：（填写所检测样品的具体名称）3.2 样品型号：（填写所检测样品的型号规格）3.3 检测过程：（简要描述检测过程中采取的关键步骤和方法）四、检漏结果4.1 检漏状态：（填写在本次检测中检漏样品的检测结果，包括是否存在泄漏） 4.2 泄漏位置：（如有泄漏，填写泄漏位置的具体描述）4.3 泄漏大小：（如有泄漏，填写泄漏大小的估算值）4.4 泄漏原因分析：（如有泄漏，分析可能的泄漏原因）五、检漏操作人员5.1 检测操作人员：（填写参与本次检测操作的人员姓名和工作单位）5.2 检测操作资质：（填写参与本次检测操作人员的相关资质信息）六、检漏仪器校准情况6.1 仪器校准记录：（填写氦检漏仪器的校准记录情况）6.2 校准有效期：（填写氦检漏仪器的校准有效期）七、报告附图7.1 检漏示意图：（如有必要，附上检漏操作现场示意图）7.2 泄漏位置照片：（如有泄漏，附上泄漏位置的照片）八、结论和建议8.1 检漏结论：（根据检测结果给出本次检测的结论）8.2 建议措施：（根据检测结果给出相应的建议和改进措施）以上为氦检漏报告标准格式，希望能对你有所帮助。
#3机氦气找漏方案
襄樊电厂#3机组汽轮机汽轮机真空系统氦质谱检漏方案1．概况襄樊电厂#3机组大修后的真空系统一直处于欠佳的状态，根据业主的要求，由我公司使用我公司购买的氦质谱检漏仪（型号：）对襄樊电厂#3机组的真空系统进行一次彻底的检查，以期望能够解决襄樊电厂#3机组大修后的真空系统一直处于欠佳的问题。
仪器：HELIOT 300AS2．准备工作1、办理真空系统氦质谱检漏工作票。
2、停运一台真空泵，将氦质谱检漏仪的入口管道与真空泵的入口相连接起来（可选择仪表管的管接头）3、备好足够的氦气。
4、准备一套对讲机，便于在真空系统检漏过程中的联系。
3、对机组运行工况的要求1、尽可能的提高轴封供汽压力。
2、使凝汽器循环水上部水室充满水。
3、将厂用蒸汽疏水母管至#3机高加危急疏水扩容器疏水隔离。
4、真空破坏门注水。
4、检漏部位1、拆除氦质谱检漏仪及其临时管道。
2、根据泄漏量的大小和部位决定处理方案，能在机组运行状况下处理的泄漏点应及时处理，不能及时处理的，应会同业主代表共同研究必要的防范措施和处理方案。
6. 氦质谱检漏过程中注意事项：1、氦质谱检漏过程中必须办理工作票，开工前和完工后必须及时通知运行人员，便于运行人员做好事故预防措施。
2、氦质谱检漏过程中，检漏严格禁止操作或误动运行系统内的阀门等其他设备，若确有需要，应联系运行人员操作。
3、氦质谱检漏过程中，应保持好释放氦气人员和氦质谱检漏仪处人员的紧密联系，便于找到真实的泄漏点，也便于日后的处理。
7．氦质谱检漏仪操作说明及注意事项1．将检漏仪的不锈钢波纹管一头与检漏仪相接，另一头与真空泵的入口管式泵接头相联。
2．检查并保证与汽轮机真空泵连接的手动阀门处于关闭状态。
检漏仪TV、BV 阀门是否关闭。
将检漏仪的四个脚轮止动。
3．确认所有阀门都处于关闭状态后，接上检漏仪电源电缆，合上总电源（MAIN POWER），当遥控器显示屏上出现“ULVAC HELIOT PUSH START”（准备启动）时按“TEST”（试验），此时检漏仪处于启动自检状态。
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
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LSRD260-00-000YWG54-011
③待机中，将检漏口用堵头堵住。输入密码2222，进入【校准设置】，选择【内置】，参数选择 m3/s后，按下左下方的【真空标漏】，机器会自动定标，定标完成后自动返回到待机界面。定标完成。
④设定报警值为10-5Pa·m³/s（出厂时已设定完毕，无需重新设定）。
HXD2B型电力机车主变流器用水冷基板氦气检漏作业指导书
LSRD260-00-000YWG54-011
大连机车研究所有限公司
2011年10月24日
大连机车研究所
有限公司
作业指导书
编号
LSRD260-00-000YWG54-011
HXD2B型电力机车主变流器用 水冷基板氦气检漏作业指导书
替换
A/1
1.检漏目的
③若无较大偏差，表明设备可以正常使用；
④若出现较大偏差，表明设备运转不正常，需停止检查、记录检漏仪当前状态并向质量人员进行反映。
（2）氦质谱检漏仪操作过程：
①将氦质谱检漏仪检漏口用专用堵头堵住，接通电源，打开开关，仪器开始启动。
②启动完成以后机器显示【待机中】。
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标准化
批 准
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定标过程建议每日开机运行一次。
（3）氦气检漏过程：
①向水冷基板充入8bar压力的氦气，并保证压力值不变，检漏前先将吸枪口放置在排气口处，略微开启排气阀门释放少量氦气以确定检漏仪设备吸枪口未堵塞。确认后准备开始对产品进行检验。
②用吸枪检漏前先目测水冷基板外观，观察钎焊焊缝处以及螺栓孔处是否有气泡或水珠等明显表明产品已泄漏的现象发生。若有此现象，将产品标记为泄漏产品；若无此现象，开始进行氦气检漏。
检漏目的是为了确保HXD2B型电力机车主变流器用水冷基板产品在氦气保压8bar条件下确保水冷基板产品漏率＜10-5s。
2. 试验依据
产品技术要求规范（TGLS409582000C）
SFJ-261型氦质谱检漏仪使用说明书
3.水冷基板产品氦气检漏方法和内容
按照产品技术要求规范（TGLS409582000C），水冷基板产品出厂前需要使用氦质谱检漏仪设备对水冷基板产品进行密封性检验。
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4. 结果
填写氦气检漏检查记录卡片。
5.仪器的保养及注意事项
①机器使用的电源线必须带有接地线的。
②拆卸吸枪时必须按下停止键，处于待机中方可进行。禁止在检漏状态时突然将检漏口暴露大气。
③保持仪器的清洁，并保证操作室里空气畅通，以免发生周围氦气浓度过高，造成氦气干扰。
④移动仪器时必须小心轻放，防止震动。长期不使用，应定期将机器通电自运行几个小时，以保持机器内部元件的干燥良好。
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键，让机器自检预热半小时左右。
⑥按下【停止】键，将堵头取下，接上吸枪，用卡箍卡紧后按下【开始】键。
⑦观察漏率值变化，等漏率值基本稳定后按下【调零】键，待操作屏显示值稳定不再变化后即可开始检查产品。
注：每日第一次使用时需要进行让机器自检预热半小时左右。
若设备连续使用则每次使用完毕无需取下吸枪。
注：检漏仪响应时间＜1s，故当漏率显示值发生变化时，对于钎焊焊缝检查，吸枪需对侧过区域进行再次测量以寻找漏点位置，此时吸枪口移动速度为5-10mm/s；对于螺纹孔检查，吸枪需继续停留在待测螺纹孔位置处，若检漏仪报警，即为漏点位置；若显示屏数据有大幅变化，但未达到报警规定的10-5Pa·m³/s，即不作为漏点。待产品检查完毕后需对疑似泄漏位置复检一遍以确认产品无泄漏。
氦气密封性检验
3.1.1检验装置
检验装置包括氦质谱检漏仪（SFJ-261）、真空波纹管、卡箍、吸枪、氦气、连接管路、水冷基板连接板工装。
3.1.2检验方法和内容
（1）氦质谱检漏仪状态确认：
①每次检漏前需确定氦质谱检漏仪设备是否处于正常稳定工作状态下；
②确定方法为日开机时对已知标准泄漏件进行检漏，比较操作屏显示漏率与标准漏件实际漏率是否出现较大偏差（如1个数量级上的变化）以及是否均报警提示。
③对钎焊焊缝进行检查，将吸枪口放置在待检位置偏上1-2mm位置处，枪口朝下放置。将吸枪口沿着水冷基板进水口处焊缝开始，以20mm/s速度移动吸枪，同时观察操作屏漏率值是否发生变化，若漏率显示值发生大幅度变化时（如从-7量级变为-5量级），即为工作漏点。当待测点为工作漏点时，检漏仪会进行报警。
④对板面螺纹孔位置进行检查，将吸枪口放置在待检螺纹孔位置偏上1-3mm位置处，枪口朝下放置。将吸枪口在每个螺栓孔处停留1-2s时间，观察操作屏漏率值是否发生变化，若漏率显示值发生大幅度变化时（如从-7量级变为-5量级），即为工作漏点。当待测点为工作漏点时，检漏仪会进行报警。