真空基础知识
基础知识 真空密封
基础知识真空密封自定义搜索基础知识--真空密封基础知识――真空密封{VKP&{~O真空联机密封性能取决于联接处的泄露和真空材料的放气。
对任何真空系统总希看漏、放气量与密封形式、密封材料、加工精度及装配质量等诸多因素有关，故在联接处总会存在一定的漏、放气量，因此可根据真空系统工作的性质，真空室工作工作应力的高低及其出口处抽气速度的大小提出要求。
F?{laAYE真空系统中的压力在高于10-5Pa真空范围内广泛使用合成橡胶、环氧树脂和塑料。
认真空度提到压力10-7Pa的真空范围时，这些密封材料就不能用了，需要应用超高真空的密封材料如金或铜作垫圈，而真空壳体不能用软刚需要改用不锈钢。
bpdluWS+}超真空气体内的气体状态是动态平衡状态。
系统内的压力极限，一方面与泵的有效抽速有关，另一方面与来自真空壳体及其内部的零部件的气流量有关。
因虽有系统的有效抽速由于泵有结构尺寸和用度的原因，总存在实际限制。
所以，减少气流量就成为达到超高真空状态的基本设计目标，成为选择超高真空材料的主要准则。
SbH}cu8作为真空系统内部用的材料，要求饱和蒸汽压低，为了减少慢性解吸和体出气，要求能耐450℃高温烘烤，而不降低机械强度和不发生化学和物理损伤。
作为真空系统壳体材料，要求能忽略气体渗透，承受得住大气压的压力，烘烤期间耐空气腐蚀和不发生漏气。
此外，要求选用材料，加工制作轻易，价廉易得。
iJr(;Bq 对于真空度低于10-7Pa的超高真空，固然自然和合成橡胶是理想的密封圈材料，弹性好，装配成真空密封后法兰螺栓受力很小，而且可以多次重复使用;℃烘烤，实际上可可供选用的几种250但由于超高真空系统要求密封圈材料耐．橡胶材料都不能满足要求。
真空度更高(即压力更低)的超高真空，则必须采用金属密封。
CIAKXYM9.1真空用橡胶密封圈)u]1j@Id接触式真空动密封的结构，最常用的有下面几种类型:①J型真空用橡胶密封―J 型真空用橡胶密封圈工作表面应平整光滑，不答应有气泡杂质、凹凸不同等缺陷;②O型真空用橡胶密封圈;③骨架型真空用橡胶密封圈;④真空用O形橡胶密封圈。
真空泵基础知识及选型指导
真空泵基础知识及选型指导一、基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
7~0真空技术基础知识
第七单元 真空技术7-0 真空技术基础知识“真空”是指气体分子密度低于一个大气压的分子密度稀薄气体状态。
真空的发现始于1643，那年托利拆利（E.Torricelli ）做了有名的大气压力实验，将一端密封的长管注满水银倒放在盛有水银的槽里时，发现了水银柱顶端产生了真空，确认了真空的存在。
此后，人们不断致力于提高真空度，随着科学技术的发展，现在已经能够获得低于10-10Pa 的极高真空。
在真空状态下，由于气体稀薄，分子之间或分子与其它质点之间的碰撞次数减小，分子在一定时间内碰撞于表面上的次数亦相对减小，这导致其有一系列新的物化特性，诸如热传导与对流减小，氧化作用小，气体污染小，气化点降低，高真空的绝缘性能好等等，这些特征使得真空特别是高真空技术已发展成为先进技术之一，目前，在高能粒子加速器、大规模集成电路、表面科学、薄膜技术、材料工艺和空间技术等科学研究的领域中占有重要地位，被广泛应用于工业生产，尤其是在电子工业的生产中起着关键的作用。
一、真空物理基础 1． 真空的表征表征真空状态下气体稀薄程度的物理量称为真空度。
单位体积内的分子数越少，气体压强越低，真空度越高，习惯上采用气体压强高低来表征真空度。
在SI 单位制中，压强单位为 牛顿/米2（N/m 2）：1牛顿/米2=1帕斯卡（Pascal ）， （7-0-1）帕斯卡简称为帕（Pa ），由于历史原因，物理实验中常用单位还有托（Torr ）。
1标准大气压（atm ）=1.0135×105(Pa)，1托=1/760标准大气压 （7-0-2） 1托=133.3帕斯卡习惯采用的毫米汞柱（mmHg ）压强单位与托近似相等（1mmHg=1.00000014）托。
各种单位之间的换算关系见附表7-1 2． 真空的划分真空度的划分（不同程度的低气压空间的划分）与真空技术的发展历史密不可分。
通常可分为：低真空（Pa 10~1013-）、高真空（Pa 10~1061--）、超高真空（Pa 10~10-10-6）和极高真空（低于Pa 1010-）。
关于真空的一些基础知识
关于真空的⼀些基础知识前⾔1.真空“真空”来源于拉丁语“Vacuum”，原意为“虚⽆”，但绝对真空不可达到，也不存在。
只能⽆限的逼近。
即使达到10-14—10-16托的极⾼真空，单位体积内还有330—33个分⼦。
在真空技术中，“真空”泛指低于该地区⼤⽓压的状态，也就是同正常的⼤⽓⽐，是较为稀薄的⽓体状态。
真空是相对概念，在“真空”下，由于⽓体稀薄，即单位体积内的分⼦数⽬较少，故分⼦之间或分⼦与其它质点（如电⼦、离⼦）之间的碰撞就不那么频繁，分⼦在⼀定时间内碰撞表⾯（例如器壁）的次数亦相对减少。
这就是“真空”最主要的特点。
利⽤这种特点可以研究常压不能研究的物质性质。
如热电⼦发射、基本粒⼦作⽤等。
2.真空的测量单位⼀、⽤压强做测量单位真空度是对⽓体稀薄程度的⼀种客观量度，作为这种量度，最直接的物理量应该是单位体积中的分⼦数。
但是由于分⼦数很难直接测量，因⽽历来真空度的⾼低通常都⽤⽓体的压强来表⽰。
⽓体的压强越低，就表⽰真空度越⾼，反之亦然。
根据⽓体对表⾯的碰撞⽽定义的⽓体的压强是表⾯单位⾯积上碰撞⽓体分⼦动量的垂直分量的时间变化率。
因此，⽓体作⽤在真空容器表⾯上的压强定义为单位⾯积上的作⽤⼒。
压强的单位有相关单位制和⾮相关单位制。
相关单位制的各种压强单位均根据压强的定义确定。
⾮相关单位制的压强单位是⽤液注的⾼度来量度。
下⾯介绍⼏种常⽤的压强单位。
【标准⼤⽓压】（atm）1标准⼤⽓压=101325帕【托】（Torr）1托=1/760标准⼤⽓压【微巴】（µba）1µba=1达因/厘⽶2【帕斯卡】（Pa ）国际单位制1帕斯卡=1⽜顿/m2【⼯程⼤⽓压】（at ）1⼯程⼤⽓压=1公⽄⼒/厘⽶2⼆、⽤真空度百分数来测量%100760760%?-=P δ式中P 的单位为托，δ为真空度百分数。
此式适⽤于压强⾼于⼀托时。
3. 真空区域划分有了度量真空的单位，就可以对真空度的⾼低程度作出定量表述。
真空管基础知识
6
7
真空管就象一支拉长了的热水瓶胆。 1. 内玻璃管 2. 选择性吸收涂层 3. 外玻璃管 4. 卡子 5. 吸气膜 6. 吸气剂 7. 真空夹层
真空管的基本知识
各部分的功能： 1 内玻璃管 与外玻璃管构成真空夹层，
其内壁容纳用来导热的物质（以水为 主），外壁上附着选择性吸收涂层，并 将选择性吸收涂层所吸收的热量传递到 导热物质。
真空管的生产生产流程分解图示真空管的生产灯工清洗镀膜封口排气检验装箱罩玻璃管切齐一端烧清洗烘干退火内玻璃管切齐一端烧退火内玻璃管外表面沉积太阳选择性吸收表面清洗烘干弹簧卡子清洗烘干点焊成形装配点焊吸气剂罩玻璃管与吸热管开口端环形熔封罩玻璃管吸热管和带吸气剂的卡子组装真空烘烤排气环形封口端退火蒸散吸将两端参差不齐的毛管一端切齐燎口
真空管的基本知识
材料 1、主体材料：硼硅3.3玻璃（又称玻璃王、高
硼硅玻璃） 2、卡子及吸气剂环的材料：不锈钢 3、吸气膜材料（成分）：钡 4、选择性吸收涂层材料： 1）高效管：铝和氮化铝的复合材料 2）高寒管：铜、铝和氮化铝的复合材料 3）高温特效管：铜、氮化铝、不锈钢 5、吸气剂成分（吸气膜形成以前）：钡、铝、
所以，对涂层来说，只要性能指标在允许的范围 内，颜色差异是不影响使用的，但影响外观。
真空管的基本知识
主要内容
1、全称 2、结构 3、材料 4、各部分功能 5、真空的认识 6、优点（附：三高管的镀膜机结构） 7、寿命
真空管的基本知识
全称
全玻璃真空太阳集热管
真空管的基本知识
真空管的结构：
3 外玻璃管 与内玻璃管构成真空夹层， 光透射率高，保护内部不受损伤。
4 卡子 固定内玻璃管的自由端，减少内 外玻璃管之间因震动而造成的相对位移 所带来得破坏力；固定吸气剂，保证吸 气剂在烤出吸气膜后，吸气膜的位置合 理。
第一章 真空技术基础
几个基本概念：
• 真空：气体分子数量低于大气压状态的空间。但不是完全空 的。 • 真空术语： 本底真空度：全密封真空腔体内抽空时的气压。 工作真空度：实验或工艺过程中所必需的气体压力。 极限真空度：没有漏气和内壁脱气条件下，真空泵所能达 到的最低气压。 真空规：测量真空中气压的仪表或传感器。 真空度单位：气压的单位。 真空度就是真空中的气压。真空度的测量就是气压的测量。
1mba 100 1atm
1.013×105 760
二、真空区域的划分
1105 ~ 1102 Pa
粗真空
低真空 高真空 超高真空
1102 ~ 1101 Pa
粘滞流
1101 ~ 1106 Pa
110 Pa
11010 Pa
6
粘滞流
分子流
极高真空
分子流
三、固体对气体的吸附及气体的脱附
• 缺点：泵内油蒸汽的回流会直接造成真空 系统的污染。 • 应用领域：真空镀膜、真空炉、电子、化 工、航空、航天、冶金、材料、生物医药 、原子能、宇宙探测等领域。
思考：
1. 扩散泵能否单独使用，即从大气开始抽真空？为什么？ 2. 如果使用扩散泵时，忘记开冷却水，结果会怎样？
附：钛升华泵
加热钛靶蒸发生成钛膜，并与气体发生反应 工作范围 10-8-10-11 Torr 价格便宜，可靠
油扩散泵的结构如示意图
• 泵的底部—是装有真空泵油的蒸发器，真空泵油经电 炉加热沸腾后，产生一定的油蒸汽，蒸汽沿着蒸汽导 流管传输到上部，经由三级伞形喷口向下喷出。喷口 外面的压强较油蒸汽压低，于是便形成一股向出口方 向运动的高速蒸汽流，使之具有很好的运载气体分子 的能力。油分子与气体分子碰撞，由于油分子的分子 量大，碰撞的结果是油分子把动量交给气体分子自己 慢下来，而气体分子获得向下运动的动量后便迅速往 下飞去．并且，在射流的界面内，气体分子不可能长 期滞留，因而界面内气体分子浓度较小．由于这个浓 度差，使被抽气体分得以源源不断地扩散进入蒸汽流 而被逐级带至出口，并被前级泵抽走．慢下来的蒸汽 流在向下运动的过程中碰到水冷的泵壁，油分子就被 冷凝下来，沿着泵壁流回蒸发器继续循环使用．冷阱 的作用是减少油蒸汽分子进入被抽容器。
真空技术基础知识1
真空技术基础知识真空技术发展到今天已广泛的渗透到各项科学技术和生产领域,它日益成为许多尖端科学、经济建设和人民生活等方面不可缺少的技术基础.作为现代科学技术主要标志的电子技术、核技术、航天技术的发展都离不开真空,反过来它们飞跃前进正在推动真空技术的迅速发展,成为真空科学技术发展史上的三个飞跃阶段,从而使真空技术由原来主要应用领域电真空工业,扩展到低温超导技术、薄膜技术、表面科学、微电子学、航海工程和空间科学等近代尖端科学技术中来.至于在一般工业中应用实在种类繁多,不胜枚举.它涉及冶金、化工、.医药、制盐、制糖、食品等工业都广泛使用真空技术.例如有机物的真空蒸馏,某些溶液的浓缩、析晶、真空脱水、真空干燥等.人们还利用真空中的各种特点,研制生产出真空吊车、电子管、显像管、中子管.就连人们日常生活中使用的灯管、暖水瓶、真空除尘器等都离不开真空技术.1.真空与真空区域的划分“真空”是指在给定的空间内,气体分子密度低于该地区大气压下的气体分子密度的稀薄气体状态。
不同的真空状态有不同的气体分子密度。
在标准状态下，每立方厘米的分子数为2.6870×1019个，而在真空度为10-4帕时，每立方厘米的分子数为3.24×1010个，即使用最现代的抽气方法获得的最高真空度10-13帕时，每立方厘米中仍有3.24×10个分子。
所以真空是一相对概念，绝对真空是不存在的。
气体分子密度小、分子之间相互碰撞不那么频繁，单位时间内碰撞容器壁的分子数减少，从而使真空状态下热传导与对流小，绝热性能强，可降低物质的沸点和汽化点等。
真空的这些特点被广泛应用到生活、生产和科研的各个领域中。
真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。
它本应用单位体积中的分子数来量度，但由于历史的原因，真空度的高低仍通常用各向同性的物理量“气体压强”来表示。
气体压强越低，表示真空度越高；反之，压强越高，真空度就越低。
在真空技术领域中，过去常用的压强单位为托（torr），它与目前国际单位制中压强单位帕斯卡的换算关系为：1帕=1牛顿/米2=1千克/米.秒2=7.50062×10-3（托）1托=1/760（标准大气压）=101325.0/760（帕）=133.3224（帕）为使用方便，人们根据真空技术的应用特点、真空物理特性和真空机械泵、真空计的有效使用范围，将真空划分为不同区域及对应的物理特点和主要应用领域，如表1所示。
《真空基础知识》课件
高真空
超高真空
超高真空是指在极低压力下的真空状 态，通常在10^-6Pa至10^-9Pa之间 。
高真空是指在较高压力下的真空状态 ，通常在10^-3Pa至10^-5Pa之间。
02
真空的物理性质
真空中的气体分子分布
真空环境
在真空环境中，气体分子数极低，物质处于高度纯净状态， 有利于科学研究和技术应用。
真空的度量单位
帕斯卡（Pa）
帕斯卡是国际单位制中压力的单位，也是真空度的一种度量单位。
托（Torr）
托是国际单位制中压力的单位，常用于表示真空度。
毫米汞柱（mmHg）
毫米汞柱是常用的真空度单位，常用于表示低压力下的真空度。
中需要使用高真空或超高真空环境。
02
在物理实验中，高真空可以消除空气阻力对实 验的影响，例如在研究自由落体运动、弹性碰
撞等实验中需要使用高真空。
04
在材料科学中，高真空可以用于材料制备、表面处 理等，例如在薄膜制备、晶体生长等领域中需要使
用高真空或超高真空环境。
真空在工业生产中的应用
真空在工业生产中的应用也非常 广泛，例如在机械制造、航空航 天、电子制造等领域中需要使用 真空技术。
机械真空泵
利用机械运动将气体吸入并排出，以达到抽气 的目的。
扩散泵
通过加热使气体分子热运动加速，从而实现气 体扩散。
溅射泵
利用高能粒子将气体分子打散，使气体分子从 表面逸出。
真空的测量 技术
皮拉尼真空计
利用电阻丝加热后冷却的原理，测量 真空度。
冷阴极电离真空计
利用不同气体在加热状态下热导率不 同的原理，测量真空度。
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INFICON HAPSITE Protable GC/MS真空系统
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中国计量科学学院设计的矩形离子阱质谱仪真空系统
恒压电源 测量范围：1 Torr to 10-4 Torr
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电离真空计
工作原理：电子在电场中飞行时从电场获得能量， 若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生 电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子 能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数，正 比于气体密度，在一定温度下正比于气体的压力。 因此，可根据离子电流的大小指示真空度。 根据气体分子电离方式的不同，电离真空计可可分 三种：热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计和放 射电离真空计。
真空阀门
电磁线圈
铁芯
电磁阀
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真空法兰 CF法兰
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真空法兰 KF法兰
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（1）曲线A：说明该系统既不漏气，也不放气 （放气是由于系统内有蒸汽源所致）；如果系统抽 不到预定压强，是由于泵工作不正常所致。 （2）曲线B：在开始时上升较快，而后呈饱和状， 表明系统本身不漏气，但内部有放气源。 （3）曲线C：呈直线上升，说明系统漏气。 （4）曲线D：表明系统压强开始上升很快，而后 变得较慢但不出现饱和，说明放气和漏气两种情况 都存在。
判断真空系统确实漏气之后，就开始着手寻找漏孔的位置、测定漏率大小，以 便进行修补。检查的方法主要有：压力检漏法、真空检漏法、氦质谱检漏法和 其他检漏法等。
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六、真空系统及真空设备
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真空系统的组装
不可拆卸的（永久的）连接是金属部件之间焊接， 玻璃间烧结，玻璃与金属部件间封接。 可拆卸真空连接最方便的方法是依赖弹性体（如O 型圈）以保证密封，但弹性体不能耐高温，使用的 温度范围一般低于200 oC。高温条件下，总是使用 铟、铝、金、银等塑性较好的金属作为密封材料。
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各种真空泵的工作范围
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三、真空测量
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真空规测量范围
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非蒸散型吸附泵
泵壳 泵芯 气体分析接头 真空规
加热器
电极
热电偶
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非蒸散型吸附泵
不需蒸发升华，除激活外，没有热源，形状灵活多变，清洁无 油，无噪音，无震动 。 10-10 Pa极限真空，对惰性气体无抽速，故非蒸散型吸气剂泵只 能做辅助泵，最好在压强低于1 Pa的条件下打开使用
接头
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管件
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穿通密封件
功率式穿通密封件
同轴信号式穿通密封件
热电偶
陶瓷隔离件
气液穿通密封件
传动式穿通密封件
光学式穿通密封件
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用弹性垫圈的可拆卸连接
用金属垫圈的可拆卸连接
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真空系统的检漏
当真空系统达不到正常工作所需要的真空时，首先判断 是否漏气造成的。漏气的判断方法是先将系统抽空到一 定压强，然后关闭阀，将系统和泵隔断，测量压强的变 化。将所测压强对时间作曲线，可能出现四种情况
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四、真空系统的零件
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真空阀门
手柄 螺母 阀杆 金属球 阀体 弹性体环 接口 限位螺母 孔口 针 阀座
球阀
针阀
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电离真空计 热阴极电离真空计
1 × 10-4 Torr and possibly to 10-10 Torr
B-A规
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电离真空计 冷阴极电离真空计（潘宁规）
电压控制装置
需要1~10-2 Pa预备真空，压强过高，蒸发器会氧化，极限真空10-8 Pa
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溅射离子泵
3～7 kV 电压，潘宁放电 阳极
阴极
原理：放电产生的离子轰击阴极，引起金属钛的 溅射，溅射的钛沉积于阳极筒内壁以及以及阴极 上离子轰击较少的部位,形成新鲜活性钛膜吸气。
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热偶真空计
加热铂丝
原理：
毫伏表 毫安表
利用气体分子的导热性质,通过热电偶 热电偶 产生的热电势来测量真空的。使用时， 调可变电阻使加热电流保持定值情况下， 管壳 加热丝的平衡温度取决于气体压强，若 压强越高，气体分子碰撞热丝机会越多 带走的热量越多，因而热丝温度越低， 限流电阻 热电偶所产生的电动势也越低；反之， 压强越低，热丝温度越高，热电动势越 大。
典型的真空系统
1—真空室充气阀；2—真空测量规管；3—流量调节阀；4—高真空阀； 5—冷阱；6—油扩散泵；7—储气罐；8—热偶规管（测扩散泵前级压力）； 9—前级阀；10—真空膜盒继电器；11—预抽阀；12—罗茨泵；13，14— 机械泵（其中一台可兼维持泵）；15—旁通阀 Copyright @2005 FPI inc, all right reserved
旋片式机械真空泵
工作压强范围为101325~1.33×10-2 Pa属于低真空泵 可单独使用，也可作为高真空泵或超高真空泵的前级泵
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隔膜真空泵
抽速较小，0.2～4 L/s，极限真空为几十帕 属于无油泵
以上诸因素中，第四、五两项与气体种类有关，其余各 项取决于气体总压。
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二、真空获得
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真空泵的分类
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五、真空系统的组装和检漏
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真空系统的组装
真空密封除了要求不漏气之外，还要求能够允许电流 传输、运动的传输、材料的递送或者让辐射传输。 为了适应各种不同要求，采用了很多种不同结构形式 的密封方法，用于真空密封的材料也很多。根据连接 件的相互关系，密封方法、用途和材料的不同，可以 对真空技术中所使用的密封方法进行分类。总起来说， 根据被连接件的相互关系，可以将真空密封分为两大 类：不可拆卸的（永久的）连接和可拆卸连接。
10-2 Torr to 10-5 Torr
2 kV
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电容真空计
测量范围可从数十倍大气压力至10-5 Pa
原理：一种恒弹性，并耐腐蚀的金属薄膜的一侧为测 量侧，另一侧位于一个保持在高真空的参考压力室。 该参考压力室的底部为陶瓷板，板上蒸镀了由铂膜构 成电极。该电极与膜片之间的电容随膜片位移而变化。 检测电容量的变化即可得知压力值的变化 。
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质谱仪器要求高真空的理由
离子平均自由程必须大于离子源到收集器的飞行路程 氧分压过高影响电子轰击离子源中灯丝的寿命 离子源内高的气压可引起高达数千伏的加速电压放电 高的气压产生高的本底会干扰质谱及分析结果 电离盒内的高气压导致离子—分子反应，改变质谱图 样 电离盒内的高气压会干扰轰击电子束的正常调节
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真空区域划分与单位换算
真空区域国家标准(GB 3163-82)的划分是： 低真空：105～102 Pa 中真空：102～10-1 Pa 高真空：10-1～10-5 Pa 超高真空：＜10-5 Pa 单位换算 国际单位：Pa (pascal) 1 Pa = 1 N/m2 换算1 atm = 760 torr = 1.01×105 Pa = 14.7 psi