台阶仪操作规程资料讲解
台阶仪简介和使用
5，10，20，50，100，2 允许最高采样点数：
00，1000Hz
4 million
Part III KLA-TENCOR P16+ 台阶仪使用说明
一 操作步骤（以选择 STEP-DOWN 程序测试台阶高度为例） 1． 打开防震桌的压缩空气开关，厂商设定压力在 0.3MPA，可通过
按防震桌来确认压缩空气是否打开。
的样品，同时也可兼顾
测量较软质的样品)
台 13μ 分
阶m
辨
高 64μ 率
度 m
范
围 327
μm
<0.01Å <0.04Å <0.20Å
与标配相符
横向分辨率
X 轴方向，即扫描方向： 由探针配置限制，目
25nm
前横向扫描向分辨
率2μm 左右
Y 轴方向，即非扫描方 已由设备程序所限
向：1μm
制
重复性
精度
KLA Tencor P－16+ Surface profiler 基于 Windows XP 操作系 统为多种不同表面提供全面的2D 和3D 形貌分析，包括半导体硅片、 薄膜磁头及磁盘、MEMS、精加工表面、光电子、薄膜/化学涂层、生 物医学器件和平板显示。使用金刚石探针接触测量的方式来实现高精 度表面形貌分析应用。拥有简洁直观的操作界面，p16系列能够精确 可靠地量测出1.表面2D 台阶形貌 2.三维表面结构（定量）3.粗糙度
15． 扫描结束后，分析并保存数据。 16． 后到 X-Y view 界面点击 MAN LOAD，打开门，拨真空开关到 OFF，
取走样品。关上门，点击 MAN LOAD 结束整个扫描。
二、 关机步骤：
1. 取出样品，关闭所有软件的窗口，退出软件。 2. 关闭计算机 3. 关闭显示器，机器电源。 4． 关掉真空和压缩空气的阀门（长期不用的时候）
系列探针式台阶仪安全操作及保养规程
系列探针式台阶仪安全操作及保养规程前言为确保探针式台阶仪的安全使用和精确测量，保养维修工作应该是系统化的、经常性的。
本文档规定探针式台阶仪的安全使用和保养维修事项，以确保其操作安全、测量精度和使用寿命，有效防止因误操作或者使用不当引起设备损坏或者生产安全事故。
安全操作规程1. 探针式台阶仪使用场所必须保持良好的通风条件和照明充足。
2. 探针式台阶仪使用时应根据测量对象的高度，并选择合适的探针长度。
测量过程中应保持探针稳定平行，并确定探针触地的水平位置。
3. 探针式台阶仪使用时，应按照使用指南进行操作，并注意以下几点：•不能用手触摸接触电极；•测量对象表面必须清洁干燥；•测量前应仔细检查仪器的电源线、探头连接线以及变压器等附件部分是否安全完好，若有更换或修理，请找专业技术人员维护；•使用前请查看电池电量；4. 要定期检查探针式台阶仪的电线、探针以及接头部分，若其中有损坏或者脏污现象，请更换相应的部件并注意清洁；5. 控制好探针式台阶仪与电源的绝缘问题，避免因漏电、触电等安全事故发生。
6. 贮存探针式台阶仪要存放在通风干燥的环境中，并且应避免探针受到化学品的腐蚀和酸碱等环境危害，避免设备的长期闲置及暴露在高温、低温等温度异常环境中。
在长期不使用的时候，请将电池取出并贮存在干燥、通风、清洁的地方，并注意存放位置不能放在小孩子可以接触到的地方。
保养维护规程1. 探针式台阶仪平时使用完毕后，应注意对设备的卫生清洁维护，在清洁的时候避免将清洁液喷到仪器内部。
2. 探针式台阶仪使用过后，应进行清洁和检查，对电池、探头、连接线和外壳进行清洁，避免测量误差和设备老化。
3. 定期对探针式台阶仪的电源线、连接线进行检查，并替换损坏部件。
4. 探针式台阶仪需要定期检验校准和清洗主要部件，避免发生不必要的麻烦和误差，影响设备的使用寿命和测量精度。
总结本文档明确规定了探针式台阶仪的安全操作和保养维护相关事项，希望所有的操作人员可以遵守标准操作流程，给予正确的使用和保养，以最大程度上延长设备的使用寿命，并保证测量数据的准确性和可靠性。
台阶仪操作标准作业书
初版发行日期 2011-01-04 WOC 台阶仪操作标准作业书页 次 3/10 新版发行日期2014-10-31制作部门WOC 事业部6.3.3双击电脑桌面的图标DEKTAK32,打开台阶仪软体，台阶仪开始初始化，如下图2，图36.3.4 初始化完成后，对话框显示ready ，如下图46.4 测量6.4.1 在测量之前请确认《WOC 台阶仪点检表》完成当日点检动作，完成后才可进行测量。
点击下图5显示按钮，进入position windows 界面.图1图2图3图4初版发行日期 2011-01-04 WOC 台阶仪操作标准作业书页 次 4/10 新版发行日期2014-10-31制作部门WOC 事业部6.4.2 点击如图6按钮，将stage 移出，放入待测wafer ，待测面向上，位于pin 角之内，notch 口对着标准线，如图7，确认无误后，点击如图8按钮，将stage 移入.6.4.3 点击常用工具栏如图9按钮，将探针下压，显示屏出现如图10画面.图5图6 图7图8初版发行日期 2011-01-04 WOC 台阶仪操作标准作业书页 次 5/10 新版发行日期2014-10-31制作部门WOC 事业部6.4.4 确认参数。
点击如图11按钮，键入参数设置界面查看参数，包括，Stylus Type ，Length ，Duration ，Stylus force ，Profile ，Meas Range ，确认后点击Apply/OK,如图12-19图9 图11 图10图12 图13 图14初版发行日期 2011-01-04 WOC 台阶仪操作标准作业书页 次 6/10 新版发行日期2014-10-31制作部门WOC 事业部6.4.5 双击待测wafer 中要测量的点，使探针移到该位置，如下图196.4.6 点击方向键调整位置，要求绿色十字贴近CV 边缘位置，如下图20，21图15 图17 图16图18图19初版发行日期 2011-01-04 WOC 台阶仪操作标准作业书页 次 7/10 新版发行日期2014-10-31制作部门WOC 事业部6.4.7 点击scan here 开始扫描，如下图226.4.8 鼠标拖动小箭头，将M 和 R 拖动一段距离，舍弃特殊点，如下图23，24.6.4.9 点击下图25的按钮校水平，右击选中Enter software leveling 保存该步步骤，如下图26图22图21图20 图23 图24初版发行日期2011-01-04 WOC台阶仪操作标准作业书页次8/10新版发行日期2014-10-31 制作部门WOC事业部6.4.10 鼠标按住M拖动至CV图形上，如图27，点击如图28所示按钮，选中ASH/computer如图29，得出ASH的值。
台阶仪圆柱度测定机安全操作及保养规程
台阶仪圆柱度测定机安全操作及保养规程引言本文档旨在详细介绍台阶仪圆柱度测定机的安全操作规程和保养方法，以确保操作人员和设备的安全，同时保证仪器的准确性和可靠性。
一、安全操作规程1. 操作前准备1.1 检查设备外观，确保机身无明显损坏。
1.2 确认仪器已接入稳定的电源，并且接地良好。
1.3 检查仪器的各部位是否连接牢固，无松动或严重磨损。
2. 电气安全2.1 操作人员必须穿戴适当的防护用品，包括绝缘手套和鞋子。
2.2 操作人员在操作过程中禁止触摸设备的任何带电部分。
2.3 当设备遇到电源故障或感觉异常时，操作人员应立即停止操作，并通知维修人员进行处理。
3. 机械安全3.1 在操作台阶仪圆柱度测定机时，操作人员应保持机器周围的通道畅通，确保没有任何阻碍。
3.2 操作人员不得在设备运行时将手、脚或其他物体伸入机器内部。
3.3 使用合适的夹持装置固定待测圆柱体，以避免移动或倾斜。
4. 操作流程4.1 打开仪器电源，确保设备正常启动。
4.2 根据所需测量的圆柱体尺寸，选择合适的测量模式和参数。
4.3 把待测圆柱体放入夹持装置中，并确保固定牢固。
4.4 按下测量按钮，开始测量。
4.5 测量结束后，关闭仪器电源。
5. 应急措施5.1 在机器突发故障或异常情况下，应立即停止操作，并按照设备的维修手册进行处理。
5.2 在发生火灾或其他紧急情况时，立即启动紧急停机装置，并按照现场应急预案进行处理。
5.3 定期组织操作人员进行紧急疏散演练，提高应急响应能力。
二、设备保养规程1. 日常保养1.1 每日使用完毕后，应切断电源并进行仔细清洁，包括清除灰尘和杂物的积聚。
1.2 定期检查设备的电缆、插头是否完好，如有磨损或老化现象应及时更换。
1.3 对仪器的运动部件进行定期润滑，确保运动顺畅。
2. 定期维护2.1 每个月对台阶仪圆柱度测定机进行一次全面检查，包括外观、电气线路和运动部件的检查。
2.2 检查设备的各个传感器和控制器，确保其正常工作。
台阶仪使用手册
1.结构与原理1.1结构1.2原理其测量原理是：当触针沿被测表面轻轻滑过时，由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的。
同时，还沿峰谷作上下运动。
触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。
传感器输出的电信号经测量电桥后，输出与触针偏离平衡位置的位移成正比的调幅信号。
经放大与相敏整流后，可将位移信号从调幅信号中解调出来，得到放大了的与触针位移成正比的缓慢变化信号。
再经噪音滤波器、波度滤波器进一步滤去调制频率与外界干扰信号以及波度等因素对粗糙度测量的影响。
2. 操作流程2.1 开机步骤2.1.1 检查并确保所有连接线连接正常；2.1.2 释放紧急按钮，按箭头指示方向旋转；2.1.3 开启PROFILER电源（按下白色按钮，开启时会亮），并热机10分钟；2.1.4 打开电脑主机和显示器，并执行桌面上程序Dektak Version 9 icon，等待读取大约30s即开启软件接口；2.2 测试流程2.2.1放置样品（1）确认Z轴是升起来的，若没有升起来，就按tower up（2）将平台拉出，sample放置平台中间处（小心放置，避免手套勾到针头)。
然后将平台移入，粗调平台X-Y轴，使样品置于针头下方。
（3）按下 tower down下针，针头触碰到sample后会立即回弹上来一段，此时再微调平台X-Y轴，把待测区域移到针头下。
2.2.2参数设置（1)按Switch To Scan Routines Window.（2)再点选 Scan Parameters任一个参数去设定。
（3)设置扫描参数Stylus Type 探针的型号，我们实验时常用12.5umLength 扫描长度，扫描范围为50um到50mm，设定勿超过此值。
Duration 扫描时间，建议扫描500um至少10秒，以此类推。
Resolution 分辨率，每秒固定取300个数据点，扫描长度固定。
扫描时间越长者分辨率越佳。
Scan type 扫描形式，选取standard scan 。
台阶仪测试标准
台阶仪测试标准
台阶仪是一种用于测量表面形貌的仪器，其测试标准通常包括以下几个方面：
1. 精度和重复性：台阶仪的精度和重复性是评估其性能的重要指标。
测试标准通常要求台阶仪能够测量出微小的高度差，并保证测量结果的重复性。
2. 测量范围：台阶仪的测量范围应该能够满足被测物体的尺寸要求。
测试标准通常会规定台阶仪的最大测量范围和最小测量范围。
3. 测量速度：台阶仪的测量速度也是一个重要的指标。
测试标准通常要求台阶仪能够在规定的时间内完成测量，并保证测量结果的准确性。
4. 数据处理和分析：台阶仪通常会配备数据处理和分析软件，测试标准要求这些软件能够准确地处理和分析测量数据，并提供有用的信息。
5. 环境适应性：台阶仪应该能够适应不同的环境条件，如温度、湿度等。
测试标准通常会规定台阶仪在不同环境条件下的性能要求。
总之，台阶仪测试标准的制定是为了保证台阶仪的性能和测量结果的准确性，以满足不同应用领域的需求。
探针接触式台阶仪安全操作及保养规程
探针接触式台阶仪安全操作及保养规程一、前言探针接触式台阶仪是一种常用的检测地面台阶高度的仪器，多用于楼梯、台阶等场所的检测。
但是，操作不当或者保养不当都会导致仪器出现故障，甚至危及使用者的安全。
为此，制定一份安全操作及保养规程是非常必要的。
二、安全操作规程2.1 仪器拆卸与组装在使用过程中，如果需要拆卸或组装探针接触式台阶仪的零部件，必须先关闭电源并断电，避免电流直接对皮肤产生刺激。
在拆卸或组装的过程中，不可强行操作或使用力过大，以免损坏仪器或影响使用效果。
2.2 仪器校准准确的检测数据来自仪器的精密度量，但是一个高精度的仪器在使用中也需要校准，保证检测的准确性。
用户应按照使用说明书的要求进行校准，严格遵守校准程序，确保校准的准确性。
2.3 仪器使用在使用探针接触式台阶仪时，必须按照使用说明操作，不可盲目操作。
在使用时，应根据不同的检测对象，选择适当的参数，并且保证探针与地面的接触牢固并垂直，以获取最准确的数据。
2.4 仪器维护探针接触式台阶仪是一个精密的仪器，使用过程中需要及时清洁和维护。
在使用前和使用后，应清洁探针头和探针底座，避免灰尘和污垢堆积影响检测精度。
在检测完成后，应及时关闭电源并将仪器存放在干燥、通风的场所，避免潮湿和积尘。
三、保养规程3.1 保养周期探针接触式台阶仪的保养周期应根据使用频率确定。
一般情况下，建议每年至少进行一次保养，使用量大的机构和组织可以根据情况增加保养次数。
3.2 保养内容探针接触式台阶仪保养主要涉及到：•清洁探针头和探针底座；•检查仪器连接线是否正常，是否松动；•检查仪器外壳是否损坏，化学成分是否出现变化，是否老化；•检查电源电压是否符合要求。
在检查过程中，如发现有损坏、老化或化学成分变化的部件，应立即更换，并且在保养记录中予以注明。
四、结语探针接触式台阶仪是一种检测地面台阶高度的常用仪器，但是其使用安全和检测准确性与操作和保养密不可分。
为了确保仪器的安全性和检测的准确性，用户必须按照使用说明书的要求进行操作，并且定期进行保养。
全自动探针台阶仪安全操作及保养规程
全自动探针台阶仪安全操作及保养规程前言全自动探针台阶仪是一种非常重要的实验设备，主要用于表面形貌和材料物性的研究。
为了确保实验的准确性和设备的安全性，我们制定了以下的操作和保养规程。
第一章操作规程1.1 设备开机在开机之前，必须确保设备连接电源线和地线，并在电源后面的开关上打开电源。
然后，将计算机开机，并登录相应的操作系统。
1.2 确认设备状态在设备开机之后，需要确认设备的状态是否良好。
首先，检查设备的仪表盘上的指示，包括温度表、压力表等。
确认这些指示是否在正常范围内，如有不正常情况需立即停机，并通知专业人员进行处理。
1.3 启动控制软件在确认设备状态正常后，启动操作控制软件。
一定要遵循软件操作说明，并注意避免误操作。
1.4 样品放置在确认各种指示和设备状态正常之后，可以将样品放置到样品架上。
样品应该放在正确的位置，以免影响实验结果。
在将样品放置前，应先清洁检查样品架上的任何残留物，以免对实验造成不良影响。
1.5 开始实验在完成样品放置并确认实验参数之后，可以开始实验。
在实验过程中，必须监测所有的实验参数，确保实验过程满足要求。
1.6 实验结束在实验结束后，需要将样品卸下，并对所有已使用材料和设备进行清洁。
这是确保下一个实验正常进行的重要步骤。
1.7 设备关闭在实验结束并清洁完成后，关闭计算机上的控制软件，并依序关闭设备上所有开关。
最后拔掉电源插头。
第二章保养规程2.1 清洁在每次实验结束后，必须对设备进行彻底的清洁。
清洁时，需要使用干净的棉布或者纸巾，并慎重选择清洁剂。
特别注意，不得使用带腐蚀性的清洁剂以免对设备造成损坏。
2.2 维护在设备正常使用的过程中，需要时常进行检查和维护。
主要包括查看冷却液、润滑油、各种传感器线路等。
如发现任何故障，必须及时通知专业人员进行维修。
2.3 防护在工作时，要时刻关注对设备自身和工作人员的防护。
如卸下样品、对设备进行清洁、进行维护时，一定要采取必要的防护措施，避免对人员或设备造成伤害。
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台阶仪操作规程
台阶仪标准操作规程
1.0目的
为了确保使用人员对机器和设备进行正确操作，并作为初学者的学习指引，特制订此操作规范。
2.0职责
2.1工艺部门对产品制定检查标准
2.2对新进入操作员工进行培训和技能指导
2.3按照标准对产品进行检查
3.0文件内容
3.1台阶仪
台阶仪电
源开关
焦距调节旋钮
平台微调旋钮
平台倾斜调节
3.2台阶仪操作步骤
3.2.1单点测量
3.2.1.1. 打开电脑，待电脑完全启动后，打开台阶仪电源。
将待测样品放在台阶仪平台上，尽量保证在
探针的正下方。
3.2.1.2. 双击桌面的图标，开启测试软件，此时测试平台自动调整。
3.2.1.3.打开软件后单击工具栏的图标，探针缓缓下降，注意此过程中要随时调节测试平台的位
置，保证探针落在样品上。
探针在正常接触样品后会自动抬起，调节焦距旋钮，使屏幕中心的图
像最清楚。
3.2.1.
4.上述操作就绪后，单击工具栏图标，新建一个文件。
在转换后的界面中单击“Data File”在
弹出的对话框scan data项中设定好文件的存储位置。
3.2.1.5. 然后单击工具栏中的图标进入到参数设置界面，在“Scan Parameters ”中单击任意一个
链接，弹出对话框，在“Length”中输入扫描距离，“Duration”中输入扫描时间，“Meas Range”中
选择适当的量程。
“profile”中勾选Hill&Valleys。
依次单击Apply和OK。
3.2.1.6.单击工具栏图标切换到样品表面图像，调节平台微调旋钮使十字光标在指定的测量位置。
3.2.1.7.单击工具栏的图标运行，开始自动扫描。
3.2.1.8.扫描结束，软件会自动切换到曲线数据界面，看曲线是否倾斜，若曲线水平部分 / 倾斜，则顺
时针调节平台水平盘，若曲线水平部分 \ 倾斜，逆时针调节。
单击重新扫描。
使曲线大致达到水平。
3.2.1.9.曲线拉平处理，扫描结束后在数据界面会有两条线和拖动R
和M将两条线分别移动到同一水平面的不同位置，拖动曲线下方的选择适宜的宽度
3.2.1.10. 右键选择Level将曲线拉平。
3.2.1.11. 计算数值，将拖动到待测高度的位置，此时左下角Watch List 窗口
中读出ASH的值并记录。
单点测量结束。
3.2.2单点重复测量
3.2.2.1.前面9步与单点测量一致，只是在拉平处理是右键选择“Enter Software Leveling”保留参数，然
后将移动到待测量高度的位置，单击analysis
选项选择Analytical Func tion…..弹出对话框，在Height中勾选ASH，单击Compute。
然后单
击图标，看到左侧Display Parameters中Software Leveling为Enable。
3.2.2.2.单击工具栏的图标，切换到另一界面，再单击Data file 在弹出的对话框中的Database项
中选中Log（生成报告）并设定到指定的存储位置。
依次单击Apply，OK即可。
在右侧Scan
Routines窗口中，右键单击数据，选择Copy to Range。
弹出对话框，设定扫描次数，单击OK。
3.2.2.3.单击运行扫描，此时会弹出Dektak Database窗口，方便查看每次扫描
结果，结束后在窗口下方的Average项中显示几次扫描的平均值。
重复设定的测试次数后，单点重复扫描结束。
3.2.3 不同点测量
3.2.3.1. 只需要在多点重复测量的基础上设置停顿，在运行扫描前单击切换到另一界面，在
timing项上单击，弹出对话框在Timing选项中勾选Adjust Position Before Each Scan ，依
次单击Apply和OK即可
3.2.3.2.再单击工具栏的图标切换到样品表面图像，调旋钮使红色光标对准扫描起始位置，鼠标右键
指到结束位置，右键选择Update Alignment Reticule，定住绿色光标。
3.2.3.3.单击运行，在每次扫描前，会停顿弹出对话框确定扫描位置，调好后点击Continue。
同样
会弹出Dektak Database窗口记录每次结果。
重复设定的测试次数后，不同点扫描结束。
测试完毕后关闭软件，探针自动升起，取下样品，关闭仪器电源和电脑。
4.0注意事项
4.1.探针接触在样品表面时，禁止移动样品
4.2.禁止手或其他物体触碰探针
4.3.若有问题，请及时通知相关工程师处理，切勿自行尝试修理或校正。