单向流洁净室的特性指标
空气洁净技术第四章 空气洁净原理
满布情况与洁净控制
理想满布比为100%时，过滤器后房间内含尘浓 度只决定于过滤器送风浓度。
情况满布为一个比例时，此时就有涡流区，满 布比不同的单向流洁净室，其含尘浓度是不同 的。人员密度不同的单向流洁净室含尘浓度也 不同，所以要适当控制单向流洁净室的人员数 量。
满布比和洁净气流满布比
满布比
非单向流洁净室的换气次数
空气洁净度等级 换气次数（次/h）
备注
ISO6级(千级) ISO7级(万级) ISO8～9级(10万~100万)
③ 不能用把压力提高到比周围环境高的方法防止和 排除污染，而是靠空气的速度防止污染的侵入；
④ 内部的温湿度宜与环境温湿度相同。
单向流隧道式的回风方式
• 该气流组织形式的室 内回风穿过工作台进 行循环，对工作台台 面会造成污染，并且 可能会对界面处产生 诱导气流，降低洁净 工作台的洁净等级。
图4-18 全侧墙回风式气流组织
单向流洁净室不是靠掺混稀释作用，而是靠推出 作用将室内的污染空气沿整个断面排至室外。
单向流洁净室气流组织
保证单向流洁净室洁 净的先决条件：
• 来流的洁净度； • 来流的活塞流情况。
重要措施：在顶棚或 墙面满布高效过滤器
不可能百分之百地满布过
滤器。
图4-1 单向流气流组织
垂直单向流洁净室
图4-25 非单向流洁净室的基本原理
非单向流洁净室的基本原理
非单向流气流组织
图4-26 非单向流气流组织示意图
非单向流洁净室的特性指标
• 非单向流洁净室的特性指标
–换气次数
• 与舒适性空调相同
–气流组织
• 保证能均匀的送风和回风，充分发挥洁净气流 的稀释作用。
单一方向流无尘室
一般使用塑膠簾或玻璃 ¾ 提供製程區域最高品質的空氣 ¾ 其餘區域可減少一些送風量
¾
6-25
公共通道設計之單一方向流無塵室
z 提供大量的層流 空氣至操作人員 從機器上取下矽 晶 圓 的 區 域 ISO Class 3等級處 z 機器維修之公共 通道區域僅提供 較 少 風 量 ， ISO Class 6等級處
水平層流無塵室
z 水平層流無塵 室之典型設計 z 造價成本及運 轉成本比垂直 層流式的低 z 可能有污染源 的發生機會
6-10
水平層流污染源發生
z 垂直層流與水平層 流在無塵室中的污 染散佈情形 z 在垂直層流無塵室 所產生的污染將被 穿過此工作區域的 氣流帶走，而且較 不會污染下游端的 製程工作。
6-16
z 對於空氣清淨等級要求並不高，此可藉由空白天花 板（或盲板）以減少天花板過濾網之覆蓋率來達成 z 將天花板的濾網平均分佈 （50％覆蓋率） z 使用過濾網覆蓋率為100﹪，且減少整體的氣流速度
6-17
無塵室之等級氣流速度與換氣次數數
（IEST-RP-CC012）
6-18
z 無塵室的設計是使用空氣艙供風，則未經 過濾的氣艙壓力將高於無塵室 z 未經過濾的空氣將經由不良地密封、未密 封處及結構接頭處等地方洩漏進入無塵室 z 藉由個別利用風管將空氣送到過濾網箱體 處，或使用風扇濾網機組（fan-filter unit, FFU）來達成天花板之壓力低於無塵室內之 壓力
¾
6-5
氣流速度對無塵室的影響
z 氣流速度可從 0.1 m/s （ 20 ft/min ）變到 0.6 m/s（120 ft/min） z 在流速為0.3 m/s（60 ft/min）時，此單一方 向性氣流可有效降低微粒子及細菌濃度。 z 氣流速度到達0.6 m/s（120 ft/min）時，可 降低空氣中微粒子數，但其降低污染的效 果已明顯變少 z 氣流速度為 0.3 m/s 將提供最佳的投資報酬 率，機器或人員密集時應提高。
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点，主要包括气流方向、气流速度、气流压力、气流纯度等几个方面。
单向流洁净室的气流方向是从洁净区域向非洁净区域单向流动的。
这种气流方向的特点是防止洁净区域受到非洁净区域的污染。
通过控制气流的流向，可以有效地防止污染物进入洁净区域，保证洁净室内的环境干净。
单向流洁净室的气流速度较高。
气流速度是指气流通过洁净室时的流动速度。
在单向流洁净室中，气流速度一般控制在0.35-0.5m/s，有时甚至可以达到1.0m/s以上。
较高的气流速度可以将空气中的微粒迅速带离洁净室，减少微粒在空气中的停留时间，降低微粒对洁净室环境的污染。
单向流洁净室的气流压力较高。
气流压力是指气流在洁净室中的压力差。
在单向流洁净室中，气流压力通常较高，一般控制在10-50Pa。
较高的气流压力可以使洁净室形成良好的气流场，保持洁净区域内的气流稳定，防止外界空气进入洁净区域。
单向流洁净室的气流纯度较高。
气流纯度是指洁净室内的气流中不含有污染物的程度。
在单向流洁净室中，通过过滤器等设备对空气进行净化处理，可以将空气中的微粒、细菌、病毒等污染物去除或减少到较低的水平，从而提高洁净室内的气流纯度。
单向流洁净室的气流特点主要包括气流方向、气流速度、气流压力和气流纯度等几个方面。
通过控制气流的流向、速度、压力和纯度，单向流洁净室可以有效地防止洁净区域受到污染，保证洁净室内的环境干净、纯净。
空气洁净技术知到章节答案智慧树2023年华北科技学院
空气洁净技术知到章节测试答案智慧树2023年最新华北科技学院第一章测试1.空气中的不可吸入颗粒物会导致哪些疾病（）参考答案:咳嗽2.流感病毒污染距离是多少呢（）参考答案:3米3.空气中的可吸入颗粒物会导致哪些疾病（）参考答案:尘肺病4.什么病毒不可以在空气中传播（）参考答案:乙肝病毒5.历史上的军团病是怎么传播的（）参考答案:空调设备6.合理的地铁的送风方式应该是（）参考答案:上送下回7.按照国际标准ISO14644-1洁净度等级，下列哪个N是不合理的（）参考答案:3.118.空态是（）参考答案:无生产设备9.静态是（）参考答案:人员10.如今在芯片及集成电路行业，对洁净室微粒的粒径要求是（）参考答案:纳米级第二章测试1.按微粒的来源分类，不包括以下哪一种？参考答案:分散性微粒2.室内要求静压第周围环境低一定数值的洁净室或场所是参考答案:生物安全洁净室3.空气洁净技术中，一般采用大气尘的（）表示方法。
参考答案:计数浓度4.按微粒的通用分类，微粒可以分为哪几类？参考答案:烟;雾;烟雾;灰尘5.洁净室内的污染源主要有参考答案:设备及产品生产过程的产尘;作业人员的发尘;建筑围护结构和装饰材料产尘6.污染物浓度表示方法主要有参考答案:沉降浓度;质量浓度;计数浓度7.洁净室按气流组织形式可以分为参考答案:单向流洁净室;辐流洁净室;非单向流洁净室第三章测试1.过滤器的滤速一般用（）表示参考答案:cm/s2.粗效过滤器的效率以过滤( )为准。
参考答案:5µm3.空气中小于0.1μm的粒子主要是作( )。
参考答案:布朗运动4.过滤器的选取原则或。
参考答案:null5.过滤效率是衡量空气过滤器捕集尘粒能力的参数，但不可以用穿透率来评价过滤器的好坏（）参考答案:错6.一般情况下过滤器的面速小于滤速（）。
参考答案:错第四章测试1.哪一项不是单向流洁净室特性指标____。
参考答案:平均风速2.洁净室按气流组织分为：、、、。
单向流洁净室气流特点
单向流洁净室气流特点单向流洁净室气流特点主要包括以下几个方面：1. 单向流：单向流是指洁净室内的空气流动方向是单向的，通常从洁净区域的高洁净度区域流向低洁净度区域。
这种单向流的设计可以有效地将污染物排除到洁净室外，保持洁净室内的空气质量。
2. 垂直流：单向流洁净室的气流通常采用垂直流方式，即洁净室内的空气从天花板向地板方向流动。
这种垂直流的设计可以有效地减少地面扬尘和颗粒物的悬浮，提高洁净室的洁净度。
3. 均匀流速：单向流洁净室的气流通常具有均匀的流速分布。
通过合理设计和布置送风口和排风口，可以使洁净室内的气流在整个空间内保持均匀流动，避免死角和漩涡区域的产生，从而确保洁净室内的空气质量均匀。
4. 低湍流：单向流洁净室的气流通常具有较低的湍流强度。
湍流是指气流在流动过程中产生的涡流和不规则的流动状态。
在洁净室中，湍流会带来无法控制的颗粒物和微生物的扩散，降低洁净室的洁净度。
通过优化送风口和排风口的设计，可以减少气流的湍流强度，提高洁净室的洁净度。
5. 高风速：单向流洁净室的气流通常具有较高的风速。
较高的风速可以有效地控制洁净室内的颗粒物和微生物的扩散，防止其沉积在工作区域和产品上。
同时，高风速还可以提高洁净室内的气流排出能力，加快污染物的排除速度。
6. 多层过滤：单向流洁净室通常采用多层过滤系统来净化空气。
在洁净室的送风口处设置初效过滤器，用于过滤大颗粒物和粗颗粒物；在送风口和排风口之间设置中效过滤器，用于过滤中等大小的颗粒物和微生物；在排风口处设置高效过滤器，用于过滤微小颗粒物和微生物。
通过多层过滤系统的组合使用，可以有效地净化洁净室内的空气，保持洁净室的洁净度。
7. 闭合性：单向流洁净室通常具有较好的闭合性能。
洁净室的墙壁、天花板和地板等各个部位都应该采用密封材料，以防止外界污染物的进入。
同时，洁净室的门、窗等出入口也需要采取相应的密封措施，确保洁净室内的空气质量不受外界影响。
单向流洁净室的气流具有单向、垂直、均匀、低湍流、高风速、多层过滤和闭合性等特点。
洁净室各项指标的检测
洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准洁净室的检测主要分为：一、风量和风速的检测二、静压差的检测三、洁净度的测定四、微生物粒子的检测五、安装高效空气过滤器后的检漏六、污染泄露测试七、气流流型试验八、自净时间测定九、温度及相对湿度检测十、照度检测十一、噪声检测十二、防静电地面导电性能测定一、风量和风速的检测风量和风速的检测必须首先进行,净化空调的各项效果必须是在设计风量和风速的条件下获得;用热力风速仪测量风速用风量罩直接测量风量1.测前准备工作风量检测前必须检查风机运行是否正常,系统中各部件安装是否正确,有无障碍如过滤器有无被堵、档,所有阀门应固定在一定的开启位置上,并且必须实际测量被测风口、风管尺寸;2.单向流洁净室的风量测量垂直单向流及水平单向流洁净室,目前均采用截面平均风速与截面面积的成绩计算风量,截面的取法和测点的布置如下表单向流洁净室风量测定的有关规定测量注意事项：在测量风速时宜采用支架固定测夹；不得不用手持风速仪时,手臂要尽量伸直使测头远离身体侧方或下游以减少人身干扰;评定：a．系统的实测风量应大于各自的设计风量,但不应超过20%;b．总实测新风量和设计新风量之差,不应超过设计新风量的±10%;c．室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%;矩形风管测点位置示意图圆形风管测点位置示意图圆形划分数按下表规定：圆形风管分环表风管直径/mm ＜200 200-400 400-700 ＞700圆环个数 3 4 5 ＞6二、静压差检测此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差,它可以是正压或者负压,以防止洁净室内外气流间的相互影响;1．检测要求（1）静压差的检测要求要在洁净室内所有的门窗全部关闭的情况下进行（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行,一直检测到直通室外的房间（3）测管口设在室内没有气流影响的任何位置均可,测管口面与气流流线平行（4）所测量记录的数据应精确到0.1Pa2．检测步骤：（1）先关闭所有的门窗（2）用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的压差;（3）记录所有数据3．合格标准按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值;（1）不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区室之间的静压差,应不小于5Pa;（2）洁净室区与室外的静压差应不小于10Pa（3）对于空气洁净度等级高于5级100级的单向流洁净室在开门时,门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值;（4）若达不到上述要求,则需重新调整新风量、排风量,直至合格为止三、洁净度测定洁净室施工及验收规范JGJ71-90中规定如下：1．检测规则（1）测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定;每点采样次数不低于3次,各点采样次数可以不同最低限度采样点数2．数据整理室内洁净度按公式计算室平均含尘浓度N和各测点平均含尘浓度的标准误差3．评定标准如测定的状态空态、静态、动态与事先约定的状态相同,则以其级别上限作为评定标准;如测定时为空态或静态,则动态时粒子数一定会高;所以,如用静态检测代替动态检测则粒子数会偏小,有时可以用静态粒子数的3-5倍来估计动态情况;当然这也仅是经验参考值4．注意事项测定时进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋,在室内尽量处于下风处,最多进入两人;粒子计数器一般均有一个开机后预热稳定的过程时间因机型而异注意按仪表说明书操作;一般粒子计数器均有“粒子校准”这一旋钮,在使用前必须校准,使用一段时间例如连续使用0.5-1h后均需进行检查;严禁故意将灵敏度调低的不正当做法每个测点测完后需要移机或移动采样口时,要有一个稳定过程,一般为1-5分钟,也可以将移机后前几次打印结果弃去;有研究结果表明打印机本身的动作有一定的产尘量,故在测量高级别洁净室时,要考虑到打印机纸张发尘的影响;建议选取可存储数据的仪器,实验结束后再把结果打印出来；或将连线延长,将打印机置于被测洁净室外;在粒子计数器中反应得粒径,知识“光散射等效粒径”,因为计数器时用洁净大气尘密度的聚苯乙烯小球标准粒子来标定的;所以在实例中凡是与某种直径标准粒子的光散射特性相同的灰尘就被记录为该粒径的粒数,而不能真正代表该灰尘的真实外形和理化性能,而这个方面,还得在采样后靠显微镜电子显微镜和微量痕量理化分析来解决;目前的粒子计数器都存在一个“上限浓度”的问题,由于仪器本身构造的原因,如抽气流速过大,会有可能两个或多个粒子同事进入散射光区域,此时会合并基础一个粒径偏大的粒子,从而造成测量的重叠误差;如实测环境含尘量超过上限浓度,则应采用稀释器稀释后再测;四、微生物粒子检测本实验室不涉及微生物粒子检测,此处不做详述五、安装高效过滤器的检漏高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定对其进行性能试验其检测方法如DOP试验、NaCl试验、油雾试验等,并提供合格证含性能检测结果;对于5级100级以上洁净室用高效过滤器、超高效过滤器在现场应再次进行高效过滤器本体及其正确安装状态进行泄露试验;对于6级及以下的生物洁净室也用此方法啊检漏;而在大规模集成电路生产的超净技术中0.1μm,1级,由于新风量往往是循环风量的百分之几,经过稀释上风侧也变成6级1000级的程度,因此,在这种情况下,就必须重新考虑采用DOP检漏试验;DOP检漏仪级配套的DOP发生器如下图DOP检漏仪检漏仪配套DOP发生器1．检测要求一般采用离子计数器法进行检测,被检高效过滤器必须已检测过风量,并在设计风速的80%-120%之间运行;实测时很多设计风量不到过滤器额定风量的80%,由于过滤器在低风速下泄露比例会加大,数据偏安全,有时不必再加大风量;对于被检高效过滤器上风侧的微粒浓度符合如下要求;对于受控粒径≥0.5μm的浓度,必须≥3.5x104pc/L;对受控粒径≤0.5μm的浓度,必须≥3.5x106 ~ 107pc/L2．检测方法采用扫描法对高效过滤器安装接缝和主断面进行检测,检测点应距离被测表面20~30mm,测头以5~20mm/s的速度移动,对被测过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描,如下图;粒子计数器的最小采样量大于1L/min;3．评定标准由受检过滤器下风侧测得泄露的浓度换算成穿透率,高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍,对于D级超高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的3倍六、污染泄露测试此项测试时为考虑与轨迹接轨而规定的;它要求,有空洞想通不同洁净度等级的相邻洁净室,其洞口处应有合理的流向,且其风速应该大于0.2m/s;七、气流流行试验1．测点位置对于单向流洁净室,在每个所测截面上测点间距为0.2~1m,垂直单向流要取四个截面：洁净室纵剖面,横剖面及距地0.8m、1.5m两个水平面;水平单向流要求5个截面：洁净室纵剖面、工作区水平面、房间中心线距离送、回风墙0.5m的3个横剖面;对非单向流需要取三个测点截面：具有代表性的送、回风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面2．测定方法用发烟器或悬挂细丝线的方法逐点观察和记录气流流向；用量角器测定气流流向的偏离角度;在每个截面的测点布置图上标出气流流向;3．判定标准工作区气流流向偏离规定方向的角度最好不大于14度,应给出气流流型图,并给出分析结果八、自净时间的测定3．合格标准室温波动范围按各测点的各次温度中,偏差控制温度的最大值整理成累计统计曲线,若90%以上测点偏差值在室温控制范围内,为符合设计要求,反之为不合格;相对湿度波动可按温度波动范围的规定进行;十、照度检测1．检测要求室内照度测定必须在室温已趋稳定,光源输出趋于稳定后进行对荧光灯必须有100h;2．检测方法（1）测点平面离地面0.85m,按间距1~2m布点,测点距墙面1m;其要求基本与洁净度,测量;3．合格标准（1）地面的面层应具有导电性能,并能够长时间稳定;（2）表面电阻率应为1.0x105~1.0x1012Ω,或体积电阻率为1.0x104~10x1011Ω/cm；泄漏电阻值应为1.0x105~10x109Ω。
单向流和混合流洁净室装修设计概括
单向流和混合流洁净室装修设计概括单向流洁净室装修设计的气流是从室内的送风一侧平稳地流向与其相对回风的一侧．因此，单向流洁净室的主要特点表现为：将污染源散发出的尘菌污染物未向室内扩散之前就被挤压到室外，洁净空气对污染源起到隔离作用．此形式适用于洁净室等级需求较高之环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100单向流洁净室又可分为垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室，下面主要介绍垂直单向流洁净室。
垂直单向流是高级别洁净室应用最广泛的一种气流流型。
在洁净室内高效空气过滤器(或超高效空气过滤器)布置在顶棚或侧面，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化，加上送风静压箱和高效过滤器的均压作用，使得全室断面上的流速比较均匀，而至少在工作区内流线单向平行，没有涡流。
干净的气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠参混稀释作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的空气经架空地板回至循环风机，从而形成上送下回的垂直单向流流型。
单向流洁净室能够保证室内达到严格的洁净度要求，在医药生产，医院，电子，大规模集成电路等工程中已得到日益广泛的应用，特别是某些关键场合或工序或设备，如医院的手术室；大规模集成电路的光刻工序；注射药品生产的灌装设备等，此类洁净室管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响；但单向流洁净室的缺点在于换气次数非常高，因此它的造价和运行费用要远高于非单向流洁净室，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。
混合流洁净室装修设计混合流洁净室是将非单向流流型和单向流流型在同一洁净室内组合使用．单向流的设备费用和运行费用都很高，但在某些实际洁净室工程中往往只是部分区域有严格的洁净度要求．而不是整个洁净室．混合流洁净室的特点是在需要空气洁净度严格的部位采用单向流流型，其他则为非单向流流型．这样既满足了使用要求，也节省了设备投资和运行．混合流洁净室的一般形式为室整个洁净室为非单向流洁净是，但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施，使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区，以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度．。
洁净实验室主要技术指标参考建议
本文主要提供了各类洁净度的洁净实验室的相关指标的一些参考性建议,主要包含了一至四级实验室及辅房相关,内容主要涵盖洁净实验室换气、压差、温湿度、噪声及照度
主实验室的主要技术指标
三级和四级生物安全实验室辅助用房的主要技术指标
行业标准
ISO 14644-1洁净室和洁净区按空气中悬浮粒子浓度的分级
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一家净化设备行业中优秀的制造商之。
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单向流洁净室的特性指标
单向流洁净室是指利用单向流的原理，将空气流动的方向控制起来，并采用空气过滤和净化装置，将洁净室内空气中的灰尘、微粒、病菌等细微物质定期清除，工作场所空气质量符合精密仪器、半导体处理、健康保健等行业的相应要求，满足日常生活和工作的需求，实现工作场所的洁净管理的工业净化室，简称单向流洁净室。
单向流洁净室的特性指标是它在洁净空气条件下的能力，主要包括空气流速、空气污染物含量、噪声水平等。
1.空水流速：单向流洁净室要求，入口处的空气流速应小于0.45m/s，出口处的空气流速应小于0.25m/s；
2.空气污染物含量：平均每立方米中飞粒粒径小于0.5微米的空气中污染物含量，浊度应小于1.0NTU，同时，不得有大的起伏变化；
3.噪声水平：单向流洁净室的设计中，入口处的总声压级（声压级）和入口处污染物的总声压级（总声级）应分别小于45dB(A)和35dB(A)；
4.空气复杂度系数：在单向流洁净室内，入口处的空气复杂度系数应控制在每立方米小于2个；
5.操作压差：在单向流洁净室内，入口处的操作压差应控制在每秒毫米水柱（Pa/s）小于1.3个；
6.装置安装：单向流洁净室内的过滤器及其他装置的安装要严格按照设计图纸执行，以保证净化效果；
7.过滤器高度：由于多道过滤器的共同作用形成的单向流，过滤器高度从上至下逐渐增加，每个过滤器高度应适当；
8.过滤速率：在单向流洁净室中，过滤速率应尽可能高，它是指在一定时间内，设计空气量通过过滤器时发生空气压降的程度；
9.净化场所温度：在一定粒径范围内，由单向流和过滤器来实现能量平衡，即在恒定的温度和湿度的情况下，清零净化洁净室的量有限。
单向流洁净室的特性指标是用来描述它能够满足较高洁净要求的能力。
上述不同指标的要求均有标准的限值要求，在实际设计应用时，应注意这些指标之间的协调结构，才能保证其真正的洁净度水准。