扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用
扫描电镜在材料分析中的应用
扫描电镜在材料分析中的应用3.1 试样制备技术试样制备技术在电子显微术中占有重要的地位，它直接关系到电子显微图像的观察效果和对图像的正确解释。
如果制备不出适合电镜特定观察条件的试样，即使仪器性能再好也不会得到好的观察效果。
和透射电镜相比，扫描电镜试样制备比较简单。
在保持材料原始形状情况下，直接观察和研究试样表面形貌及其它物理效应（特征），是扫描电镜的一个突出优点。
扫描电镜的有关制样技术是以透射电镜、光学显微镜及电子探针X 射线显微分析制样技术为基础发展起来的，有些方面还兼具透射电镜制样技术，所用设备也基本相同。
但因扫描电镜有其本身的特点和观察条件，只简单地引用已有的制样方法是不够的。
扫描电镜的特点是：①观察试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。
②试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜。
③试样表面一般起伏（凹凸）较大。
④观察方式不同，制样方法有明显区别。
⑤试样制备与加速电压、电子束流、扫描速度（方式）等观察条件的选择有密切关系。
上述项目中对试样导电性要求是最重要的条件。
在进行扫描电镜观察时，如试样表面不导电或导电性不好，将产生电荷积累和放电，使得入射电子束偏离正常路径，最终造成图像不清晰乃至无法观察和照相。
3.1.1 块状试样制备1．导电性材料导电性材料主要是指金属，一些矿物和半导体材料也具有一定的导电性。
这类材料的试样制备最为简单。
只要使试样大小不得超过仪器规定（如试样直径最大为φ25mm ，最厚不超过20mm 等），然后用双面胶带粘在载物盘，再用导电银浆连通试样与载物盘（以确保导电良好），等银浆干了（一般用台灯近距离照射10 分钟，如果银浆没干透的话，在蒸金抽真空时将会不断挥发出气体，使得抽真空过程变慢）之后就可放到扫描电镜中直接进行观察。
但在制备试样过程中，还应注意：①为减轻仪器污染和保持良好的真空，试样尺寸要尽可能小些。
②切取试样时，要避免因受热引起试样的塑性变形，或在观察面生成氧化层。
扫描电子显微镜在材料表征中的应用
扫描电子显微镜在材料表征中的应用材料科学是现代科技的重要基石，而材料表征则是研究材料性质和结构的关键手段之一。
在材料表征领域，扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）凭借其高分辨率、高放大倍数和强大的表征能力，成为了研究人员的得力工具。
本文将探讨SEM在材料表征中的应用。
首先，SEM在材料表征中的一项重要应用是表面形貌的观察。
传统的光学显微镜只能观察到微米级别的细节，而SEM能够将观察范围扩大到纳米级别。
通过SEM，研究人员可以清晰地观察到材料表面的微观形貌，如表面粗糙度、颗粒分布等。
这对于材料的制备和性能评估具有重要意义。
例如，在纳米材料的研究中，SEM可以帮助研究人员观察纳米颗粒的形貌和分布情况，从而了解材料的结构特征和形成机制。
其次，SEM还可以用于材料的成分分析。
通过能谱仪（EDS）的配合，SEM能够实现元素的定性和定量分析。
EDS能够测量材料中不同元素的能谱信号，并通过谱图分析得出元素的含量和分布情况。
这对于研究材料的成分和相互作用具有重要意义。
例如，在合金材料的研究中，SEM-EDS可以帮助研究人员确定不同元素的分布情况，进而了解合金的相互作用和性能。
此外，SEM还可以用于材料的结构分析。
通过电子背散射模式（EBSD）技术，SEM能够实现材料的晶体结构分析。
EBSD技术通过测量电子背散射的衍射图样，得出材料的晶体结构信息，如晶体方向、晶界分布等。
这对于研究材料的晶体学性质和晶界行为具有重要意义。
例如，在金属材料的研究中，SEM-EBSD可以帮助研究人员观察晶界的分布情况，进而了解材料的力学性能和变形行为。
此外，SEM还可以用于材料的电子学性质研究。
通过电子能谱仪（ESCA）的配合，SEM能够实现材料的电子能级分析。
ESCA技术通过测量材料表面电子的能谱信号，得出材料的电子结构信息，如能带结构、电子态密度等。
这对于研究材料的导电性和光电性具有重要意义。
扫描电子显微镜在纳米材料研究中的应用
二、纳米材料研究的意义
纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度（1-100nm）的材料。 由于纳米材料具有尺寸效应、量子效应和表面效应等特殊性质，使得它们在能源、 生物医学、环境等领域具有广泛的应用前景。研究纳米材料的制备、性质和应用， 对于推动科学技术进步和社会发展具有重要意义。
三、扫描电子显微镜在纳米材料 研究中的应用
参考内容
扫描电子显微镜（SEM）是一种高分辨率、高倍率的电子光学仪器，适用于 观察和研究各种材料表面的微观结构和形貌。在无机材料分析中，SEM发挥着重 要的作用，可以帮助研究者深入了解材料的组成、结构和性质。本次演示将介绍 SEM的基本原理和特点，详细讲解SEM在无机材料分析中的应用，并指出使用SEM 时需要注意的问题。
3、技术参数选择：SEM的成像质量和技术参数选择密切相关。在实验过程中， 应根据样品的特性和研究目的选择合适的加速电压、工作距离、扫描速率等参数。
4、数据处理与分析：SEM通常配备有计算机控制系统和图像处理软件，可以 对采集到的信号进行定量分析和数据处理。应注意选择合适的分析方法，并综合 考虑多种因素对实验结果进行准确的评估。
1、形貌观察：SEM可以提供纳米材料的形貌图像，帮助研究者了解材料的颗 粒大小、形状、表面粗糙度等信息。例如，通过观察催化剂颗粒的形貌，可以优 化催化剂的制备工艺，提高催化性能。
2、成分分析：SEM可以结合能谱仪（EDS）对纳米材料进行成分分析。通过 EDS获取的元素分布图，可以了解不同元素在材料中的分布情况，为研究材料的 合成机理和性能提供依据。
5、失效分析：在机械零件失效分析中，扫描电子显微镜可以帮助研究者观 察到微小的裂纹、磨损痕迹等，从而找出失效的原因，为改进材料的性能和延长 使用寿命提供指导。
材料分析中的扫描电子显微镜技术
材料分析中的扫描电子显微镜技术材料科学作为一门重要的研究领域，广泛应用于各个行业。
其基本原理是通过对材料的物理性质和结构进行研究，以提高材料的性能和功能。
在材料分析中，扫描电子显微镜（SEM）技术是一种非常重要的工具，能够提供高分辨率和大深度的观察和分析。
扫描电子显微镜是一种应用电子束技术的显微镜，其工作原理是通过聚焦的电子束扫描待观察的材料表面，然后通过探测器捕捉并记录反射的电子束信号。
与传统光学显微镜相比，SEM具有更高的分辨率和更大的深度。
它可以观察到材料的表面形貌、形状和大小，并提供其它有关材料结构和成分的信息。
SEM技术在材料科学中的应用非常广泛。
首先，它可以用来观察和分析材料的表面形貌和结构。
通过SEM观察材料的表面形貌，我们可以了解材料的纹理、孔隙结构和表面粗糙度等特征。
这对于研究材料的界面性质、材料的耐磨性和材料与环境的相互作用具有重要意义。
此外，SEM还可以提供材料的成分分析。
通过利用扫描电子显微镜上的能谱仪，我们可以获取X射线能谱信息，进而分析材料的元素组成和含量。
这对于材料的合成、纯度和混杂物含量的研究非常重要。
同时，SEM技术还可以通过电子束与材料的相互作用，提供对材料电荷分布、晶体结构和缺陷等性质的观察和分析。
扫描电子显微镜技术的应用不仅局限于材料科学领域。
在生物学、医学和环境科学等其他领域，SEM也发挥着重要作用。
在生物学中，SEM可以用来观察和分析生物细胞、组织和微生物的形态特征。
在医学中，SEM可以用于研究病毒、细菌和肿瘤细胞的形态、结构和成分。
在环境科学中，SEM可以用来观察和分析大气颗粒、水质颗粒和土壤颗粒等微观颗粒的形貌和成分，从而帮助我们研究环境中的污染物和微观生物。
尽管SEM技术在材料科学和其他领域中得到广泛应用，但它并非没有一些限制。
首先，SEM技术对样品的制备要求较高，样品需要进行表面处理和真空吸附，以确保电子束的穿透性和样品的稳定性。
此外，SEM分析所需的仪器和设备也相对昂贵，对于一些小型研究实验室来说可能存在一定的经济压力。
材料分析中的扫描电镜显微技术
材料分析中的扫描电镜显微技术材料分析是很重要的一项技术，扫描电镜显微技术作为其中的一种工具，可以帮助我们深入了解材料的微观结构和性能，并且进行有效的表征和调控。
在本文中，我们将讨论扫描电镜显微技术在材料分析中的应用和发展，以及其中的一些前沿研究。
一、扫描电镜显微技术的基本原理扫描电镜显微技术是一种通过电子束扫描样品表面来获取图像的分析技术。
它采用了电子显微镜中的原理，通过路径长度比光波长小的电子来扫描材料表面，并通过能量分散光谱仪等设备获取样品表面的成像信息及结构信息。
扫描电镜主要分为两种：透射电子显微镜和散射电子显微镜。
透射电子显微镜可以对材料内部的结构进行分析，可以获取更高分辨率的图像，但是也需要材料非常薄，并且针对某种具体结构进行分析。
而散射电子显微镜则更为普遍，可以对样品表面的形貌和成分进行分析，并且可以针对多种材料进行分析。
二、扫描电镜显微技术在材料分析中的应用扫描电镜显微技术在材料分析中应用广泛，可以对许多材料的结构和性质进行研究。
例如，在材料科学中，可以利用扫描电镜显微技术来观察材料颗粒的形貌、大小和分布，以及材料成分和结构的变化，这些都可以为材料的设计和制备提供重要参考和信息。
同时，扫描电镜也可用于病毒、细胞、纤维、集成电路等的观察和分析。
扫描电镜的高分辨率图像还可以用于人类或动物细胞的观察和分析，可以帮助科学家更好地理解细胞的构成和功能。
还可以在生物医学方面利用扫描电镜显微技术进行药物开发研究，评估药物对生物系统的影响。
三、扫描电镜显微技术的发展趋势随着科技的不断进步，扫描电镜显微技术也不断发展。
例如，几何光学的发明，使得扫描电镜成像技术可以在更广范围内应用。
同时，测量技术的进步也使得扫描电镜显微技术的精度更加高效，并能够处理越来越多的信息。
在不断提高扫描电镜显微技术精度的同时，新型高分辨率显微技术也在不断上升。
例如，融合热液显微镜和电子显微镜技术的“天才轮廓显微镜”，可以在高温状态下进行物质结构分析；纳米压痕显微镜可以观察物质在压缩状态下的完整信息，极大地提高了材料分析的可靠性。
SEM在材料分析中的应用
SEM 在材料分析中的应用扫描电子显微镜 (简称扫描电镜 ,英文缩写为SEM)是一种大型的分析仪器 ,广泛应用在材料科学、生命科学、物理学、化学等学科领域。
近年来在扫描电镜上相继安装了许多专用附件,如:能谱仪 (EDX) 、波谱仪 (WDX) 、电子衍射仪 (ED) 等,使扫描电镜成为一种多功能的、快速、直观、综合的表面分析仪器[1] 。
1扫描电镜的工作原理扫描电镜主要由电子枪、电磁透镜、物镜、扫描线圈、信号收集及显示装置等组成。
其工作原理为 :由电子枪发射电子 ,以交叉斑作为电子源 ,经二级透镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下 ,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。
试样在电子束作用下 ,激发出各种信号 ,信号强度取决于试样表面状况。
这些信号被探测器收集并经视频放大后输入显像管栅极 ,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度 ,得到反映试样表面形貌的电子图像[2]。
2扫描电镜的特点（1）制样方法简单。
对表面清洁的导电材料可直接进行观察 ;表面清洁的非导电材料只要在表面蒸镀一层导电层即可观察。
（ 2）场深大，三百倍于光学显微镜。
适用于粗糙表面和断口，甚至孔洞缝隙中细微情况的观察。
图像富有立体感，易于识别和解释。
（3）放大倍数在 15-200000 倍范围内连续可调，分辨率高，能达到 3-6nm。
（4）可进行多功能分析。
采用双放大倍数装置或图像选择器，可在荧光屏上同时观察不同放大倍数或不同形式的图像。
可使用加热、冷却和拉伸等样品台进行动态实验，观察各种环境条件下的相变及形态变化等[3]。
3影响扫描电镜成像的因素及控制3.1 加速电压在控制图像质量的调节过程中，首先要考虑的是电子照明源的加速电压的选择问题。
这是因为加速电压越大，电子束越容易聚焦得更细，束流也越大。
由此可见 ,采用高的加速电压，对提高图像的分辨率和信噪比是有利的。
但是，如果观察的对象是高低不平的表面或深孔，为了减小入射电子束的贯穿深度和散射体积，从而改善在不平表面上所获得图像的清晰度，采用较低的加速电压是适宜的，对于容易发生充电的非导体试样或容易烧伤的有机、生物试样，也宜采用低的加速电压 [4,5] 。
扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用
扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用随着科学技术的进步，越来越多的新材料被开发出来，同时也带来了更多的研究挑战。
传统的材料研究方法往往难以满足如此复杂的研究需求。
幸运的是，扫描电子显微镜技术的发展，使得研究人员能够更好地理解这些材料。
本文将介绍扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用。
扫描电子显微镜技术是一种能够进行高分辨率成像的显微镜。
它的原理是通过扫描电子束在样品表面来获得高分辨率的图像。
扫描电子显微镜可以成像几乎所有的材料，包括金属、聚合物、半导体以及生物材料。
下面将介绍扫描电子显微镜技术在材料研究中的应用。
一、纳米材料成像扫描电子显微镜技术能够进行非常高分辨率的成像，因此在纳米材料的研究中得到了广泛应用。
纳米材料的尺寸非常小，一般在1到100纳米之间。
传统的显微镜无法获得如此高分辨率的图像。
使用扫描电子显微镜技术，可以观察纳米材料的表面形貌、材料的组成、原子结构以及电子结构。
这些信息有助于更好地理解微观结构和材料性质之间的关系。
二、能谱分析扫描电子显微镜技术不仅可以提供高分辨率的图像，还可以进行能谱分析。
该技术可以测量样品中元素的相对含量，并且检测到低浓度的元素。
这对于研究材料性质非常重要，因为元素的含量和组成对材料的性质有重要影响。
通过能谱分析，研究人员可以分析不同元素在材料中的分布情况，从而更好地了解材料构成和性质之间的关系。
三、材料结构分析扫描电子显微镜技术还可以用于分析材料的结构。
该技术可以观察材料的微观形貌，如颗粒大小和形状、孔隙分布以及晶体结构。
这些结构信息对于研究材料的物理和化学性质非常重要。
例如，孔隙和晶体缺陷可以影响材料的力学性质、光学性质以及化学反应性。
通过扫描电子显微镜技术，研究人员可以更好地理解这些微观结构，并且在材料设计和改进方面提供重要信息。
四、材料表面分析扫描电子显微镜技术还可以用于材料表面分析。
该技术可以观察材料表面的形貌、纹理和各种缺陷，如裂纹、疤痕和氧化物。
扫描电镜在金属材料检测中的应用
扫描电镜在金属材料检测中的应用
扫描电镜在金属材料检测中有广泛的应用。
它可以提供高分辨率的显
微镜图像和表面形貌分析，以及相关的元素分析和晶体结构分析。
以下是
扫描电镜在金属材料检测中的几个主要应用：
1.表面缺陷分析：扫描电镜可以检测金属材料表面的微小缺陷和裂纹，以帮助了解表面破坏的机制和处理方法。
2.颗粒分析：扫描电镜可以用于确定金属材料中粒子的形态、大小、
分布和成分，以评估其性能和质量。
3.材料组织分析：扫描电镜可以检测金属材料的晶粒尺寸、晶界、位
错和相分布，以帮助了解材料的性能和制备方法。
4.化学成分分析：扫描电镜可以用于确定金属材料中元素的分布和含量，提供有关材料组成的信息。
总之，扫描电镜在金属材料检测中是一种非常有用的工具，可以提供
有关材料性能和结构的详细信息，帮助制定改进和优化的制备和加工方法。
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南京工程学院学报（自然科学版）２００３年１２月２材料的组织形貌观察
２．１断口分析
现代工业产品零件虽然经过精心设计、慎重选材、精确制造，但由于实际生产和使用中的种种复杂原因，零件断裂损坏的现象仍然不断发生，极大地影响了生产的顺利进行和使用的安全，甚至造成灾难性事故。
为了提高产品质量、保证使用安全，避免灾难性事故重演，人们常常借助扫描电镜分析断口的破坏特征、零件内部的结构及缺陷，从而判断零件损坏的原因。
众所周知，反射式的光学显微镜直接观察大块试样很方便，但其分辨率、放大倍数和景深都比较低。
因此在一定程度上限制了它们的适用范围。
扫描电子显微镜的样品制备简单，可以实现试样从低倍到高倍的定位分析；在样品室中的断口试样不仅可以沿三维空间移动，还能够根据观察需要进行空间转动，以利于使用者对感兴趣的断裂部位进行连续、系统的观察分析；扫描电子显微断口图像因真实、清晰，并富有立体感，在金属断口和显微组织三维形态的观察研究方面获得了广泛地应用心Ｊ。
工程中使用损坏的零件断口清洗后，导电样品可直接进行观察；不导电样品（塑料、陶瓷等）在真空喷涂仪中沉积碳、金、银等抗腐蚀和二次电子丰富的元素，保证样品具有较好的导电性，以防图像畸变。
例如，汽车车门螺栓在装配时发生断裂，其电镜断口形貌见图１。
根据断口的沿晶断裂特征，并结合生产工艺综合分析，可断定车门螺栓脆性断裂的原因是由于表面磷化防护处理后，去氢处理工艺不当造成的氢脆断裂。
通过ＳＥＭ对宇航复合材料的疲劳断口观察（见图２），发现断面上有过载断裂的针排撕裂特征，由此可以分析过载是造成材料损坏主因。
………～””…～
图１合金钢沿晶断裂特征图２于差要耋：耋鎏堂脂图３锰磷化表面形貌
复合材料过载断口
２．２镀层表面形貌分析和深度检测
金属材料零件在使用过程中不可避免地会遭受环境的侵蚀，容易发生腐蚀现象。
为保护母材，成品件常常需要进行诸如磷化、达克罗等表面防腐处理。
有时，为利于机加工，在工序之间也进行镀膜处理。
由于镀膜的表面形貌和深度对使用性能具有重要影响，所以常常被作为研究的技术指标。
镀膜的深度很薄，由于光学显微镜放大倍数的局限性，使用金相方法检测镀膜的深度和镀层与母材的结合情况比较困难，而扫描电镜却可以很容易完成。
使用扫描电镜观察分析镀层表面形貌是方便、易行的最有效的方法，样品无需制备，只需直接放入样品室内即可放大观察。
图３所示是螺栓经锰磷化表面处理后的表面形貌。
“松针状”的磷化膜结构具有良好的储油功能，使暴露于外界工作的螺栓耐腐蚀性得到改善。
第１卷第４期蔡璐：扫描电子显微镜在材料分析和研究中的应用４ｌ
３微区化学成分分析
在实际断口分析工作中，往往在获得断口形貌放大像后，希望能在同一台仪器上进行原位化学成分或晶体结构分析，提供包括形貌、成分、晶体结构或位向在内的丰富资料，以便能够更全面、客观地进行判断分析。
为此，相继出现了扫描电子显微镜一电子探针多种分析功能的组合型仪器。
扫描电子显微镜如配有ｘ射线能谱（ＥＤＳ）和Ｘ射线波谱成分分析等电子探针附件，可分析样品微区的化学成分等信息。
材料内部的夹杂物往往是裂纹的发源地，由于它们的体积细小，因此，无法采用常规的化学方法进行定位鉴定。
扫描电镜配备电子探针后，不仅可以为夹杂物定性，还可以检测断面上的腐蚀物、磨屑等微量物质。
微区成分分析的结果往往为断裂失效分析的提供重要的线索和数据。
目前，工程材料失效分析常用的电子探针的基本工作方式为：
（１）对样品表面选定微区作定点的全谱扫描定性或半定量分析，以及对其中所含元素浓度的定量分析。
（２）电子束沿样品表面选定的直线轨迹作所含元素浓度的线扫描分析。
（３）电子束在样品表面作面扫描，以特定元素的ｘ射线讯号调制阴极射线管荧光屏亮度，给出该元素浓度分布的扫描图像。
一般而言，常用的ｘ射线能谱仪能检测到的成分含量下限为０．１％（质量分数）。
可以应用在判定合金中析出相或固溶体的组成、测定金属及合金中各种元素的偏析、研究电镀等工艺过程形成的异种金属的结合状态、研究摩擦和磨损过程中的金属转移现象以及失效件表面的析出物或腐蚀产物的鉴别等方面。
图４所示是使用后断裂的连杆裂纹萌生区的断口，断口形貌在电镜下观察１、２标记区断裂特征有明显差异。
能谱微区分析结果表明，标记１区含有氧元素，如图５所示；而标记２区则无氧化现象。
由此推断裂纹先在标记ｌ区形成，在此区沿裂纹扩展方向追寻发现，热加工“飞边”缺陷是引起连杆早期损坏的直接原因。
图４斜向裂纹处断口特征１６．５×图５标记ｌ区成分谱线
４显微组织及超微尺寸材料的研究
钢铁材料中诸如回火托氏体、下贝氏体等显微组织非常细密，用光学显微镜难以观察组织的细节和特征。
在进行材料、工艺试验时，如果出现这类组织，可以将制备好的金相试样深腐蚀后，在扫描电镜中鉴别。
下贝氏体与高碳马氏体组织在光学显微镜下的形态均呈针状，且前者的性能优于后者。
但由于光学显微镜的分辨率较低，无法显示其组织细节，故不能区分。
电子显微镜却可以通过对针状组织细节的观
４２南京工程学院学报（自然科学版）２００３年１２月
察实现对这种相似组织的鉴别。
图６所示是光学显微镜（ＬＭ）下的针状下贝氏体，图７所示是与之对应的电镜形貌。
在电子显微镜下（ｓＥＭ），可清楚地观察到针叶下贝氏体是有铁素体和其内呈方向分布的碳化物组成Ｌ４｜。
纳米材料是纳米科学技术最基本的组成部分。
现在可以用物理、化学及生物学的方法制备出只有几个纳米的“颗粒”。
由于纳米材料表面上的原子只受到来自内部一侧的原子的作用，十分活泼，所以使用纳米金属颗粒粉作催化剂，可加快化学反应过程。
纳米材料的应用非常广泛，比如通常陶瓷材料具有高硬度、耐磨、抗腐蚀等优点，但又具有脆性和难以加工等缺点，纳米陶瓷在一定的程度上却可增加韧性，改善脆性。
复合纳米固体材料亦是一个重要的应用领域。
例如含有２０％超微钴颗粒的金属陶瓷是火箭喷气口的耐高温材料；金属铝中含进少量的陶瓷超微颗粒，可制成重量轻、强度高、韧性好、耐热性强的新型结构材料∞’６ｊ。
纳米材料的一切独特性能主要源于它的超微尺寸，因此必须首先切确地知道其尺寸，否则对纳米材料的研究及应用便失去了基础。
目前该领域的检测手段和表征方法可以使用透射电子显微镜、扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）等技术№Ｊ，但高分辨率的扫描电镜（ＳＥＭ）在纳米级别材料的形貌观察和尺寸检测方面因具有简便、可操作性强的优势，也被大量采用。
图８所示是扫描电镜拍摄的纳米尺寸的金蒸着粒子形貌。
图６ＬＭ的组织形貌５００×图７ＳＥＭ的组织形貌１０，０００×图８金蒸着粒子５０，０００×
５结束语
扫描电镜在工程材料的分析和研究方面应用十分广泛，主要的应用有工程材料断口分析及微区成分分析、各种镀膜表面形貌分析及层厚测量和显微组织形貌及纳米材料分析等。
随着材料科学和高科技的迅速发展，各种行业对检测技术水平的要求日异提高，可以预测扫描电镜将以其拥有的优势进一步发挥它的作用。
参考文献：
［１］陈世朴．金属电子显微分析［Ｍ］．北京：机械工业出版社，１９８２．
［２］Ｂｒ００ｋ，ｃ．Ｒ，ｃｈｏｕｄｈｕｒｙ，Ａ．Ｆａｉｌｕｒｅ加“ｙｓｉｓｏｆＥＩｌｇｉｎｅｅｒｉｌｌｇＭａｔｅｒｉａｌｓ［Ｍ］．谢斐娟译．北京：机械工业出版社，２００３．
［３］ｃ．Ｒ．Ｂ。
０ｋＳａｎｄＢ．ＬＭ哂１１．ＴｈｅＡｐｐｌｉｃａｔｉｏｎｏｆｓｃａｎｎｉｎｇＥｌｅｃｔｍｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｙｔｏＦｒａｃ魄ｒａｐｈｙ［Ｊ］ＭｉｃｒｏｓｔｒｕｃｔｕｒａｌＣｈａｍｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ，１９９４，（３３）：１９５—２４３．
［４］石德珂．材料科学基础［Ｍ］．北京：机械工业出版社，１９９９．
［５］张立德，牟季美．纳米材料学［Ｍ］．沈阳：辽宁科学技术出版社，１９９４．
［６］张志琨，崔作林．纳米技术与纳米材料［Ｍ］．北京：国防工业出版社，２０００．
［责任编校：屈华昌］。