表面等离子体受激辐射放大技术简介
大面积平面表面波等离子体的研究

大面积平面表面波等离子体的研究Ξ欧琼荣,梁荣庆(中科院等离子体物理研究所,安徽合肥 230031)摘 要:低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域,并且应用范围仍然在迅速拓展,这对等离子体本身提出了更高的要求,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一。
作者主要介绍表面波激发等离子体的原理,并在自行研制的一套平面大面积表面波等离子体源上,利用静电双探针测量了其Ar 气放电的角向、径向和轴向的电子密度和温度。
发现角向电子密度和温度均匀性与耦合天线及气压密切相关而与入射功率无关;径向电子密度和温度均匀性则与入射微波功率及气压密切相关而与耦合天线无关。
因此,通过优化耦合天线来获得径向参数的均匀性及微波耦合效率,并增大微波功率、选择适当的气压,可产生大面积平面高密度等离子体。
关键词:表面波;等离子体源;高密度等离子体中图分类号:O53 文献标识码:A 文章编号:1006-7086(2002)01-0028-06RESEARCHES ON LARGE AREA PLANAR PLASMA EXCITE D B Y SURFACE MICR OWAVEOU Q iong -rong ,L IANG R ong -qing(Institute of Plasma Physics ,Chinese Academy of Sciences ,H efei 230031,China)Abstract :Low temperature plasma technologies have been widely used in many high-tech fields today.The fieldsapplying plasma are still enlarged quickly.The higher demands have been arised for the plasma high density and the large area planar uniformed plasma was required as one of the most urgent demands now.The principles of surface mi 2crowave forming were introduced.Radial ,azimuthal and axial distribution of the electron density and temperature of Ar plasma in the plasma source excited by surface-microwave were measured with Langmuir probe.The relationship that the uniform degree of the electron density and the temperature distribution along radius and azimuth changes with the microwave power ,the gas pressure and the antenna shape was found that the power and the antenna shape is not impor 2tant for the azimuthal and radial uniform degree ,respectively.S o a conclusion reached that large area planar high density plasma could be produced by improving the antenna shape ,enhancing the microwave power and choosing the proper pressure.K ey w ords :surface wave ;plasma source ;high density plasma1 引 言随着半导体晶片超细微加工处理、平板显示器、太阳能电池生产、生物医学高分子薄膜改性及高聚物的表面改性等领域近年来的迅速发展,对作为这些领域的关键技术之一的等离子体源提出了新的挑战。
表面等离子体激元简介

表面等离子体激元简介一.表面等离子体激元表面等离子体(Surface Plasmons)的出现提供了一种在纳米尺度下处理光的方式。
表面等离子体通常可以分成两大类——局域表面等离子体共振(Localized Surface Plasmon Resonance)和表面等离子体激元(Surface Plasmon Polaritons)。
局域表面等离子体共振专指电磁波与尺寸远小于波长的金属纳米粒子中的自由电子的相互耦合,这种等离子体只有集体共振行为,不能传播,但可以向四周环境辐射电磁波。
局域表面等离子体共振可以通过光直接照射产生。
表面等离子体激元指的是在金属和电介质分界面上传播的一种元激发Excitations),这种元激发源自电磁波和金属表面自由电子集体共振的相互耦合。
表面等离子体激元以指数衰减的形式束缚在垂直于传播的方向,由于它的传播波矢要大于光在自由空间中的波矢,电磁波被束缚在金属和电介质的分界面而不会向外辐射,也正是因为这种独特的波矢特性,表面等离子体激元的激发需要满足一定的波矢匹配条件。
二.SPPs的激发和仿真方法由于SPSs的波矢量大于光波的波矢量,或者说SPPs的动量与入射光子的动量不匹配,所以不可能直接用光波激发出表面等离子体波。
为了激励表面等离子体波,需要引入一些特殊的结构达到波矢匹配,常用的结构有以下几种:(1)棱镜耦合:棱镜耦合的方式包括两种,一种是Kretschmannt方式;另一种是Otto 方式。
(2)采用波导结构(3)采用衍射光栅耦合(4)采用强聚焦光束(5)采用近场激发。
目前主要的仿真方法有以下三种(1)时域有限差分法(finite difference time domain,FDTD):FDTD方法是把Maxwell方程式在时间和空间领域上进行差分模拟,利用蛙跳式(leaf flogalgorithm)空间领域内的电场和磁场进行交替计算,电磁场的变化通过时间领域上更新来模仿。
表面等离子共振技术介绍

SPR仪的结构及工作原理
朱倩 90513126
表面等离子共振技术介绍
Biacore 3000
Biacore Control
工作仪器
表面等离子共振技术介绍
Biacore 3000工作仪器
核心部件: 传感器芯片 液体处理系统 光学系统
其他: LED状态指示器 温度控制系统
表面等离子共振技术介绍
发展简史
1902年,Wood在光学实验中发现SPR现象 1941年,Fano解释了SPR现象 1971年,Kretschmann为SPR传感器结构奠定了基础 1983年,Liedberg将SPR用于IgG与其抗原的反应测定 1987年,Knoll等人开始SPR成像研究 1990年,Biacore AB公司开发出首台商品化SPR仪器
2.等离子波
等离子体 等离子体通常是指由密度相当高的自由正、 负电荷组成的气体,其中正、负带电粒子数目 几乎相等。
金属表面等离子波 把金属的价电子看成是均匀正电荷背景下运 动的电子气体,这实际上也是一种等离子体。 由于电磁振荡形成了等离子波。
表面等离子共振技术介绍
3.SPR光学原理
表面等离子共振技术介绍
表面等离子共振原理
1. 消逝波 2. 等离子波 3. SPR的光学原理
表面等离子共振技术介绍
1.消逝波
菲涅尔定理: n1 sinθ1 = n2 sinθ2
当光从光密介质 密 入射到光疏介质 时(n1>n2)就 会有全反射现象 疏 的产生。
密
疏
表面等离子共振技术介绍
1.消逝波
密
界面 疏 这表示沿X轴方向传播而振幅衰减的一个波,这就是消逝波。 全反射的光波会透过光疏介质约为光波波长的一个深度,再 沿界面流动约半个波长再返回光密介质。光的总能量没有发 生改变。透入光疏介质的光波成为消逝波。 表面等离子共振技术介绍
表面等离子共振技术

表面等离子共振技术2表面等离子波; 等离子体通常是指由密度相当高的自由正、负电荷构成的气体,其中正、负带电粒子数目几乎相等,内部不形成空间电荷。
假如把金属的价电子看成是均匀正电荷背景下运动的电子气体,这实际上也是一种等离子体。
当金属受到电磁干扰的时,金属中的电子密度分布就会变得不均匀。
设想在某一区域电子密度低于平均密度,那么就会形成局部的正电荷过剩。
这时由于库仑引力作用,会把近邻的电子吸引到该区域,而被吸引的电子由于获得附加的动量,又会使该区域聚集过多的负电荷,然而,由于电子间的排斥作用,使电子再度离开该区域,从而形成价电子相关于正电荷背景的起伏振荡。
由于库仑力的长程作用,这种局部的电子密度振荡将形成整个电子系统的纵向集体振荡,并以密度起伏的波的形式来表现。
可知,金属中的价电子相当于正离子背景的这种振荡与导电气体中的等离子振荡相似,故称之金属中的等离子振荡。
表面等离子振荡也是如此,我们能够看成其内部也有一定的电子振荡波的存在。
3当光线在棱镜与金属膜表面上发生全反射现象时,会在金属膜中产生消失波,消失波与表面等离子波发生共振时,检测到的反射光强会大幅度地减弱。
能量从光子转移到表面等离子,入射光的大部分能量被表面等离子波汲取,使得反射光的能量急剧减少。
因此,能够反射光强的响应曲线看到一个最小的尖峰,如今对应的入射光波长为共振波长,对应的入射角为共振角。
SPR角随金表面折射率变化而变化,而折射率的变化又与金表面结合的分子质量成正比。
这就是SPR 对物质结合检测的基本原理。
SPR传感系统通常是由光学系统,传统系统与检测系统这3部分构成的。
其中,光学系统包含光源与光路,用以产生合乎性能要求的入射光;传感系统利用上述原理将待测信息转换为敏感膜的折射率的变化,并通过光学耦合转换为共振角或者共振波长的变化;检测系统检测反射光的发光强度,记录共振汲取峰的位置,当入射波以某一角度或者某一波长入射,近场波矢K与SPW的波矢相等,发生谐振,入射光能量耦合到SPW波,反射光强度出现一个凹陷。
表面等离子共振技术SPR综述

表面等离子共振技术(surface plasmon resonance technology, SPR)综述作者:刘闯等来源:北京大学单分子与纳米生物学实验室摘要:SPR技术作为检测,分析生物分子相互作用的有效工具,有些国家已经生产出成熟的商业化的SPR传感系统。
对SPR生物传感器的工作原理,应用领域,最新进展作出阐述,并对其在生物分子检测领域的应用和研究发展前景进行了讨论。
引言:表面等离子共振技术(surface plasmon resonance technology, SPR)是20世纪90年代发展起来的一种生物分子检测技术,是基于SPR检测生物传感芯片(biosensor chip)上配位体与分析物作用的一种前沿技术,在20世纪初,Wood观测到连续光谱的偏振光照射金属光栅时出现了反常的衍射现象,并且对这种现象进行了公开描述。
1941年,Fano用金属与空气界面的表面电磁波激发模型对这一现象给出了解释。
1957年,Ritchie发现,当电子穿过金属薄片时存在数量消失峰。
他将这种消失峰称之为“能量降低的”等离子模式,并指出了这种模式和薄膜边界的关系,第一次提出了用于描述金属内部电子密度纵向波动的“金属等离子体”的概念。
2年后,Powell和Swan用实验证实了Ritche的理论。
随后,Stem和Farrell 给出了这种等离子体模式的共振条件,并将其称为“表面等离子共振技术(surface plasmon resonance , SPR)”。
1968年,Otto和Kretschmann等人研究了金属和介质界面用光学方式激发SPR的问题。
并分别设计了两种棱镜耦合方式。
此后, SPR技术获得了长足的发展。
1990年,国际上第一台商业生产的生物传感器在瑞典的Biocore公司诞生。
实践证明,SPR传感器与传统检测手段比较,具有无需对样品进行标记,实时监测,灵敏度高等突出优点。
所以,在医学诊断,生物监测,生物技术,药品研制和食品安全检测等领域有广阔的应用前景。
表面等离子共振(SPR)技术

光纤在线传输式
光栅型
光纤终端反射式
金属膜 分子敏感膜
21
棱镜型装置工作原理
(a) Otto 型
(b) Kretschmann 型
22
光纤型光波导耦合器
在线传输式SPR 光纤传感器
23
光纤型光波导耦合器
终端反射式SPR 光纤传感器
24
光栅型光波导耦合器
25
传感芯片——金属膜
反射率高 化学稳定性好 厚度合适
32
Biacore 3000的LED状态指示器
LED(light-emitting diode)
• Ready:亮/灭 • Error:亮/灭 • Temperature:稳定/闪烁 • Sensor Chip:稳定/闪烁 • Run:亮/灭
33
Biacore 3000的温度控制系统
34
SPR 技术的应用
11
SPR的响应模式
12
SPR的检测模式
直接检测: 适用于大分子 (>1000 Da)
13
SPR的检测模式
抑制模式: 将待测小分子 固定在传感器 表面,在样品 中加入过量对 应大分子。
14
SPR仪的结构及工作原理
15
Biacore 3000
Biacore Control
工作仪器
16
Biacore 3000工作仪器
41
42
食品领域
维生素检测 生物毒素检测 细菌和病原菌检测 农、兽药残留量检测
43
微流控多通道SPR检测
44
SPR Imaging
Layout and photograph of the microfluidic chip designed for coupling with SPR imaging system
表面等离子体激元

表面等离子体激元
表面等离子体激元(surface plasmon polariton,SPP)是研究与复
杂光学、电磁和物理行为相关的材料和结构的有效载体,具有重要应
用价值。
它可以将光信号传输到固体的内部,并使光子显得更短,这
为传递信息提供了新的可能性。
表面等离子体激元描述了物理表面上发生的电磁激励现象。
它们类似
于传统的电磁波,但具有新的特性,包括在固体物质表面反射回来的
大量能量和短波长。
SPP由一个电磁波和一个等离子体波强相互作用而产生,这两种波抵消并形成一种新的组合波。
表面等离子体激元的特性给它带来了几个关键优势。
它们可以用来实
现高密度的电磁能量传输,并能够以最少的时间传输信号。
它们还可
以用来控制传输的方向,因此可以实现高度有效的光学传输。
此外,
它们还将光子的波长缩短,从而可以实现高信噪比的传输,在存储和
运输光信息中发挥重要作用。
表面等离子体激元在多个领域都发挥着关键作用,如通信、电子系统
设计和光学系统设计。
它们在激光打印、光学散射和拉曼分析(Raman scattering)等技术中也被广泛应用。
此外,它们还为光子学中的调
制器、衍射元件和其他器件发挥着重要作用。
表面等离子体激元现在已经成为光子学中不可或缺的研究对象,它们
可以实现更快、更精准的处理和传输信号,并在全球各个行业发挥巨
大的作用。
它们已经从研究阶段走向实践应用,且未来前景一片光明。
细说神奇的表面等离子体波(Word)

细说神奇的表面等离子体波光通信的新宠——表面等离子体波光纤是现在全世界最普遍使用的传递光信号的传播器件。
它巨大的容量使得科学研究人员对于它将来能够取代微处理器和电子计算机芯片中的各种电子器件充满信心。
但是很不幸的是,光纤的尺寸太大使得它和小巧的芯片接口无法匹配。
光电子器件大的原因在于其尺寸被衍射这一物理规律所制约。
空间中相聚很近的光之间会相互干涉叠加,这导致承载光信号的光纤的最小宽度是光波长的一半。
芯片上传播的光信号通常是1500nm波长的远红外光(这也是人类规定的一切通讯电磁波的波长)。
这样光纤的最小宽度会远大于我们目前正在使用的纳米电子器件(硅的集成芯片通常只有100nm的量级),使得光纤和芯片的接口无法匹配。
毫无疑问,人类对于这个衍射极限是无法突破的,因此一度陷入沮丧。
但是最近几十年来,人们发现了一种可以用做电子器件与光纤通信媒介的现象:plasmon (表面等离子体波在金属和介质表面的震动),使得整个研究方向重现曙光。
当电磁波在金属和介质表面传播的时候,会引起金属表面电子的共振。
电子振动的频率和电磁波是吻合的,但是却有着比电磁波小很多倍的波长(如上图所示)。
这意味着,这种表面plasmon振动的波长是被极大压缩了的,可以用来连接大尺度的光纤和纳米级的电子器件。
在金属和电介质表面可以看到,在光纤中同样频率电磁光的波长在meta-material(利用上述plasmon现象制作的材料)中被压缩了几十甚至上百倍(如上图所示),这样光纤和芯片接口尺寸不匹配的问题被解决了,我们只需要在中间加一个plasmonic的转换过渡(如下图所示)。
该器件的一个极大的优点就是低功耗。
或许有人会疑惑,因为人们对金属的第一印象就是电磁波会被金属所吸收转化成热量。
然而这种表面的plasmon的功耗极小,因为它只是在金属的表面振动,根本没有进入金属内部,所以自然耗散极小。
表面等离子体波的历史1)炼金术士的彩色酒杯炼金术士们在几千年前就已经不经意地参杂金属物质,通过plasmonics的效应来制作有颜色的酒杯。
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p
1
spaser量子密度矩阵方程
• SP的本征模式 r 由波动方程表示:
n
• 其中n是模式数,Sn是对应的本征值,是特 征函数,当r为金属时等于1,r为电介质时 为0。
r
• 本征模式通过对体积V的积分进行归一化, SP的物理频率由方程 Resn sn 确定 d • 其中 s / 是Bergman谱参数,是空 气的节点常数, 是金属介电常数。
2
2 p 4 n e 1 1 * * e ( ) 1 4 1 1 2 2 1 m 1 i 1 i 1
• 若忽略衰减,即
1 时,有:
2 * ( ) 1 p 2
• 根据等离子体理论,产生固体等离子体波应满足
• 开关构件的优化 • 开关构件的基本功能是利用外部泵浦的有无来有 效地控制双稳态的转换从而实现光学上的开关作 用,并进一步组成逻辑门。当SPASER双稳态放 大器得到有效泵浦时,具备一定强度的信号会顺 利通过并得到放大。当泵浦消失,放大区介质会 表现为对信号波的吸收,加上传输部分的衰减, 信号会削弱。通过计算无泵浦时的衰减率,可以 初步估算到器件开关特性的信号强度区间。通过 对脉冲泵浦下反转粒子数时间特性的研究,结合 双稳态放大器的驰豫特性,讨论器件的开关速率。 逻辑门的构建则涉及到利用信号控制泵浦脉冲的 问题,为此信号与泵浦的时序问题在设计中已经 考虑。
表面等离子体受激辐射放大技术 研究
在金属中,价电子为整个晶体所 共有,形成所谓费米电子气。价电 子可在晶体中移动,而金属离子则 被束缚于晶格位置上,但总的电子 密度和离子密度是相同的,从整体 来说金属是电中性的。人们把这种 情况形象地称为“金属离子浸没于
电子的海洋中”。这种情况和气体
放电中的等离子体相似,因此可以 把金属看作是一种电荷密度很高的 低温(室温)等离子体,而气体放 金属板中电子气的位移 (上)金属离子(+)位于“电子海洋”中(灰 色背景),(下)电子集体向右移动
我们的一些研究设想
• 以双稳态SPASER超快放大器的应用基础为基本目标 • (1)研究具有激光超快放大、激光并行处理和波分复用、 高度可集成、及具有反馈、滤波、耦合等功能的SPASER 器件的一般性结构的优化设计方法; • (2)研究金属表面离子与增益介质共振产生离子波的物 理机制,并建立物理模型; • (3)建立双稳态SPASER放大器的量子模型,并确定其 工作模式和实现条件; • (4)确立评价SPASER性能的指标体系; • (5)完成典型SPASER放大器制作和整体性能实验。
Atomic energy Exited state
-7 Lifetime 10 S
E2 Metastable state Exciton
Energy transfer
E3 Lifetime 10-3S
Plasmon
E1 Ground state Gain medium Nanoshell
• SPASER是一种表面等离子受激放大辐射 的有源激光工作过程。上图将传统的典型3 能级产生激光过程(a)与SPASER产生激 光激子过程(b)作了对比。(b)描述了 利用银纳米壳和增益介质作为工作介质, 由外界施加的能量所激发的电子—空穴对 在载体分支下释放出激子过程。
E E0 exp(it )
的存在下,电子只沿z方向运动,则电子的运动方程(Drude方程)为:
d 2 m d 2 m 2 eE0 exp(it ) 2 dt dt
• 由此可得:
e 1 E 2 m 1 i 1
• 代入
p nee ,则复数介电常数
E p 4p 4nee
在这个电场的作用下,电子有向左移的倾向,于是产生了振动。如果不考 虑振动能量的衰减,单位体积内的电子气的振动方程式为:
d 2 2 ne m 2 ne eE p 4ne e 2 dt
•
或
d 2 2 p 0 2 dt
式中m为电子的质量,e为电子的电荷量,p为无衰减时的等离子体振动
实验系统 放大系数 波型
量子化模型 时钟模式
物理模型建立与参数整定 中继 反馈 泵浦与受控
SPASER 功能结构确定 金属 增益介质 波导 尺寸选择
SPASER 基础结构与材料选定 量子理论( Quantum theory),纳米等离子光学(Nanoplasmonics)
研究方案的基本技术路线
纳米等离子光学
d d m
m
• SP的电场项为
' sn Redsn / dn
• Spaser汉密尔顿函数形式为:
H • 式中,是增益介质的汉密尔顿函数, p是增益介质 载色体的指标,rp是坐标向量,d(p)是偶极矩 项。
g
• 引入载色体的密度矩阵,通过与汉密尔顿 函数交换的方法可以得到它的方程,用标 准的旋转波近似 ,密度矩阵的非对角元素 p 与时间的关系为 12 12 expit • 式中 是与时间无关的幅值,确定相干增益 12 介质的第p个载色体内进行spasing转换。 引入一个常量 12 来描述偏振豫弛,一个差 p p p n 值 21 作为spasing传输的 22 11 粒子数反转,我们得到密度矩阵的非对角 元素方程: •
• 反馈机制的优化 • 基于当前的纳米等离子光学技术,特别是无损90度转向波 导技术,为SPASER双稳态放大器增加反馈通道在技术上 提供了条件,结构中将构成一个基本的SP波反馈放大系 统,在这方面开展如下研究: • i) 利用纳米等离子光学计算反馈部分的传输矩阵。给出不 同反馈结构下的反馈信号传输模型,包括反馈信号的强度, 信号相位和光相位的传输特性; • ii)采用金属-介质波导直接将输出反馈到输入端,得到信号 波的相干反馈,在相干反馈作用的基础上进一步研究、建 立SP波反馈放大系统的一般性理论; • iii)考虑双稳态放大器的非线性特征,引入反馈系统将会对 信号的波形产生影响,设计中通过反馈调节,优化系统的 传输特性; • iv)通过反馈理论讨论放大系统的稳定性条件,反馈信号的 相位和SP波相位关系是重要的影响因素,必须恰当调整 和抑制。此外,附加的反馈会影响到腔的特性,在设计中 采用了寄生振荡的抑制方法。
电中的等离子体是一种高温等离子
体,电荷密度比金属中的低。
• 在一个LSP结构中如果存在增益介质,通过 表面等离子激元与受激原子间的耦合,可 以产生与激光类似的受激放大过程。这就 是spaser(surface plasmon amplification by stimulated emission of radiatio,表面等 离子受激辐射放大) 。
•n •
p 的方程可以用与H交换的标准方式得到。 21
• SP的受激辐射可以表述为他们是由增益介 质的相干偏振激发。相应的方程可以运用 汉密尔顿函数得到,加入 n 的SP豫弛可以 得到:
• 这些方程是齐次的,通常有零解,当在某 些条件下有奇异解,在物理上是自发对称 破缺的结果。
• 通过进一步讨论可知,高品质因数Q,载色 体的高密度以及载色体跃迁的大的跃迁偶 极子对于spasing的存在很重要。 • 小的模式体积Vn意味着spaser中的强反馈 , 并且这是一个量子效应,没有经典对应。
* ( ) 0
• 上节所述的是金属内部的等离子体振动,即体积等离子体振动(Volume plasma oscillation)。而在金属表面也存在电荷密度振动,称为表面 等离子体振动,其角频率ωs与体积等离子体的不同,它们之间存在以下 关系:
p
2
• 若金属表面覆盖有介电常数为的薄层,则这种特殊表面的等离子体振 动的角频率ms为:
其它需要深入研究的问题
• • • • 并行工作过程中的色散补偿和平坦 并行传输时模式竞争的分析 建立器件的量子模型 量子涨落特性对器件性能的影响
•谢谢
SPP原理简介
因为金属中的价电子可以自由移动,入射光可能激起电子气的纵向振动。 如果由于入射电子的作用,金属中电子向右移动了一段距离,因此在右 边就有了电子堆积。设ne为电子密度,右边出现的面电荷密度为-nee,左 边的面电荷密度为+nee,则金属的极化强度p为:
p nee
由极化产生的电场Ep为:
• 研究SP腔共振模式和Q值特性,特别是在 附加输入输出结构条件下,对SP波模式和 Q值的影响,确立结构和材料参数与器件性 能的关系,寻找这类器件的通用优化设计 方法。 • 由于SPASER与传输结构的SP波耦合不是 直接与空间电磁波耦合,其耦合效率要通 过专门计算确定
器件的进一步优化设计
• 中继作用的优化 • 表面等离子波在传输过程中,由于金属的欧姆损耗和其他材料吸收作 用等会导致SP波的严重衰减,一般用SP波的传输长度作为衡量衰减 效应的指标。如何增加SP波的传输长度是目前报道最多议题之一, 利用增益介质实现传输长度是被最直接的方法。 • 本项目研究的SPASER双稳态放大器在SP波信号传输的中继放大性 能优化除了在结构设计特殊考虑之外,在性能指标上进行了针对性基 础实验。 • 要保证信号得到有效放大,应首先确定放大器的双稳态阈值,并研究 传输部分的衰减性质,得到放大器的有效工作范围。而双稳态的输出 性能主要由激发态的峰值决定。通过对材料参数和泵浦强度的调节得 到合适的放大系数。 • 从增益介质到SP的能量转换速率,SP载色体的驰豫率等一系列驰豫 时间参数影响到双稳态的弛豫效应,设计中,分别用数值模拟和实验 相结合的方法测量这些参数,并对这些驰豫时间参数进行优化,如在 重点考虑驰豫时间参数时,结构中用金来代替银。
金属—增益介质
量子化模型
SPASER基础结 构与材料选择
SPASER放大器 结构功能
物理机制建立 与参数整定
SPASER器件 实验系统