真空计使用说明新版
真空计PSG500说明书
注意
注意: 真空元件
污垢和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损
管
坏的措施.
克
克
克
克
克
克
克
长管
克
长管
克
(毫巴)
压强范围低于 1 毫巴的校准因数
压强读值
气体类型 校准因素 C
气体类型
校准因素 C
空气,
水蒸气 氟里昂 12
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件将增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, Ni, NiFe
W Ni
1
INFICON 控制器满足这些要求.
内部容积
管
允许压强 允许温度
工作温度 真空连接
灯丝 贮存
相对湿度 使用 安装方向 保护类型 尺寸
重量
测量讯号与压强的关系
压强 p［毫巴］
长管 长管
巴(绝对) 10,限于惰性气体
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
规管可任何方向安装. 为防止来自测量室的 凝聚物和微粒, 最好选择水平向上的位置,使 用带有对中环和过滤件的密封结构.如规管 安装后需要调整, 确保安装后可通过针尖操 作按键控制 (→”调整真空计”).
ZDF-IV复合真空计使用说明书
注意：表示必须遵循的信息，如未遵循可能会导致对人身 的伤害和对该真空计的损坏。
表示重要的附加信息和技巧或建议。
正华公司保留对产品外观及设计改进和改变的权利，而无需 事先通知，产品及配件以实物为准。
-1-
2、 技 术 参 数
2.1 电阻单元技术参数:
·规 管 型号:Z J - 5 2 T电 阻规
由 于 该 电阻计 设 计采用 干 燥空气(或 氮 气)校准 而 得出的 工 作曲 线。因此在真空环境下，相对空气（或氮气）的其它气体曲线及 修 正系 数 和等效 氮 压力公 式 如下：(仅 供 参考)
显示真空
等效真空
气 体 修 正 系 数K 气体
修 正 系 数K
P e ff (等 效 真 空) = K×P (显 示 真 空)
-6
-8
1×10 ～1×10 Pa不大 于±20%
·规管去气方式：轰击去气。
-2
-8
·有 效控制 范 围： 5×1 0 ～5×1 0 P a
2.3 其它参数
·控制输出模式：继电器触点通、断输出。每一组输出为一 对常闭和一对常开。
·控 制负载 ：A C 220V/1A（DC2 8 V / 5 A） 无感 负 载。 ·工 作电源 ：A C 220V±1 0%/50HZ。 ·功 率：最 大 功率约60W。 · 工 作 环 境 温 度 ：0～4 5 0C。 ·工 作相对 湿 度＜85%。 ·外形尺寸及重量参见附录。
2.2 电离单元技术参数:
· 测 量 范 围:1×1 0 -1～1×1 0 -8P a
·规 管型号: ZJ-12热阴 极 电离规
-1
·规 管灵敏 度 ：0. 0 7 5 ± 1 5 % P a 。
复合真空计说明书
复合真空计说明书复合真空计是一种用于测量真空度的仪器，它由多个部件组成，包括压力传感器、控制器、显示器等。
本文将详细介绍复合真空计的原理、使用方法以及注意事项。
一、原理复合真空计的原理是基于热电效应和热导率的测量原理。
当真空度发生变化时，热电偶的电势差也会发生变化，通过测量电势差的变化，可以得出真空度的变化。
同时，复合真空计还可以通过测量热导率的变化来确定真空度。
二、使用方法1.准备工作在使用复合真空计之前，需要进行一些准备工作。
首先，需要将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮或受到其他污染物的影响。
其次，需要将仪器的各个部件连接好，并将控制器和显示器连接到电源上。
2.校准仪器在使用复合真空计之前，需要对仪器进行校准。
校准的目的是确保仪器的测量结果准确可靠。
校准的方法是将仪器放置在已知真空度的环境中，然后根据测量结果进行调整。
3.测量真空度在进行测量时，需要将复合真空计放置在待测物体的附近，然后打开仪器的电源，等待一段时间，直到仪器的显示屏上显示出当前的真空度。
如果需要连续测量，可以将仪器连接到计算机上，通过软件进行数据记录和分析。
三、注意事项1.避免受潮复合真空计是一种精密仪器，需要避免受潮或受到其他污染物的影响。
在使用过程中，应该将仪器放置在干燥、通风的地方，避免受潮。
2.避免碰撞复合真空计的各个部件都非常精密，需要避免碰撞或受到其他机械性的影响。
在使用过程中，应该轻拿轻放，避免碰撞。
3.避免过度使用复合真空计是一种精密仪器，需要避免过度使用。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的使用时间和使用频率，避免过度使用。
4.定期维护复合真空计需要定期进行维护，包括清洁、校准等。
在使用过程中，应该遵循使用说明书上的维护周期和维护方法，保证仪器的正常运行。
复合真空计是一种精密仪器，需要遵循使用说明书上的使用方法和注意事项，才能保证测量结果的准确可靠。
在使用过程中，应该避免受潮、避免碰撞、避免过度使用，并定期进行维护。
u型真空计使用方法
u型真空计使用方法
U型真空计是一种常见的真空测量仪器，广泛应用于工业、科研等领域。
本文将详细介绍U型真空计的使用方法，帮助您更好地掌握这一设备。
一、准备工作
1.确保U型真空计处于完好无损的状态，连接好电源。
2.检查真空计内部是否有杂质、水分等，以免影响测量精度。
3.准备好需要测量的真空系统，确保系统密封良好。
二、操作步骤
1.开启U型真空计的电源，预热一段时间，通常为10-30分钟。
2.将U型真空计的测量端口与真空系统连接，确保连接紧密。
3.观察U型真空计的读数，当示数稳定后，记录下当前的真空度。
4.若需进行连续测量，可定期记录真空度数据，以便分析系统的工作状态。
5.测量结束后，关闭U型真空计的电源，断开与真空系统的连接。
三、注意事项
1.避免在高温、高湿、强腐蚀性气体环境下使用U型真空计，以免影响设备性能。
2.使用过程中，避免碰撞、跌落U型真空计，以免损坏设备。
3.定期对U型真空计进行校准，确保测量精度。
4.遵循设备的使用说明书，不得随意拆卸、改装U型真空计。
5.若U型真空计出现故障，请及时联系专业维修人员，切勿自行修理。
四、维护与保养
1.保持U型真空计的清洁，定期擦拭设备表面。
2.检查U型真空计的连接部件，如有磨损、损坏，及时更换。
3.储存U型真空计时，避免与腐蚀性物质接触，保持干燥、通风。
通过以上介绍，相信您已经掌握了U型真空计的使用方法。
电阻真空计使用说明书
读
06H
预置单寄存器
把数值写入一个保持寄存器
写
08H
通信回路侦测
测试通信回路
读
读取保持寄存器：
MODBUS-ASCII格式
主机发送：
1 Byte
2 Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
03
寄存器地址
字节1
寄存器地址字节2
00
01
校验码
主机发送:010300030003B6\CR\LF
即：3AH 30H 31H 30H 33H 30H 30H 30H 33H 30H 30H 30H 33H 42H 36H 0DH 0AH
真空计应答:010300021E02A2\CR\LF
即：3AH 30H 31H 30H 33H 30H 30H 30H 32H 31H 45H 30H 32H 41H 32H 0DH 0AH
使用说明书
INSTRUCTIONS
QQ419129686
简介
HRG-52电阻真空计是以Pirani电阻规在不同真空环境下体现不同热传导特性为原理而研发的一款低真空测量仪器。它具有测量准确、使用方便、响应迅速、性能稳定等特点，特别适应于从常压到0.1Pa非腐蚀性气体环境的真空度测量。
ZDF-IV复合真空计使用说明书
2A 21 4 3
设定 控制输出端 设定 控制输出端 设定 控制输出端 设定 控制输出端 电阻规管插口
电离规管插口 收集极插口 电源插口
保险
接地端
Z D F -Ⅳ- L E D后 面 板
真 空 计 前/后 面 板 功 能 图: Z D F -Ⅳ- L E D前 面 板
-6-
电 阻 规( 皮 拉尼 规 )以 气体 分 子热传 导 方式来 检 测真空 ， 这 种热传导电阻规在低压力（真空）下，气体传热量与气体的摩尔 质量，气体分子温度，热丝表面等有关。因此不同种类的气体对 电阻规的灵敏度不同。
1 21 2
4 34 3
电源开关
发射电流指示灯 真空显示指示灯 关闭电离按键 开启电离按键 去气按键
设定 继电器指示灯 设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 去气指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
满度修正小孔 零点修正小孔
设定 按键 设定 按键 设定 继电器指示灯 设定 继电器指示灯 设定下限指示灯 设定上限指示灯
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3、 工 作 原 理
3.1 电阻单元工作原理
电阻单元采用热传导式电阻真空规（又称皮拉尼规），基于 这种规通以电流的热丝温度是随真空（压力）而变化的。由于温 度的改变导致热丝电阻的变化。因此用测量电阻的变化来测量真 空度。
3.2 电离计工作原理
电 离单元 采 用热阴 极 电离规 。 基于这 种 规 在低压 力 (真 空)
采 用国 际 通用流 行 的2U标 准机 箱 以及PV C彩 色薄 膜 面板 ， 使 真空计外型更为美观、时尚。
5、 使 用 概 述
真 空计 为 一路电 阻 测量和 一 路电离 测量,组合为 复 合真 空 计。 这种复合的电阻单元用于真空系统粗、低真空的测量与控制。 这种复合的电离单元用于高、超高真空测量与控制。 由于电阻单元与电离单元无重叠测量区域，则电离单元应手 动开启电离规灯丝，使其进入真空测量。 为满足真空设备真空度的自动测量，该复合真空计电离单元 的 电离规 可 通过外 控 端口PLC信 号 等 “开启 ”和“ 关 闭”电离规 以 实现 与 真 空 系 统 联 动 ， 确 保 在 适 宜 的 真 空 度“开 启”和“关 闭”电 离 规 ， 避 免了在低真空时使点亮的电离规灯丝氧化，以延长规管寿命。 可通过前面板完成控制点的设定。 可通过前面板零点（真空），满度（大气压）修正小孔，修 正电阻单元零点（真空）和满度（大气压）值。 可通过面板完成去气功能等操作。
testo 552 - 蓝牙数字真空计 使用手册说明书
Testo 552 –蓝牙数字真空计使用手册目录目录1 安全和废物处置 (3)1.1 关于本文件 (3)1.2 安全 (3)1.3 废物处置 (4)2 技术数据 (4)2.1 蓝牙模块 (5)3 仪器描述 (6)3.1 用途 (6)3.2 仪器概述 (7)3.3 显示屏概述 (8)3.4 控制键概述 (9)3.5 连接选项概述 (9)4 操作 (11)4.1 连接 (11)4.2 开/关仪器 (12)4.3 开/关背光 (12)4.4 设置单位和自动关机 (13)4.5 显示温度值 (15)4.6 建立蓝牙® 连接 (16)4.7 操作界面说明 (17)4.8 App 选项 (17)4.8.1 设置 “语言” (17)4.8.2 显示教程 (18)4.8.3 显示德图网址 (18)4.8.4 显示应用程序版本 (18)4.9 标准、图形和表视图 (18)4.10 导出读数.................................................................................................. 19s4.10.1 导出Excel (CSV) (19)4.10.2 导出PDF (19)4.10.3 导出图形 (20)4.11 用作Testo 570的传感器 (20)目录5 维护 (21)5.1 更换电池 (21)5.2 清洁仪器 (22)6 提示与协助 (23)6.1 常见问题 (23)6.2 附件和备件 (23)7 EC 符合性声明 (24)1 安全和处置1 安全和废物处置1.1 关于本文档●该说明书属于仪器的一部分●在本仪器的整个使用寿命内请妥善保管本手册●务必使用完整的原厂说明手册●将产品投入使用之前，请仔细阅读本使用说明书并熟悉产品●请特别注意安全说明和警告提示，以免造成人身伤害和仪器损坏1.2 安全一般安全说明●按照产品的预定用途，在技术数据表中规定的参数范围内以正确方式操作本仪器。
电阻真空计使用说明书
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为下点控制模式，其动作类型如下图所示：
区域控制：
继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区域控制模式，其动作类型如下图所示：
关闭模式：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。
（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。
（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：
（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。
（1）、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：
1 Byte
2 Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CR LF
MODBUS-RTU格式
主机发送：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
2Bytes
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1、复合真空计使用说明
1.1 主要性能：
1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．
热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围：
热偶计：103Pa～10-1Pa
复合计：103Pa～10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa～10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围：220V AC±10%；
消耗功率：≤30W
1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃
湿度：0～85 %
严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320
重量：约7Kg
1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连，并接地。
1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。
手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。
2.操作说明：
本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。
复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。
在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。
在自动方式下。
当热偶规测量值在103～3.5Pa 范围内时，显示的是热偶规的测量值。
≤3.5Pa 时，显示的是电离规的测量值。
当热偶规测量值＜3.5Pa 时，自动启动电离规。
当热偶规或电离规测量值≥4.0Pa 时，自动关闭电离规。
若没有接热偶规或热偶规故障，窗口指示“－、－0”。
热偶规测量值＞5Pa而电离规不能关闭时，窗口指示“－、－1”。
注意：仪器电源没切断前，不能更换规管！
电离规在灯丝关闭状态下，仍有高压！
3.RS232 口通讯协议：
本复合真空计提供一个可与带有RS232 通讯接口的计算机相接的标准
RS232 接口。
电平：±8V－±12V 。
通讯波特率：4800。
数据格式：一个启动位，8 个数据位，一个停止位。
无奇偶校验。
握手信号：由主叫方向仪器发出一个8 位字节的十六进制数30H 。
真空计在接收到有效的握手信号后，将当前显示的信息共 6 位从左至右的发送出去。
采用内码发送。
举例如下：
当前面板显示如下：
显示值：2 3 -1 4 7 -2
次序：1 2 3 4 5 6
热偶计复合计
串口接收到有效的30H字节之后，依1.2.3.4.5.6 的次序送出显示的字符：82H 03H 81H 84H 07H 82H 。
对于底数，最高位（位7）置1表示小数点。
对于指数，最高位置1 表示负指数。
如82H 的底数在显示时是2；
81H的指数在显示时是-1。
内码对照如下：
显示码：内码：
0～9 00H～09H
A～F 0AH～0FH
H 10H
L 11H
P 12H
－ 13H
空 14H
建议用RS232 口通讯取数时，频率控制在8 次/秒以内，以免引出测量误差和显示闪烁。
仪器一方RS232接口采用5 芯×16 型航空插头。
接线如下图：
地接收
发送
4.仪器的简易调整及故障判断：
4.1 热偶计规管更换的调整：
4.1.1 本规管采用的是ZJ－54D 。
接好真空规管到真空系统中，在大气情况下，调节面板上“左”方的大气调节电位器，使指示值为103。
4.1.2 抽真空达10-2Pa 以下，调节“左”方的加热电流电位器，使指示值为1.1～1.0-1 Pa。
4.1.3 重复4.1.1 、4.1.2 。
使暴大气指示103、10-2以下为10-1。
4.2复合计规管更换后的调整：与热偶计规管的调整方法相同，只是电位
器换成“右”方指示的大气调节电位器和加热电流电位器。
4.3 电离规测量部分电路正常与否的简易判断法：
4.3.1 不接电离规和收集板。
接通电源后，先检查板上是否有±15V电源。
4．3．2 在4.3.1 正常的情况下，用200mV 档测量T2－GND应接近于0mV，否则调整VT7 ，使之为0mV 左右。
再测T3～GND，也应为0mV左右。
如果相差太远则可调整VT12使之为0mV 左右。
在上述测量的基础上，再测T3－GND ，并用手轻轻地碰几下“I+”端，
应有±100～±200mV 左右的显示值。
上述说明测量部分正常。
4.3.3 再测J3 端子的165V－AGND 的电压，应有165±2V的电压。
灯丝端与GND 之间，应有＋45V±1.5V 电压。
4.3.4 断电拨掉J7插头，接上未开封的ZJ－10电离规后，再打开电源，规管灯丝应亮。
5.最易出现的故障：
5.1 收集极接头断线或接触不良。
这时电离规指示值为10-5～10-6指示级，处理：检查并接好、接紧。
5.2 后面板上接头接触不良。
处理：多插拔儿次。
在断电情况下用万用表检查，是否接通。
5.3 机器内接头因振动或氧化而接触不良。
处理：在断电情况下，将可插拔部分插拔几次。
集成电路用手压一二下。
5.4 上述处理仍不见效，除非很有经验，厂家不建议用户动烙铁，应完整地交厂家维修。
5.5 机内有二个变压器，一个变压器提供2组18V，1组9V电源，一个提供18V AC /1A , 170V AC/0.1A 电源。
接线时，务必参照印制板上的字符说明，并反复校对后进行，千万不可接错。
5.6 用户使用不当造成的损坏，厂家将实行有偿维修。
（后附接线图）
JL－10A 复合真空计执行标准：
JJG587－89 、JJG256－81 、JJG1050－96 、JJFl062－1999 、GB6587 、JJG622－89 、GB4706
计量许可证：湘制04000137号。