真空计PSG500说明书
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真空计培训教材资料
P=10 0.778(U-C) P:实际压力; U :输出电压; C:常数 (mbar:6.143; Torr:6.304; Pa:3.572) 例如:某规管测量的输出信号为6.14 V 那么实际压力为P=10 0.778(6.14-6.143) =1.0 mbar
9
皮拉尼规 PSG ---维护 1. 清洗规管
1
220ຫໍສະໝຸດ BPG400: 测量2.4x10-2 mbar ~~1000 mbar 皮拉尼工作 5.5x10-3 mbar ~~2.4x10-2 mbar 熱电离规与皮拉尼规共
同工作
5.5x10-3 mbar 以下熱电离规工作，皮拉尼保护 3.2x10-2 mbar 熱电离灯丝因保护关闭
23
复合规BPG------维护 满量程调整处
25
BPG400: 维护
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行 除气主要目的是清除灯丝污染 除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA 除气时显示值偏大 除气3分钟自动结束 除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活
26
复合规BPG------常见故障
故障信息
可能原因
电气连接口
FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
7
皮拉尼规 PSG ---信号输出
1 输出电压范围:0-10.0V； 2 测量信号范围：1.9-10.0V； 3 灯丝故障：<0.5V； 4 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级)
清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点
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皮拉尼规 PSG ---维护 1. 清洗规管
1
220ຫໍສະໝຸດ BPG400: 测量2.4x10-2 mbar ~~1000 mbar 皮拉尼工作 5.5x10-3 mbar ~~2.4x10-2 mbar 熱电离规与皮拉尼规共
同工作
5.5x10-3 mbar 以下熱电离规工作，皮拉尼保护 3.2x10-2 mbar 熱电离灯丝因保护关闭
23
复合规BPG------维护 满量程调整处
25
BPG400: 维护
除气
除气只能在压力低于 7.2E-6 mbar 以下进行 除气主要目的是清除灯丝污染 除气时收集极温度700度,除气功率4W,16mA 除气时显示值偏大 除气3分钟自动结束 除气可通过接口，或由连接的显示仪表激活
26
复合规BPG------常见故障
故障信息
可能原因
电气连接口
FCC68 接线: 针1 电源14~32 V 针2 电源地 针3 测量信号输出 针5 信号地 针6,8 触点输出
7
皮拉尼规 PSG ---信号输出
1 输出电压范围:0-10.0V； 2 测量信号范围：1.9-10.0V； 3 灯丝故障：<0.5V； 4 输出电压与压力的关系式:(对数输出 1.286V/量级)
清洗步骤: 1 移开灯丝部分的挡板 2 加入酒精,浸泡5 分钟 3 倒出酒精,放至干燥 4 安装挡板 5 连接开机调整零点
莱宝真空产品说明书Center Two-Three 真空规管控制器
仅供参考�如有疑义以英文版说明书为准
目录
1 引言 .............................................................................................................. 8 1.1 有效性 ....................................................................................................... 8 1.1.1 样本号 .................................................................................................... 8 1.1.2 固件版本................................................................................................. 8 1.1.3 型号铭牌................................................................................................. 8 1.2 指定用途 ................................................................................................... 9 1.2.1 责任与担保 ............................................................................................. 9 1.3 产品型号 ................................................................................................... 9 1.4 安全 ........................................................................................................... 9 1.4.1 人员资质................................................................................................. 9 1.4.2 危险图示............................................................................................... 10 1.4.3 通用安全规程 ....................................................................................... 10 2 技术数据 .................................................................................................... 12 2.1 技术数据 ................................................................................................. 12 2.1.1 机械数据............................................................................................... 12 2.1.2 环境 ...................................................................................................... 13 2.1.3 运行 ...................................................................................................... 13 2.1.4 标准 ...................................................................................................... 13 2.2 电源连接 ................................................................................................. 13 2.3 通道 ......................................................................................................... 14 2.3.1 传感器连接 ........................................................................................... 14 2.3.2 传感器电源 ........................................................................................... 14 2.3.3 测量 ...................................................................................................... 14 2.4 转换功能 ................................................................................................. 15 2.4.1 转换功能继电器 ................................................................................... 15 2.4.2 故障信号继电器 ................................................................................... 16 2.5 输出 ......................................................................................................... 16
目录
1 引言 .............................................................................................................. 8 1.1 有效性 ....................................................................................................... 8 1.1.1 样本号 .................................................................................................... 8 1.1.2 固件版本................................................................................................. 8 1.1.3 型号铭牌................................................................................................. 8 1.2 指定用途 ................................................................................................... 9 1.2.1 责任与担保 ............................................................................................. 9 1.3 产品型号 ................................................................................................... 9 1.4 安全 ........................................................................................................... 9 1.4.1 人员资质................................................................................................. 9 1.4.2 危险图示............................................................................................... 10 1.4.3 通用安全规程 ....................................................................................... 10 2 技术数据 .................................................................................................... 12 2.1 技术数据 ................................................................................................. 12 2.1.1 机械数据............................................................................................... 12 2.1.2 环境 ...................................................................................................... 13 2.1.3 运行 ...................................................................................................... 13 2.1.4 标准 ...................................................................................................... 13 2.2 电源连接 ................................................................................................. 13 2.3 通道 ......................................................................................................... 14 2.3.1 传感器连接 ........................................................................................... 14 2.3.2 传感器电源 ........................................................................................... 14 2.3.3 测量 ...................................................................................................... 14 2.4 转换功能 ................................................................................................. 15 2.4.1 转换功能继电器 ................................................................................... 15 2.4.2 故障信号继电器 ................................................................................... 16 2.5 输出 ......................................................................................................... 16
PerkinElmer Clarus 500气相色谱 质谱仪说明书
简爱比作花的作文你们读过《简爱》这本书吗？我可喜欢啦！在我心里，简爱就像一朵无比特别的花。
简爱，她没有让人惊艳的外表，也没有高贵的出身，可她有着一颗勇敢而坚定的心。
这不就像那小小的野菊花吗？野菊花生长在山坡上、田野边，没人精心照料，却能顽强地绽放。
记得书里简爱小时候，在舅妈家受尽了欺负。
“哎呀，那日子得多难熬啊！”可是她没有低头，没有放弃。
就像那在狂风中依然挺立的花朵，无论风怎么吹，都不会倒下。
在寄宿学校里，条件艰苦，简爱也没被困难打倒。
她努力学习，不断提升自己。
这难道不像那努力吸收阳光雨露的花苞，一点点积蓄力量，等待绽放吗？后来，简爱成为了家庭教师，遇到了罗切斯特先生。
她没有因为罗切斯特的财富和地位而迷失自己，而是坚持自己的爱情原则。
“哇，这得需要多大的勇气啊！”这多像那朵在百花丛中，依然保持独特的花，不随波逐流，坚守自我。
有一次，我和小伙伴们讨论《简爱》。
“我觉得简爱太倔强了！”一个小伙伴说。
“才不是呢！”我立刻反驳道，“那是她的坚持，她知道自己想要什么。
”“可是她也吃了好多苦呀。
”另一个小伙伴感叹道。
“那又怎样？”我激动地说，“就像花朵经历风雨才能开得更灿烂呀！”简爱的爱情之路也充满了波折。
当她发现罗切斯特先生已有妻子时，毅然离开了他。
这是多么艰难的决定啊！但她就像那果断舍弃残枝败叶的花朵，只为了追求真正的美丽和完整。
最终，简爱获得了属于自己的幸福。
这就如同那历经磨难终于盛开的花朵，散发着迷人的芬芳。
简爱，她不就是一朵在逆境中绽放的花吗？无论环境多么恶劣，她都能绽放出属于自己的光芒。
朋友们，简爱这朵花是不是让你们也深受感动呢？反正我觉得，她就是我心中最了不起的那朵花，永远绽放，永不凋谢！。
真空计培训资料(PDF 62页)
真空测量仪器培训
培训目的： 了解常用规管的工作原理 知道如何选择合适的规管 真空规管的故障诊断 真空规管的清洗维护 真空规管的调整校准 备件订购
2
内容 皮拉尼规 (PSG and PCG) 熱电离规 (BPG400, BCG450, HPG400) 冷电离规 (PEG) 显示器（VGC40X）
解决方法
输出信号小于0.2 V 或 电源没有接入规管或 1)关机再开机
一直小于0.29V
接触不良
2)检查连线及电源
输出5X10-4 mbar 或1.55V 4 放气至大气压,等2分钟; 5 调整电位器Atm ,使规管输
出1X10+3 mbar 或10.00V
12
皮拉尼规 PSG ---维修
常见故障:
1 输出信号< 0.5V 可能原因: 无电源 需要调整 灯丝故障
2 真空测量不准确 可能原因: 零点漂移,需调整 灯丝污染,需清洗
3
皮拉尼规 PSG
皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101 PCG400（复合规）
3
皮拉尼规管工作原理 皮拉尼: 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气 体成分成比例关系.
5
皮拉尼规管工作原理
Heat transport through the gas:
3 其它故障或无法解决,请与维修部门联系
13
PSG: 灯丝检查
检查灯丝阻值
PSG400 (2 wires)
51 Ohm +/- 5%
51 Ohm +/- 5%
PSG100/101 (1 wire)
PSG100: 87 Ohm +/- 5%
PSG101: 50 Ohm +/- 5%
培训目的： 了解常用规管的工作原理 知道如何选择合适的规管 真空规管的故障诊断 真空规管的清洗维护 真空规管的调整校准 备件订购
2
内容 皮拉尼规 (PSG and PCG) 熱电离规 (BPG400, BCG450, HPG400) 冷电离规 (PEG) 显示器（VGC40X）
解决方法
输出信号小于0.2 V 或 电源没有接入规管或 1)关机再开机
一直小于0.29V
接触不良
2)检查连线及电源
输出5X10-4 mbar 或1.55V 4 放气至大气压,等2分钟; 5 调整电位器Atm ,使规管输
出1X10+3 mbar 或10.00V
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皮拉尼规 PSG ---维修
常见故障:
1 输出信号< 0.5V 可能原因: 无电源 需要调整 灯丝故障
2 真空测量不准确 可能原因: 零点漂移,需调整 灯丝污染,需清洗
3
皮拉尼规 PSG
皮拉尼规型号： PSG400/S PSG050 PSG500 PSG100/101 PCG400（复合规）
3
皮拉尼规管工作原理 皮拉尼: 热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气 体成分成比例关系.
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皮拉尼规管工作原理
Heat transport through the gas:
3 其它故障或无法解决,请与维修部门联系
13
PSG: 灯丝检查
检查灯丝阻值
PSG400 (2 wires)
51 Ohm +/- 5%
51 Ohm +/- 5%
PSG100/101 (1 wire)
PSG100: 87 Ohm +/- 5%
PSG101: 50 Ohm +/- 5%
真空计使用说明新版
1、复合真空计使用说明1.1 主要性能：1.1.1 本复合真空计由一个热偶计和一个宽量程的复合真空计构成．热偶采用单一的一支ZJ—54D 热偶规管进行测量。
复合真空计用一支ZJ－54D 热偶规和一支ZJ－10 电离规进行测量。
1.1.2 测量范围：热偶计：103Pa～10-1Pa复合计：103Pa～10-4Pa 。
其中电离规3.5Pa～10-4Pa。
1.1.3 本复合真空计配有RS232 接口，可与带相应接口的计算机联机。
测量数据由计算机进行管理。
1.1.4 供电：本复合真空计采用单相220V 交流供电。
电压范围：220V AC±10%；消耗功率：≤30W1.1.5 使用和储存环境：温度：5℃～35℃湿度：0～85 %严禁在高温潮湿和有腐蚀性气体的环境下工作和储存。
严禁在工作时猛烈碰撞。
1.1.6 机箱尺寸：宽×高×深＝480×119×320重量：约7Kg1.1.7 出厂时规管引线均为5m。
最长建议不要长于10m。
1.1.8 RS232 接口建议采用屏蔽电缆。
屏蔽线与机壳相连，并接地。
1.1.9 电离规的启动方式：由面板上的自动、手动开关控制。
自动方式下，热偶规测量值<3.5Pa时接通，>4.0Pa 时关闭。
手动方式下，由面板上的二个ON和OFF按纽控制。
当真空度大于10Pa时，请不要打开电离规。
2.操作说明：本复合真空计是采用单片机技术的智能化仪器。
打开电源后，真空计初始化显示“HZ HZ HZ HZ”初始化完后,热偶计直接进入工作状态。
没有接入规管或规管暴露在大气中时，都是显示103Pa。
复合计：分手动和自动启动方式，在面板上，设有电离规状态指示灯。
电离规关闭或没接或故障时，ZJ－10 指示灯亮。
在手动方式下，在没有接通电离规之前，若热偶规正常，则指示热偶规测量的真空值。
接通电离规后，显示的是电离规测量的真空度。
电离规测量值≥5.0Pa 时，自动关闭电离规灯丝。
真空计说明书(中)
宁波爱发科真空技术有限公司
使用本产品前
非常感谢您选购本公司产品｡ 在您拿到本产品后，请先确认本产品型号是否与您订购的一致及在运输过程中是否损坏｡
！ ！
警告
为了您能在更长的时间内使用本产品，在您安装、操作、检查或保养前，请务 必仔细阅读本说明书，并充分理解安全方面的注意事项、本产品的规格及操作方 法上的相关事项｡
注意
表示如果使用错误，会造成使用者中度受伤或造成设备损坏，致使设备无法正 常运转｡
I
安全方面注意事项
为了您能安全使用Gatch系列传感器单元（以下称本传感器），请务必仔细阅读使用说明书几 下述安全方面注意事项｡ 修理 维修等请与产品销售点、本公司或使用说明书上的网址联系｡ 切断电源 万一本传感器发生破损时，请以及却段电源。若继续使用，会导致火灾、触电 等事故｡ 切断电源 万一本传感器出现异常发热或冒烟，或发出异味时，请立即切断电源。若继续 使用，会导致火灾等事故｡ 电源电压 通电前请先确认本传感器使用的电压是否与供电电压一致。电源连接错误可能 导致本传感器或与本传感器连接的机器破损或引起火灾。 过电压范畴属于范畴Ⅰ。 真空容器的压力过大 不可将规管连接在超过大气压的地方。规管内压力超过大气压可能导致规管破 损，及规管从连接处飞出，对人体及周边环境造成伤害。当超过大气压时，请使 用截止阀等，避免规管内压力超过大气压｡ 对气体种类的依赖性 本传感器的压力值及精度会因测量气体的种类不同而异。本传感器的精度是指 测量氮气时的，因此使用氮气以外的气体时应注意压力超出等问题。 禁止分解 不得拆卸分解本传感器，否则可能引起火灾或触电。拆卸后，无法确保本传感 器能否正常工作｡ 禁止改造 不得改造本传感器。若改造将无法保证正常运行。另外，有引起火灾、触电的 危险。改造后，无法确保本传感器能否正常工作｡ 使用电源 本传感器必须与安全接地的且符合超低电压相关规定 （EN61010SELV-E） 的电源、 评价单元连接。另外，连接时请使用保险丝｡ 接地保护 本传感器务必与接了地线的真空容器连接。 KF法兰内请使用可导电的金属压板。 若不进行正确接地，不仅无法显示正确的压力，而且可能导致本传感器及与本传 感器连接的机器破损或引起火灾｡ 使用环境 本传感器请在指定的环境范围内使用｡ 使用环境 本传感器避免在任何可能溅到水的场所，及在湿度较高的外露产所使用，若本 传感器被水溅到，将导致故障、漏电及火灾｡ 异物进入 注意避免金属类物质或易燃物质从开口处进入到本传感器内部｡
BPG真空规管中文手册精编版
B P G真空规管中文手册公司内部编号：（GOOD-TMMT-MMUT-UUPTY-UUYY-DTTI-IR 090热阴极电离复合真空计使用说明书BG 804 171 BE目录产品标识有效范围使用范围工作原理注册商标1 安全1.1 使用符号1.2 人员素质1.3 一般安全规则1.4 赔偿责任与保修2 技术参数3 安装3.1 真空连接3.1.1 拆卸和安装电子学单元3.1.2 安装延伸件3.2 电源连接3.2.1 与COMBIVAC IT23一起使用3.2.2 与其它测量仪器一起使用4 运行4.1 测量原理，测量特性4.2 真空计工作原理4.3 除气4.4 显示器4.5 RS232C接口4.5.1 功能说明IR090输出IR090输入5 维护5.1 维护5.2 真空计调整5.3 真空计清洗5.4 安装障板5.5 更换障板5.6 更换规管5.7 故障查找6 拆卸7 产品返修8 附件9 备件10 废物处理附录A. 测量讯号与压强的关系B. 气体种类与压强的关系污染申报表参阅本说明书中的章节，采用符号（→XY）。
参阅其它文献，采用符号（→［Z］）。
产品标识与Leybold Inficon联系时，请标明产品标牌上给出的信息。
将信息复制在标牌的复印件上。
有效范围本说明书适用于下列件号的产品不带显示器120 90 （法兰DN 25 ISO-KF）120 92 （法兰DN 40 CF-R）带显示器120 91 （法兰DN 25 ISO-KF）120 94 （法兰DN 40 CF-R）产品的件号在标牌上标明。
本公司保留对说明书不预先通知的技术更改权。
使用范围IR090用于在压强5×10-10…1000毫巴范围内非易燃性气体和气体混合物的真空测量。
真空计规管是SKY Smart真空计规管系列的一个组成部分。
可与COMBIVAC IT23或其它测量仪器一起工作。
工作原理在整个测量范围内，热阴极电离复合真空计有连续的测量特性。
皮拉尼标准真空计PSG500_中文说明书
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误 差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
要求.
注意
注意: 真空元件
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误 差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
要求.
注意
注意: 真空元件
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要求.
注意
注意: 真空元件
污垢和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损
管
坏的措施.
克
克
克
克
克
克
克
长管
克
长管
克
(毫巴)
压强范围低于 1 毫巴的校准因数
压强读值
气体类型 校准因素 C
气体类型
校准因素 C
空气,
水蒸气 氟里昂 12
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件将增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, Ni, NiFe
W Ni
1
INFICON 控制器满足这些要求.
内部容积
管
允许压强 允许温度
工作温度 真空连接
灯丝 贮存
相对湿度 使用 安装方向 保护类型 尺寸
重量
测量讯号与压强的关系
压强 p［毫巴］
长管 长管
巴(绝对) 10,限于惰性气体
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
规管可任何方向安装. 为防止来自测量室的 凝聚物和微粒, 最好选择水平向上的位置,使 用带有对中环和过滤件的密封结构.如规管 安装后需要调整, 确保安装后可通过针尖操 作按键控制 (→”调整真空计”).
取下保护盖, 将规管安装在真空系统上.
保存保护盖.
2
长管为 250 °C.
电连接
确认已正确执行真空连接 (→ “真空连接”). 如无现成的传感器电缆, 按下图做一根.
350-068
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
最大
毫米
释放按键. 5 秒钟后规管将回到工作状态, 连接的控制器 显示当前的测量值.
<SP2> 的调整顺序与 <SP1> 相同.
带开关功能的规管
抽空至 p << 10-4 毫巴 (建议) 或至 10-4 … 10-2 毫巴的 压强范围, 等待至少 2 分钟.
卸装
测量讯号
标识端
用针尖按下按键和 HV 进行调整: 规管调整至缺省值
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 > 4 巴 用橡皮密封圈 (O-圈) 的 KF 连接件不能经受这 种压力. 工艺介质可能泄漏, 影响人身安全. 使用带有外对中环的 O-圈..
危险
注意: 保护接地 未正确接地的产品在事故的情况下是十分危险的. 将规管连接到接地的真空室上. 连接必须符合规程 EN 61010 中规定的保护要求: • CF , NTP, VCR 和 UNF连接件满足这些要求. • 带有 KF 法兰的规管, 采用导电的金属夹环. • 带有1/2"管的规管, 采取适当的措施满足这个
拔下传感器电缆. 将规管从真空系统上卸下, 盖上保护盖.
维护,检修
一旦出现严重污染或功能失调,可更换传感器. 因污染损坏的规管不在保修范围内.
如最终用户或第三方对产品执行过任何检修, INFICON 将不再承担保修的责任.
启用规管, 将它工作在大气压下至少 10 分钟.
用针尖 (最大 ø1.1 毫米)和 ATM 进行调整: 将规管缺省 调整至 1000 毫巴 (10 VDC). 按下按键 >5 秒压强值增 大至1200 毫巴 (或, 再次按它, 减至500 毫巴) 直至按键 释放或达到限值.
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
如您使用带有对中环和过滤件的密封件, 检查它是 否清洁, 必要时更换 (→”卸装”).
危险
注意: 功能失调. 如过程通过输出讯号控制, 记住按<SP>键 将抑制测量讯号和输出相应的阈值. 这可导 致功能失调. 仅在您确认不会因功能失调导致损害时才 能按<SP>键.
继电器和灯的状态不受按键的影响.
用针尖 (最大 ø1.1 毫米) 按下按键 <SP1> : 规管切换至开关功能模式和输出当前的下阈值于 测量值输出,约 5 秒钟. 当按键接着保持按下状态 大于 5 秒时, 变更阈值设定值直至按键释放或达到 设定范围.
输出讯号(测量讯号) 电压范围 VDC 测量范围 VDC
电压与压强的关系
误差讯号 V
输出阻抗
Ω
最小负载阻抗 kΩ
响应时间 毫秒
皮拉尼热导原理 5×10-4 … 1000 毫巴
±15% 读值 ±50% 读值 ±50% 读值 1 % 读值
2% 读值
0 … +10.3 +1.9 … +10.0 对数 1.286 V/量级 0 … +0.5 (灯丝断裂)
用途
皮拉尼标准真空计 PSG500, PSG500-S 和 PSG502-S 用于 气体压强范围为 5×10-4 … 1000 毫巴的真空测量. 切勿将真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆气, O2, CO, N2) 精度 (N2)
1 ×10-3 … 100 毫巴 5×10-4 … 1×10-3 毫巴 100 … 1000 毫巴 分辨率 重复性 1 ×10-3 … 100 毫巴
灯
继电器
灭
断开
亮
接通
运行
当加上电源电压后,在脚 2 与 3 之间出现测量讯号 (测量 讯号与压强之间的关系→”技术参数”).
等待 10 分钟的稳定过程, 对于规管的连续运行这是必要 的,与压强无关.
测量值
设点
滞后 (10%阈值)
阈值 时间
危险
注意: 污染的部件. 污染的部件可损害健康和环境. 开始工作前,检查是否有任何部件已被污染. 当 拿取污染部件时必须遵守相关的规定和采取 必要的措施.
皮拉尼标准真空计
可与 INFICON 控制器或其它控制器连接运行.
商标
安全
使用标志 危险
防止任何危及人身安全的信息.
使用说明书
包括:产品符合规定的声明
警告
防止损伤设备与环境的信息.
产品标识
与 INFICON 公司联系时, 请告知产品名牌上的信息. 为便于 参考, 请复制如下提供的产品信息.
注意
正确掌握使用的信息.不注意将导致误功能或设备受损.
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
1 ×10-4 毫巴(1.50 VDC). 按下按键 >5 秒, 压强值上升 至 1 ×10-2 毫巴直至按键释放或达到限值.
电连接
脚 1 电源 脚 2 电源公共端,GND 脚 3 测量讯号
或阈值 SP1/2 脚 4 规管标识端 脚 5 讯号公共端 脚 6,8 继电器 SP2,常闭触点 脚 7,8 继电器 SP1,常闭触点
电源
危险
与真空计规管连接的电源,仪器或控制设备必须 符合极低压保护接地的要求(SELV-E 按 EN 61010 规程). 规管的连接必须通过保险丝.
电源电压 在规管处 纹波
电流耗损 功率耗损 保险丝要求
电连接 传感器电缆 电缆长度
VDC +14 … +30 Vpp ≤ 1 毫安 <500 (最大启动电流) 瓦1 AT 1 (慢熔)
注意
注意: 真空元件 污垢和损坏影响真空元件的功能. 取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损 坏的措施.
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
注意
注意: 真空元件
污垢和损坏影响真空元件的功能.
取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损
管
坏的措施.
克
克
克
克
克
克
克
长管
克
长管
克
(毫巴)
压强范围低于 1 毫巴的校准因数
压强读值
气体类型 校准因素 C
气体类型
校准因素 C
空气,
水蒸气 氟里昂 12
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件将增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.
DIN 1.4301, DIN 1.4305, DIN 1.4435, 玻璃, Ni, NiFe
W Ni
1
INFICON 控制器满足这些要求.
内部容积
管
允许压强 允许温度
工作温度 真空连接
灯丝 贮存
相对湿度 使用 安装方向 保护类型 尺寸
重量
测量讯号与压强的关系
压强 p［毫巴］
长管 长管
巴(绝对) 10,限于惰性气体
PSG502-S (Ni-丝)
350-140 350-142 350-141 350-144 350-145 350-143 350-146
350-147
350-148
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8"NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管) (7/16-20 UNF)
规管可任何方向安装. 为防止来自测量室的 凝聚物和微粒, 最好选择水平向上的位置,使 用带有对中环和过滤件的密封结构.如规管 安装后需要调整, 确保安装后可通过针尖操 作按键控制 (→”调整真空计”).
取下保护盖, 将规管安装在真空系统上.
保存保护盖.
2
长管为 250 °C.
电连接
确认已正确执行真空连接 (→ “真空连接”). 如无现成的传感器电缆, 按下图做一根.
350-068
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
产品说明 型号 编号 出厂号
我们,INFICON,声明下述设备符合有关 用于一定电压限值下的电气设备规程 73/23/EEC 和 有 关 电 磁 兼 容 性 规 程 89/336/EEC 中的条款.
返修原因
皮拉尼标准真空计
使用的工作液体 (在发运前必须排空)
最大
毫米
释放按键. 5 秒钟后规管将回到工作状态, 连接的控制器 显示当前的测量值.
<SP2> 的调整顺序与 <SP1> 相同.
带开关功能的规管
抽空至 p << 10-4 毫巴 (建议) 或至 10-4 … 10-2 毫巴的 压强范围, 等待至少 2 分钟.
卸装
测量讯号
标识端
用针尖按下按键和 HV 进行调整: 规管调整至缺省值
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 > 4 巴 用橡皮密封圈 (O-圈) 的 KF 连接件不能经受这 种压力. 工艺介质可能泄漏, 影响人身安全. 使用带有外对中环的 O-圈..
危险
注意: 保护接地 未正确接地的产品在事故的情况下是十分危险的. 将规管连接到接地的真空室上. 连接必须符合规程 EN 61010 中规定的保护要求: • CF , NTP, VCR 和 UNF连接件满足这些要求. • 带有 KF 法兰的规管, 采用导电的金属夹环. • 带有1/2"管的规管, 采取适当的措施满足这个
拔下传感器电缆. 将规管从真空系统上卸下, 盖上保护盖.
维护,检修
一旦出现严重污染或功能失调,可更换传感器. 因污染损坏的规管不在保修范围内.
如最终用户或第三方对产品执行过任何检修, INFICON 将不再承担保修的责任.
启用规管, 将它工作在大气压下至少 10 分钟.
用针尖 (最大 ø1.1 毫米)和 ATM 进行调整: 将规管缺省 调整至 1000 毫巴 (10 VDC). 按下按键 >5 秒压强值增 大至1200 毫巴 (或, 再次按它, 减至500 毫巴) 直至按键 释放或达到限值.
如规管与 INFICON 控制器连接使用, 可提供校正现行读 值的校准因素 (→ 相关控制器).
规管调整
出厂前规管已校准. 由于长期运行或污染, 可出现零点 漂移. 定期检查零点和调整是必要的. 为调整零点, 一般将规管置于同样环境条件和同样安装 方位. 将规管调整至缺省值. 如已知真实的压强值, 也可调整 至其它压强值 (参考测量).
如您使用带有对中环和过滤件的密封件, 检查它是 否清洁, 必要时更换 (→”卸装”).
危险
注意: 功能失调. 如过程通过输出讯号控制, 记住按<SP>键 将抑制测量讯号和输出相应的阈值. 这可导 致功能失调. 仅在您确认不会因功能失调导致损害时才 能按<SP>键.
继电器和灯的状态不受按键的影响.
用针尖 (最大 ø1.1 毫米) 按下按键 <SP1> : 规管切换至开关功能模式和输出当前的下阈值于 测量值输出,约 5 秒钟. 当按键接着保持按下状态 大于 5 秒时, 变更阈值设定值直至按键释放或达到 设定范围.
输出讯号(测量讯号) 电压范围 VDC 测量范围 VDC
电压与压强的关系
误差讯号 V
输出阻抗
Ω
最小负载阻抗 kΩ
响应时间 毫秒
皮拉尼热导原理 5×10-4 … 1000 毫巴
±15% 读值 ±50% 读值 ±50% 读值 1 % 读值
2% 读值
0 … +10.3 +1.9 … +10.0 对数 1.286 V/量级 0 … +0.5 (灯丝断裂)
用途
皮拉尼标准真空计 PSG500, PSG500-S 和 PSG502-S 用于 气体压强范围为 5×10-4 … 1000 毫巴的真空测量. 切勿将真空计用于测量与空气产生反应的易燃或易爆气, O2, CO, N2) 精度 (N2)
1 ×10-3 … 100 毫巴 5×10-4 … 1×10-3 毫巴 100 … 1000 毫巴 分辨率 重复性 1 ×10-3 … 100 毫巴
灯
继电器
灭
断开
亮
接通
运行
当加上电源电压后,在脚 2 与 3 之间出现测量讯号 (测量 讯号与压强之间的关系→”技术参数”).
等待 10 分钟的稳定过程, 对于规管的连续运行这是必要 的,与压强无关.
测量值
设点
滞后 (10%阈值)
阈值 时间
危险
注意: 污染的部件. 污染的部件可损害健康和环境. 开始工作前,检查是否有任何部件已被污染. 当 拿取污染部件时必须遵守相关的规定和采取 必要的措施.
皮拉尼标准真空计
可与 INFICON 控制器或其它控制器连接运行.
商标
安全
使用标志 危险
防止任何危及人身安全的信息.
使用说明书
包括:产品符合规定的声明
警告
防止损伤设备与环境的信息.
产品标识
与 INFICON 公司联系时, 请告知产品名牌上的信息. 为便于 参考, 请复制如下提供的产品信息.
注意
正确掌握使用的信息.不注意将导致误功能或设备受损.
IP40
［乇］ ［毫乇］
［千帕］
其中 p 压强
U 测量讯号
毫米
c 常数(与压强单位有关)
与气体类型的关系
压强读值(对空气校准的规管) 压强 p［毫巴］
传感器误差 不足界限 超出界限
安装 真空连接
危险
注意: 真空系统中的过剩压力 >1 巴 当真空系统中有压力时打开夹环可导致松脱的 部件或泄放的工艺气体伤害人身. 在真空系统处于压力的情况下,不要打开任何夹环. 使用适合过剩压力状态的夹环..
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
350-067
1 ×10-4 毫巴(1.50 VDC). 按下按键 >5 秒, 压强值上升 至 1 ×10-2 毫巴直至按键释放或达到限值.
电连接
脚 1 电源 脚 2 电源公共端,GND 脚 3 测量讯号
或阈值 SP1/2 脚 4 规管标识端 脚 5 讯号公共端 脚 6,8 继电器 SP2,常闭触点 脚 7,8 继电器 SP1,常闭触点
电源
危险
与真空计规管连接的电源,仪器或控制设备必须 符合极低压保护接地的要求(SELV-E 按 EN 61010 规程). 规管的连接必须通过保险丝.
电源电压 在规管处 纹波
电流耗损 功率耗损 保险丝要求
电连接 传感器电缆 电缆长度
VDC +14 … +30 Vpp ≤ 1 毫安 <500 (最大启动电流) 瓦1 AT 1 (慢熔)
注意
注意: 真空元件 污垢和损坏影响真空元件的功能. 取拿真空元件时,采取适当的确保清洁和防止损 坏的措施.
注意 注意: 污物灵敏区域 用裸手接触产品或部件增大退吸率. 在这区域工作时, 始终戴上清洁的无纤维手套和 使用清洁的工具.