超声波电源的设计
基于频率合成技术超声波电源的设计
科
学
技
术
与
工
程
Ｖｏ． ０ Ｎｏ ５ Ｆｅ ． ０ ０ Ｉ１ ． ｂ２ １
＠ ２ １ Ｓ ｉＴｅ ｈ Ｅｎ ｎ ． ００ ｃ． ｃ ． ｇ ｇ
Ｓ ｉｎ ｅＴ ｃ ｎ ｌ ｇ ｎ ｎ ｉ ｅ ｒ ｇ ｃ ｅ ｃ ｅ ｈ ｏ ｏ ｙ ａ ｄ Ｅ ｇｎ ｅ ｉ ｎ
Ａ ９３ Ｄ ８ ３输 出频 率
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时钟 采用 １ ｚ时 ， Ｎ ｑｉ 采样 定 理可 知 ， 最 ６ＭＨ 由 ｙｕｓ ｔ 其
波、 三角 波 、 波输 出。该 芯 片可通 过 ３线 Ｓ Ｉ 口 方 Ｐ接
与微 处理 器进行 数据通 讯 。其 工作 原理 图如 图 ２所
示 。外部 时钟每 产 生 一个 时 钟 信 号 ， 位 累加 器 就 相 将 累加器 已经 输 出 的 累 积 相 位 与 预 置 相位 增 量 相 加 ， 后 以相 加 的 结果 为 地址 ， 正 弦 波形 Ｒ Ｍ 表 然 对 Ｏ
术 和鉴相器 实现 频 率 跟踪 ， 行 相 位 偏差 调 节 和校 进 正， 达到相 位锁定 和频率跟 踪 的 目的 ， 而降低 开关 从 损 耗提 高整机 效率 。
源 的精确锁相 ， 逆 变器 始 终 工作 于 换 能器 谐 振 频 使 率点 ， 而大 幅度提高 了换能 器 的电声 转换 效率 ， 从 并
超声波发生器电源控制电路
超声波发生器电源控制电路信息发布时间：(2008年8月7日22:02:40 ) 发布者IP地址:信息详细内容:第60324篇:基于PWM大功率超声波电源的设计发布时间:2006年12月30日点击次数:120 来源:电子设计应用作者:内蒙古科技大学机械工程学院苏凤岐汪建新孙建平摘要：本文详细介绍了为驱动磁滞伸缩换能器而设计的一种频率、功率可调式大功率超声波电源,该电源采用由IGBT构成的全桥式逆变主电路,实现了逆变降压和输出电压调控。
控制电路以脉宽调制电路为核心,通过给定信号和反馈信号电压的比较,获得宽度可变的脉冲信号,调节电源的输出电压,并实现对电源的闭环控制。
关键词：IGBT;波形发生器;超声换能器;脉宽调制引言近年来,随着全控制型电子器件和PWM技术的迅速发展,功率超声的应用及其驱动电源的开发已成为热点研究领域之一。
本文介绍的高频换能器驱动电源,采用全桥移相式串联电路拓扑,以单片脉宽调制电路为核心、IGBT功率管为功率开关器件,实现了大功率输出。
它具有效率高、性能稳定、体积小、质量轻和调节方便等优点。
超声波电源的设计超声波电源的组成及原理框图逆变式超声波电源主要由主电路和控制电路两部分组成,其基本原理框图如图1所示。
图1超声波发生器原理框图主电路是将电能从电网传递给负载的电路,其主要作用是减小变压器体积和改善电源的动态品质。
控制电路则主要为逆变主电路提供开关脉冲信号,驱动逆变主电路工作,并借助反馈电路和给定电路来实现对逆变器的闭环控制。
逆变主电路逆变主电路包括输入整流滤波、逆变器和输出滤波三个主要部分,而逆变器则是其核心部件。
逆变器本设计采用的逆变电路为全桥式逆变电路,其优点是：适用于大功率输出,主变压器只需一个原边绕组,通过正、反向的电压得到正、反向的磁通。
因此,变压器铁芯和绕组得到最佳利用,使效率得到提高。
另外,功率开关管在正常运行情况下,最大的反向电压不会超过电源电压,4个能量恢复二极管能消除一部分由漏感产生的瞬时电压,无须设置能量恢复绕组,反激能量便得到恢复利用。
一种基于DDS技术的电磁超声激励电源.
一种基于DDS技术的电磁超声激励电源引言电磁超声是一种非接触式的超声检测方法，不需要与被测对象有任何的物理接触，不需要耦合剂，能够应用于被测对象处于高温、高速、粗糙表面的检测条件下。
因为不接触的特点，所以用来激励电磁超声换能器的激励电源是极其重要的一部分，激励电源要产生高峰值电流、窄脉宽特点的电脉冲。
对于不同的被测物体，采用合适的参数激发电磁超声，使电磁超声换能器的电／声转换效率最大化，也是提高信噪比的关键之一。
因此，设计脉冲串频率、个数、相位均可调的激励电源是非常必要的。
本文设计了一种基于DDS技术的电磁超声波激励电源。
1 电磁超声波激励源组成电磁超声波激励电源主要包括DDS信号发生电路、脉冲串控制电路、功率放大电路、阻抗匹配电路，如图1所示。
为了方便调节激发脉冲的频率、相位和控制激发脉冲的个数，上位机与单片机进行串行通讯，用来设定激励电源的参数，单片机控制DDS芯片AD9850产生频率为1 kHz～2 MHz的可调方波信号，单片机控制可编程逻辑器件(CPLD)MAX7064完成脉冲串的个数和相位的设定。
由于信号发生电路产生的脉冲信号功率较弱，电压幅值低，不足于驱动VMOS管，在脉冲发生电路与功率放大电路之间加一级驱动电路，对信号进行放大。
由信号发生器电路和驱动电路组成控制电路，控制 VMOS管的开通和关断。
在VMOS管电路关断时，高压电源通过充电电阻对电容进行充电；当VMOS 管导通时，电容、VMOS管以及探头(包括阻抗匹配电路)形成放电回路，使得在探头两端能够得到高峰值的窄脉宽电脉冲。
为了使电／声转换效率达到最大化，在功率放大电路与换能器之间增加了阻抗匹配电路，由阻抗匹配变压器和电容组成。
功率放大电路采用半桥功率放大方式，其中，功率开关使用MOSFET模块。
2 激励源硬件实现2．1 DDS原理及电路信号发生电路为了得到最佳的电／声转换，激励频率应当与探头的谐振频率一致，因此要求控制信号的频率可以灵活改变。
超声波电源的设计
超声波电源的设计超声波设备通常需要稳定的直流电源来驱动超声波发生器和传感器。
因此，超声波电源的设计需要满足以下要求：1.工作电压和电流：根据超声波设备的工作需求，确定适当的工作电压和电流。
一般来说，超声波设备的工作电压在10V到100V之间，电流在0.1A到1A之间。
2.稳定性：超声波电源需要提供稳定的电压和电流输出，以确保超声波设备的正常工作。
为了实现稳定性，可以采用电压稳压器、电流稳流器等电路设计。
3.过载和短路保护：超声波设备可能会遇到过载和短路情况，因此超声波电源需要具备过载和短路保护功能。
这通常可以通过采用过载保护电路和短路保护电路来实现。
4.效率：为了提高超声波电源的效率，可以采用高效率的功率变换器来降低能耗。
常用的功率变换器包括开关电源和开关模式电源等。
5.纹波和噪声：超声波电源需要降低输出电压和电流的纹波和噪声水平，以确保超声波设备的正常工作。
可以采用滤波器等电路设计来降低纹波和噪声。
6.温度保护：超声波电源需要具备温度保护功能，以防止过热损坏。
可以采取过温保护电路设计来实现温度保护。
1.分析超声波设备的工作需求，确定电源的工作电压、电流和其他特性。
2.设计电源的基本电路，包括整流电路、滤波电路、稳压电路和保护电路等。
3.选择适当的元器件，包括整流器、滤波电容、稳压器、保护元件等。
在选择元器件时，需要考虑其工作电压、电流以及供应商的信誉度。
4.进行电路仿真和优化，以确保电源设计的稳定性、效率和可靠性。
5.进行实验验证，测试电源的性能和可靠性。
6.优化设计并进行样机制作，最终完成超声波电源的设计。
总之，超声波电源的设计需要综合考虑超声波设备的工作需求，通过合理的电路设计和元器件选择，以实现稳定、高效、可靠的电源供应。
基于DDS的高功率超声波电源的设计
２．Ｇｕｉｌｉｎ Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ ｏｆ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，Ｇｕｉｌｉｎ ５４１００４ ，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｎ ａｄｊｕｓｔａｂｌｅ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ａｎｄ ｐｏｗｅｒ ｏｆ ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ ｐｏｗｅｒ ｓｕｐｐｌｙ ｉｓ ｄｅｓｉｇｎｅｄ．Ｆｉｒｓｔ ｌｙ，ｄｉｇｉｔａｌ ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ ｓｙｎｔｈｅｓｉｚ—
第 ４４卷 第 １１期 ２０１０年 ｌ１月
电 力 电 子 技 术 Ｐｏｗｅｒ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ
Ｖｏ１．４４ ，Ｎｏ．１１ Ｎｏｖｅｍｂｅｒ ２０１０
基于 ＤＤＳ的高功率超声波电源的设计
袁 纵 横 一，魏 常伟
（１．贵 州 民 族 学 院 ，物 理 与 电子 信 息 科 技 学 院 ，贵 州 贵 阳 ５５００２５； ２．桂 林 电 子 科 技 大 学 ，电 子 工 程 学 院 ，广 西 桂 林 ５４１００４）
动 积 分 求 出。超 声 波 在 传 播 时主 要 分 为 近 场 区 和 远 场 区 ，在 近 场 区 域 内 ，超 声 波 的 波 形 从 最 小 值 到 最 大 值来 回变 换 。在 距 离 超 声 波探 头 为 Ⅳ 的位 置 其 能 量 达 到最 大 。距 离 探 头 Ⅳ 以外 的区 域 为 远场 区 ，在 远 场 区域超 声波 能量 逐 渐 减 少 为零 。Ⅳ 的计 算式 可表示为 ：
２ 超 声 波 传 播 特 性
件 ，它 是 超 声检 测 系 统 中最基 本 的单 元 之 一 。对 于
超声波电源驱动电路的设计
超声波换能器驱动电路的设计
壹
针对过流产生时，设计的软件和硬件电路双重封锁PWM信号。 创新点： 创新点： 1 2 解释： 解释： 硬件电路上双重控制PWM 信号。当没有过流发生时， EXB841的5引脚不输出故 障信号，此时5引脚输出 的是高电平，三极管VA0 不导通，此时，与门1引 脚为高电平，由单片机产 生的PWM使三极管VA1导 3 通，此时，与门2引脚为 高电平，与门输出高
贰
针对EXB841芯片内部提供的-5V负偏压不足重新设计的电路。 创新点： 创新点： 解释： 解释： EXB841使用单一的20V电 源产生+15V和-5V偏压。 在高电压大电流条件下， 开关管通断会产生干扰， 使截止的IGBT误导通，针 对负偏压不足的问题，设 计了外部负栅压成型电路， 用外接8V稳压管VA9代替 了EXB841芯片内部的5V VA9为8V稳压管 稳压管。电源电压升为 24V。
超声波换能器驱动电路的设计
EXB841芯片简介
EXB841芯片包含正常开通过程、正常关断过程和过流保护动作三项功能. 当1 4和15两脚 间外加PWM控制信号时候，15和14脚有10mA ～ 25mA，在GE两端产生约15v ～ 18v的 IGBT开通电压；当触发控制脉冲电压撤消时，在GE两端产生约-5.1 V的IGBT关断电压. 过流保护动作过程是根据IGBT的CE极间电压Uce的大小判定是否过流而进行保护的，
超声波换能器驱动电路的设计
壹
针对过流产生时，设计的软件和硬件电路双重封锁PWM信号。 创新点： 创新点： 1 2 解释： 解释： 电平，三极管VA2导通， 驱动EXB841芯片工作， 当出现过流时，5引脚输 出故障信号，一路信号输 出至触发器S端，此时，S 端为高电平，Q端输出高 电平，使三极管VA0导通， 此时，与门1引脚为低电 3 平； 另一路信号，输至单 片机，经过单片机
低压电源驱动的超声波发射接收电路设计
低压电源驱动的超声波发射接收电路设计摘要：本文通过分析常见的超声波发射电路，在此基础上，研究出由低压电源驱动的超声波发射接收电路。
本电路只需要较低直流电源供电，电路开关是场效应管的元件，其安全系数相对较高。
采用电压跟随电路、隔离电路设计，能够将无关电路对接受电路作用减弱。
本文结合LF256（野外驱鸟设备）震荡的问题实例开展分析，提出低压电源驱动的超声波发射接收电路设计，解决了原本存在的超声波信号接收问题。
关键词:超声波；发射接收电路；电压跟随；自激振荡；滤波引言：通过研究分析常见超声波发射电路原理，构建了性能可靠、稳定的发射超声波电路。
本文提出的这一电路，能够在储能电感瞬时放电时产生较高的功率脉冲，以此激励超声转换器，促使其发挥作用，脉冲电压最高可达几百V。
同时，超声波接受电路的电压跟随器，精准可靠，操作简单。
1超声波发射的电路1.1超声波发射的电路为切实满足实际需求，超声波产生的发射超声波电路形式多样化。
当前，常见的主要包括三种，分别为RLC谐振类方法、脉冲电源激励、电容瞬间放电法，本实验选取的是前两种。
1.1.1RLC谐振类法电路阻抗工作、升压工作是借助脉冲变压器完成，RLC并联谐振能够生成高频、高压脉冲激励信号。
这一方法电路占地面积较大，其可借助变压器，提升电压。
1.1.2脉冲电源激励法这类电路主要是通过换能器加载直流高电压瞬间，生成正高压脉冲。
正高压脉冲，能够促使换能器产生超声波。
换能器电阻影响较小，电源几乎与短路状态相似。
通过电源瞬时电流数值较大，对电源过载能力提出了较高的要求，其功率较大、损耗较大，会很大程度影响检测精准度。
1.2基于低压电源的超声波发射电路为确保超声波性能可靠、稳定，降低其能耗。
本文构建一种全新的发射电路，这一电路原理在于借助储能电感，瞬时放电产生高脉冲电流，这一电流可激励换能器。
借助调节控制信号频率、电感参数，能够促使换能器产生共振频率。
这一电路不需要高压电流，能够将电路体积缩小，可实现电路生成的节约，将各类危险因素消除。
超声波电路设计指导
超声波电路设计指导1．超声波发射电路τ图1 发射电路T IRFP840 耐压500V以上，额定功率10W以上的场效应管U1 IR4426注1电源电压用12V。
U1极忌长时间导通。
在U1与T之间可以插入限流电阻保护U1，电阻不宜大，否则输出脉冲边沿会变得过缓；在正常工作状态，U1只在极短时内导通，即使无限流电阻也不致损坏。
R1 50K~1MΩ电阻取值与两次发射的最小间隔时间有关，间隔越长则回路充放电时间可越长，R1可以越大。
建议取1MΩ，以便减小250V电源的输出电流。
C1 1000pF/1000V 高压瓷片电容RL 510Ω注1：若使用IR4427，应当注意其输入输出波形不反相，所以在本电路中输入使用正脉冲信号。
简要工作原理如下。
当T截止时，250V电压源通过R1和RL向C1充电。
一般认为，持续充电时间大于5倍的回路充放电常数，则C1两端电压能基本达到250V，为驱动超声波发射做好准备。
当T瞬时导通，T、C1和RL构成放电回路。
超声波传感器的阻抗约为50Ω，故C1中的电荷被快速释放，在超声波传感器上形成一个负向冲击脉冲，脉冲宽度约为0.5~1.5us。
图2 超声波传感器上信号波形示意2．超声波接收电路限幅限幅放大检波后级放大比较或1N60图3 接收电路图3中：（1）R1、R2取值一般为100~300Ω，与后级放大器输入阻抗大小有关。
（2）Ci不宜太大，否则超声波发射后电路会有一段时间无法正常接收回波信号，故一般可小于0.1uF；也不宜太小，否则信号损耗会比较大。
（3）通路上放大器的总增益应大于50dB，大于60dB则更佳。
（4）检波电路时间常数的选取要得当，太大则造成包络展宽，太小则单个回波脉冲会被检测成多个脉冲。
可根据超声波工作频率确定，并通过观测检波输出波形加以矫正。
（5）后级放大电路中运放无需再使用AD818，推荐使用NE5532。
3．脉冲间隔测量电路请参考并分析ultrasonic.ddb中图纸。
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集美大学毕业设计论文毕业设计题目超声波电源的设计专业机械设计制造及其自动化班级机制0614 姓名曦曦学号********** 指导教师玉生职称副教授机械工程学院2010年6月2日超声波电源的设计[摘要]几十年来，超声加工技术的发展迅速，在型孔和型腔的加工、切割加工、超声波清洗、超声复合加工、超声波焊接领域均有较广泛的研究和应用，解决了许多关键性的工艺问题，取得了良好的效果。
本文首先介绍了国外在超声波电源方面的发展状况，然后详细分析了超声波设备的组成、关键技术以及设计难点，并以一种200w超声加工电路为方案设计、制作了超声波发生器，应用于超声加工。
通过对模拟与数字超声电源基本电路的介绍，了解超声波电源的频率跟踪、功率控制、稳速、过电压、过电流以及阻抗匹配等关键技术。
接着对所设计电路的各部位电路进行分析和设计。
在此基础上，详细介绍了整流电路、滤波电路、半桥逆变电路、超声波发生器与换能器的匹配设计以及用Protel 软件设计PCB图，然后进行电路板的制作和试验。
最后对所设计的电路的特点进行归纳与总结。
[关键词]:：超声波发生器；超声波换能器；频率跟踪；阻抗匹配；半桥逆变电路The Design Of Ultrasonic PowerAbstract The development of ultrasonic machining technology is rapid for decades. Type holes and cavity machining, cutting, ultrasonic cleaning, ultrasonic processing, and ultrasonic welding have a wider field of research and application, solves many key technology issues , achieved good resultsThis paper introduces the domestic and international aspects in the development of ultrasonic power first. Then a detailed analysis of the composition of ultrasonic equipment Key technologies and design difficulties And design a 200w ultrasonic generator which is used in ultrasonic machining .Through the power of analog and digital ultrasound description of the basic circuit, Learn about the frequency of ultrasonic power tracks, power control, steady speed, overvoltage, overcurrent and impedance matching key technologies. Then designed circuits to all parts of the circuit analysis and design. On this basis , Details of the rectifier circuit, filter circuit, push-pull inverter circuit, impedance , Ultrasonic generator and the matching design of transducer and PCB design using Protel software , and then proceed to circuit board production and testing.Finally, the design characteristics of the circuit of induction have summed up and summarized.Key words: ultrasonic generator; ultrasonic transducer; frequency tracking; Impedance matching; half-bridge inverter circuit目录摘要............................................................................................................. I Abstract ....................................................................................................... II 引言 (1)1 超声加工技术 (4)1.1 超声波加工的原理 (4)1.2 超声波加工的特点 (4)1.3 超声波加工的应用 (5)2 模拟与数字超声电源的基本电路 (7)2.1 模拟电路超声波发生器 (7)2.1.1 超声波振荡器 (7)2.1.2 超声波放大器 (7)2.2 数字超声波发生器 (7)2.3 频率跟踪 (9)2.4 功率控制 (11)2.4.1 输出功率控制系统 (11)2.4.2 功率控制系统中UC3875 的应用 (12)2.5 保护电路 (13)2.5.1 稳速电路 (14)2.5.2 过电压、过电流保护电路 (14)2.5.3 缓冲电路 (15)3 50W超声波发生器的电路设计 (17)3.1 总体方案设计 (17)3.2 整流、滤波电路的设计 (17)3.3 半桥逆变电路设计 (20)3.4 磁环变压器 (21)3.5 超声波发生器与换能器的匹配设计 (21)3.5.1 阻抗匹配 (22)3.5.2 调谐匹配 (24)3.5.3 关于匹配电感的设计 (25)3.6 系统电路原理图 (26)3.6.1 电路的工作原理 (27)3.6.2 各个元器件的作用 (28)3.6.3 元器件的选取 (28)4.1 印刷电路板设计 (30)4.1.1 设计步骤 (30)4.1.2 设计电路版时应该注意的问题 (30)4.2 印制电路板的制作 (31)4.2.1 印制电路板的工具 (31)4.2.2 印制电路板的步骤 (31)4.3 电路板的焊接 (35)4.3 电路板的调试 (37)结论 (38)致谢 (39)参考文献 (40)引言超声波发生器，通常称为超声波电源。
它的作用是把我们的市电（220V或380V，50或60Hz）转换成与超声波换能器相匹配的高频交流电信号。
从放大电路形式，可以采用线性放大电路和开关电源电路，大功率超声波电源从转换效率方面考虑一般采用开关电源的电路形式。
线性电源也有它特有的应用围，它的优点是可以不严格要求电路匹配，允许工作频率连续快速变化。
从目前超声业界的情况看，超声波主要分为自激式和它激式电源。
超声波发生器采用目前世界领先的他激式震荡线路结构，较以前的自激式震荡线路结构在输出功率增加10%以上，电气性能符合甲方提供销的技术标准（出厂标准）。
发生器发展可以分为三个大的阶段；第一个阶段是采用电子管放大器；第二个阶段是采用晶体管模拟放大器；第三个阶段是采用晶体管数字(开关)放大器。
1电子管放大器在早期上世纪80年代前，信号的功率放大还采用电子管．采用电子管的唯一好处呈它的动态围较宽．这个好处对于音频放大器致关重要，但对超声波发生器没有什么用处，因此一旦功率晶体管出现后即遭淘汰．电子管的缺点很多，例如，功耗大。
体积大、寿命短，效率低。
2晶体管模拟放大器上世纪80年代到90年代中旬，功率晶体管发展已非常成熟，各种OCL及OTL电路均适用于发生器。
信号发生器产生一个特定频率的正弦波，经前置放大器进行信号放大，推动功率放大器进行功率放大。
再经阻抗变换，提供给换能器，其中VCC，VEE是通过变压．整流、滤波后的直流电源。
但模拟功率放大器有几个缺点：(1) 功耗较大。
由于OTL，OCL电路理论效率只有78％左右，实际效率更低，功耗大，导致功率管发热严重，需要较大的散热功率．功率管的发热导致工作不太稳定。
(2) 体积大、重量重。
由于功率管输出的功率受到限制，要输出较大的功率需要更多的功率管，况且发生器所需求的直流电源是通过变压器降压、整流、滤波后得到的。
大功率的变压器比较重，效率也比较低。
(3) 不易使用现代的微处理器来处理，由于该电路呈现一个比较典型的模拟线路特征，用数字处理比较复杂，涉及到A／D(模拟转数字)和D／A(数字转模拟)，成本比较高，可靠性低。
3. 晶体管开关型放大器随着电力电子器件的发展，特别是VDMOS管(垂直沟道MOS管，也可称功率场效应管)和IGBT(隔离栅双极晶体管)的发展和成熟，使得采用开关式发生器成为可能，实际上开关型发生器的发展是开关电源的成果之一，下面着重讨论晶体管开关型发生器。
开关型发生器的原理是通过调节开关管的占空比(或导道与截止时间)采控制输出的功率。
由于晶体管在截止和饱和导通时的功耗很小，因此这种开关型发生器的特点是：(1) 功耗低，效率高：开关管在开关瞬时的功耗较大，但时间很短，在截止或导道时的功耗很小。
时间较长，因此总的功耗较小，而且基本恒定。
最高效率可以达到90％以上。
(2) 体积小，重量轻：由于效率高，功耗低，使得散热要求较低，而且各个开关管可以推动的功率较大，加上直流电源直接变换使用，不需电源变压器降压，因此它的体积较小，重量轻，单位功率所占的体积和重量值较小。
(3) 可靠性好。
与微处理器等配合较容易，电子器件在工作时的温升较低，工作就可靠，加上全数字(开关)输出，可用微处理器直接控制。
4．开关型发生器发展的几个过程开关型发生器的发展其实与开关型电源的发展息息相关，而开关型电源发展又与电力电子开关器件的发展紧密相连。
第一种型式是用双极开关晶体管(双极型开关晶体管)作为开关电源的开关管，它的主要缺点是由于双极开关管的上升、下降时延较大，开关频率不能太高(一般在20KHz以下)．线路成熟，价格低。
在开关电源场合还有很多应用，但在超声波发生器中由于开关频率电力电子开关器件的发展过程低，没有太大的应用。
第二种型式是用VDMOS管(垂直沟道MOS管，或称功率MOS管)，VDMOS管也有几代的发展，其主要优点是：开关频率高(可达1MHz)，驱动简单(电压型驱动)，抗击穿性妤(没有雪崩效应)，缺点是耐高压的器件，导通电阻大．在高压大电流场合功耗较大，因此大功率(1 500W以上)有些困难，但随着VDMOS工艺不断改进输出功率也越来越大。