MSDS危险化学品安全技术说明书——32186--甲基三氯硅烷
三氯硅烷安全技术说明书
·对水生生物有害
·易挥发，是有害的空气污染物
理
化
特
性
理化特性
·无色液体，有刺激性臭味
·沸点：31.8oC
·相对密度：1.34
及
用
途
用途
·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源
个
体
防
护
·佩戴全防型滤毒罐
·穿封闭式防化服
应
急
行
动
隔离与公共安全
泄漏：污染范围不明的情况下，初始隔离至少300m，下风向疏散至少1000m。然后进行气体浓度检测，根据有害蒸气或烟雾的实际浓度，调整隔离、疏散距离
·用大量水冷却容器，直至火灾扑灭
·禁止将水注入容器
·容器突然发出异常声音或发生异常现象，立即撤离
·切勿在储罐两端停留
急救
·皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20-30min。就医
·眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10-15min。就医
·吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处：保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。就医
·食入：饮水，给饮牛奶或蛋清。就医
·遇水反应易放出易燃气体，导致燃烧爆炸
·在火场中，受热的容器有爆炸危险
健康危害
·职业接触限值：MAC 3mg／m3
·怠崎性：大鼠经口LD501030mg／kg；小鼠吸人LC501500mg/m3(2h)
·对眼和呼吸道黏膜有强烈刺激作用,急性中毒时出现流泪、咳嗽、气急、胸闷等，重者发生肺水肿
·眼和皮肤接触其液体可引起灼伤
·禁止喷水处理泄漏物或将水喷入容器
·构筑围堤或挖沟槽收容泄漏物．防止进入水体、下水道、地下室或限制性空间
甲基氯硅烷安全技术说明书msds
参考文献
【1】国际化学品安全规划署：国际化学品安全卡（ICSCs）
【2】国际癌症研究机构
【3】OECD 全球化学品信息平台
【4】美国 CAMEO 化学物质数据库
【5】美国医学图书馆:化学品标识数据库
【6】美国环境保护署：综合危险性信息系统
【7】美国交通部：应急响应指南
【8】德国GESTIS-有害物质数据库
操作注意事项：
密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（全面罩）或自给式呼吸器，穿防静电工作服，戴橡胶手套。远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。使用防爆型的通风系统和设备。避免产生烟雾。防止气体或蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。尤其要注意避免与水接触。在传送过程中，钢瓶和容器必须接地和跨接，防止产生静电。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。
食入：
用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医。
第五部分：消防措施
危险特性：
易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。遇明火、高热或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。遇水或水蒸气反应放热并产生有毒的腐蚀性气体。
建规火险分级：
甲
有害燃烧产物：
一氧化碳、二氧化碳、氯化氢。
灭火方法：
切断气源。若不能切断气源，则不允许熄灭泄漏处的火焰。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。灭火剂：干粉、二氧化碳、砂土。禁用水柱和泡沫。
第十二部分：生态学资料
生态毒理毒性：
无资料
生物降解性：
无资料
非生物降解性：
无资料
生物富集或生物积累性：
无资料
表- 三甲基氯硅烷的理化性质及危险特性
迅速撤离泄漏污染区人员至安全区，并进行隔离，严格限制出入。切断火源。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器，穿防毒服。不要直接接触泄漏物。尽可能切断泄漏源。防止流入下水道、排洪沟等限制性空间。小量泄漏：用砂土、干燥石灰或苏打灰混合。也可以用不燃性分散剂制成的乳液刷洗，洗液稀释后放入废水系统。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用防爆泵转移至槽车或专用收集器内，回收或运至废物处理场所处置。
储运注意事项
①储存注意事项：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。保持容器密封。应与酸类、碱类等分开存放，切忌混储。采用防爆型照明、通风设施。禁止使用易产生火花的机械设备和工具。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
②运输注意事项：铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏应急处理设备。夏季最好早晚运输。运输时所用的槽（罐）车应有接地链，槽内可设孔隔板以减少震荡产生静电。严禁与酸类、碱类、食用化学品等混装混运。运输途中应防曝晒、雨淋，防高温。中途停留时应远离火种、热源、高温区。装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装置，禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。公路运输时要按规定路线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留。铁路运输时要禁止溜放。严禁用木船、水泥船散装运输。
表
标识
中文名：三甲基氯硅烷；氯化三甲基硅烷
危险货物编号：32186
英文名：Trimethylchlorosilane；Chlorotrimethylsilane
UN编号：1298
分子式：C3H9ClSi
分子量：108.64
CAS号：75-77-4
理化性质
外观与性状
甲基三氯硅烷-职业病危害告知牌
职业病危害告知牌对人体有损害，请注意防护！
甲基三氯硅烷methyltrichlorosila
ne
健康危害理化特性
对呼吸道和眼结膜有强烈刺激作用。
接触者可有
流泪、咳嗽、头痛、恶心、呕吐、喘息、易激动、
皮肤发痒等症状。
吸入后可因喉、支气管的痉挛、
水肿，化学性肺炎、肺水肿而致死。
无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。
溶于苯、
醚。
熔点-90℃，沸点66.5℃，闪点-9℃，
爆炸上限20.0%，爆炸下限7.6%。
职业接触限值：MAC：无资料
PC-TWA：无资料
PC-STEL：无资料
皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗至少15分钟。
就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。
就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
如呼吸停止，立即进行人工呼吸。
就医。
食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。
就医。
注意防护
密闭操作，全面通风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴直接式防毒面具，戴化学安全防护眼镜，穿防腐工作服，戴橡胶手套。
防止蒸气泄漏到工作场所空气中。
避免与酸类接触。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
急救电话：120 消防电话：119 职业卫生咨询电话：1031。
三甲基氯硅烷安全技术说明书MSDS
第一部分化学品及企业标识化学品中文名：三甲基氯硅烷化学品英文名：trimethylchlorosilane；chlorotrimethylsilane化学品别名：氯化三甲基硅烷CAS No.：75-77-4EC No.：200-900-5分子式：C3H9ClSi第二部分危险性概述紧急情况概述液体。
高度易燃，其蒸气与空气混合，能形成爆炸性混合物。
吞食后有毒。
有严重损害眼睛的危险。
吸入有毒。
短期暴露有损伤健康的危险。
GHS危险性类别根据GB30000-2013化学品分类和标签规范系列标准（参阅第十六部分），该产品分类如下：易燃液体，类别2；急毒性-口服，类别3；皮肤腐蚀/刺激，类别1；眼损伤/眼刺激，类别1；急毒性-吸入，类别3；特定目标器官毒性-单次接触，类别2。
标签要素象形图警示词：危险危险信息：高度易燃液体和蒸气，吞咽会中毒，造成严重皮肤灼伤和眼损伤，造成严重眼损伤，吸入会中毒，可能对器官造成损害。
预防措施：远离热源、热表面、火花、明火以及其它点火源。
禁止吸烟。
保持容器密闭。
容器和接收设备接地和等势联接。
使用不产生火花的工具。
采取措施，防止静电放电。
不要吸入粉尘/烟/气体/烟雾/蒸气/喷雾。
作业后彻底清洗。
使用本产品时不要进食、饮水或吸烟。
只能在室外或通风良好之处使用。
戴防护手套/穿防护服/戴防护眼罩/戴防护面具。
事故响应：呼叫中毒急救中心/医生。
漱口。
沾染的衣服清洗后方可重新使用。
如误吞咽：立即呼叫中毒急救中心/医生。
如误吸入：将受人转移到空气新鲜处，保持呼吸舒适的体位。
如接触到：呼叫中毒急救中心/医生。
如误吞咽：漱口。
不要诱导呕吐。
如皮肤(或头发)沾染：立即去除/脱掉所有沾染的衣服。
用水清洗皮肤或淋浴。
如进入眼睛：用水小心冲洗几分钟。
如戴隐形眼镜并可方便地取出，取出隐形眼镜。
继续冲洗。
安全储存：存放处须加锁。
存放在通风良好的地方。
保持容器密闭。
存放在通风良好的地方。
保持低温。
废弃处置：按照地方/区域/国家/国际规章处置内装物/容器。
甲基三氯硅烷-MSDS-安全技术说明书
储存于阴凉、通风的库
第八部分：接触控制/个体防护
职业接触限值
中国MAC(mg/m3)：
未制定标准
前苏联MAC(mg/m3)：
未制定标准
TLVTN：
未制定标准
TLVWN：
未制定标准
监测方法：
工程控制：
密闭操作，局部排风。
呼吸系统防护：
可能接触其蒸气时，应
眼睛防护：
呼吸系统防护中已作防
身体防护：
避免接触的条件：
空气。
聚合危害：
分解产物：
第十一部分：毒理学资料
急性毒性：
LD50：无资料
LC50：2740mg/m3，4小时(大鼠吸入)
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：
第十二部分：生态学资料
生态毒理毒物富集或生物积累性：
其它有害作用：
无资料。
参考文献：
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：
甲基三氯硅烷化学品安全技术说明书
说明书目录
第一部分
化学品名称
第九部分
理化特性
第二部分
成分/组成信息
第十部分
稳定性和反应活性
第三部分
危险性概述
第十一部分
毒理学资料
第四部分
急救措施
第十二部分
生态学资料
第五部分
消防措施
第十三部分
废弃处置
第六部分
泄漏应急处理
第十四部分
运输信息
第七部分
操作处置与储存
第十五部分
法规信息
第八部分
接触控制/个体防护
第十六部分
MSDS危险化学品安全技术说明书——32186--乙烯基三氯硅烷
化学品安全技术说明书第一部分化学品及企业标识化学品中文名：乙烯(基)三氯硅烷；三氯乙烯硅烷化学品英文名：vinyltrichloro silane；trichlorovinyl silane企业名称：生产企业地址：邮编: 传真:企业应急电话：电子邮件地址：技术说明书编码:第二部分成分/组成信息√纯品混合物有害物成分浓度CAS No.乙烯（基）三氯硅烷75-94-5第三部分危险性概述危险性类别：第3.2类中闪点液体侵入途径：吸入、食入健康危害：氯硅烷类单体对眼、上呼吸道粘膜有强烈刺激性。
局部可出现充血、水肿，甚至坏死。
长时间接触高浓度，可引起鼻粘膜萎缩、支气管炎、肺充血和肺水肿。
粘膜和皮肤接触其液体，可致灼伤。
环境危害：对环境有害。
燃爆危险：易燃，其蒸气与空气混合，能形成爆炸性混合物。
遇水产生刺激性气体。
容易自聚。
第四部分急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
如有不适感，就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。
就医。
第五部分消防措施危险特性：易燃，遇明火、高热或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。
受热或遇水分解放热, 放出有毒的腐蚀性烟气。
具有腐蚀性。
有害燃烧产物：一氧化碳、氯化氢、氧化硅。
灭火方法：用二氧化碳、干粉、干砂灭火。
灭火注意事项及措施：消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
处在火场中的容器若已变色或从安全泄压装置中产生声音，必须马上撤离。
禁止用水、泡沫和酸碱灭火剂灭火。
第六部分泄漏应急处理应急行动：消除所有点火源。
根据液体流动和蒸气扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。
常见危险化学品安全技术说明书(MSDS)
Ph值:?
熔点(℃):?-88.5
相对密度(水=1 ):?0.79
沸点(℃):?80.3
相对密度(空气=1):?2.07
饱和蒸气压(kPa):?4.40(20℃)
燃烧热(kJ/mol):?1984.7
临界温度(℃):?275.2
临界压力(MPa):?4.76
辛醇/水分配系数:?<0.28
闪点(℃):?12
?理化特性
Ph值:?
熔点(℃):?-94.6
相对密度(水=1 ):?0.80
沸点(℃):?56.5
相对密度(空气=1):?2.00
饱和蒸气压(kPa):?53.32(39.5℃)
燃烧热(kJ/mol):?1788.7
临界温度(℃):?235.5
临界压力(MPa):?4.72
辛醇/水分配系数:?-0.24
表1.4-3三甲基氯硅烷
化学品中文名：
化学品英文名：
三甲基氯硅烷；氯化三甲基硅烷
trimethylchlorosilane
CAS No.75-77-4
危险性概述
危险性类别：第3.2类中闪点易燃液体
侵入途径：吸入、食入、经皮吸收
健康危害：对呼吸道、眼睛、皮肤粘膜有强烈刺激性。吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿、炎症，化学性肺炎、肺水肿而致死。
消防措施
危险特性：易燃，其蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热能引起燃烧爆炸。与氧化剂接触猛烈反应。在火场中，受热的容器有爆炸危险。其蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃。
有害燃烧产物：一氧化碳、二氧化碳。
灭火方法：尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。处在火场中的容器若已变色或从安全泄压装置中产生声音，必须马上撤离。灭火剂：抗溶性泡沫、干粉、二氧化碳、砂土。
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化学品安全技术说明书
第一部分化学品及企业标识
化学品中文名：甲基三氯硅烷；三氯甲基硅烷
化学品英文名：methyltrichlorosilane；trichloromethylsilane
企业名称：
生产企业地址：
邮编: 传真:
企业应急电话：
电子邮件地址：
技术说明书编码:
第二部分成分/组成信息
√纯品混合物
有害物成分浓度CAS No.
甲基三氯硅烷75-79-6
第三部分危险性概述
危险性类别：第3.2类中闪点液体
侵入途径：吸入、食入、经皮吸收
健康危害：对呼吸道和眼结膜有强烈刺激作用。
接触者可有流泪、咳嗽、头痛、恶心、呕吐、喘息等症状。
吸入后可因喉、支气管的痉挛、水肿，化学性肺
炎、肺水肿而致死。
食入腐蚀消化道。
液体可致眼和皮肤灼伤。
环境危害：对环境有害。
燃爆危险：易燃，其蒸气与空气混合，能形成爆炸性混合物。
遇水产生刺激性气体。
第四部分急救措施
皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水冲洗20～30分钟。
如有不适感，就医。
眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗10～15分钟。
如有不适感，就医。
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。
保持呼吸道通畅。
如呼吸困难，给输氧。
呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术。
就医。
食入：饮水，禁止催吐。
如有不适感，就医。
第五部分消防措施
危险特性：易燃，遇明火、高热或与氧化剂接触，有引起燃烧爆炸的危险。
受热或遇水分解放热, 放出有毒的腐蚀性烟气。
具有腐蚀性。
有害燃烧产物：一氧化碳、氧化硅、氯化氢、光气。
灭火方法：用二氧化碳、干粉、干砂灭火。
灭火注意事项及措施：消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。
尽可能将容器从火场移至空旷处。
处在火场中的容器若已变色或
从安全泄压装置中产生声音，必须马上撤离。
禁止用水、泡沫和酸碱灭火
剂灭火。
第六部分泄漏应急处理
应急行动：消除所有点火源。
根据液体流动和蒸气扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。
建议应急处理人员戴正压自给式呼吸
器，穿防静电、防腐、防毒服。
作业时使用的所有设备应接地。
穿上适当
的防护服前严禁接触破裂的容器和泄漏物。
尽可能切断泄漏源。
防止泄漏
物进入水体、下水道、地下室或密闭性空间。
严禁用水处理。
小量泄漏：
用干燥的砂土或其它不燃材料覆盖泄漏物。
大量泄漏：构筑围堤或挖坑收
容。
用碎石灰石(CaCO3)、苏打灰(Na2CO3)或石灰(CaO)中和。
用防爆、耐
腐蚀泵转移至槽车或专用收集器内。
第七部分操作处置与储存
操作注意事项：密闭操作，局部排风。
操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。
建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿胶布防毒衣，
戴橡胶耐油手套。
远离火种、热源，工作场所严禁吸烟。
使用防爆型的通
风系统和设备。
避免产生烟雾。
防止烟雾和蒸气释放到工作场所空气中。
避免与氧化剂、酸类、碱类接触。
尤其要注意避免与水接触。
在氮气中操
作处置。
搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。
配备相应品种和数量
的消防器材及泄漏应急处理设备。
倒空的容器可能残留有害物。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。
远离火种、热源。
库温不宜超过37℃，包装要求密封，不可与空气接触。
应与氧化剂、酸类、碱类等分开存放，
切忌混储。
采用防爆型照明、通风设施。
禁止使用易产生火花的机械设备
和工具。
储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。
第八部分接触控制/个体防护
接触限值：
MAC(mg/m3): 未制定标准PC-TWA（mg/m3）: 未制定标准
PC-STEL（mg/m3）: 未制定标准TLV-C(mg/m3): 未制定标准
TLV-TWA(mg/m3): TLV-STEL(mg/m3):
监测方法：无资料。
工程控制：密闭操作，局部排风。
提供安全淋浴和洗眼设备。
呼吸系统防护：可能接触其蒸气时，应该佩戴过滤式防毒面具(全面罩)。
紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。
眼睛防护：呼吸系统防护中已作防护。
身体防护：穿密闭型防毒服。
手防护：戴橡胶耐油手套。
其他防护：工作现场严禁吸烟。
工作完毕，淋浴更衣。
注意个人清洁卫生。
第九部分理化特性
外观与性状：无色液体，具有刺鼻恶臭，易潮解。
pH值: 无资料熔点(℃): -90
沸点(℃): 66.4相对密度(水=1): 1.28
相对蒸气密度(空气=1): 5.2饱和蒸气压(kPa): 17.9(20℃)临界压力(MPa): 无资料辛醇/水分配系数: 无资料
闪点(℃): -9引燃温度(℃): 490
爆炸下限[％(V/V)]: 7.2爆炸上限[％(V/V)]: 11.9
溶解性：溶于苯、醚。
主要用途：用于制造硅酮化合物。
第十部分稳定性和反应性
稳定性：稳定
禁配物：强酸、强碱、强氧化剂、水。
避免接触的条件：潮湿空气。
聚合危害：不聚合
分解产物：一氧化氧化硅、氯化氢、光气。
第十一部分毒理学资料
急性毒性：
LD
50
：
大鼠经口LD
50(mg/kg): 2074兔经皮LD
50
(mg/kg): 1057
LC
50
：
大鼠吸入LC
50
(mg/m3): 450 ppm/4H
刺激性：
第十二部分生态学资料生态毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
其他有害作用：无资料。
第十三部分废弃处置
废弃物性质：危险废物
废弃处置方法：建议用焚烧法处置。
与燃料混合后，再焚烧。
焚烧炉排出的卤化氢通过酸洗涤器除去。
废弃注意事项：处置前应参阅国家和地方有关法规。
第十四部分运输信息
危险货物编号：32186
UN编号：1250
包装类别：Ⅰ类包装
包装标志：易燃液体；腐蚀品
包装方法：小开口钢桶；安瓿瓶外普通木箱；螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或金属桶（罐）外普通木箱。
运输注意事项：铁路运输时应严格按照铁道部《危险货物运输规则》中的危险货物配装表进行配装。
运输时运输车辆应配备相应品种和数量的消防器材及泄漏
应急处理设备。
夏季最好早晚运输。
运输时所用的槽（罐）车应有接地
链，槽内可设孔隔板以减少震荡产生静电。
严禁与氧化剂、酸类、碱类、
食用化学品、等混装混运。
运输途中应防曝晒、雨淋，防高温。
中途停留
时应远离火种、热源、高温区。
装运该物品的车辆排气管必须配备阻火装
置，禁止使用易产生火花的机械设备和工具装卸。
公路运输时要按规定路
线行驶，勿在居民区和人口稠密区停留。
铁路运输时要禁止溜放。
严禁用
木船、水泥船散装运输。
第十五部分法规信息
法规信息：下列法律法规和标准，对化学品的安全使用、储存、运输、装卸、分类和标志等方面均作了相应的规定：
中华人民共和国安全生产法(2002年6月29日第九界全国人大常委会第二十八次会议通过)；
中华人民共和国职业病防治法(2001年10月27日第九界全国人大常委会第二十四次会议通过)；
中华人民共和国环境保护法(1989年12月26日第七届全国人大常委会第十一次会议通过)；
危险化学品安全管理条例(2002年1月9日国务院第52次常务会议通过)；
安全生产许可证条例(2004年1月7日国务院第34次常务会议通过)；
常用危险化学品的分类及标志(GB 13690-92)；
危险化学品名录。
第十六部分其他信息
填表时间：
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：。