博士研究生开题答辩ppt-几种难混溶体系薄膜材料共27页
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2、研究方法与思路
研究方法 研究可行性分析
研究思路
研究方法
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01 02 03 04
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02 03
研究思路之第四步
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04 05
研究思路之第一步
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最全的各种薄膜制备PPT课件
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3．离子镀的应用
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12.5 化学气相沉积（ CVD）
• 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是通过气 相物质的化学反应在基材表面上沉积固态薄膜的一种工艺方法。
• CVD的基本步骤与PVD不同的是：沉积粒子来源于化合物的气 相分解反应。
• 种类：
（1）以材料种类划分：金属、合金、陶瓷、半 导体、化合物、高分子薄膜等。 （2）以晶体结构划分：单晶、多晶、纳米晶、 非晶 （3）以厚度划分：纳米薄膜，微米薄膜和厚膜。 （4）以薄膜组成结构划分：多层薄膜，梯度薄 膜，复合薄膜。
• 应用：
光学薄膜、微电子薄膜、光电子学薄膜、集 成电路薄膜、防护功能薄膜。
第40页/共46页
电子束辅助化学气相沉积(EACVD) 和激光束化学气相沉积(LACVD)
• 采用电子束或激光束对基片进行轰击和照射， 也可以使基片获得能量，从而促进和改善反应 的进行。
• 尤其是经过聚焦的电子束和激光束可以实现 基片表面的局部生成薄膜，这对于微电子和微 加工领域有着重要作用。
第41页/共46页
3SiH4 +4NH3 7500CSiN4 +12H2 W(s)+3I2 (g) ~ 134000 0 000CC WI6 (g)
SiH4 ~3500Ca-Si(H)+2H2 W(CO)6 激光 束W+6CO
第38页/共46页
• CVD的化学反应温度一般在800-1200℃，较高 的反应温度限制了基片材料的选择，并给薄膜 和薄膜基片复合体结构和性能带来不利的影响， 如基体材料的相变及由高温冷却到室温时产生 的热应力等。
3．离子镀的应用
第35页/共46页
第36页/共46页
12.5 化学气相沉积（ CVD）
• 化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是通过气 相物质的化学反应在基材表面上沉积固态薄膜的一种工艺方法。
• CVD的基本步骤与PVD不同的是：沉积粒子来源于化合物的气 相分解反应。
• 种类：
（1）以材料种类划分：金属、合金、陶瓷、半 导体、化合物、高分子薄膜等。 （2）以晶体结构划分：单晶、多晶、纳米晶、 非晶 （3）以厚度划分：纳米薄膜，微米薄膜和厚膜。 （4）以薄膜组成结构划分：多层薄膜，梯度薄 膜，复合薄膜。
• 应用：
光学薄膜、微电子薄膜、光电子学薄膜、集 成电路薄膜、防护功能薄膜。
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电子束辅助化学气相沉积(EACVD) 和激光束化学气相沉积(LACVD)
• 采用电子束或激光束对基片进行轰击和照射， 也可以使基片获得能量，从而促进和改善反应 的进行。
• 尤其是经过聚焦的电子束和激光束可以实现 基片表面的局部生成薄膜，这对于微电子和微 加工领域有着重要作用。
第41页/共46页
3SiH4 +4NH3 7500CSiN4 +12H2 W(s)+3I2 (g) ~ 134000 0 000CC WI6 (g)
SiH4 ~3500Ca-Si(H)+2H2 W(CO)6 激光 束W+6CO
第38页/共46页
• CVD的化学反应温度一般在800-1200℃，较高 的反应温度限制了基片材料的选择，并给薄膜 和薄膜基片复合体结构和性能带来不利的影响， 如基体材料的相变及由高温冷却到室温时产生 的热应力等。
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02
课题现状及发展情况 输入标题内容
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PART 5
论文总结
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补充性文字
Hale Waihona Puke ART 4研究结论与实践验证
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12%
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37%
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PART 3
研究方法与过程
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结果探讨阶段
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XXXXXX大学XXXX学院20XX级博士生学位论文开题答辩
• 2 研究现状与趋势
• 章节主要 • 内章容节一 主要 • 内章容节二 主要
内容三
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5.2 研究计划安排
课题来源及意义 研究现状与趋势 研究内容与方案 课题创新与难点
课题研究计划
第一部分 第二部分
问卷调查
用描述性语言简要解释 该点用描述性语言简要
解释该点
问卷分析
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解释该点
实验设计
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单击此处输入你的文字，文字是 您思想的提炼，为了最终演示发 布的良好效果，请尽量言简意赅 的阐述观点；根据需要可酌情增 减文字，以便观者可以准确理解 您所传达的信息。单击此处输入 你的文字，文字是您思想的提炼 ，为了最终演示发布的良好效果 ，请尽量言简意赅的阐述观点；
3
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PART 2
研究内容及思路
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2.研究内容及思路
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3.研究方法及过程
关键词
关键词
关键词
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3.研究方法及过程
关键词
关键词
关键词
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这是一个表格范例，可以将EXCEL里的表格直接复制到这 里，表格线框、字体、配色均可参照上表进行。
第 11 页
Part 2 2.3 采用某某研究方案
这里是标题
这里可以添加主要内 容这里可以
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这里是标题
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这里是标题
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秦梦华：中小企业文化建设的现状及构建方 6 略研究[J].
第7页
Part 1 1.5 主要贡献与创新
某某某研究的主要创新指标
60.00% 50.00% 40.00% 30.00% 20.00% 10.00%
0.00%
41.70%
36.90%
35.20%
20.70% 17.90% 11.50%
53.30% 42.40% 40.40%
发展较快
第5页
Part 1 1.3 研究意义
学术研究价值
本课题具有较高的学术研究价值，可以某某某研究 提供相应的理论基础。
三个 意义
经济效益
本课题能有效地提高工作效率，降低成本，经济效 益比较明显。
社会效益
请在这里输入您的文字请在这里输入您的文字请在 这里输入您的文字请在这里输入您的文字
第6页
Part 1 1.4 参考文献
本模板有完整的逻辑框架，参考和实用价值高
博士研究生毕业论文 答辩PPT
经济管理学院 XXX管理专业XXX班
指 导 老 师 XXX教授
答 辩 人 李小明
1 绪论 2 研究思路与方法 3 关键技术和实践难点 4 研究成果与应用 5 相关建议与论文总结
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备用图表
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Part 03 关键技术和实践难点
关键技术 案例对比分析
实践难点
关键技术
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方法三
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单击此处添加方法阐述， 添加简短问题说明文字， 方法与措施的具体说明文 字添加此处。单击此处添 加方法阐述，
理论基础与文献综述
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