AFM原子力显微镜技术及应用实验报告
中南大学近代物理实验报告-原子力显微镜实验报告
近代物理实验实验报告实验名称：原子力显微镜所在学院：物理与电子学院专业班级：物理升华班1301学生姓名：黄佳清学生学号：0801130117指导教师：黄迪辉一、目的要求(1) 了解原子力显微镜的工作原理。
(2) 初步掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法。
二、实验原理1.基本原理AFM是利用一个对力敏感的探针针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的，工作原理如图1所示。
将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品的表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的作用力（10-8～10-6 N），微悬臂会发生微小的弹性形变。
针尖和样品之间的力F与微悬臂的形变△z 之间遵循胡克定律（Hooke Law）F = k·△z其中，k为微悬臂的力常数。
测定微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。
针尖与样品之间的作用力与距离有着强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖和样品之间的作用力恒定，即保持微悬臂的形变量不变，针尖就会随表面的起伏上下移动。
记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。
这种检测方式被称为“恒力”模式（Constant Force Mode），是AFM使用最广泛的扫描方式。
AFM的图像也可以使用“恒高”模式（Constant Height Mode）来获得，也就是在x、y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与参考水平面之间的距离恒定，检测器直接测量微悬臂z 方向的形变量来成像。
这种方式由于不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏较大的样品不适合。
图1 AFM原理示意图2. AFM的工作模式当AFM的针尖与样品表面原子相互作用时，通常有几种力同时作用于微悬臂，其中最主要的是范德瓦尔斯力(Van der Waals forces)。
针尖与样品表面原于间的范德瓦尔斯力与距离关系曲线如图2所示。
原子力显微镜AFM实验报告
原子力显微镜的应用和进展摘要：从原子力显微镜诞生以来，由于其在表面观测上的高分辨率以及对表面的要求较低，这项技术被广泛的应用于科研的各个领域，极大的促进了各学科的发展。
由于这项技术的重要性，在其诞生之后就一直被改进以满足不同学科不同场合的需求。
本文从具体原子力实验出发概述原子力显微镜的应用以及改进方案。
关键词：原子力显微镜 压电微悬臂 敲击式AFM 探针功能化1 引言1996年Binning 及其合作者在扫描隧道显微镜的基础上发明了AFM ，它是利用原子、分子间的相互作用力(主要范德瓦尔斯力，价键力，表面张力，万有引力，以及静电力和磁力等)来观察物体表面微观形貌的新型实验技术。
在这项表面观测技术发明以来已经被各学科所采纳、改进，以适应不同学科不同工作环境的需求。
比如在生物及医学研究中要求不能对活体细胞产生太大影响，要求力更小以免对膜有破坏作用，同时也要求原子力显微镜的扫描更快，更方便以适应更多学科对它的需求，最好能实现更好的自动化，同时最好能应用于不同的环境。
但现在而言原子力显微镜对环境的要求还是很高的，所以对原子力显微镜的改进也是件十分有意义的工作。
现在有的一个想法是对原子力显微镜的微悬臂进行改造，用压电微悬臂[4]替代，这样直接利用压电微悬臂收集数据以替代激光放大。
另外，将原子力显微镜应用于生物和医学的研究，也提出了对探针进行功能化[5]的要求。
2 原子力实验简介2.1 实验原理AFM 探针和测试样品表面原子相互靠近时会产生原子间相互作用力，这种力使连接探针的微悬臂发生形变，而通过激光检测器和反馈系统调整样品在z 轴方向的位置，使得探针和样品间的作用力保持恒定，通过测量检测信号对应样品的扫描位置的变化，就可以得到测试样品表面形貌特征。
通常原子力显微镜AFM 有几种运行模式：在斥力或接触模式中，力的量级为1∽10ev/A （或910-∽810-N ）；在引力或非接触模式中，范德瓦耳斯力、交换力、静电力或磁力被检测。
原子力显微镜的操作与应用
原子力显微镜的操作与应用原子力显微镜（AFM）是一种通过探针扫描样品表面，以纳米分辨率观察表面形貌、力学性质和表面相互作用的测量工具。
作为一种新型的表面分析技术，AFM已经在材料科学、生物医药、化学能源等领域得到广泛应用。
本文将介绍AFM的操作原理、样品准备、扫描模式、数据分析以及其在材料科学、生物医药和化学能源中的应用。
1. 操作原理AFM的扫描探针是一个非常尖锐的针，属于微型机械系统（MEMS）的一种。
在扫描过程中，探针靠近样品表面，通过微弯度反馈机制控制探针与样品表面的距离。
探针探测到位移距离，反馈到一个像扫描控制器的正反馈回路中，使探针头的位置保持在样品表面的一定距离。
探针头靠近样品表面，会产生拉伸或压缩力，使探针头的位置发生变化。
通过测量这种力，可以计算出样品表面形貌和力学性质。
2. 样品准备在对样品进行扫描之前，需要将样品制备好。
AFM适用于实验室材料样品和生物样品。
在材料制备上，通常需要将样品剪裁成小块，使用研磨机或抛光机对样品表面平滑处理，使样品表面达到平整光滑的状态。
在生物样品制备上，则需要使用化学、生物学方法或者组织切片技术获得样品。
3. 扫描模式AFM有多种工作模式，如接触模式、非接触模式、振荡模式、磁力显微镜模式等。
在接触模式下，探针头与样品表面接触，通过扫描样品表面获得样品形貌。
非接触模式下，探针头悬浮在样品表面上，通过调整与样品表面的距离来获取样品的表面形貌。
振荡模式下探针头震动，测量样品的质量和弹性性质。
磁力显微镜模式下，则利用样品表面局部的磁场，通过探测磁场的变化，来观察样品表面物理特性。
4. 数据分析扫描得到的数据需要进行分析处理。
一般常用的分析手段有图像处理和草图处理。
图像处理包括基线校正、噪声滤波、平滑滤波、粗糙度分析、晶体结构等，可用于减少噪声和消除不确定性。
草图处理则可以进行材料性质计算、力学力学分析、电子结构分析、表面反应等。
利用这些分析手段，可以对得到的图像进行处理，从而获得更加精确和准确的结果。
原子力显微镜中力的标定及应用的开题报告
原子力显微镜中力的标定及应用的开题报告
一、研究背景：
原子力显微镜（Atomic Force Microscopy, AFM）是一种高精度的表面成像技术，基于扫描探针显微技术，能够获得纳米级别的表面形态和力学性质信息，被广泛应用于物理、化学、生物学、材料科学等领域的研究中。
在AFM中，力是一个重要的参数，可以通过扫描探针与样品之间的相互作用力来获得样品的力学性质信息，如硬度、弹性
模量、粘度等。
因此，准确的力测量对于AFM实验的可靠性和精度很关键。
二、研究内容：
本研究旨在探究原子力显微镜中力的标定方法及其在相应领域的应用。
具体研究内容
包括以下方面：
1. AFM中力的来源及测量原理分析。
研究利用扫描探针原理在扫描过程中所受到的力分量。
2. 力的标定方法。
研究使用纳米尺度参考标准物体、实验计算方法、消除误差的方法，标定原子力显微镜中的力值。
研究不同标定方法下的误差分析。
3. 原子力显微镜中力的应用。
研究在不同实验条件下，力值的变化规律，以及通过力
对样品性质的检测、表面形貌图像重构、位移力与电荷之间的关系的探究等。
三、研究意义：
本研究的主要意义在于：
1. 探究原子力显微镜中力的标定方法，提高原子力显微镜的测量精度和可靠性。
2. 研究力在原子力显微镜中的应用，拓展原子力显微镜的实验应用范围，为相关领域
的研究提供可靠的技术支持。
3. 探究原子力显微镜中的力学性质，深化对材料性质和物理原理的理解，有助于未来
的科学研究和技术创新。
原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告实验目的：本次实验旨在通过原子力显微镜对样品进行观测和分析，了解原子力显微镜的工作原理和应用。
实验仪器和材料：1. 原子力显微镜。
2. 样品。
3. 扫描探针。
4. 电脑及相关软件。
实验步骤：1. 将样品固定在样品台上，调整原子力显微镜的位置和参数。
2. 启动原子力显微镜软件，对样品进行扫描。
3. 观察扫描得到的图像，分析样品的表面形貌和结构特征。
实验结果：通过原子力显微镜观察，我们成功地获得了样品表面的高分辨率图像。
图像清晰地显示出样品表面的原子排列和微观结构，为我们提供了宝贵的信息和数据。
实验分析：原子力显微镜是一种非常强大的工具，可以实现对样品表面的原子尺度的观测和分析。
通过调整扫描参数，我们可以获取不同分辨率的图像，从而揭示样品表面的微观结构和性质。
这对于材料科学、纳米技术等领域具有重要的应用意义。
实验总结：本次实验通过原子力显微镜的操作，使我们对其工作原理和应用有了更深入的了解。
原子力显微镜的高分辨率、高灵敏度和非破坏性的特点，使其成为材料科学和纳米技术研究中不可或缺的工具。
通过实验，我们对原子力显微镜的操作技能和样品表面的观测能力得到了提高。
在今后的学习和科研工作中，我们将进一步掌握原子力显微镜的原理和技术，不断拓展其在材料科学、生物医学等领域的应用，为科学研究和技术创新做出更大的贡献。
结语：通过本次实验，我们对原子力显微镜有了更深入的了解，实验结果也为我们提供了宝贵的数据和信息。
相信在今后的学习和科研工作中，我们将能够更好地运用原子力显微镜这一强大的工具，取得更多的成果。
愿我们在科学研究的道路上不断前行，探索出更多的奥秘，为人类的发展进步贡献自己的力量。
南京大学-原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告一．实验目的1．了解原子力显微镜的工作原理2．掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法二．实验原理1．AFM工作原理在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。
在AFM 中用一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。
当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱的作用力(吸引或排斥力) ,引起微悬臂偏转。
扫描时控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运动, 因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法) 对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化, 此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整。
将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三维立体形貌图像。
AFM 的核心部件是力的传感器件, 包括微悬臂(Cantilever) 和固定于其一端的针尖。
根据物理学原理,施加到Cantilever末端力的表达式为：F K Z=∆∆表示针尖相对于试样间的距离, K为Cantilever的弹性系数，力的变化均可以通过Cantilever Z被检测。
AFM 有三种不同的工作模式：接触模式、非接触模式和共振模式或轻敲模式。
本实验采用接触模式：样品扫描时，针尖始终同样品“接触”，即针尖-样品距离在小于零点几个纳米的斥力区域。
此模式通常产生稳定、高分辨图像。
当沿着样品扫描时，由于表面的高低起伏使得针尖-样品距离发生变化，引起它们之间作用力的变化，从而使悬臂形变发生改变。
当激光束照射到微悬臂的背面，再反射到位置灵敏的光电检测器时，检测器不同象限会接收到同悬臂形变量成一定的比例关系的激光强度差值。
反馈回路根据检测器的信号与预置值的差值，不断调整针尖一样品距离，并且保持针尖一样品作用力不变，就可以得到表面形貌像。
2．粗糙度的概念表面粗糙度是反映零件表面微观几何形状误差的一个重要指标。
原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告实验目的：通过使用原子力显微镜（AFM），观察和探究不同材料表面的微观结构和特性，并了解原子力显微镜的工作原理和操作方法。
实验装置：1. 原子力显微镜（AFM）主机2. 电脑及相关软件3. 标准样品（金刚石、硅片等）4. 探针实验步骤：1. 准备工作：在实验开始之前，先对原子力显微镜进行充分的检查和准备。
确保设备的稳定性和可靠性。
2. 样品制备：准备不同材料的标准样品，包括金刚石、硅片等。
确保样品表面平整且无尘、无杂质。
3. 样品固定：将标准样品固定在样品支架上，并调整使其水平。
4. 调整参数：打开原子力显微镜软件，根据样品的特性调整相应的参数，包括扫描速度、采集点数等。
5. 探针连接：将探针连接到探针支架上，并轻轻放置在样品表面上。
6. 扫描图像：在计算机上选择扫描模式，并开始扫描样品表面。
观察扫描图像，利用软件工具进行放大、旋转等操作。
7. 数据分析：根据扫描图像进行数据分析，对不同材料的表面结构和特性进行解读和比较。
8. 实验总结：总结实验中观察到的现象和得到的结果。
探讨原子力显微镜在材料科学研究中的应用前景。
实验结果：实验中，我们成功使用原子力显微镜观察了金刚石和硅片的表面结构。
金刚石表面呈现出非常光滑的特性，可以清晰地观察到原子排列的规则性；而硅片表面由于其成分及制备工艺的不同，呈现出不同的纹理和形貌。
通过原子力显微镜的扫描图像，我们可以对不同材料的表面微观结构有深入的了解，并通过数据分析获得更多的材料性质信息。
实验总结：原子力显微镜作为一种重要的表面分析工具，在材料科学研究中起到了至关重要的作用。
它可以直接观察和探测材料表面的微观结构和特性，为材料设计和制备提供有力支持。
通过本次实验，我们对原子力显微镜的工作原理和操作方法有了更深入的了解，并且也能够熟练运用该技术进行样品表面扫描和数据分析。
原子力显微镜在材料科学领域的应用前景广阔，将对我们的科学研究和工程实践产生积极的影响。
纳米尺度力学测量实验报告
纳米尺度力学测量实验报告实验一：AFM纳米尺度力学测量在本实验中，我们将使用原子力显微镜(AFM)来进行纳米尺度的力学测量。
AFM是一种高分辨率的显微镜，能够对物体表面进行原子级的探测和成像。
利用AFM的探针可以实现对纳米尺度材料的力学性质的测量，包括硬度、弹性模量等参数。
本实验旨在通过AFM技术，了解纳米尺度力学测量的原理及方法。
实验材料和仪器在本实验中，我们使用了一块硅晶片作为样品，并使用了一台商用的AFM仪器。
AFM仪器由扫描探针、扫描台和数据采集系统构成。
扫描探针是AFM的核心部件，负责在样品表面进行悬空扫描，利用探针与样品之间的相互作用力来测量样品的表面形貌和力学性质。
实验步骤1. 准备样品：将硅晶片固定在扫描台上，保证样品表面平整干净。
2. 启动AFM仪器：打开AFM仪器的电源，调节探针至合适的位置和角度。
3. 进行扫描：通过AFM仪器控制软件设置扫描参数，启动扫描过程。
探针在样品表面进行悬空扫描，记录表面拓扑信息。
4. 力谱测量：选择合适的力谱测量模式，对样品进行力学性质的测量。
根据探针在样品表面的变形情况，计算出样品在纳米尺度下的力学参数。
实验结果与分析通过AFM测量，我们得到了硅晶片在纳米尺度下的力学性质数据。
根据力谱测量曲线，我们可以得到样品表面的硬度、弹性模量等参数。
实验结果表明，在纳米尺度下，硅晶片表现出较高的硬度和弹性模量，这与其微观结构和化学成分密切相关。
实验结论本实验利用AFM技术对硅晶片进行了纳米尺度的力学测量，得到了样品在纳米尺度下的力学性质参数。
通过实验，我们进一步认识了纳米尺度下物体的力学特性，为纳米尺度力学研究提供了重要的实验数据。
希望通过本实验，同学们能够加深对纳米尺度力学测量的理解，为未来的科学研究奠定基础。
实验感想本实验是一次很有趣的实践活动，通过自己动手进行AFM测量，深刻感受到了纳米尺度下物体的微观特性。
在实验过程中，遇到了一些困难和挑战，但通过不断的实践和思考，最终取得了令人满意的实验结果。
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原子力显微技术观测薄膜形貌
姓名：吴涵颖学号：5404312065 班级：工业工程122
一、实验目的：
Ⅰ、学习和了解AFM的结构和原理。
Ⅱ、掌握AFM的操作和调试过程，并以之来观察薄膜表面的形貌。
Ⅲ、学习用计算机软件来处理原始数据图像。
二、实验原理简析：
1. AFM基本原理
原子力显微镜的工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂的另一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力会使得微悬臂轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间排斥力的直接量度。
一束激光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小变形，这样就实现了通过检测样品与探针之间的原子排斥力来反映样品表面形貌和其他表面结构。
在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。
如图一显示。
（1）力检测部分在原子力显微镜系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。
使用微悬臂来检测原子之间力的变化量。
如图2所示，微悬臂通常由一个一般100～500μm长和大约500nm～5μm厚的硅片或氮化硅片制成。
微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。
（2）位置检测部分在原子力显微镜系统中，当针尖与样品之间有了作用之后，会使得悬臂摆动，所以当激光照射在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。
在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供SPM控制器作信号处理。
聚焦到微悬臂上面的激光反射到激光位置检测器，通过对落在检测器四个象限的光强
进行计算，可以得到由于表面形貌引起的微悬臂形变量大小，从而得到样品表面的不同信息。
（3）反馈系统在原子力显微镜系统中，将信号经由激光检测器取入之后，在反馈系统中会将此信号当作反馈信号，作为内部的调整信号，并驱使通常由压电陶瓷制作的扫描器做适当的移动，以保持样品与针尖保持一定的作用力。
2.AFM 有三种不同的工作模式: 接触模式( contact mode) 、非接触模式(noncontact mode) 和共振模式或轻敲模式(Tapping Mode) 。
（1）接触模式：
从概念上来理解，接触模式是AFM最直接的成像模式。
AFM 在整个扫描成像过程之中，探针针尖始终与样品表面保持亲密的接触，而相互作用力是排斥力。
扫描时，悬臂施加在针尖上的力有可能破坏试样的表面结构，因此力的大小范围在10 - 10～10 - 6 N。
若样品表面柔嫩而不能承受这样的力，便不宜选用接触模式对样品表面进行成像。
（2）非接触模式
非接触模式探测试样表面时悬臂在距离试样表面上方5～10 nm 的距离处振荡。
这时，样品与针尖之间的相互作用由范德华力控制，通常为10 - 12 N ，样品不会被破坏，而且针尖也不会被污染，特别适合于研究柔嫩物体的表面。
这种操作模式的不利之处在于要在室温大气环境下实现这种模式十分困难。
因为样品表面不可避免地会积聚薄薄的一层水，它会在样品与针尖之间搭起一小小的毛细桥，将针尖与表面吸在一起，从而增加尖端对表面的压力。
（3）敲击模式
在敲击模式中，一种恒定的驱使力使探针悬臂以一定的频率振动。
当针尖刚接触样品时，悬臂振幅会减少到某一数值。
在扫描过程中，反馈回路维持悬臂振幅在这一数值恒定，亦即作用在样品上的力恒定，通过记录压电陶瓷管的移动得到样品表面形貌图。
对于接触模式，由于探针和样品间的相互作用力会引起微悬臂发生形变，也就是说微悬臂的形变作为样品和针尖相互作用力的直接度量。
同上述轻敲式，反馈系统保持针尖—样品作用力恒定从而得到表面形貌图。
原子力显微镜是用微小探针“摸索”样品表面来获得信息，所以测得的图像是样品最表面的形貌，而没有深度信息。
扫描过程中，探针在选定区域沿着样品表面逐行扫描。
实验扫描的是光栅，纳米铜微粒以及纳米微粒，选用的是轻敲式。
敲击模式优点：敲击模式在一定程度上减小样品对针尖的粘滞现象，因为针尖与样品表面接触时，利用其振幅来克服针尖"样品间的粘附力。
并且由于敲击模式作用力是垂直的，表面材料受横向摩擦力和剪切力的影响都比较小，减小扫描过程中针尖对样品的损坏。
所以对于较软以及粘性较大的样品，应选用敲击模式。
三、实验步骤：
一、实验前准备：
①样品制备
1）薄膜样品制备
把之前实验制备得的铜微粒纳米材料分散到溶剂中，比较稀的状态下，然后涂于解离后的云母片上，自然晾干。
2）纳米微粒制备
把纳米微粒材料分散到溶剂中，比较稀的状态下，然后涂于解离后的云母片
上，自然晾干。
3）光盘光栅制备
对于光盘光栅的样品获取，采用胶纸法。
先把两面胶纸粘贴在样品光盘上，在贴上样品座，在将样品座抠下来，保证表面的光滑和无杂质。
②调光和寻共振峰
1) 粗调探测头部上方俩个旋钮，让激光光斑大约打在基座上。
2) 调探测头部上方某个旋钮，让光斑打在悬臂范围内。
再调节另一端旋钮，同方向移动看四象限接收器上是否有3个亮斑。
通常选择中间亮斑进行调节。
另外调节光斑使其移动到悬臂尖端，然后回调两旋钮使得亮斑最为光亮圆润。
3) 调节探测头部侧面两个旋钮，通过软件调节使光斑基本打在四象限接收器中间。
4) 将“自动扫描”和“起振”选项勾上，进行扫频操作。
5) 寻峰的目的主要是选择可以使悬臂达到共振状态的激振频率，使悬臂达到共振状态来实现扫描。
二、实验中测量过程
1）依次开启：电脑-控制机箱-高压电源-激光器。
2）用粗调旋钮将样品逼近微探针至两者间距<1 mm。
3）再用细调旋钮使样品逼近微探针：顺时针旋细调旋钮，直至光斑突然向PSD移动。
4）缓慢地逆时针调节细调旋钮并观察机箱上反馈读数：Z反馈信号约稳定在－150至－250之间（不单调增减即可），就可以开始扫描样品。
5）读数基本稳定后，打开扫描软件，开始扫描。
6）扫描完毕后，逆时针转动细调旋钮退样品，细调要退到底。
再逆时针转动粗调旋钮退样品，直至下方平台伸出1厘米左右。
7）实验完毕，依次关闭：激光器-高压电源-控制机箱。
8）处理图像
六、实验分析：
（1）AFM探测到的原子力的由哪两种主要成分组成？
一种是吸引力即范德瓦耳斯力；另外一种是电子云重叠而引起的排斥相互作用。
（2）怎样使用AFM，才能较好地保护探针？
仔细调节接触距离，粗调时，不要让指针压迫样品，保持1mm，扫描过程中保证探针不产生破坏性形变。
（3）原子力显微镜有哪些应用？
原子力显微镜可以用于研究金属和半导体的表面形貌、表面重构、表面电子态及动态过程,超导体表面结构和电子态层状材料中的电荷密度等。
另外原子力显微镜在摩擦学中的有许多应用，如纳米摩擦、纳米润滑、纳米磨损、纳米摩擦化学反应和机电纳米表面加工等。
在生物上，原子显微镜可以用来研究生物宏观分子，甚至活的生物组织。
观察细胞等等。
（4）与传统的光学显微镜、电子显微镜相比，扫描探针显微镜的分辨本领主
要受什么因素限制？
传统的光学显微镜和电子显微镜存在衍射极限，即只能分辨光波长或电子波长以上线度的结构。
而扫描探针显微镜的分辨本领主要取决于：探针针尖的尺寸；微悬臂的弹性系数，弹性系数越低，AFM越灵敏；悬臂的长度和激光光线的长度之比；探测器PSD对光斑位置的灵敏度。
对于分辨率一定的图像，扫描范围越小，获得的表面形貌越精细。
（5）要对悬臂的弯曲量进行精确测量，除了在AFM中使用光杠杆这个方法外，还有哪些方法可以达到相同数量级的测量精度？
可采用电学方法：
隧道电流法根据隧道电流对电极间距离非常敏感的原理，将SIM用的针尖置于微悬臂的背面作为探测器，通过针尖与微悬臂间产生的隧道电流的变化就可以检测由于原子间相互作用力令微悬臂产生的形变。
电容法通过测量微悬臂与一参考电极间的电容变化来检测微悬臂产生的形变。