南京大学-原子力显微镜实验报告
中南大学近代物理实验报告-原子力显微镜实验报告
近代物理实验实验报告实验名称：原子力显微镜所在学院：物理与电子学院专业班级：物理升华班1301学生姓名：黄佳清学生学号：0801130117指导教师：黄迪辉一、目的要求(1) 了解原子力显微镜的工作原理。
(2) 初步掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法。
二、实验原理1.基本原理AFM是利用一个对力敏感的探针针尖与样品之间的相互作用力来实现表面成像的，工作原理如图1所示。
将一个对微弱力极敏感的弹性微悬臂一端固定，另一端有一微小的针尖，针尖与样品的表面轻轻接触，由于针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱的作用力（10-8～10-6 N），微悬臂会发生微小的弹性形变。
针尖和样品之间的力F与微悬臂的形变△z 之间遵循胡克定律（Hooke Law）F = k·△z其中，k为微悬臂的力常数。
测定微悬臂形变量的大小，就可以获得针尖与样品之间作用力的大小。
针尖与样品之间的作用力与距离有着强烈的依赖关系，所以在扫描过程中利用反馈回路保持针尖和样品之间的作用力恒定，即保持微悬臂的形变量不变，针尖就会随表面的起伏上下移动。
记录针尖上下运动的轨迹即可得到样品表面形貌的信息。
这种检测方式被称为“恒力”模式（Constant Force Mode），是AFM使用最广泛的扫描方式。
AFM的图像也可以使用“恒高”模式（Constant Height Mode）来获得，也就是在x、y扫描过程中，不使用反馈回路，保持针尖与参考水平面之间的距离恒定，检测器直接测量微悬臂z 方向的形变量来成像。
这种方式由于不使用反馈回路，可以采用更高的扫描速度，通常在观察原子、分子像时用得比较多，而对于表面起伏较大的样品不适合。
图1 AFM原理示意图2. AFM的工作模式当AFM的针尖与样品表面原子相互作用时，通常有几种力同时作用于微悬臂，其中最主要的是范德瓦尔斯力(Van der Waals forces)。
针尖与样品表面原于间的范德瓦尔斯力与距离关系曲线如图2所示。
原子力显微镜实验课
原子力显微镜（AFM）实验一、实验目的1.了解原子力显微镜的构造及工作原理2.原子力显微镜的样品制备3.原子力显微镜图像处理步骤二、原子力显微镜的工作原理及构造原子力显微镜是以针尖与样品之间的原子之间的范德华力（Van Der Waals Force）作用来呈现样品表面特性,范德华力属于原子级力场作用力, 所以被称为原子力显微镜。
其工作原理就是将探针装在一弹性微悬臂的一端，微悬臂的另一端固定，当探针在样品表面扫描时，探针与样品表面原子间的排斥力、吸引力会使得微悬臂轻微变形，这样，微悬臂的轻微变形就可以作为探针和样品间力的直接量度。
一束激光经微悬臂的背面反射到光电检测器，可以精确测量微悬臂的微小变形，这样就实现了通过检测样品与探针之间的原子排斥力或吸引力来反映样品表面形貌和其他表面结构。
图1 原子力显微镜构造示意图在原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统如图1所示。
各部分主要作用简介如下：1. 力检测部分：在原子力显微镜（AFM）的系统中，所要检测的力是原子与原子之间的范德华力。
所以在本系统中是使用微小悬臂（cantilever）来检测原子之间力的变化量。
微悬臂通常由一个一般100~500μm长和大约500nm~5μm厚的硅片或氮化硅片制成。
微悬臂顶端有一个尖锐针尖，用来检测样品－针尖间的相互作用力。
这微小悬臂有一定的规格，例如：长度、宽度、弹性系数以及针尖的形状，而这些规格的选择是依照样品的特性，以及操作模式的不同，而选择不同类型的探针。
图2. AFM悬臂图3. 激光位置监测器2.位置检测部分在原子力显微镜（AFM）的系统中，当针尖与样品之间有了交互作用之后，会使得悬臂cantilever摆动，所以当激光照射在微悬臂的末端时，其反射光的位置也会因为悬臂摆动而有所改变，这就造成偏移量的产生。
在整个系统中是依靠激光光斑位置检测器将偏移量记录下并转换成电的信号，以供SPM控制器作信号处理。
原子力显微镜AFM实验报告
原子力显微镜的应用和进展摘要：从原子力显微镜诞生以来，由于其在表面观测上的高分辨率以及对表面的要求较低，这项技术被广泛的应用于科研的各个领域，极大的促进了各学科的发展。
由于这项技术的重要性，在其诞生之后就一直被改进以满足不同学科不同场合的需求。
本文从具体原子力实验出发概述原子力显微镜的应用以及改进方案。
关键词：原子力显微镜 压电微悬臂 敲击式AFM 探针功能化1 引言1996年Binning 及其合作者在扫描隧道显微镜的基础上发明了AFM ，它是利用原子、分子间的相互作用力(主要范德瓦尔斯力，价键力，表面张力，万有引力，以及静电力和磁力等)来观察物体表面微观形貌的新型实验技术。
在这项表面观测技术发明以来已经被各学科所采纳、改进，以适应不同学科不同工作环境的需求。
比如在生物及医学研究中要求不能对活体细胞产生太大影响，要求力更小以免对膜有破坏作用，同时也要求原子力显微镜的扫描更快，更方便以适应更多学科对它的需求，最好能实现更好的自动化，同时最好能应用于不同的环境。
但现在而言原子力显微镜对环境的要求还是很高的，所以对原子力显微镜的改进也是件十分有意义的工作。
现在有的一个想法是对原子力显微镜的微悬臂进行改造，用压电微悬臂[4]替代，这样直接利用压电微悬臂收集数据以替代激光放大。
另外，将原子力显微镜应用于生物和医学的研究，也提出了对探针进行功能化[5]的要求。
2 原子力实验简介2.1 实验原理AFM 探针和测试样品表面原子相互靠近时会产生原子间相互作用力，这种力使连接探针的微悬臂发生形变，而通过激光检测器和反馈系统调整样品在z 轴方向的位置，使得探针和样品间的作用力保持恒定，通过测量检测信号对应样品的扫描位置的变化，就可以得到测试样品表面形貌特征。
通常原子力显微镜AFM 有几种运行模式：在斥力或接触模式中，力的量级为1∽10ev/A （或910-∽810-N ）；在引力或非接触模式中，范德瓦耳斯力、交换力、静电力或磁力被检测。
原子力显微镜
6-5 原子力显微镜【实验简介】扫描隧道显微镜工作时要检测针尖和样品之间隧道电流的变化，因此它只能用于导体和半导体的研究。
而在研究非导电材料时必须在其表面覆盖一层导电膜。
导电膜的存在往往掩盖了样品表面结构的细节。
为了弥补扫描隧道显微镜的这一不足，1986年宾尼希等发明了第一台原子力显微镜AFM（atomic force microscopy）。
原子力显微镜不仅可以在原子水平测量各种表面形貌，而且可用于表面弹性、塑性、硬度、摩擦力等性质的研究。
【实验目的】1.学习和了解原子力显微镜的结构和原理；2.学习扫描隧道显微镜的操作和调试过程，并以之来观察样品的表面形貌；【实验原理】1.原子力显微镜与STM不同，原子力显微镜测量的是针尖与样品表面之间的力。
将微小针尖放在悬臂的一端，当针尖与样品间距小到一定程度时，由于针尖与样品的相互作用（引力、斥力等），使悬臂发生弯曲形变。
如图使样品与针尖之间作扫描运动，测量悬臂的形变位移，即可得到图6-5-1 原子力显微镜示意图样品表面的形貌信息。
由于微悬臂的位移很小，对它的测量是一个关键技术。
最早发明者宾尼希等人利用隧道电流对间距的敏感性来测量悬臂的位移，但由于隧道效应对悬臂的功函数（由于污染等原因）变化同样敏感，所以稳定性较差。
现在大多数均采用光学方法或电容检测法。
本实验采用光图6-5-2 原子力显微镜光路图束偏转检测方法，如图2所示。
激光束经微悬臂背面反射、再经平面反射镜至四相限接受器，当微悬臂弯曲时激光束在接受器上的位置将发生移动，由四象限接受器检测出悬臂弯曲位移，便可得到样品的表面形貌。
2.轻敲模式成象技术常规的接触模式扫描由于针尖对样品的作用力较大，会在软样品表面形成划痕，或使样品变形，对粉体颗粒样品，会使样品移动，或将样品碎片吸附在针尖上，分辨率较差，而理想的非接触模式由于工作程短，又是难于有效实施的。
轻敲扫描模式的特点是在扫描过程中由压电驱动器将微悬臂激发到共振振荡状态，针尖随着悬臂的振荡，极其短暂地与样品表面进行接触，同时由于针尖与样品的接触时间非常短，因此剪切力引起的对样品的破坏几乎完全消失，可以清晰观测完好的表面结构而不受表面高度起伏的影响。
实验：利用原子力显微镜测量半导体薄膜表面的粗糙度
实验：利⽤原⼦⼒显微镜测量半导体薄膜表⾯的粗糙度实验：利⽤原⼦⼒显微镜测量半导体薄膜表⾯的粗糙度[实验⽬的]1、学习和了解原⼦⼒显微镜的原理和结构；2、学习掌握原⼦⼒显微镜的操作和调试过程，并以之来观察半导体样品的表⾯形貌；3、学习⽤计算机软件处理原始数据图象。
[实验仪器]本原CSCM4000型扫描探针显微镜，原⼦⼒探针等[实验原理]⼀、原⼦⼒显微镜原⼦⼒显微镜(Atomic Force Microscopy, AFM)是由IBM公司的Binnig与史丹佛⼤学的Quate于⼀九⼋五年所发明的，其⽬的是为了使⾮导体也可以采⽤扫描探针显微镜（SPM）进⾏观测。
原⼦⼒显微镜（AFM）与扫描隧道显微镜（STM）最⼤的差别在于并⾮利⽤电⼦隧道效应，⽽是利⽤原⼦之间的范德华⼒（Van Der Waals Force）作⽤来呈现样品的表⾯特性。
假设两个原⼦中，⼀个是在悬臂（cantilever）的探针尖端，另⼀个是在样本的表⾯，它们之间的作⽤⼒会随距离的改变⽽变化，其作⽤⼒与距离的关系如“图1”所⽰，当原⼦与原⼦很接近时，彼此电⼦云斥⼒的作⽤⼤于原⼦核与电⼦云之间的吸引⼒作⽤，所以整个合⼒表现为斥⼒的作⽤，反之若两原⼦分开有⼀定距离时，其电⼦云斥⼒的作⽤⼩于彼此原⼦核与电⼦云之间的吸引⼒作⽤，故整个合⼒表现为引⼒的作⽤。
若以能量的⾓度来看，这种原⼦与原⼦之间的距离与彼此之间能量的⼤⼩也可从Lennard –Jones的公式中到另⼀种印证。
从公式中知道，当r降低到某⼀程度时其能量为+E，也代表了在空间中两个原⼦是相当接近且能量为正值，若假设r增加到某⼀程度时，其能量就会为-E同时也说明了空间中两个原⼦之间距离相当远的且能量为负值。
不管从空间上去看两个原⼦之间的距离与其所导致的吸引⼒和斥⼒或是从当中能量的关系来看，原⼦⼒显微镜就是利⽤原⼦之间那奇妙的关系来把原⼦样⼦给呈现出来，让微观的世界不再神秘。
在原⼦⼒显微镜的系统中，是利⽤微⼩探针与待测物之间交互作⽤⼒，来呈现待测物的表⾯之物理特性。
原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告实验目的：本次实验旨在通过原子力显微镜对样品进行观测和分析，了解原子力显微镜的工作原理和应用。
实验仪器和材料：1. 原子力显微镜。
2. 样品。
3. 扫描探针。
4. 电脑及相关软件。
实验步骤：1. 将样品固定在样品台上，调整原子力显微镜的位置和参数。
2. 启动原子力显微镜软件，对样品进行扫描。
3. 观察扫描得到的图像，分析样品的表面形貌和结构特征。
实验结果：通过原子力显微镜观察，我们成功地获得了样品表面的高分辨率图像。
图像清晰地显示出样品表面的原子排列和微观结构，为我们提供了宝贵的信息和数据。
实验分析：原子力显微镜是一种非常强大的工具，可以实现对样品表面的原子尺度的观测和分析。
通过调整扫描参数，我们可以获取不同分辨率的图像，从而揭示样品表面的微观结构和性质。
这对于材料科学、纳米技术等领域具有重要的应用意义。
实验总结：本次实验通过原子力显微镜的操作，使我们对其工作原理和应用有了更深入的了解。
原子力显微镜的高分辨率、高灵敏度和非破坏性的特点，使其成为材料科学和纳米技术研究中不可或缺的工具。
通过实验，我们对原子力显微镜的操作技能和样品表面的观测能力得到了提高。
在今后的学习和科研工作中，我们将进一步掌握原子力显微镜的原理和技术，不断拓展其在材料科学、生物医学等领域的应用，为科学研究和技术创新做出更大的贡献。
结语：通过本次实验，我们对原子力显微镜有了更深入的了解，实验结果也为我们提供了宝贵的数据和信息。
相信在今后的学习和科研工作中，我们将能够更好地运用原子力显微镜这一强大的工具，取得更多的成果。
愿我们在科学研究的道路上不断前行，探索出更多的奥秘，为人类的发展进步贡献自己的力量。
南京大学-原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告一．实验目的1．了解原子力显微镜的工作原理2．掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法二．实验原理1．AFM工作原理在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。
在AFM 中用一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。
当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱的作用力(吸引或排斥力) ,引起微悬臂偏转。
扫描时控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运动, 因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法) 对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化, 此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整。
将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三维立体形貌图像。
AFM 的核心部件是力的传感器件, 包括微悬臂(Cantilever) 和固定于其一端的针尖。
根据物理学原理,施加到Cantilever末端力的表达式为：F K Z=∆∆表示针尖相对于试样间的距离, K为Cantilever的弹性系数，力的变化均可以通过Cantilever Z被检测。
AFM 有三种不同的工作模式：接触模式、非接触模式和共振模式或轻敲模式。
本实验采用接触模式：样品扫描时，针尖始终同样品“接触”，即针尖-样品距离在小于零点几个纳米的斥力区域。
此模式通常产生稳定、高分辨图像。
当沿着样品扫描时，由于表面的高低起伏使得针尖-样品距离发生变化，引起它们之间作用力的变化，从而使悬臂形变发生改变。
当激光束照射到微悬臂的背面，再反射到位置灵敏的光电检测器时，检测器不同象限会接收到同悬臂形变量成一定的比例关系的激光强度差值。
反馈回路根据检测器的信号与预置值的差值，不断调整针尖一样品距离，并且保持针尖一样品作用力不变，就可以得到表面形貌像。
2．粗糙度的概念表面粗糙度是反映零件表面微观几何形状误差的一个重要指标。
原子力显微实验报告
数据处理：测量次数为6次，则x = n≈1；则A 类分量的不确定度∆A =σ=N i ——N 6i=1 2k −1;则槽宽∆A D =15..71槽深∆A h =4.10 条宽∆A d =79.49而在此仪器的测量中，∆B =0.5nm∆= σ2 + ∆B 2;则∆ D =15.71； ∆ h =4.11； ∆ d =79.49；其相对不确定度为：槽宽D ：15.71/491.33=3.12%槽深h:4.11/89.11=4.6%条宽d =79.49/1331.67=5.9%测量的数据可写为：槽宽D=491.333+− 15.71nm ；槽深h=89.11+−4.11nm ；条宽d=1331.67+−79.49nm实验总结：通过本次实验我了解了利用保持原子之间的相互作用力一定的基础上，利用探头位移的空间变化来表现样品微观表面的原理，通过这次实验也让我重温了一次不确定度得概念。
思考题：原子力显微镜的工作原理是什么？原子力显微镜的工作原理：原子力显微镜（ AFM ）的原理是利用针尖与样品表面原子间的微弱作用力来作为反馈信号，维持针尖——样品间作用力恒定，同时针尖在样品表面扫描，从而得知样品表面的高低起伏。
AFM的工作原理是将一个对微弱力非常敏感的微悬臂一端固定，另一端装上探针，针尖与样品表面轻轻接触，针尖尖端原子与样品表面原子间极微弱的排斥力使微悬臂向上弯曲。
通过检测微悬臂背面反射出的激光光点在光学检测器上的位置变化，可以转换成力的变化，因为反射光点的位置变化或微悬臂弯曲变化与力的变化成正比。
微悬臂的弯曲是多种力的共同作用结果，其中最普遍的是范得瓦尔力，针尖与样品表面微小的距离变化就能产生不同大小的范得瓦尔力。
通过控制针尖在扫描中这种力的恒定，测量针尖纵向的位移量，就可获得样品表面的微观信息。
2、原子力显微镜主要的扫描模式是什么？各自的特点？AFM有两种工作模式：恒力模式和恒高模式。
在恒力模式中，通过精确控制扫描头随样品表面形貌变化在纵向上下移动，微持微悬臂所受作用力的恒定，从扫描头的纵向移动值得出样品表面的形貌像。
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南京大学-原子力显微镜实验报告
原子力显微镜实验报告
一．实验目的
1．了解原子力显微镜的工作原理
2．掌握用原子力显微镜进行表面观测的方法
二．实验原理
1．AFM工作原理
在原子力显微镜的系统中，可分成三个部分：力检测部分、位置检测部分、反馈系统。
在AFM中用一个安装在对微弱力极敏感的微悬臂上的极细探针。
当探针与样品接触时,由于它们原子之间存在极微弱的作用力(吸引或排斥力) ,引起微悬臂偏转。
扫描时控制这种作用力恒定,带针尖的微悬臂将对应于原子间作用力的等位面,在垂直于样品表面方向上起伏运动, 因而会使反射光的位置改变而造成偏移量，通过光电检测系统(通常利用光学、电容或隧道电流方法)
对微悬臂的偏转进行扫描,测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化, 此时激光检测器会记录此偏移量，也会把此时的信号给反馈系统，以利于系统做适当的调整。
将信号放大与转换从而得到样品表面原子级的三维立体形貌图像。
AFM 的核心部件是力的传感器件, 包括微悬臂(Cantilever) 和固定于其一端的针尖。
根据物理学原理,施加到Cantilever末端力的表达式为：
=∆
F K Z
∆表示针尖相对于试样间的距离, K为Cantilever的弹性Z
系数，力的变化均可以通过Cantilever被检测。
AFM 有三种不同的工作模式：接触模式、非接触模式和共振模式或轻敲模式。
本实验采用接触模式：样品扫描时，针尖始终同样品“接触”，即针尖-样品距离在小于零点几个纳米的斥力区域。
此模式通常产生稳定、高分辨图像。
当沿着样品扫描时，由于表面
的高低起伏使得针尖-样品距离发生变化，引起它们之间作用力的变化，从而使悬臂形变发生改变。
当激光束照射到微悬臂的背面，再反射到位置灵敏的光电检测器时，检测器不同象限会接收到同悬臂形变量成一定的比例关系的激光强度差值。
反馈回路根据检测器的信号与预置值的差值，不断调整针尖一样品距离，并且保持针尖一样品作用力不变，就可以得到表面形貌像。
2．粗糙度的概念
表面粗糙度是反映零件表面微观几何形状误差的一个重要指标。
表面粗糙度的评定参数很多，这里选用轮廓算数平均偏差Ra，微观不平度十点高度Rz，轮廓最大高度Ry作为系统纳米粗糙度测量的三个轮廓高度评定参数。
轮廓算数平均偏差Ra为取样长度内轮廓偏距绝
对值的算术平均值：
11||n
i i Ra y n ==∑
其中i
y 为基线中线的表面轮廓高度，n 为所取的轮廓偏距数。
微观不平度十点高度Rz 是指在取样长度内的5个
最大的轮廓峰高的平均值和5个最大的轮廓谷深的平均值之和
551115pi vi i i Rz y y ==⎛⎫=+ ⎪⎝⎭∑∑
轮廓最大高度Ry 为取样长度内轮廓峰顶线与轮廓谷底线之间的距离：
()max 0i i pi vi Ry R i k R y y ⎧=≤≤⎪⎨=+⎪⎩
式中,pi vi y y 分别为第i 个轮廓峰高和第i 个轮廓谷深，k 为取样长度内的峰谷个数。
三．实验装置
控制机箱，激光电源，样品台，高压电源，计算机
四．实验步骤
（1）依次开启：电脑-控制机箱-高压电源-激光器。
（2）用粗调旋钮将样品逼近微探针至两者间距<1 mm。
（3）再用细调旋钮使样品逼近微探针：顺时针旋细调旋钮，直至光斑突然向PSD移动。
（4）缓慢地逆时针调节细调旋钮并观察机箱上反馈读数：
Z反馈信号约稳定在100~200
--之间（不单调增减即可），就可以开始扫描样品。
（5）读数基本稳定后，打开扫描软件，开始扫描。
（6）扫描完毕后，逆时针转动细调旋钮退样品，细调要退到底。
再逆时针转动粗调旋钮退样品，直至下方平台伸出1厘米左右。
（7）实验完毕，依次关闭：激光器-高压电源-控制机箱
（8）处理图像，得到粗糙度
五．数据处理
实验的图像结果如下，样品为A4纸。
二维图像形貌：
三维图像形貌：
数据结果为：粗糙度
:6.8:85.4:85.4
Ra nm Ry nm Rz nm
扫描范围:4000:4000
X nm Y nm
图像大小:400:400
X pixel Y pixel
六．误差分析
该实验主要是观察扫描图像，没有理论值可以比较，但从实验原理讲还是存在一定的误差。
首先，实验中不能保证仪器处于完全静止状态，任何微小振动，比如说话和走动，都能引起图像上出现一道裂缝，所以实验图像不可能完全平整。
图像的精细程度与扫描的取样次数有很大关系，实验中为了缩短扫描时间，取样数设置的不是很高，所以实验图像不是很清晰，如果把取样次数调高，那么得到的图像纹理就会很清晰。
七．思考题
（1）AFM探测到的原子力的由哪两种主要成分组
成？
答：一种是吸引力即范德瓦耳斯力，另外一种是电子云重叠而引起的排斥相互作用。
（2）怎样使用AFM，才能较好地保护探针？
答：仔细调节接触距离，首先进行粗调，不要让探针压迫样品，保持探针与样品1mm，然后进行细调细调的时候观察反射的斑点，以保证探针不压迫样品。
（3）原子力显微镜有哪些应用？
答：原子力显微镜可以在真空，超高真空，气体，溶液，电化学环境，常温和低温等环境下工作，在研究时可选择适当的环境。
在物理学上，AFM可以用于研究金属和半导体的表面形貌、表面重构、表面电子态及动态过程,超导体表面结构和电子态层状材料中的电荷密度等。
另外原子力显微镜在摩擦学中的有
许多应用，如纳米摩擦、纳米润滑、纳米磨损、纳米摩擦化学反应和机电纳米表面加工等。
（4）与传统的光学显微镜、电子显微镜相比，扫描探针显微镜的分辨本领主要受什么因素限制？
答：传统的光学显微镜和电子显微镜存在衍射极限，即只能分辨光波长或电子波长以上线度的结构。
而扫描探针显微镜的分辨本领主要取决于：探针针尖的尺寸；微悬臂的弹性系数，弹性系数越低，AFM 越灵敏；悬臂的长度和激光光线的长度之比；探测器PSD对光斑位置的灵敏度。
对于分辨率一定的图像，扫描范围越小，获得的表面形貌越精细。
（5）要对悬臂的弯曲量进行精确测量，除了在AFM 中使用光杠杆这个方法外，还有哪些方法可以达到相同数量级的测量精度？
答：可采用电学方法。
隧道电流法根据隧道电流对电极间距离非常敏感的原理，将SIM用的针尖置于微悬臂的背面作为探测器，通过针尖与微悬臂间产生的隧道电流的变化就可以检测由于原子间相互作用力令微悬臂产生的形变。
八．实验心得
首先要保持样品的清洁，ATM是比较精密的仪器，如果用手触摸样品，留下油渍，那么在图像中会反映出来，影响了实验结果。
其次AFM 的针尖是整个仪器最脆弱的部分，一碰即断，所以应该防止一切物体与针尖直接接触。
实验过程中针尖容易损坏的环节主要是进针的时候。
本实验实验时针尖已安装好，所以在装样品和粗调是不要碰到尖针。
在实验过程中，桌面的震动会是扫描的图形出现一条缝。
由于实验采用的是接触模式，周围环境的震动会影响图形的的测量结果，因而开始扫描后尽量保持实验桌的稳定，否则会过大的震动会破坏图形。