真空泵的工作原理

检修 检查真空系统 清洗或维修防返油阀 清洗或维修进气口和防返油阀 放掉多余的泵油 对油进行脱气或换油并冲洗泵腔；预防：打
开气镇阀 加油
清洗或更换消音孔部件 降低进气口压强
清洗或更换油雾过滤器 更换一个新的弹性联轴体
维修泵
四、真空计校准
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●真空计现场校准
打开现场中原接入真空计规管接头处,接入三通。三通的另两关分别接入被校真空计 与标准真空计； 打开真空泵，观察标准真空计显示的真空下降的速度，以便确认整个抽真空系统是 否有泄漏； 观察两真空计数值下降的一致程度，并记录10 Pa和6 Pa时被校真空计的数值，计算 被校真空计在每一点的相对误差值，对于超过50%，先进行基准电流的调试。如实 在无法调整过来，，更换规管，如更换规管后，误差还是无法调整，则判为不合格 。通知设备维修部门更换真空计。
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真空泵的工作原理 Company name
高新区工程装一车间工艺组●凌碧慧
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目录
1 真空泵的简介和主要构成部件
2
真空泵的工作原理
3
真空泵的常见故障
4
真空计校准
5 快速接头的构造与密封原理
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一、真空泵的简介和主要构成部件
●真空泵的简介
种噪音可由二次空气来消音。
二次空气注入口
二、真空泵的工作原理
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●真空泵的气振
气振阀帽 加强板
气振阀体 弹簧 油过滤器
我们的冰箱系统中除了存在空气，可能还有水蒸 汽，蒸汽会溶解于油中，这将有损于泵油的性能 ，或将泵油乳化，引起泵的腐蚀。为此，在抽气 过程终止后，打开气振阀继续运转至少运转30分 种，当全部蒸汽被抽除，能改善可达到的极限压
排气阀故障 泵油不合适 进气口被污染 泵的抽速太小
检修 检查、维修电源线
更换电机 更换电机 加热泵和泵油或使用别的类型的泵油
换油 清洗过滤器或排气管道
维修泵 使用正确的测量方法及规管/在泵的进气口处
直接测量真空度 ——
维修防返油阀 维修排气阀
换油（必要时对油脱气） 清洗抽气管道
确认系统参数，必要时换泵
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基本概念：
1、压强：单位面积上的压力称为压强。国际标准单位为牛 顿/米2，即帕斯卡。
2、真空：是指在给定的空间内，压强低于101325帕斯卡( 也即一个标准大气压强)的气体状态。又可分为高真空、中真 空和低真空，它的气体稀薄程度用真空计测定。
3、真空度：处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“ 真空度高”和“真空度低”来表示。实际是一种气体压强概念 。
四、真空计校准
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● 54DB（59C4）真空计现场定点调整方法
调整规管电流值 1．1看清规管上标注的电流值； 1．2按下真空计电流按键，一直按着不要松开，然后调整校准旋钮，将电流值调到 与规定标注相同的电流值。（刻度盆下面一圈为电流值）； 1．3调准确后，松开电流按键。 2、调整定点值 2．1按下模拟按键，不要松开； 2．2调整定点旋钮，将指针调到所要求的真空值； 2．3调准确后，松开模拟按键。 3、调整切换点 3．1按下模拟按键，不要松开； 3．2调整切换旋钮，将红绿点中绿灯的亮，调到真空值以下为绿灯，超过真空值为 红灯； 3．3注意红绿灯在真空临界值附近切换的控制； 3．4调准确感觉满足要求后，松开模拟按键。
泵油的循环受阻 排气过滤器或排气管道被堵塞
排气阀故障 泵腔被磨损
检修 清洗进气管道（预防：在进气口前安装一个
杂物过滤器） 更换过滤器
使用直径足够大的管道或短的连接管道 对系统进行检查
维修防返油阀
正确的安装（电机后部应留足够的空间）
降低环境温度、最高允许环境温度40度 改变工艺 加油 换油
清洗或维修进油嘴 更换过滤芯、清洗排气管道
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●快速接头的接口部分
对插连接头 顶针 卡簧 锁紧环
※顶针靠连接头内的卡簧将其顶起 。 ※锁紧环的上下移动将导致接头内 小圆珠的凸起或下陷。
※顶针与连接头的结合面处有O型 密封圈。
密封圈 顶针
※当快速接头与自封接头对接时， 两接头的顶针都被相互抵下陷。
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强。wk.baidu.com振的工作原理：进气---压缩---排气。
三、真空泵的常见故障
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故障 泵无法启动
泵达不到极 限压强
可能的原因 电源线连接不正确； 供给电机的电源电压与电机不匹配；
电机发生故障； 泵油温度低于10摄氏度；
泵油太粘稠； 排气过滤器或排气管道被堵塞
泵被卡死
测量方式或规管不合适
外部泄漏 放返油阀失效
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各种压强单位之间的换算 1标准大气压=1.01325×105 Pa（帕斯卡） 1 MPa（兆帕）=1×106Pa（帕斯卡） 1bar（巴）=0.1兆帕=1×105帕斯卡 1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕） 1inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕） 1mbar（巴）=100帕斯卡 1Torr（托）= l/760标准大气压=133.322帕 1kg/cm2（公斤力）=0.98×105帕斯卡 可以 简化记：1巴（bar）=1标准大气压=1公斤/平方厘米=100千帕（KPa)=0.1兆 帕（MPa）
维修排气阀 更换泵腔部件
三、真空泵的常见故障
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故障
在真空管道 中或被抽容 器中发现油
泵油混浊、 乳化
泵的噪音过 大
可能的原因 油来自真空系统 防返油阀失效 防返油阀的密封面磨损或太脏
油位过高
可凝性气体凝结
油位太低（观察窗内已经看不到油） 消音孔被堵塞 进气口压强太高
内部油雾过滤器被堵塞 弹性联轴体磨损 叶片或轴承损坏
密封片 前腔
前级 泵
泵支架
二级泵 二级泵 顶盖
一、真空泵的简介和主要构成部件
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●真空泵体的主要构成部件
缸体 轴、键
转子 旋片
法兰、离心开关
支架
风扇、法兰、弹性联轴体
一、真空泵的简介和主要构成部件
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●真空泵各阀门分解
防返油阀
排气阀
单向排气阀
堵帽
离心开关
弹簧片
五、快速接头的构造及密封原理
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●快速接头的锁紧部分
套桶 接头
密封圈
卡扣
锁紧扣
锁紧环
卡扣铰链结构，一端固定在接头上，另外一端卡在套桶 上，当卡扣被推向快速接头的接口时，带动接头、锁紧 环向前推进，使得卡簧收紧锁住工艺管，接头前端的密 封圈厚度主要密封工艺管与接头的间隙。
五、快速接头的构造及密封原理
二、真空泵的工作原理
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●真空泵的进气及前级压缩工作原理
注油口
气体从进气口被吸入，通过通气/隔离阀进入前级泵的泵腔 中，在泵中，气体被传送，当入口处被叶片封闭后气体被传 送和压缩，在转到过程中油从注油口被吸入缸体内；一方面 ，油起到缸壁与叶片端面间的密封与润滑作用，另一方面还 起到叶片在转子中的密封与润滑作用。在缸体中，气体被压
一、真空泵的简介和主要构成部件
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●真空泵的主要构成部件
真空管 卡箍
法兰
硅管
导电轨
碳刷
电机
真空泵体
控制开关
真空计
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一、真空泵的简介和主要构成部件
●真空泵体的主要构成部件
一、真空泵的简介和主要构成部件
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●真空泵体的主要构成部件
后腔
前泵 顶盖
Company name 故障
泵的抽速太 慢
停泵以后， 被抽容器中 的压强上升
过快
泵在运行中 温度过高
三、真空泵的常见故障
可能的原因
进气口或进气管道被堵塞
排气过滤器被堵塞 连接的真空管直径太小或管道太长
真空系统有泄漏
防返油阀故障
冷却泵所需的风受阻 泵工作的环境温度太高
所抽气体的温度太高 油位太低 油不适合
缩后通过前级泵与二级泵之间支架通道进入二级泵。
二、真空泵的工作原理
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●真空泵的二级压缩及排气工作原理
当气体被从支架通道吸入二级泵缸体后， 气体又被如同前级泵一样传送和压缩（即 容积的大小转换压缩），最终通过排气阀 排入排气通道然后排出大气外，其中压缩 的气体夹带的油将被过滤器收集。通常在 泵运转于极限压强下会出现油撞击声，这
油封式真空泵分为定片式、旋片式、滑阀式和余摆线式四种类型。 旋片式真空泵（简称旋片泵）属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为 其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气 体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。 旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来 。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。 旋片泵的抽速与入口压强的关 系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1（Pa）下，其抽速 值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。 我司选用的莱宝泵即为双级旋片式真空泵。
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四、真空计校准
●如何将真空计在10Pa和6Pa时的相对误差调到20%以下
一、当系统稳定时，对应标准真空计的示值，按下54DB真空计的校准键， 将电流值调小； 二、松开校准键，观察在被校真空计的示值的相对误差是否减少，若减小 ，则证明将电流值调小为正确的。反之则将电流值调大； 三、反复调整直至将被校真空计的示值调整到与标准真空计一致； 四、关闭真空泵，当真空度回升后50Pa左右后，再开启真空泵，观察被校 真空计在10Pa和6Pa时的相对误差； 五、反复调整，直到将相对误差值调到可接受的程度。