FMCS 监控系统简介-00
FMCS系统介绍
U12 控制柜
S12 控制柜
B12 控制柜
TC 控制柜
IDF机房（40AI，12AO，256DI，48DO）：冰机 系统、CDA系统、纯水系统、空调箱
1F西北库房（8AI，8AO，32DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU
1F空调房（8AI，8AO，96DI32）：空调箱，主 要是OAU、AHU和FFU
6F空调房（16AI，8AO，64DI，16DO）：空调 箱，主要是OAU和AHU
北厂I/O盘位置
计算机 交换机 CPU(s7-400)
U13
控制柜
P13
控制柜
S13
控制柜
冰机房（16AI，8AO，128DI，32DO）：冰机系 统、CDA 、PCW
中控室（48AI，24AO，16DI，32DO）：空调箱 1.5F空调房（152AI，56AO，288DI，64DO）： 空调箱
在FMCS监控系统中采用标准的电脑网络传输系统，为提供FMCS监 控系统工作站与工作站间、或数据存储服务器与工作站间的通讯功能， FMCS规划上采用的标准是以太网络为传输媒介并利用TCP/IP通讯协议 作为标准的通讯格式。这样，既可增加FMCS监控系统的扩充性与相容 性，还可以使用TCP/IP通讯协定的另一优点——就是TCP/IP通讯协定的 定址方式，可提供几乎不限个数的工作站在同一网络上连线，即提供 系统工作站的扩充能力。
2F电气房（32AI，8AO，96DI，32DO）：空调 箱，排风系统，回水箱 RFMAU房（32AI，24AO，96DI，）：空调箱， 主要是OAU和AHU及FFU
1F空调房（16AI，16AO，192DI，64DO）：空 调箱，室内温湿度 3F空调房（272AI，240AO，192DI，64DO）： 空调箱，室内温湿度
飞行管理系统介绍
飞行管理系统介绍一、飞行管理系统（FMC）组成和基本功用（一）、飞行管理系统（FLIGHT MANAGEMENT SYS）由五个分系统组成：1、飞行控制系统（DFCS）包括自动驾驶（A/P）和飞行指引（F/D），其核心为两台飞行控制计算机，该系统用于自动飞行控制（FCC）和飞行指引。
2、自动油门系统（A/T）其核心是一台自动油门计算机和两台发动机油门操纵的伺服机构，A/T 提供从起飞到着陆全飞行过程的油门控制。
3、飞行管理计算机系统（FMCS）其核心是一台飞行管理计算机FMC和两台控制显示组件CDU，它用于从起飞到进近的几乎全部飞行过程的横向（LATERAL）剖面和纵向（VERTICAL）剖面的飞行管理。
我部的34N型飞机装有两部FMCS，这使飞行管理系统的可靠性更高。
4、惯性基准系统（IRUS）其核心为两台惯导基准组件IRU，其主要功用为提供飞机的姿态基准和定位参数，也可用于飞机自备、远距导航。
5、电子飞行仪表系统（EFIS）33A和34N型飞机装备的是电子飞行仪表系统，3T0型飞机装备的还是旧式的机械式仪表。
由于飞行仪表的电子化，逐渐淘汰老式的机械式仪表，而电子飞行仪表必须有相应的字符，符号等图形信号发生器，以提供阴极射线管CRT或液晶LCD显示。
EFIS就是起这个作用的电子式飞行仪表显示系统，它主要包括两台符号发生器（EFIS SG）和两套姿态指引仪（EADI）、两套水平状态指示器（EHSI）。
（二）、飞行管理系统的基本作用：这套系统技术先进，设备量大，承担的任务多，其中最根本的功用是：1、实现飞行的自动化，大大减轻了飞行员的工作负担，减少人为操作所不可避免的差错和失误。
2、实现飞行全程的优化：（1）起飞阶段（TO）—根据飞机的全重和环境温度提供最佳目标推力。
（2）爬升降段（CLB）—提供最佳爬升剖面：包括爬升点，阶段爬升的设置，目标推力和目标空速的设定。
（3）巡航（CRZ）—提供最佳高度和巡航速度，以及大圆航线和导航系统的选择和自动调谐。
厂务设施中央监控系统设计指引
Facility Monitoring and Control SystemDesign Guide厂务设施中央监控系统设计指引技术手册高科技项目/仪电组目录1.0系統簡介 (3)1.1系統用途 (3)1.2主要設備 (3)1.3控制功能 (5)2.0設計準則 (5)3.0設計步驟及注意事項 (7)3.1建立廠務監控系統架構圖 (7)3.2依設備需求製作控制系統之I/O L IST (9)3.3繪製各系統設備之控制流程(概念)圖 (10)3.4選擇相關軟體 (10)3.5控制器與儀器平面配置圖 (11)3.6廠務監控系統規範書 (11)3.7儀器規範書 (12)3.8完成廠務監控系統圖面設計與規範 (12)3.9圖面設計與規範書之校核、審定與核准 (12)3.10圖面設計與規範書確認 (13)1.0 系统简介1.1 系统用途半导体电子厂厂务系统之中央监控系统，是提供半导体电子厂房洁净的工作环境及稳定与安全的Utility供应系统，使工厂生产线运作顺利，维持高良率。
负责供应半导体电子厂之洁净的厂房环境维护及制程上所需之各系统之厂务公用设施，称为“厂务系统”，每个厂务系统大都会有自己独立之监控系统(统称为SCADA，Supervisory Control And Data AcquisitionSystem) 例如Mep SCADA、Clean Room SCADA、Power SCADA、WWT SCADA、DIW SCADA….等。
中央监控系统(FMCS)，简单的说是将许多不同系统性质之监控子系统(SCADA)，进行信息之整合，进而形成一个单一且功能强大的全厂厂务管理系统，成为有效的管理信息，做为厂务系统操作者与管理阶层的有效工具。
1.2 主要设备厂务监控系统，主要之设备如下：1.控制器‧PLC (Program Logic Controller)可程控器‧DDC (Direct Digital Controller)直接数字控制器‧SLC (Single Loop Controller)单回路控制器‧DCS (Distribution Control System)分布式控制系统目前半导体电子厂之FMCS架构大都以PLC或空调用DDC为Base较多。
23 FMCS概述
第四节飞行管理计算机系统的执行部件
二．显示装置
1·控制显示组件（CDU） 2．电子飞行仪表系统（EFIS） 提供导航，制导和导航背景数据给EF1S字符发生器，用于在EADI和EHSI上
显示。FMC输出有关飞行计划的飞行航路、飞机航向、航路点、导航台、 机场、跑道、风值等信息以地图显示的形式出现在EFIS的电子姿态指引 仪（EADI）和电子水平状态指示器（EHSI）的显示屏幕上。飞行员可非 常直观地通过该显示器了解整个飞机的详细动态情况。对于EADI来说， 它主要是IRS的显示器，只显示来自FMC的地速和飞机在各飞行阶段的飞 行方式；EHSI显示许多来自FMC的信息。它显示FMC信号的方式有两种。 一种是“计划（PLAN）”方式；另一种是“地图（MAP）”方式。两 种方式都可以显示飞行航线、航路点、导航台等飞行信息，通过控制板 上的“距离”选择电门来决定显示的范围。在这两种方式下，FMC能对 无线电导航VOR／DME实现自动调谐。在“地图”方式时，FMC还可向 EHSI传输附加数据，根据飞行员的要求，在导航图上显示附加导航点、 预计到达时间等额外信息。 3·马赫／ 空速表（MASI） 马赫／空速表是ADC的显示仪表，它在上面显示飞机的空速，用指针指示 飞机的每小时的海里数，同时也在表盘上用数字显示。有的马赫／空速 表上的目标空速游标旋钮只有在压进位置，且FMS正工作在V NAV方式 时，马赫／空速表上的目标空速游标才显示FMC的计算目标空速。 16
17
第四节飞行管理计算机系统的执行部件
二．显示装置
7．发动机显示与机组警告系统（EICAS） 有些飞机上装有发动机指示与机组警告系统（EICAS），它不但替代了许多指针式仪
表，且还可以显示大量的信息。FMCS在EICAS上显示两个数值和各种文字信息。 当垂直导航（VNAV）已衔接，FMC计算的发动机目标推力以红色数字在EICAS的显
FMCS 设计说明
主要功能
文字语音转换功能，实现最 大的灵活性 多交付机制（电话/语音， ＰＡ/扬声器，传呼机，电 子邮件等） InTouch HMI和ArchestrA报 警确认功能 允许高度定制的语音记录器 灵活的调度允许按照班、日 或时间提交信息
上海吉威电子系统工程有限公司 系统整合事业部
FMCS系统常用软件介绍
上海吉威电子系统工程有限公司
系统整合事业部
demonliu@
Click to edit company slogan .
FMCS子系统硬件规范 FMCS子系统软件规范 FMCS子系统SCADA规范 FMCS系统整合规范
上海吉威电子系统工程有限公司
系统整合事业部
FMCS系统常用软件需求
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 软件名称 Wonderware Intouch 10 Wonderware Activefactory v9.2 Wonderware SCADA Alarm Wonderware Historian Wonderware HMI 报表 Wonderware Information Server Wonderware DA Server 其它 用途 SCADA 人机界面软件 历史数据查看器 实现Call Out 及邮件等播 报功能 历史数据库软件 报表制作软件 HMI网络应用软件 数据通迅软件 计算机操作系统软件
上海吉威电子系统工程有限公司 系统整合事业部
FMCS常用系统架构
上海吉威电子系统工程有限公司
系统整合事业部
FMCS系统技术规范
FMCS系统技术规范目的是提供给各子系统之工作指引与规范，以期 未来所有子系统之画面风格、操作方式、颜色定义能够一致，以利厂 务人员之日常操作。各监控系统设计人员须严格遵循，以避免事后修 改，也有利于未来整合的工作。 当监控系统设计期间，若因特殊情况无法依照规范执行，须通知业主 及FMCS承商，业主及FMCS承商负责人员将视状况调整规范文件内 容。 其规范内容包括：
FMCS飞行管理计算机系统
第一章1.什么是飞行管理系统？FMS的组成？并简述各组成部分之间的关系？飞行管理系统是由许多计算机，传感器，无线电导航系统，控制板，电子显示仪表，电子警告组件以及执行机构联系起来的大设备系统。
主要四大部分FMCS、IRS、AFCS、A/TFMCS-包括FMC和CDU，是系统中枢。
IRS是FMC基本传感器，向FMC提供2/3台IRU输出的导航数据，FMC进行加权平均，主要参数有PPOS、GS、TRK、WIND等AFCS是FMCS的执行部分，FMC对A/P、F/D、STB/TRIM、SPD/TRIM、A/T提供综合控制。
AFCS-MCP给FMC提供L NA V、V NA V制导衔接，选择目标空速、目标马赫数，FMC 向FCC提供经济目标空速、目标马赫数。
A/T是FMCS的执行部分，FMC通过FCC向A/T提供目标推力，从而控制飞行速度。
A/T 包括油门伺服机构（放大器、电机）和油门杆。
2.简述FMS在各飞行阶段中的性能功能。
起飞——飞行员通过FMCS的CDU输入飞机全重和外界温度，FMC进行计算，为飞机提供最佳起飞目标推力。
这个起飞目标推力使飞机在规定时间内达到起飞速度，不会损伤飞机发动机。
爬高——根据飞行员的选择和FMC确定的目标推力和目标速度，FMS提供最佳爬高剖面，（在规定的爬高速度和规定的发动机推力下，以最佳爬高角度到达规定的高度）。
FMC还根据情况向飞行员提供分段（阶梯）爬高和爬高顶点高度的建议，供飞行员选用。
这些建议一旦实施可使飞行进一步节省燃油。
巡航——FMS根据航线长短、航路情况等选定最佳巡航高度和最佳巡航速度。
在飞行的两机场之间采用大圆弧路径，结合无线电甚高频导航获得最优巡航飞行。
采用大圆弧路径使两点之间的飞行距离最短。
下降——FMS根据飞行员输入或储存的导航数据确定飞机开始下降的顶点。
飞机在下降阶段时，由FMS确定下降速度，最大限度地利用飞机的位能，节省燃油消耗。
进近——FMS在下降结束点，在既定高度、确定航距上，以优化速度引导飞机到跑道上的着陆点。
fmcs应用实例
fmcs应用实例
FMCS是集监测、计量、控制、管理于一体的工厂设备智能管理系统，应用于制药企业管理系统中。
该系统包括变配电子系统、给排水子系统、空压子系统、通风子系统、制冷子系统、空调子系统、智能照明子系统、电梯系统等多个现场子系统，同时为能源管理系统提供了大量的数据支撑，构成了能源管理系统的基础部分。
FMCS的应用可以实现各设备子系统的远程集中监控，提高各子系统负荷随动的自动化程度，提升各子系统的运行可靠性，提升生产管理能效。
通过能源消耗统计、分析，促进企业节能减排，为企业打造全厂信息化管理的智能工厂。
FMCS在实际应用中，可以根据不同行业和领域的需求进行定制化开发，以满足不同场景的需求。
FMCS在洁净厂房工程上的应用
1引言以某微电子产业项目为背景，论述计算机集中监控系统（Facility Management and Control System,FMCS ）在微电子洁净厂房工程中的应用。
该FMCS 系统由监控工作站、系统数据服务器、网络通信设备、现场PLC 控制柜、远程I/O 柜、各类仪表、阀门等组成。
实现对建筑内空调、通风、排风系统、废气处理系统、中温冷冻水系统、压缩空气、气体纯化等进行集中监控管理，并以图形方式显示所监视系统的运行状况，实现显示系统动态参数、运行状态和故障情况[1]。
此外，系统还将通过统一的通信接口和通信协议，连接相关系统和成套设备所提供的盘柜，并将其关键数据集成到FMCS 系统中，实现在统一的平台上进行监视与控制、故障报警和历史数据存储。
2系统架构该FMCS 系统由两层组成，上层用于监控管理的系统，下层用于现场数据采集和控制的系统，通过工业以太网交换机，以光纤环网的拓扑结构连接成FMCS 在洁净厂房工程上的应用姚刚（中国电子科技集团公司第四十七研究所，沈阳110032）摘要:要实现微电子洁净厂房的正常运转，离不开与之配套的电力、空调、通风、排风系统、废气处理系统、纯水系统、中温冷冻水系统、压缩空气、特气及大宗气体纯化等外围条件保障系统。
在微电子厂房厂务管理中应用计算机集中监控系统（FMCS ）可实现对建筑内各系统及成套设备的集中监控管理，通过统一的通信接口和通信协议，连接相关系统和成套设备所提供的盘柜，并将其关键数据集成到FMCS 系统中，实现在统一的平台上进行监视与控制、故障报警和历史数据存储。
通过此系统，厂务管理人员在中控室即可准确掌握FAB 及CUB 内各动力设备运行状态，有利于维护系统及生产环节的紧密结合和协调运转。
关键词：洁净厂房；厂务管理；计算机集中监控系统DOI ：10.3969/j.issn.1002-2279.2020.03.014中图分类号:TP277文献标识码:A 文章编号：1002-2279（2020）03-0062-03The Application of FMCS in Clean Room ProjectYAO Gang(The 47th Institute of China Electronics Technology Group Corporation,Shenyang 110032,China )Abstract:In order to realize the normal operation of microelectronics clean room,it is indispensable to the supporting peripheral condition guarantee systems such as electric power,air conditioning,ventilation,exhaust system,waste gas treatment system,pure water system,medium temperature chilled water system,compressed air,special gas and bulk gas purification.The application of FMCS in facility management of microelectronic workshop can realize the centralized monitoring and management of various systems and complete sets of equipment in the building.Through unified communication interfaces and communication protocols,the panels and cabinets provided by relevant systems and complete sets of equipment are connected,and their key data are integrated into FMCS system to realize monitoring and control,fault alarm and historical data storage on a unified platform.Through the system,factory management personnel can accurately grasp the operation status of all power equipment in FAB and CUB in the central control room,which is conducive to the close combination and coordinated operation of maintenance system and production links.Key words:Clean room;Facility management;FMCS作者简介：姚刚（1987—），男，山东省滕州市人，硕士，工程师，主研方向：电力电子技术。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
20
• • • • •
----报警条的显示有三种型式: 报警出现: 此时报警条的颜色为红色. 报警消失: 此时报警条的颜色为绿色. 报警确认: 此时报警条的颜色为黄色. ----系统提供方便的打印功能,能够将监控值的瞬时值按照 顺序打印出来,也可将某一过程值在某一时间段内的变化 曲线打印出来
21
5
按I/O点数分类
• • • • • • 根据PLC的I/O点数的多少，可将PLC分为微型、小型、 中型、大型和巨型五类。 超小型或微型PLC I/O点数小于的64点。 小型PLC I/O点数为64点以上、256点以下的为小 型PLC。 中型PLC I/O点数为256点以上、2048点以下的为 中型PLC。 大型PLC I/O点数为2048以上、8192点以下的为 大型PLC。 超大型PLC I/O点数超过8192点。
2
PLC简单介绍
• 可编程序控制器（PLC）也是一种数字运算操作的电子系 统，专为在工业环境下应用而设计。它采用可编程序的存 贮器，用来在其内部存贮执行逻辑运算、顺序控制、定时、 计数和算术运算等操作的指令，并通过数字的、模拟的输 入和输出，控制各种类型的机械或生产过程。 • 我们知道个人计算机Programmable Controller（简称PC） 为了区别可编程序控制器与PC机。就把可编程序控制器 定名为Programmable Logic Controller（PLC）。
9
2 系統监控对像 系統监控对像
氣體監控系統
:包括 GDS (Gas Detector System)及
GIS (Gas I nformation System)
化學供應系統 : CDS (Chemical Dispense System) 空調系統 : HVAC (Heating Ventilate Air Conditioner) 純水系統 : UPW (Ultra Pure Water) 廢水系統 : WWT (Waste Water Treatment) 給/排水系統 : Plumbing System 無塵室系統 : CR (Clean Room) 電力系統 : Power SCADA
3
PLC的构成
从结构上分，PLC分为固定式和组合 式（模块式） 两种。固定式PLC包括CPU板、I/O板、显示面板、内存 块、电源等，这些元素组合成一个不可拆卸的整体。模块 式PLC包括CPU模块、I/O模块、内存、电源模块、底板 或机架，这些模块可以按照一定规则组合配置 。
4
PLC系统的其它设备
12
纯水系統
• 通讯模块抓取现场设备讯号，超低液位（现场硬接线方 式）。
发电机/高压系統
• 参数：功率因數、電流、電壓、故障（现场硬接线方式）。
锅炉系統
• 讯 号：出水温度、运行/停止状态、水位。 • 循环泵：出口压力、变频器频率控制。 • 热回收1、2次：运行/停止状态、变频器频率控制
13
冰机系統
FMCS---厂务监控系统
陈玉锋 2008-10-9
1
FMCS 是 Facility Monitoring Control System 的縮 寫 ，其中文意思為廠務監控系統。 芯片厂的FMCS一般是用中大型PLC作为核心，配上 传感器 执行元件 计算机等设备进行控制和监控。要清楚 了解FMCS就有必要知道PLC的一般知识
19
•
• ----监控系统为用户提供了及时与详尽的故障报警,分级显 示。例如报警共分为三个等级,按照故障的主次程度排列, 与生产关系最紧密的设备故障或最重要的过程值超过设定 值被列为一级报警。二级、三级报警依次类推。对于一级 报警，系统除在报警画面中作出相应提示外，还以警铃与 警灯提醒用户报警的严重性。如果发生第二级报警，系统 除在报警画面中作出相应提示外，还以警灯提醒用户这是 次一级的报警。对于第三级报警，系统只在报警画面中作 出相应提示。 • ----在除报警画面以外的所有画面中的底部均有一个报警 条，随时刷新出现的报警,报警条中包含报警级别,报警时 间,报警设备等信息。监控人员在发现有报警出现后即可 对报警设备作出及时的处理。
一般排气系統
• 一般排气机：静压、风管压差、运行状态、故障状态、启 停控制、阀门开闭、变频器频率控制
废水处理系統
• 通讯模块抓取现场设备讯号
18
监控功能简介
• ----本监控系统将监控内容按照所接入的分站分为八个部 分。每个分站均含有一幅或几幅画面用来显示要监视的 信号,这些信号有些把实际数值直接显示在屏幕上,有些 则是通过动态棒图或其它的形式来展示。每幅画面中均 包含进入其它分站的按钮,点击这些按钮就可直接进入其 它分分站。这使浏览路径尽量简化。 ----系统提供了全部被监视信号在最近半年或一年的过程 值的连续记录,并可以通过连续曲线图表现于历史查询画 面中,每个画面中均有一个或几个曲线图窗口,窗口包括 过程值的数值坐标,时间坐标,在当前时间坐标内的变化 曲线, 并有趋势图设置菜单条，包括模板调整、时间范 围设定、局部放大等功能。
6
PLC系统的硬件和软件结构图
计算机 工业软件
CPU 主主
EM1 扩扩 模模
EM2 扩扩 模模
EMn 扩扩 模模
TD200 文文 显显显
TP系系
触触触
通通 及及及及及
其其 及及
7
FMCS 簡介
• 系統簡介 • 網路架構說明 • 监控功能說明
8
FMCS簡介
1、系統概述 、
FMCS 用途是將廠區內特定的，有危害的，影響製程狀態或系 統資料於此監控。並將其記錄，以供問題即時處理及日後問題 分析。
11
网络架构
PLC的8个 分布式I/O 工控机 计算机/ 打印机等
PLC
PLC
UPW
CDS
WWT
HVAC
POWER
CR
DRAIN /GIVE
GDS /GIS
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
传感器/ 执行元件
14
制程冷却水系統
• 制程冷却水泵：运行状态、故障状态、启停控制、变频器 频率控制 • 制程冷却水板热：电动阀控制
空调系統
• 干盘管循环泵：压力、运行状态、故障状态、启停控制、 变频器频率控制 • 干盘管板热：水管温度、电动阀控制
15
• MAU：风管温度、露点温度、静压、电动阀、运行状态、 故障状态、风压差、滤网差压、启停控制、阀门开闭 • MAU水洗泵：电动阀控制 • 冷却塔：水管温度、电动阀、运行状态、故障状态、启停 控制
• 参数：进出水管温度、运行状态、故障状态 • 冰水一次泵：运行状态、故障状态、启停控制（一用一备， 冰机启动时启动。） • 二次泵：运行状态、故障状态、启停控制、变频器频率控 制 • 冰机冷却水泵：运行状态、故障状态、启停控制（冰机启 动时启动。）
制程真空系統
• 制程真空泵：运行状态、故障状态、启停控制
• 1、编程设备：编程器是PLC开发应用、监测运 行、检查维护不可缺少的器件，用于编程、对系统作一些 设定、监控PLC及PLC所控制的系统的工作状况，但它不 直接参与现场控制运行。小编程器PLC一般有手持型编程 器，目前一般由计算机（运行编程软件）充当编程器。 • 2、人机界面：最简单的人机界面是指示灯和按 钮，目前液晶屏（或触摸屏）式的一体式操作员终端应用 越来越广泛，由计算机（运行组态软件）充当人机界面非 常普及。 • 3、输入输出设备：用于永久性地存储用户数据， 如EPROM、EEPROM写0
參考圖) 網路架構 (參考圖 參考圖
• 可配合最普遍的 Windows 內建網路功能 • 工控机与计算机之间採用高效率的層對層通訊方式 (TCP/IP) - 取代檔案溝通方式，達到最佳通訊效率 • 主站与从站，从站与传感器/执行元件之间用特殊的通讯 协议通讯。主站和从站相距过远（一般为大于1000米）时， 为保证通讯速率及可靠性应加中继器。 • 最佳的網路效果 - 多部電腦可相互監看、控制 - 可共享列表機與磁碟機機等資源 - 可達到相互備份的效果 • 2台PLC一台作沉余用，以保证工作PLC坏掉时系统正常 运行。
空压机系統
• 空压机：运行状态、故障状态 • 空压机冷却水泵：运行状态、故障状态、启停控制 • 空压罐：露点温度
16
化学供应系統
• 通讯模块抓取现场设备讯号
无尘室系統
• • • • • 干盘管 FFU：运行状态、故障状态、启停控制 室内温度 室内湿度 室内静压
废气处理系統
17
• • • •
洗涤塔：运行状态、故障状态、启停控制 洗涤塔循环泵：运行状态、故障状态 洗涤塔加药泵：运行状态、故障状态 吸附塔：运行状态、故障状态、启停控制