全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展

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全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展

全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展

全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展全固态薄膜锂离子二次电池具有较高的安全性、重量较轻、能量密度较高、而且使用寿命较长,在一些微电池系统领域有着较好作用,具有较高的应用价值。

在许多信息工业以及一些微型加工工业中,基于工业特性,对电池系统提出了较高要求,一般的电池往往不具有较高的安全性,而且能量密度不足,难以保障工业的顺利进行。

全固态薄膜锂离子二次电池则能较好解决工业操作过程中的电池问题,具有较好作用。

本文主要对全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展进行分析,提出了一些建议。

标签:全固态薄膜锂离子二次电池;研究;进展在社会经济的推动下,我国的电池行业得到了较好发展,全固态薄膜锂离子二次电池也有了较大进步,在实际应用中发挥出了较好作用。

在电池方面,只有具备较高的能量密度、安全性、可靠性等要素才能更好在工业各环节操作中发挥重要作用,但是很多电池并不具備较好的性能,在应用过程中容易出现多种隐患。

全固态薄膜锂离子二次电池则具有较高性能、使用寿命长,因此,技术人员可以将其应用微电池系统中,能够起到较好作用。

1 全固态薄膜锂离子二次电池分析在实际生活中,薄膜锂离子结构的设计质量与全固态薄膜锂离子二次电池的整体性能有着紧密联系,如果结构设计质量不高,将直接对全固态薄膜锂离子二次电池的使用寿命、能量密度等优势有着重大影响,因此,基于薄膜锂离子结构设计的重要性,技术人员必须对其结构进行有效优化,这样才能更好保障全固态薄膜锂离子二次电池的应用性能。

在实际情况中,薄膜锂离子结构的种类较多,一些技术人员设计出了电池叠层结构,在这种结构中,需在衬底中对阴阳极电流收集极薄膜进行沉积,主要为两层;之后再对阴极进行沉积;然后对固体电解质以及阳极薄膜进行沉积,最后对保护层进行涂抹,以保障全固态薄膜锂离子二次电池的正常运作。

有些技术人员对薄膜锂离子电池结构进行了简化,在对相应的薄膜电池材料进行沉积后,设计了两个引线端子,方便薄膜电池进行连接,这种结构对电池的有效面积进行了扩大,对全固态薄膜锂离子二次电池的性能进行了提高。

(完整版)全固态锂电池技术的研究进展与展望

(完整版)全固态锂电池技术的研究进展与展望

全固态锂电池技术的研究进展与展望周俊飞(衢州学院化学与材料工程学院浙江衢州324000)摘要:现有电化学储能锂离子电池系统采用液体电解质,易泄露、易腐蚀、服役寿命短,具有安全隐患。

薄膜型全固态锂电池、大容量聚合物全固态锂电池和大容量无机全固态锂电池是一类以非可燃性固体电解质取代传统锂离子电池中液态电解质,锂离子通过在正负极间嵌入-脱出并与电子发生电荷交换后实现电能与化学能转换的新型高安全性锂二次电池。

作者综述了各种全固态锂电池的研究和开发现状,包括固态锂电池的构造、工作原理和性能特征,锂离子固体电解质材料与电极/电解质界面调控,固态整电池技术等方面,提出并详细分析了该技术面临的主要科学与技术问题,最后指出了全固态锂电池技术未来的发展趋势。

关键词:储能;全固态锂离子电池;固体电解质;界面调控1 全固态锂电池概述全固态锂二次电池,简称为全固态锂电池,即电池各单元,包括正负极、电解质全部采用固态材料的锂二次电池,是从20 世纪50 年代开始发展起来的[10-12]。

全固态锂电池在构造上比传统锂离子电池要简单,固体电解质除了传导锂离子,也充当了隔膜的角色,如图 2 所示,所以,在全固态锂电池中,电解液、电解质盐、隔膜与黏接剂聚偏氟乙烯等都不需要使用,大大简化了电池的构建步骤。

全固态锂电池的工作原理与液态电解质锂离子电池的原理是相通的,充电时正极中的锂离子从活性物质的晶格中脱嵌,通过固体电解质向负极迁移,电子通过外电路向负极迁移,两者在负极处复合成锂原子、合金化或嵌入到负极材料中。

放电过程与充电过程恰好相反,此时电子通过外电路驱动电子器件。

目前,对于全固态锂二次电池的研究,按电解区分主要包括两大类[13]:一类是以有机聚合物电解质组成的锂离子电池,也称为聚合物全固态锂电池;另一类是以无机固体电解质组成的锂离子电池,又称为无机全固态锂电池,其比较见表1。

通过表1 的比较可以清楚地看到,聚合物全固态锂电池的优点是安全性高、能够制备成各种形状、通过卷对卷的方式制备相对容易,但是,该类电池作为大容量化学电源进入储能领域仍有一段距离,主要存在的问题包括电解质和电极的界面不稳定、高分子固体电解质容易结晶、适用温度范围窄以及力学性能有提升空间;以上问题将导致大容量电池在使用过程中因为局部温度升高、界面处化学反应面使聚合物电解质开貌发生变化,进而增大界面电阻甚至导致断路。

全固态锂电池材料、结构及研究进展

全固态锂电池材料、结构及研究进展

书山有路勤为径;学海无涯苦作舟
全固态锂电池材料、结构及研究进展
电动汽车、大规模储能和微型器件等领域的发展要求不断提高现有二次电池的能量密度、功率密度、工作温度范围和安全性,而全固态锂电池作为最具潜力的电化学储能装置,近年来受到广泛关注。

本文阐述了全固态锂电池的优点(即固态电解质的使用有助于提高锂电
池安全性、能量密度和功率密度,拓宽电池工作温度范围和应用领域),指出了作为全固态电池关键材料的固态电解质应满足的要求,并在此基础上分别讨论了聚合物电解质和无机固态电解质(特别是硫化物和氧化物)的优缺点。

此外,文章介绍了固态锂电池的 3 种结构类型,即薄膜型、3D 薄膜型和体型,综述了全固态锂电池从薄膜型向体型发展的历史进程及现状,并在此基础上讨论了全固态电池最终实现安全性、高能量密度和功率密度仍需解决的固态电解质材料方面问题。

随着能源危机和环境污染问题的日益突显,人们对清洁、可再生能源的
需求越来越迫切。

实际应用中,太阳能、风能、水力等可再生能源需要被转化为电能等二次能源才能广泛被人们加以利用。

为解决这类自然可再生能源与电力需求在时空分布上的不匹配问题,储能技术的发展必不可少。

在众多储能技术中,电化学储能技术,即电池的使用受到人们越来越多的
关注。

电池储能具有高效、规模可调的特点,既可整合于电力系统作为能量储
存单元,起到对电网削峰填谷的作用,提高电网运行的可靠性和稳定性,也可用于移动通讯、新能源汽车等领域,为人类生活质量的提高提供源源不断的能量支持。

专注下一代成长,为了孩子。

二次电池的充电和放电-2023届高三化学专项复习

二次电池的充电和放电-2023届高三化学专项复习

A.充电时,电池的总反应 Li2O2 2Li+O2
C.放电时,Li+从正极穿过离子交换膜向负极迁移 D.放电时,正极发生反应 O2+2Li++2e- Li2O2
设问:总反应、电池工作效率、离子移动方向、电极反应 两个选项涉及电解池,两个选项涉及原电池
1.(2022·全国乙)Li-O2电池比能量高,在汽车、 航天等领域具有良好的应用前景。近年来,科学
下列说法错误的是 ( D ) A.放电时,负极反应为 Zn-2e-+4OH- Zn(OH)42− B.放电时,1 mol CO2 转化为 HCOOH,转移的电子数为 2 mol C.充电时,电池总反应为 2Zn(OH)42− 2Zn+O2↑+4OH-+2H2O D.充电时,正极溶液中 OH-浓度升高
C.放电时,Li+从正极穿过离子交换膜向负极迁移 D.放电时,正极发生反应 O2+2Li++2e- Li2O2
放电时,阳离 子移向正极
放电 负极:2Li - 2e- = 2Li+ 正极:O2+ 2Li+ + 2e-= Li2O2
总:2Li + O2 = Li2O2
充电 光催化电极 = e- + h+ 阴极:2Li+ + 2e- = 2Li 阳极:Li2O2 + 2h+ = O2 + 2Li+
= Na3Ti2(PO4)3 + Cl2
设问:电极判断 电解质溶液酸碱性变化 电解质溶液浓度变化 依据电子守恒的计算 电解池原电池均有考查
3.(2021·湖南)锌/溴液流电池是一种先进的水溶液电解质电池,

全固态薄膜锂离子电池负极和电解质材料的研究进展

全固态薄膜锂离子电池负极和电解质材料的研究进展

242材料导报2008年5月第22卷专辑X全固态薄膜锂离子电池负极和电解质材料的研究进展*曹乾涛,吴孟强,张树人(电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室,成都610054)摘要全固态薄膜锂离子电池是锂离子电池的最新研究领域,薄膜化的负极、电解质材料是全固态薄膜锂离子电池的重要组成部分。

主要对碳基材料、锡基材料、硅基材料、合金等全固态薄膜锂离子电池负极材料和电解质薄膜材料近几年来的研究状况进行了综述,并展望了其发展趋势。

关键词全固态锂离子电池负极材料电解质材料薄膜R ese a r ch Pr ogr es s i n A nodes a nd El ect r ol yt es f or A l l。

s ol i d-。

st at e,nli n F i l m L i-i on B at t er i esC A O Q i ant ao,W U M engqi ang,ZH A N G Shur en(St at e K e y L a bora t or y of E l ect r oni c Thi n F i l m s and I nt eg r at ed D ev i ces,U n i ver si t y of E l ect r oni c Sci ence a ndTechnol ogy of C hi na,C he ngdu610054)A bs t ract A l bs ol i d-st at e t hi n f i l m l i t h i t m a-i on bat t er i es have bec om e t he ne w est f il ed i n t he devel o pm em ofl i t hi u r w i on bat t er i e s.T hi n f i l m anodes and el ect r o l yt es have be e n t her e f or e t he i m por t ant pa r t s.T he r ec ent r e sear c h pr ogr es s i nt he el ect m l”e m at er i al s and t he t hi n f i l m a node m at er i al s i nc l udi ng car b on-based,t i n-b ased,si l i con-ha sed m at er i al s and al l oys i s re vi ewed,and t he pr ospe ct s ar e al s o pr e sent ed i n t his pape r.K ey w or ds al l-sol i d-s t at e,t i t hi m n-i on bat t er i es,anode m at eri al s,el ect rol yt e m at eri al s,t hi n f i l m s0引言全固态薄膜锂离子电池拥有较当前锂离子二次电池更小的尺寸、更高的能量密度、更长的循环寿命及更高的可靠性,目前在低电流元件的应用上备受青睐,将成为锂离子电池发展领域的一朵奇葩。

全固态3D薄膜锂离子电池的研究进展

全固态3D薄膜锂离子电池的研究进展

全固态3D薄膜锂离子电池的研究进展作者:邓亚锋钱怡崔艳华刘效疆来源:本站浏览数:289 发布时间:2013-8-8 16:28:160 引言全固态薄膜锂离子电池主要由正/负极薄膜、电解质和集流器薄膜组成.整个电池厚约10 μm,可设计成任意形状和大小集成在IC电路中,是便携式电子设备、微电子机械系统(MEMS)以及微型国防技术装备(如微型智能武器)的理想能源。

全固态平面薄膜电池(图1)受限于几何结构,能量和功率密度难以满足快速发展的MEMS、微型医疗器械、无线通信、传感器等领域对微电源的要求。

全固态三维薄膜锂离子电池(简称3D锂电池)通过独特的构架设计(图2),增大单位立足面积内电极活性物质负载量,并缩短锂离子扩散半径,提高了电池的容量和充放电速率。

是解决未来微电子器件能量需求的一种有效方式,引起了人们的极大关注。

1 不同构架的全固态3D薄膜锂电池1.1 叉指碳柱3D电池叉指碳柱3D电池由加利福尼亚大学Wang小组于2004年首次提出(图3),在Si/SiO2衬底上涂覆感光胶,光刻得到图形,再经过高温热解及后处理,即制得正/负极叉指状碳柱3D电池。

叉指碳柱既可以直接作为电极,又可以作为集流器,在其表面沉积各种电化学活性物质。

2008年,Min等研究了在叉指碳柱上电镀十二烷基苯磺酸盐掺杂聚吡咯(PPYDBS)导电聚合物薄膜的方法。

结果表明,覆盖约10 μm厚PPYDBS的叉指阴极(C-PPYDBS),电极电位从碳电极的3.2 V提高到了3.7 V(相对于Li/Li+),但自放电较为严重,电池的放电容量远小于充电电容。

为改善叉指碳柱电极性能,Teixidor等制备出包覆中间相碳微球的叉指碳柱(C-MCMB),有效提高了电极不可逆容量,但可逆容量仍较低。

Chen等在叉指碳柱上包覆碳纳米管(CNT/C-MEMS)使单位立足面积电容达到8.3 F/cm2,充放电循环性能得到显著提高。

叉指碳柱电极成本低、热力学和化学稳定性好、易制成各种形貌、能包覆不同的活性材料(图4),光刻-热解工艺较为成熟,适合工业化生产。

全固态聚合物锂电池的科研进展、挑战与展望

全固态聚合物锂电池的科研进展、挑战与展望

全固态聚合物锂电池的科研进展、挑战与展望张建军;董甜甜;杨金凤;张敏;崔光磊【摘要】锂离子电池已经广泛地应用于国民经济的诸多方面.然而,随着消费电子产品和电动汽车对锂离子电池能量密度和安全性能要求的不断提升,开发兼顾两者性能的高性能锂离子电池迫在眉睫.基于传统液态有机碳酸酯类电解液的锂离子电池存在电解液泄漏、挥发、燃烧、爆炸等潜在安全隐患.相对于无机全固态锂电池而言,全固态聚合物锂电池更容易大规模制造,是实现锂电池高能量密度和高安全性的相对理想的解决方案.作为全固态聚合物锂电池的最核心部件,全固态聚合物电解质起着至关重要的作用.基于此,本文重点论述了聚环氧乙烷、聚硅氧烷、脂肪族聚碳酸酯等几种典型全固态聚合物电解质的科研进展.与此同时,还对近几年国内外知名公司企业以及科研院所在全固态聚合物锂电池方面的技术应用现状和专利布局进行了系统分析.文末还对全固态聚合物锂电池用高性能全固态聚合物电解质的设计制备、新型锂盐开发、正极材料黏结剂、负极优化、界面构筑调控、制备成型工艺等方面面临的主要挑战和发展趋势进行了阐述.【期刊名称】《储能科学与技术》【年(卷),期】2018(007)005【总页数】8页(P861-868)【关键词】全固态聚合物电解质;高性能;全固态聚合物锂电池;科研进展;发展趋势【作者】张建军;董甜甜;杨金凤;张敏;崔光磊【作者单位】青岛储能产业技术研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,山东青岛 266101;青岛储能产业技术研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,山东青岛 266101;青岛储能产业技术研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,山东青岛 266101;青岛储能产业技术研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,山东青岛 266101;青岛储能产业技术研究院,中国科学院青岛生物能源与过程研究所,山东青岛 266101【正文语种】中文【中图分类】TM911编者按:储能科学与技术的发展日新月异,新的储能体系不断涌现并取得实质性进展,鉴于此,在第二届编委会的建议下,本刊自2018年起设立“新储能体系”栏目,栏目主编为中国科学院物理所李泓研究员。

全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展

全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展
中国西部科 技
2 0 1 3 年0 1月第 1 2卷第 0 1期总第 2 8 2期

制备 出了L i P O NF L L T O多层薄膜, 这种复合材料拥有 了L L T O
3 全固态薄膜锂离子二次 电池材料 的研究
1 9 8 3 年 Ka n e h o r i 等【 】 成功 研制 出第一块全 固态薄膜 锂 电池 , 其理论 比容量 比普通锂 离子电池 更高且具有更高的安 全性 。 然而对于全 固态薄膜锂 离子电池 关键 性薄膜材料的选 取和制作 ,则直接 决定着其 是否能得到好的 电化学性能 。 3 . 1正极 薄膜材料 全 固态薄膜锂 电池研 究的初 期,主要正极材料 有 T i S 2 、
me t h o d a n d c h a r g e - d i s c h rg a e p r o p e r t i e s o f l rg a e - s i z e d nd a t h i n - i f l me d
等高 电位 正极材料所取代 。 层状 的 L i Co 02 具有 优 良的循环性 能和高的 比容量等优 点,被实 际应用 到商业化 当中 。D u d n e y等[ 。 】 制 备的 多晶态
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论 著8全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展耿利群任岳*朱仁江陈涛(重庆师范大学物理与电子工程学院,重庆 400047)摘 要:本文综述了全固态薄膜锂离子二次电池的研究进展,主要阐述了薄膜锂电池的结构设计以及正极、负极和固体电解质材料研究现状,并对其今后的发展趋势及研发热点进行了展望。

关键词:全固态薄膜锂离子二次电池;固体电解质;电池结构DOI:10.3969/j.issn.1671-6396.2013.01.0041 引言随着电子信息工业和微型加工技术快速发展,对其所需的微型能源则提出了特殊微型化的要求。

其中全固态薄膜锂离子二次电池因其高的能量密度、强的安全性、长的循环寿命、宽的工作电压和重量轻等优点,成为微电池系统需求的最佳选择[1]。

本文主要介绍了全固态薄膜锂离子二次电池的关键性薄膜材料及电池结构的研究现状,并对其的开发应用及研究前景作了分析。

2 全固态薄膜锂离子二次电池结构的研究薄膜电池结构的设计,对整个电池性能将产生直接的影响;同样对提高电池的能量密度、循环寿命和锂离子的传输速率也起到至关重要的作用。

所以优化薄膜电池结构的设计,则是对构造高性能薄膜锂离子电池做到了强有力的支撑。

1993年美国橡树岭国家实验室(ORNL)Bates等[2]研制出了一种经典的薄膜锂离子电池叠层结构(见图1)。

在衬底上先沉积两层阴阳极电流收集极薄膜,而后依次沉积阴极、固体电解质和阳极薄膜,最后在薄膜电池外表面上涂一层保护层,以此来防止阳极上金属锂和空气中的一些物质发生化学反应。

图1 薄膜锂离子电池结构剖面示意图Baba等[3]研发出另一种典型的薄膜锂离子电池结构(见图2)。

其较图1薄膜锂电池结构设计更为简单,制作更为容易。

在不锈钢衬底上依次沉积各层薄膜电池材料,而在图示中有两个引线端子则是为了便于薄膜电池的连接使用。

这种结构设计很好地提高了整个电池的有效面积,进而也极大地改善了薄膜电池的性能。

Nakazawa等[4]利用直流溅射和射频溅射的方法,研制出一种“直立型”全固态薄膜锂离子电池结构(见图3)。

该研究小组利用该薄膜电池结构设计,成功制备出有效面积更大的全固态薄膜锂离子电池,这样也使得薄膜电池的能量密度和循环寿命等电化学性能得到大幅度提升。

图2 全固态薄膜锂离子电池结构剖面示意图图3 “直立型”全固态薄膜锂离子电池剖面示意图Hart等[5]设计了柱状电极交替排列的微型锂电池结构(见图4)。

并对几种不同的正极、负极排列方式进行了相关的研究计算,得出了此薄膜电池的结构能够大大提升薄膜电池本身的能量密度。

然而Eftekhari[6]则研制出了一种3-D微型锂电池结构的LiMn2O4电极,与以往微型锂电池结构的LiMn2O4电极在电池容量方面得到了提升。

图4 3-D微电池柱状结构示意图[正极(灰色)、负极(白色)交替排列分布]3 全固态薄膜锂离子二次电池材料的研究1983年Kanehori等[7]成功研制出第一块全固态薄膜锂电池,其理论比容量比普通锂离子电池更高且具有更高的安全性。

然而对于全固态薄膜锂离子电池关键性薄膜材料的选取和制作,则直接决定着其是否能得到好的电化学性能。

3.1 正极薄膜材料全固态薄膜锂电池研究的初期,主要正极材料有TiS2、MoO3和WO3等,随后被V2O5、LiCoO2、LiNiO2和LiMn2O4等高电位正极材料所取代。

层状的LiCoO2具有优良的循环性能和高的比容量等优点,被实际应用到商业化当中。

Dudney等[8]制备的多晶态LiCoO2薄膜循环特性差、比容量低,只有在700℃以上退火时才能使循环特性和比容量得到改善;而Park等[9]则在相同的制备方法中加入了偏压,不需要退火就能得到较高的比容量和较好的循环特性。

由于LiCoO2材料价格昂贵、原材料不足及环境问题等缺陷,则极大地阻碍了其向前发展的动力。

LiMn2O4由于其资源丰富、环境友好和安全性能高等优点,一直受到了人们的广泛关注。

Wu等[10]成功研制出了无裂缝、无定形、致密的LiMn2O4薄膜,同时随着升高退火的温度和延长退火的时间,其能提高容量和改善循环特性;Li 等[11]等制备出的含有ZrO2的Li x Mn2O4-0.5ZrO2(LMZO)薄膜,经过退火之后其获得了良好的晶粒结构,同时也表现出优异的电化学特性。

然而LiMn2O4材料容量衰减较快和循环寿命较短等缺陷,则极大地限制了商业化的发展。

除了以上一些正极材料外,许多新型的材料也在不断地涌现,如LiFeP04、Li3V2(P04)3、二元和三元材料等,其也都将可能成为人们研发的热点。

3.2 负极薄膜材料最先用作全固态薄膜锂电池负极材料的是金属锂薄膜[12],因其具有电低位、比容量高和质量轻等优点,故一直成为目前采用最多的负极材料;而其安全性能差、熔点低和枝晶问题等缺陷,则限制了自身的发展空间。

碳基材料、锡基材料和硅基材料都曾经是科研人员研发的热点,但因其出现不同的电化学性能问题,使得人们不得不致力于新型材料的研发。

对于Li3N、CrN、LiNiVO4、Sb2O3和Li4Ti5012等材料的研究,都得到了很好的电化学性能;其中Li4Ti5012以较高的电位、“零应变”特性、较大的离子扩散系数、高的热稳定性及循环性能稳定等优点,得到了人们的研发重视。

3.3 固体电解质薄膜材料固体电解质材料在全固态薄膜锂离子电池中伴着重要的角色,其所具有的性能直接决定着薄膜电池的电化学特性。

Kuwata等[13]利用PLD法制备出了非晶态的Li2. 2V0.54Si0.46O3.4薄膜,其在常温下离子电导率达到2.5×10-7 S/cm。

Bates等[14]采用射频磁控溅射方法,成功研制出一种非晶态的LiPON薄膜,其在常温下其离子电导率达到3.3×10-6S/cm,电化学窗口高达5.5V。

Lee等[15]制备出了LiSiPON薄膜,离子电导率则高达1.24×10-6S/cm,最高可承受的电压为5.5V。

同时为了利用到LiPON薄膜优良的电化学特性,Li等[16]制备出了LiPON/LLTO多层薄膜,这种复合材料拥有了LLTO 薄膜离子电导率较高及LiPON稳定性较好的特点;为此今后多层结构的固体电解质材料也将引起人们的高度关注。

4 展望全固态薄膜锂离子电池在微型能源的应用方面,具有很好的发展前景。

随着不断地优化薄膜电池结构的设计以及新型正极材料、负极材料和固体电解质材料的相继被研发出现,全固态薄膜锂离子电池所具有的电化学性能必将得到大大的改善。

然而全固态薄膜锂离子电池以其易制作、易弯曲和高的能量密度等优点,在微电子信息技术及微加工技术等方面都将具有广阔的应用发展前景。

参考文献:[1] Bates J B,Dudney N J,Lubben D C,et al.Thin-film Rechargeable LithiumBatteries[J].J.Power Sources,1995,54(1):58-62.[2] Bates J B,et a1.Rechargeable thin-film lithium microbatteries[J].SolidState Techn,1993,36(7):59.[3] Baba M,Kumaga N,Kobayash H,et al.Fabrication and electrochemicalCharacteristics of all-solid-state lithium-ion batteries using V2O5 thin films for both electrode[J].Electrochemical Solid State Letters,1999, 2(7):320.[4] Nakazawa Hiromi,Sano Kimihiro,et al.Fabrication by using a sputteringmethod and charge-discharge properties of large-sized and thin-filmed lithium ion rechargeable batteries[J].J Power Sources,2005,146:758. [5] Hart R W,White H S,Dunn B,et al.3-Dmicrobatteries[J].ElectrochemistryCommunications,2003,5:120-123.[6] Eftekhari A.3D deposition of LiMn2O4:enhancement of lithium batteryperformance[J].Solid State Ionics,2003,161:41-47.[7] Kanehori K,Matsumoto K,Miyauchi K,et al.Thin-film Solid Electrolyteand Its Application to Secondary Lithium Cell[J].Solid State Ionics, 1983,9-10:1445.[8] Dudney N J,Jang Yi.Analysis of thin-film 1ithium batteries with cathodesof 50nm to 4µm thick LiCoO2[J].J Power Sources,2003,119:300.[9] Park H Y,Lee S R,Lee Y J,et al.Bias sputtering and characterization ofLiCoO2 thin film cathodes for thin film microbattery[J].Materials Chemistry and Physics,2005,93:70-78.[10]Wu X,HE Z,MA M,et al.Rare Metals,2006,25(6):620.[11]Li C,Fu Z.All-solid-state rechargeable thin film lithium batteries withLi x Mn2O4 and Li x Mn2O4-0.5ZrO2 cathodes[J].Electrochimica Acta,2007, 52:6155-6164.[12]Kanehori K,Matsumoto K,Miyauchi K,et al.Solid State Ionics,1983,9/10:1445-1448.[13]Kuwata N,Kawamura J,Toribami K,et al.[J].Electrochemistry Communications,2004,6:417-421.[14]Bates J B.Dudney N J.Method of making an electrolyte for an electrochemicalcell:US,5512,147[P].1996-04-30.[15]Lee S J,Bae J H,Lee H W,et al.Electrical conductivity in Li-Si-P-O-Noxynitride thin-films[J].J Power Sources,2003,123(1):61.(下转第23页)式中:Δσ*为等效应力的最大值与最小值之差,即Δσ*=σ*maxσ*min;α为反映损伤对平均应力依赖关系的系数;β为疲劳试验决定的系数。

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