超短脉冲激光提升微加工的速度与效率

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超快激光脉冲产生及其应用

超快激光脉冲产生及其应用

超快激光脉冲产生及其应用超快激光脉冲是指脉冲持续时间非常短,一般在几十飞秒到皮秒之间的激光脉冲。

这样的激光脉冲在科学研究、医疗、精密加工等领域有着广泛的应用。

本文将分别介绍超快激光脉冲的产生原理和其在不同领域中的应用。

超快激光脉冲的产生需要一系列的技术手段,包括产生激光光束、调制光束以及通过非线性光学效应将调制的光束变成超快脉冲等。

1、激光光束的产生激光光束的产生需要使用激光器,激光器的种类比较多,包括气体激光器、半导体激光器、液体激光器和固体激光器等。

其中,固体激光器由于其结构紧凑、功率大、波长稳定等特点,在超快激光脉冲的产生中得到广泛的应用。

调制光束的产生需要使用一些光学器件,比如增益调制器、相位调制器等。

通过这些器件可以对激光光束进行调制,使其携带更多的信息,并且可以为后续的非线性光学效应提供条件。

3、超快脉冲的产生超快脉冲的产生是通过光学非线性效应实现的。

光学非线性效应是指当激光光束与物质相互作用时,光强度增强或者减弱的效应。

这些效应包括自相位调制、四波混频、光学增益压缩等。

通过这些效应,可以将调制光束变成超快脉冲,这些脉冲的宽度一般在几十飞秒到皮秒之间。

1、科学研究超快激光脉冲在物理、化学、生物等领域的研究中有着广泛的应用。

比如,在物理研究中,超快激光脉冲可以用来研究光学脉冲的产生、传输和变化等过程;在化学研究中,超快激光脉冲可以用来研究分子和化学反应等;在生物研究中,超快激光脉冲可以用来研究单细胞、细胞分裂、分子运动等。

2、医疗超快激光脉冲在医疗方面的应用主要集中在两个方面,即眼科和皮肤科。

在眼科领域,超快激光脉冲可以用来进行激光屈光手术,这种手术方式比传统的激光手术更加精细,可以有效避免激光手术的风险。

在皮肤科领域,超快激光脉冲可以用来进行皮肤美容和治疗激光补色等,这些应用与传统的激光美容相比,更加精确和安全。

3、精密加工超快激光脉冲在精密加工中也有着很大的应用,比如微加工、纳米加工、拓扑缩放等。

超快激光加工技术在微纳加工中的应用

超快激光加工技术在微纳加工中的应用

超快激光加工技术在微纳加工中的应用超快激光加工技术是一种高效、精度高的微纳加工技术,它能够有效地实现对微观、纳米级物质的刻蚀加工。

这种技术的主要特点是:加工速度快、精度高、加工过程中不产生热影响和化学反应,以及可做成多种形状和结构。

超快激光加工技术的原理是采用超短激光脉冲照射,利用激光的脉冲时间非常短,仅为皮秒、飞秒、亚飞秒级别,因此光子的能量密度特别高,可以在极短的时间内剥离并去除微观物质的一小部分,形成微小的刻痕或凹槽。

这种加工过程需要先制备出一个采用高等离子过程制备的激元在表面扭动的纳米结构,再借助激元进行刻蚀加工,在加工过程中原有的激元会迅速传递给周围的材料,使材料迅速扭曲和脱落,最后形成纳米结构。

超快激光加工技术是以高能量密度、短脉宽、高峰值功率的超快激光为原料来进行切割加工,使得切割台基材被激光瞬间蒸发,形成了一定形状和大小的微纳结构。

这种加工技术具有高能量密度、高精度、高加工效率、低表面粗糙度、无损伤、高通量等特点,为微纳器件的制造提供了新的手段。

超快激光加工技术的应用主要分为两方面:一是加工微纳器件;二是加工微纳结构。

加工微纳器件是超快激光加工技术的一大优势。

由于其无法触及,因此需要使用特制加工机进行加工。

由于其加工精度高,可以制成各种形状和结构,因此在微纳制造中具有重要的应用前景。

其应用范围涵盖微纳电子器件、微纳机械器件、微纳光学器件等。

加工微纳结构则是超快激光加工技术的另一大应用领域。

超快激光加工技术可以直接刻蚀表面,制成各种微观和纳米级别的结构,如纳米连通孔、纳米线、纳米管等。

这些结构的制备将有助于实现相应的功能性材料,如具有高比表面积、良好的电催化和金属电催化等性质,同时也可以应用于制备微流控芯片和微纳传感器等。

总之,超快激光加工技术是一种具有广阔应用前景的现代微纳加工技术,随着技术的提升和发展,其在微纳加工领域中的应用将越来越广泛。

超短脉冲激光及其相关应用的一些基本知识

超短脉冲激光及其相关应用的一些基本知识

超短脉冲激光及其相关应用的一些基本知识一、本文概述超短脉冲激光,作为现代光学领域的璀璨明珠,以其独特的性质和应用价值,正逐渐引起人们的广泛关注和深入研究。

本文旨在全面介绍超短脉冲激光的基本概念、产生机制、特性以及其在各个领域中的应用,帮助读者更好地理解和应用这一前沿技术。

我们将首先概述超短脉冲激光的定义和特点,包括其脉冲宽度、峰值功率、光谱特性等基本属性。

接着,我们将探讨超短脉冲激光的产生方法,包括调Q技术、锁模技术、光参量放大等,并简要介绍各种方法的原理和应用场景。

在了解了超短脉冲激光的基本特性后,我们将重点介绍其在各个领域中的应用。

这些应用包括但不限于:光学精密测量、超快现象研究、材料加工、生物医学等。

我们将结合具体案例,详细阐述超短脉冲激光在这些领域中的独特优势和实际应用效果。

我们将对超短脉冲激光的发展前景进行展望,分析其在未来科学研究和技术应用中的潜在价值和挑战。

通过本文的阅读,读者将能够全面而深入地了解超短脉冲激光及其相关应用的基本知识,为其在未来的科研和工作中提供有益的参考和启示。

二、超短脉冲激光的基本原理超短脉冲激光,也被称为超快激光,其脉冲宽度通常在纳秒(ns)甚至更短的皮秒(ps)、飞秒(fs)量级。

这种激光技术的基本原理主要涉及到激光产生和控制的物理过程。

我们需要理解激光是如何产生的。

激光产生的关键在于实现粒子数反转,即高能级粒子数大于低能级粒子数。

当高能级粒子数足够多时,受激辐射将占据主导地位,从而产生激光。

超短脉冲激光的产生则需要在此基础上,进一步控制激光的振荡过程,以实现脉冲宽度的缩短。

超短脉冲激光的产生通常利用调Q技术或锁模技术。

调Q技术通过改变谐振腔的Q值(品质因数),使得激光能量在短时间内迅速积累并释放,从而得到高能量的超短脉冲。

而锁模技术则是通过特定的光学元件和控制系统,使得谐振腔内的多个振荡模式同步,形成单一的高强度超短脉冲。

超短脉冲激光的特性使其在许多领域具有广泛的应用。

飞秒激光加工方法及其在光学器件制造中的应用

飞秒激光加工方法及其在光学器件制造中的应用

一、概述随着科学技术的不断发展,激光技术在各个领域得到了广泛的应用,其中飞秒激光技术作为一种新型的加工方法,具有独特的优势,成为光学器件制造领域的热点研究对象。

本文将对飞秒激光加工方法进行介绍,并探讨其在光学器件制造中的应用。

二、飞秒激光加工方法概述1. 飞秒激光技术的基本原理飞秒激光是一种脉冲宽度在飞秒量级的激光,也称超短脉冲激光。

其基本原理是利用超短脉冲激光束对材料进行非热效应的加工,实现精密加工和微纳加工。

2. 飞秒激光加工的特点飞秒激光加工具有非常高的能量密度和极短的作用时间,可以实现高精度、微细加工,同时减少材料受热影响的区域,大大降低了激光加工的热损伤。

三、飞秒激光加工在光学器件制造中的应用1. 飞秒激光在光学薄膜加工中的应用飞秒激光可以精确控制在光学薄膜上产生微小的缺陷和结构,实现光学薄膜的微加工和修复,提高光学膜的光学性能和稳定性。

2. 飞秒激光在光学元件加工中的应用飞秒激光可以对光学元件进行微纳加工,制备微结构、光栅、微透镜等,实现光学元件的定制加工,提高光学器件的性能和功能。

3. 飞秒激光在光学器件组装中的应用飞秒激光可以实现光学元件的精确定位、组装和固定,提高光学器件的组装精度和稳定性。

四、飞秒激光加工方法的发展趋势飞秒激光加工技术在光学器件制造中的应用前景广阔,其发展趋势主要体现在以下几个方面:1. 飞秒激光加工精度的进一步提高随着飞秒激光技术的不断创新,加工精度将会进一步提高,可以实现超精密、超微观的加工。

2. 飞秒激光加工速度的提升未来飞秒激光技术的发展将致力于提高加工速度,实现高效的微纳加工,满足工业化生产的需求。

3. 飞秒激光加工材料范围的拓展飞秒激光加工技术将会拓展到更多的材料加工领域,包括金属、半导体、陶瓷等,扩大其应用范围。

五、结论飞秒激光加工方法作为一种新型的加工技术,在光学器件制造中具有重要的应用前景。

随着飞秒激光技术的不断发展和创新,相信其在光学器件制造领域将发挥越来越重要的作用,为光学器件制造带来更多的创新和突破。

超短脉冲激光技术在材料研究中的应用

超短脉冲激光技术在材料研究中的应用

超短脉冲激光技术在材料研究中的应用超短脉冲激光技术是一种先进的材料加工技术,它的出现极大地推动了材料研究的发展。

超短脉冲激光通过短时间内高能量的脉冲作用于材料表面,使得材料表面瞬间蒸发或者产生等离子体,从而实现材料表面微米级别的加工和改性。

下面将从材料加工、表面改性和生物医学三个方面介绍超短脉冲激光技术在材料研究中的应用。

一、超短脉冲激光在材料加工中的应用超短脉冲激光技术可以实现大尺寸、高精度、良好表面质量的材料微加工。

比如在制备微型元器件、工艺模具、精密机械等方面都有广泛应用。

此外,超短脉冲激光还能够实现“一正一反”微米级别的加工,对于金属、无机物甚至生物材料表面都有很好的加工效果。

二、超短脉冲激光在表面改性中的应用超短脉冲激光技术可实现微米级尺度的表面改性,如增强材料强度、提高材料的电学和光学性能。

对于复合材料、高强度陶瓷等高性能材料的制备过程中,超短脉冲激光技术能够使得材料的表面产生过渡层,从而增加材料的粘结强度和性能。

此外,超短脉冲激光也是改善金属表面抗腐蚀性能和耐磨性能的重要手段。

三、超短脉冲激光在生物医学中的应用超短脉冲激光技术还可以在生物医学领域中应用。

通过超短脉冲激光,细胞可以被定向破坏而不影响周围组织,这为细胞和组织的研究奠定了基础。

此外,还可以将超短脉冲激光用于眼科手术,如在眼科激光屈光(LASIK)手术中使用。

总之,超短脉冲激光技术的应用范围非常广泛,越来越多的行业开始使用这种先进的材料加工技术。

然而,这种技术也有一些问题需要解决。

例如,超短脉冲激光的使用需要十分精密的设备和实验条件,成本较高;此外,过度依赖超短脉冲激光技术也容易导致技术陈旧,需要不断更新和改进。

相信在科学家们的不断努力下,这些问题也将得到解决,超短脉冲激光技术也会在未来得到更广泛的应用。

飞秒激光器参数

飞秒激光器参数

飞秒激光器参数1.引言1.1 概述飞秒激光器作为一种重要的激光器类型,在现代科学和技术领域中具有广泛的应用。

它采用超短脉冲激光技术,使得光脉冲的时间宽度可以达到飞秒级别,即每个脉冲只持续一秒的百万分之一。

这种超短脉冲的特性使得飞秒激光器在材料加工、光谱分析、生物医学、物理研究等领域具有独特的优势和应用前景。

与传统的连续激光器相比,飞秒激光器具有独特的特点和优点。

首先,由于飞秒激光器的光脉冲时间极短,其光子能量集中在极短的时间内释放,因此可以实现高能量密度的激光加工。

另外,由于光脉冲的时间尺度非常短,飞秒激光器可以实现高精度的微加工,例如制造微小器件、纳米结构等。

此外,飞秒激光器具有较高的单脉冲能量和较高的峰值功率,这使得它在光谱分析、生物医学成像和光学光谱等领域中具有广泛的应用。

例如,在光谱分析领域,飞秒激光器可以提供高分辨率的光谱信息,帮助科学家更好地理解物质的光学特性。

此外,飞秒激光器还具有可调谐性和较宽的谱带宽,这使得它在科学研究和实验室应用中非常受欢迎。

通过调整激光器的工作参数,可以实现不同波长的激光输出,进而满足不同实验需求。

综上所述,飞秒激光器作为一种重要的激光器类型,具有独特的优势和广泛的应用前景。

本文将重点介绍飞秒激光器的工作原理和主要参数,并探讨这些参数对应用的影响。

通过深入了解飞秒激光器的特点和优势,相信读者能够更好地了解和应用这一先进的激光技术。

文章结构介绍:本文主要讨论飞秒激光器的参数。

文章结构如下:1. 引言1.1 概述1.2 文章结构1.3 目的2. 正文2.1 飞秒激光器的工作原理2.2 飞秒激光器的主要参数3. 结论3.1 飞秒激光器参数对应用的影响3.2 未来发展趋势在引言部分之后,正文部分将首先介绍飞秒激光器的工作原理,包括其产生飞秒脉冲的机制和基本原理。

然后,将重点关注飞秒激光器的主要参数,包括脉冲能量、脉冲宽度、重复频率等。

在结论部分,将探讨飞秒激光器参数对其应用的影响,包括在材料加工、医学、通信等领域的不同应用情况。

光刻机中的超快脉冲激光技术

光刻机中的超快脉冲激光技术

光刻机中的超快脉冲激光技术超快脉冲激光技术是一种应用于光刻机的先进技术,它可以实现高精度的微纳米级图案制作。

本文将介绍光刻机中超快脉冲激光技术的原理、应用以及对光刻技术的影响。

一、超快脉冲激光技术原理超快脉冲激光技术是指激光脉冲宽度在飞秒(10^-15秒)或皮秒(10^-12秒)级别的激光技术。

相较于传统的纳秒激光技术,超快脉冲激光具有更高的功率密度和更短的脉冲宽度。

超快脉冲激光是如何实现的呢?其主要原理是通过使用特殊的激光器和光学元件来产生和调制超快脉冲。

首先,通过使用飞秒激光器和光纤放大器等设备,可以产生具有飞秒级别脉冲宽度的激光。

接下来,通过使用非线性晶体和光学调制器等光学元件,可以调制激光光束的相位和幅度,将其转变为超快脉冲激光。

二、超快脉冲激光技术在光刻机中的应用超快脉冲激光技术在光刻机中有许多应用。

首先,它可用于制造微细结构,如光栅、微透镜等。

超快脉冲激光的短脉冲宽度和高功率密度使其能够实现高分辨率的微纳米级图案制作,从而满足现代微电子和光电子器件的制造需求。

其次,超快脉冲激光技术还可以应用于三维微纳米结构的制造。

通过使用超快脉冲激光可以实现高精度的局部加工,从而在材料的体积中制造出微纳米级的通道、结构等。

这项技术对于微纳米流体芯片、光子晶体等领域具有重要的应用价值。

此外,超快脉冲激光技术还可以用于光刻机的微纳米级图案测量和检测。

通过使用激光干涉技术和散射光谱技术,可以对光刻机制作的微细结构进行精确的测量和检测,从而保证产品的质量和性能。

三、超快脉冲激光技术对光刻技术的影响超快脉冲激光技术的应用对光刻技术产生了深远的影响。

首先,它提高了光刻机的分辨率和精度。

由于超快脉冲激光具有更短的脉冲宽度,可以实现更高的图案分辨率,从而使得微米级和纳米级图案的制作成为可能。

其次,超快脉冲激光技术提高了光刻机的加工效率。

由于超快脉冲激光的高功率密度,可以在很短的时间内完成图案的制作。

这不仅提高了生产效率,还降低了制造成本。

超快激光微纳加工技术

超快激光微纳加工技术

超快激光微纳加工技术一、引言超快激光微纳加工技术是一种新型的加工技术,其具有高精度、高效率、高质量等优势。

在微电子、生物医学、光学器件等领域中得到了广泛的应用。

本文将对超快激光微纳加工技术进行详细介绍。

二、超快激光微纳加工技术原理1. 超快激光的产生与特点超快激光是指脉冲宽度在飞秒级别以下的激光,其脉冲宽度一般为几十飞秒至几百飞秒。

超快激光的产生主要通过调Q技术实现,其具有高峰值功率和短脉冲宽度等特点。

2. 超快激光微纳加工原理超快激光微纳加工技术主要是利用超快激光与材料相互作用时所产生的非线性效应进行微细结构制造。

当超快激光照射到材料表面时,由于其短脉冲宽度和高峰值功率,会使材料表面的电子密度瞬间增加,从而引起材料的非线性光学效应。

这些效应包括多光子吸收、自聚焦、等离子体生成等,最终形成微细的结构。

三、超快激光微纳加工技术的应用1. 微电子领域超快激光微纳加工技术在微电子领域中得到了广泛的应用。

例如,可以利用超快激光制造高精度的微型电路板、传感器等。

2. 生物医学领域在生物医学领域中,超快激光微纳加工技术可以用于制造高精度的生物芯片、仿生器官等。

此外,还可以利用超快激光进行细胞切割和组织切割等操作。

3. 光学器件领域在光学器件领域中,超快激光微纳加工技术可以制造出高质量的反射镜、透镜等。

此外,还可以利用超快激光进行二次谐波产生和频率转换等操作。

四、超快激光微纳加工技术的发展趋势1. 提高加工精度和效率超快激光微纳加工技术的发展趋势是提高加工精度和效率。

目前,超快激光微纳加工技术的加工精度已经达到亚微米级别,但仍需要进一步提高。

2. 拓展应用领域超快激光微纳加工技术还可以在新材料、新器件等领域中得到拓展应用。

例如,在太阳能电池、柔性电子、量子计算等领域中都有广阔的应用前景。

3. 降低成本随着超快激光微纳加工技术的不断发展,其成本也逐渐降低。

今后,随着相关技术的不断完善和普及,其成本将进一步降低。

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超短脉冲激光提升微加工的速度与效率
在微加工领域,短脉冲、尤其是超短脉冲激光器正在取代传统的加工方法。

对于超短脉冲激光器,得益于其冷烧蚀特性,因此其对所要加工的材料几乎没有任何限制。

在冷烧蚀过程中,材料的去除本质上只能通过化学键断裂来实现,因此其产生的热影响仅限于几微米的区域,并且相应的变形也最小。

不幸的是,超短脉冲激光器的烧蚀速率仍然非常低,进而限制了其在工业领域的广泛应用。

金属材料的烧蚀阈值在0.2J/cm2的范围内,而玻璃和陶瓷的烧蚀阈值则在几个J/cm2的范围内。

为了提高去除速率,可以使用具有较大聚焦口径的高脉冲能量,以在更大的区域内工作。

在诸如玻璃或聚合物等透明材料加工应用中,可通过非线性效应(如多光子过程)来提高去除速率。

此外,也可以提高重复频率。

重复频率可以从100kHz到几兆赫兹,目前正在进行重复频率超过10MHz的研究。

FIGURE 1. 德国3D-Micromac公司举办的“ISL 2010激光微加工国际研讨会”现场
尽管传统的光纤激光器已经在工业环境中植根多年,但是飞秒光纤激光器在市场上仍然属于新事物。

德国耶拿大学的Jens Limpert博士使用的超快光纤激光器,平均功率接近1kW,峰值功率在GW量级,重复频率在kHz到MHz的范围内。

虽然超快光纤激光器已经能够达到上述较高的性能,但是其仍然具有很大的发展潜力。

除了单脉冲之外,另一种提高烧蚀速度的方式是采用所谓的脉冲猝发(burst)。

以50MHz的脉冲序列为例,重复频率为500kHz的脉冲被提取出来并被放大。

“烧蚀效果与脉冲能量成对数关系。

通过这种方式,可以将相同的总能量分配到几个脉冲中,然后通过脉冲叠加来达到更高的去除量。

”Lumera Laser公司的Dirk Müller介绍说。

实验已经证明5~10个脉冲的脉冲猝发是有效的,并且约为20ns的脉冲间隔也已被证明是有效的。

然而,最终获得的去除质量在很大程度上依赖于所要处理的材料。

微结构的高效生产
在微加工领域享有盛名的方法包括EDM(放电加工)、微模压加工和光刻技术。

EDM只适用于导电材料,并且速度缓慢;冲压模的制造成本较高;而光刻则需要高精密掩模,并且后续的刻蚀过程还对环境有很大的污染。

相比之下,激光冷烧蚀加工不但能够实现与上述方法类似的加工精度,而且更具成本效益,同时也非常环保。

最精细结构的冲压使得金属板材的加工更加容易,金属板材结构由模压辊制成。

德国夫琅和费激光技术研究所(Fraunhofer-ILT)已经利用功率为100W、重复频率为3MHz 的皮秒激光器,获得了最佳的精细结构加工效果。

“在整个激光微加工过程中,CAD数据得到了精确的再现,没有熔化物飞溅以及其他废弃物,并且表面粗糙度小于0.5μm。

”Fraun hofer-ILT烧蚀与焊接部门主管Arnold Gillner博士说(见图2和图3)。

为了获得更好的加工效果,脉冲之间必须有10%~15%的重合,两条脉冲的刻线间则必须有10%的重合。

图2:由超快脉冲激光器加工的一个工具的局部图
图3:用于LED照明的导光结构。

用于部件注塑成型所使用的工具是通过超短脉冲激光器加工而成的
由于具备冷烧蚀特性,因此超快激光也可以用于加工塑料。

几乎生产有机发光二极管(OLED)的所有加工设备都是独一无二的。

由于有机光伏电池(OPV)和OLED的制造工艺相似,德国夫琅和费光子微系统研究(Fraunhofer-IMPS)的工程师们已经开发出了用于OLED和OPVs的Gen2试验性生产线。

OLED的层系统是通过OVPD(有机气相沉积)或者VTE(真空热蒸发)技术,在塑料薄膜上沉积ITO(铟锡氧化物)层形成的。

对于这样的微型结构制造,使用激光器是最理想的选择,因为它们的工作速度快,并且安装时间可以忽略不计。

“这种无需光刻技术的加工过程提供了与光刻工艺相同的优良质量,而且由于其在部署和成本方面的优势,因此这种方法更加灵活。

”Fraunhofer-IMPS的Christian May博士说。

德国3D-Micromac公司也针对相同的问题展开了工作。

该公司已经开发出了一种模块化系统,其能够在普通的环境条件下,利用卷对卷制程实现有机、可弯曲的太阳能电池和OLED的全自动化生产(见图4)。

图4:由超短脉冲激光加工的有机太阳能电池的膜层
利用超短脉冲激光器进行卷对卷激光微加工的另一个应用领域是汽车玻璃。

由于汽车的车窗越来越大,在日光照射下车内会越来越热,而汽车玻璃的膜层则会形成法拉第笼,对通讯有屏蔽作用。

为了改善这种情况,必须在不影响“美观”的前提下去除部分膜层。

“皮秒激光可以在薄膜的背面工作,并且光束能在不破坏基底的情况下通过它。

”3D-Micromac公司的Christian Scholz报道说。

目前该项目尚处于仿真阶段。

对于工业生产,与可能的扫描速度相比,去除速率不是个大问题。

为了实现高效生产,需要达到约200m/s和更高的扫描速度。

采用相控阵偏转器可以满足速度要求,能够获得超过500m/s的速度,但是目前这些系统仍处于研发阶段,尚且不适合工业应用。

另一种解决速度缓慢问题的方式是让几部分光束并行工作。

用于分光的衍射光学元件仅仅操纵光束的光学相位,并且具有非常大的透射率。

这些光学元件由石英玻璃制成,生产成本较低,这一点也要归功于超短脉冲激光的冷烧蚀特性。

另一种制造周期性纳米结构的方法是使用干涉。

这意味着所有的材料都可以通过这种方法加工,包括叠加一个短波长超短脉冲激光的几部分光束,从而产生具有高分辨率的干涉图样(见图5)。

图5:叠加一个短波长超短脉冲激光的几部分光束,产生高分辨率的干涉图样
“实验已经证明了这种方法的可靠性,目前我们正在改进这种方法以满足工业应用的需求。

”Laser-Laboratorium Göttingen e.V的Peter Simon博士说。

激光烧蚀法切割
利用传统的激光器切割金属箔,必须采用气体喷嘴来吹出熔化物,并且需要专门的轮廓匹配的切割工具。

除了工具方面的成本外,用于熔化金属的气体流动还能够引起金属箔变形,相对较高的能量输入也会使金属箔弯曲,并且会在切割边缘形成脊状突起。

利用短脉冲激光器切割金属箔,其激光束多次经过切割路径,逐渐作用于被切割的材料上。

另外,在工件的固定方面,只需要将金属箔吸附在穿孔的板上就足以固定金属箔了。

“利用短脉冲激光切割的唯一限制就是工作区域较小、定位精度较低,这依赖于聚焦位置和扫描装置的校准。

”Günter-Köhler-Institut Jena的Daniel Hubert指出。

对于厚度超过100μm的膜层,该过程由于需要较长的加工时间而降低了经济实用性。

超短脉冲激光器具有小而窄的聚焦点,可用于切割小于20μm的宽度。

利用激光器切割芯片可以获得高得多的封装密度,使得它与传统技术相比,有可能在每个晶圆上获得大约两倍数量的芯片。

皮秒激光也给支架切割带来了利好。

与传统的生产工艺相比,皮秒激光不但能节省昂贵的材料和涂饰费用,并且还减少了浪费。

超短脉冲激光已经可以成功地切割硅晶圆,这使得获得更轻更薄的晶圆成为可能。

有了这些短脉冲和超短脉冲激光器,使得激光加工几乎对材料已经没有任何限制,并且能够获得最高的加工精度。

未来,超短脉冲潜在的应用领域非常广泛,从生物组织到材料堆栈和复合材料的加工,尤其是加工CFRP(碳纤维增强塑料)这种不容易处理的材料。

在激光微加工研究方面,德国3D-Micromac公司是一家积极的推进者。

2010年,该公司曾邀请了微加工领域的专家们参加其举办的“第三届激光微加工国际研讨会”,与业内同人共同分享激光微加工的最新进展(见图1)。

注:本资料由【新越激光雕刻(东莞市新越激光雕刻有限公司) 】整理,仅供学习参考!。

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